JPH022546Y2 - - Google Patents

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JPH022546Y2
JPH022546Y2 JP9637484U JP9637484U JPH022546Y2 JP H022546 Y2 JPH022546 Y2 JP H022546Y2 JP 9637484 U JP9637484 U JP 9637484U JP 9637484 U JP9637484 U JP 9637484U JP H022546 Y2 JPH022546 Y2 JP H022546Y2
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conductive paste
paste
pellet
syringe
cylindrical body
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
    • H01L24/741Apparatus for manufacturing means for bonding, e.g. connectors
    • H01L24/743Apparatus for manufacturing layer connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
    • H01L2224/741Apparatus for manufacturing means for bonding, e.g. connectors
    • H01L2224/743Apparatus for manufacturing layer connectors

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Die Bonding (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案はシリンジを使つたデイスペンサ方式
の導電ペースト供給装置に関する。
[Detailed Description of the Invention] Industrial Application Field This invention relates to a dispenser type conductive paste supply device using a syringe.

従来の技術 ハイブリツドIC基板やリードフレーム上への
半導体ペレツトの固着には半田が一般に使用され
るが、特にMOS・ICなどの小電力用半導体ペレ
ツトのマウントには導電ペーストが最近賞用され
ている。この導電ペーストは金や銀等の金属粉末
とエポキシ樹脂等の溶剤とを混練してペースト状
にしたもので、これのハイブリツドIC基板等の
ペレツトマウント部上への定量供給方式はスタン
ピング方式とデイスペンサ方式に大別される。
Conventional technology Solder is generally used to fix semiconductor pellets onto hybrid IC boards and lead frames, but conductive paste has recently been used particularly for mounting low-power semiconductor pellets such as MOS and IC. . This conductive paste is made into a paste by kneading metal powder such as gold or silver with a solvent such as epoxy resin, and the stamping method is the method for quantitatively supplying it onto the pellet mount part of a hybrid IC board, etc. It is broadly divided into dispenser methods.

スタンピング方式は平担な台上に等厚に伸展せ
られた導電ペーストの一部を定面積のスタンプの
接触でスタンプに転写させ、スタンプに転写した
等厚定量の導電ペーストをペレツトマウント部上
に再度転写させ供給する方式である。
In the stamping method, a part of the conductive paste is spread to an equal thickness on a flat table and transferred to the stamp by contact with a stamp of a constant area, and then a constant amount of the conductive paste transferred to the stamp is transferred onto the pellet mount part. This is a method in which the image is transferred again and supplied.

またデイスペンサ方式は多量の導電ペーストが
充填されたシリンジを用いる方式で、例えば、特
開昭57−192036号公報等に従来技術として紹介さ
れているが、この方式の導電ペースト供給装置を
第9図を参照し乍ら以下説明する。第9図におい
て、1はシリンジ、2はシリンジ1内に充填され
た導電ペースト、3はシリンジ1内の導電ペース
ト2に適宜所定の圧力を加えて導電ペースト2を
ノズル1′の下端のペースト吐出口4から定量ず
つ吐出させるペースト吐出量制御部である。5は
ハイブリツドIC基板の導電パターンやリードフ
レームなどのペレツトマウント部で、この上にペ
ースト吐出量制御部3でもつてノズル1′のペー
スト吐出口4から吐出された定量の導電ペースト
2′が押し付けられて供給される。
The dispenser method uses a syringe filled with a large amount of conductive paste, and is introduced as a prior art in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 57-192036. This method's conductive paste supply device is shown in Figure 9. This will be explained below with reference to . In FIG. 9, 1 is a syringe, 2 is a conductive paste filled in the syringe 1, and 3 is a conductive paste 2 by applying an appropriate predetermined pressure to the conductive paste 2 in the syringe 1, and discharging the conductive paste 2 from the lower end of the nozzle 1'. This is a paste discharge amount control unit that discharges a fixed amount from the outlet 4. Reference numeral 5 denotes a pellet mount portion such as a conductive pattern or a lead frame of a hybrid IC board, onto which a fixed amount of conductive paste 2' is pressed by the paste discharge amount control unit 3 and is discharged from the paste discharge port 4 of the nozzle 1'. supplied.

尚、このようにペレツトマウント部5上に定量
の導電ペースト2′が供給された後、例えば第1
0図に示すように真空吸着コレツト6で吸着され
た半導体ペレツト7が導電ペースト2′上に供給
されてペレツトマウントが行われる。
Incidentally, after a certain amount of the conductive paste 2' is supplied onto the pellet mount part 5 in this way, for example, the first
As shown in FIG. 0, the semiconductor pellet 7 adsorbed by the vacuum adsorption collet 6 is supplied onto the conductive paste 2' to perform pellet mounting.

考案が解決しようとする問題点 ところで、上記スタンピング方式の導電ペース
ト供給装置はペレツトマウント部上に等厚で定量
の導電ペーストが供給できてペレツトマウントが
等厚の導電ペーストにて良好に行えるが、平担な
台上に導電ペーストを等厚に伸展させる等の装置
が必要で全体が機構的に大掛りとなり、またマウ
ントする半導体ペレツトのサイズが変ると、この
変更に応じたサイズのスタンプを切換え使用する
必要がある問題があつた。この問題は特にハイブ
リツドICのように1つの基板上にサイズの異な
る複数の半導体ペレツトや他の電子部品をマウン
トするものにおいて著しくて、ペレツトマウント
工数低減を図る上での障害となつていた。
Problems to be solved by the invention By the way, the above-mentioned stamping type conductive paste supply device can supply a constant amount of conductive paste of equal thickness onto the pellet mount portion, and pellet mounting can be performed satisfactorily using conductive paste of equal thickness. However, it requires a device to spread the conductive paste to an equal thickness on a flat table, making the whole structure mechanically large, and if the size of the semiconductor pellet to be mounted changes, the stamp size must be adjusted to match this change. I had a problem where I needed to switch between the two. This problem is particularly severe in hybrid ICs in which multiple semiconductor pellets of different sizes and other electronic components are mounted on a single substrate, and has been an obstacle to reducing the number of steps required for pellet mounting.

また上記デイスペンサ方式の導電ペースト供給
装置は機械的に簡単であり、またノズルからのペ
ースト吐出量の制御でペレツトサイズの変更に十
分に対応できるが、ペレツトマウント部上に供給
された導電ペーストの形状が略半球状になりがち
なため次の問題があつた。
In addition, the dispenser-type conductive paste supply device described above is mechanically simple and can adequately accommodate changes in pellet size by controlling the amount of paste discharged from the nozzle, but the shape of the conductive paste supplied onto the pellet mount is The following problem arose because the shape tends to be approximately hemispherical.

即ち、第11図に示すように半導体ペレツト7
をペレツトマウント部5上の導電ペースト2′に
押し付けてマウントする場合、導電ペースト2′
が略半球状であると導電ペースト2′は半導体ペ
レツト7の裏面中央部から第11図の矢印に示す
ように周辺部へと放射状に広がるが、半導体ペレ
ツト7の中央部から最も離れた隅部の裏面まで
は、導電ペースト2′が十分に広がらないことが
あり、そのためマウント後の半導体ペレツト7の
マウント強度が弱くなつて後で剥離することや、
半導体ペレツト7の放熱性が悪くなることがあつ
た。この半導体ペレツト下での導電ペースト不足
上の問題は供給する導電ペースト量を多目にすれ
ば解決されるが、このようにすると半導体ペレツ
ト7から食み出す導電ペースト2′の量が多くな
つてペレツト上への乗り上げ等によるシヨート不
良や材料無駄を招き、且つ半導体ペレツト下の導
電ペースト厚が大きくバラツクことがあつて好ま
しくなかつた。
That is, as shown in FIG.
When mounting by pressing the conductive paste 2' on the pellet mount part 5, the conductive paste 2'
If the conductive paste 2' is approximately hemispherical, the conductive paste 2' spreads radially from the center of the back surface of the semiconductor pellet 7 to the periphery as shown by the arrow in FIG. The conductive paste 2' may not spread sufficiently to the back surface of the semiconductor pellet 7, which may weaken the mounting strength of the semiconductor pellet 7 after mounting and cause it to peel off later.
The heat dissipation properties of the semiconductor pellets 7 sometimes deteriorated. This problem of insufficient conductive paste under the semiconductor pellet can be solved by increasing the amount of conductive paste supplied, but in this case, the amount of conductive paste 2' that protrudes from the semiconductor pellet 7 increases. This is undesirable because it leads to shot defects and wasted material due to the conductive paste riding on the pellet, and the thickness of the conductive paste under the semiconductor pellet varies widely.

問題点を解決するための手段 本考案は上記デイスペンサ方式の導電ペースト
供給装置の問題点に鑑みてなされたもので、この
問題点を解決する本考案の技術的手段は、導電ペ
ーストを吐出するシリンジの下端部に、当該シリ
ンジ下端のペースト吐出口を中心にした下端面及
びこの下端面に前記ペースト吐出口を中心とした
星形で底が傾斜して延びるペーストガイド溝を有
する筒状体を取付けたことをである。
Means for Solving the Problems The present invention has been made in view of the above-mentioned problems with the dispenser type conductive paste supply device. A cylindrical body is attached to the lower end of the syringe, the cylindrical body having a lower end surface centered on the paste discharge port at the lower end of the syringe, and a paste guide groove extending in a star shape with an inclined bottom centered on the paste discharge port on the lower end surface. That's what happened.

作 用 この技術的手段によると、上記シリンジ下端の
筒状体を、ペレツトマウント部に接触又は近接さ
せてシリンジ下端のペースト吐出口ノズルから導
電ペーストを吐出すると、吐出された導電ペース
トはペレツトマウント部上に筒状体のペーストガ
イド溝に入りペーストガイド溝の先端に向け広が
る。この導電ペーストの広がりの大きさは1回の
吐出量で決まるのでペレツトサイズの変更に対応
でき、また広がつた導電ペーストの厚さはペース
トガイド溝が一定の傾斜角をもつて形成されてい
るので広がる先の周辺部分ほど大きくなり、ペレ
ツトマウント時に導電ペーストの厚さの大きい部
分が半導体ペレツトの隅部近くで押圧されて広が
ることによつて、半導体ペレツト下の導電ペース
ト厚の均一化が実現できる。
Effect According to this technical means, when the cylindrical body at the lower end of the syringe is brought into contact with or close to the pellet mount part and conductive paste is discharged from the paste discharge nozzle at the lower end of the syringe, the discharged conductive paste becomes pellets. The paste enters the paste guide groove of the cylindrical body on the mount part and spreads toward the tip of the paste guide groove. The amount of spread of this conductive paste is determined by the amount discharged at one time, so it can be adapted to changes in pellet size, and the thickness of the spread conductive paste is determined by the paste guide grooves being formed at a constant angle of inclination. The conductive paste becomes larger at the periphery where it spreads, and when the pellet is mounted, the thicker parts of the conductive paste are pressed near the corners of the semiconductor pellet and spread, making the thickness of the conductive paste uniform under the semiconductor pellet. can.

実施例 本考案の実施例を第1図乃至第5図を参照し乍
ら説明すると、第1図乃至第3図における第9図
の導電ペースト供給装置と同一のものには同一参
照符号を付して説明は省略する。この実施例の構
造上の特徴は、ノズル1′の下端部に次の導電ペ
ースト流出ガイド用筒状体8を嵌着固定すること
である。
Embodiment An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 5. Components in FIGS. 1 to 3 that are the same as those in FIG. 9 are given the same reference numerals. The explanation will be omitted. The structural feature of this embodiment is that a cylindrical body 8 for guiding the conductive paste outflow is fitted and fixed to the lower end of the nozzle 1'.

筒状体8はノズル1′の下端部に同軸状に挿通
されてネジ止め等の手段で着脱可能に固定された
導電ペースト2が付着しないステンレス製等の四
角筒状体で、下端面9に例えば略十字形のペース
トガイド溝10が形成される。下端面9はノズル
1′のペースト吐出口4を中心とした凹球面であ
り、ペーストガイド溝10は第4図に示すように
ペースト吐出口4から90゜間隔で下端面9の4隅
近くまで延び、この四方に延びる4つのペースト
ガイド溝10a〜10dは同一形状、深さのもの
で各々の底はペースト吐出口4から上昇角が傾斜
をもつて延びる。また筒状体8の下面9はマウン
トする半導体ペレツトの最大サイズ程度に設定さ
れる。
The cylindrical body 8 is a rectangular cylindrical body made of stainless steel or the like, which is inserted coaxially into the lower end of the nozzle 1' and removably fixed by means such as screws, and is made of stainless steel or the like to which the conductive paste 2 does not adhere. For example, a substantially cross-shaped paste guide groove 10 is formed. The lower end surface 9 is a concave spherical surface centered on the paste outlet 4 of the nozzle 1', and the paste guide grooves 10 extend from the paste outlet 4 at 90° intervals to near the four corners of the lower end surface 9, as shown in FIG. The four paste guide grooves 10a to 10d extending in all directions have the same shape and depth, and each bottom extends from the paste discharge port 4 with an inclined upward angle. Further, the lower surface 9 of the cylindrical body 8 is set to approximately the maximum size of the semiconductor pellet to be mounted.

次に上記実施例による導電ペースト供給動作を
後の半導体ペレツトマウント動作と共に説明す
る。
Next, the conductive paste supplying operation according to the above embodiment will be explained together with the later semiconductor pellet mounting operation.

筒状体8を装着したノズル1′を下降させて、
第5図に示すようにペレツトマウント部5上に筒
状体8を接触させ、この状態でペースト吐出量制
御部3でもつてノズル1′内の導電ペースト2を
ペースト吐出口4から定量吐出させる。すると吐
出した導電ペースト2′は先ずペレツトマウント
部5上に当つてから4つのペーストガイド溝4a
〜4d内へ流入して吐出量に応じたところまで広
がり、ペレツトマウント部5上上に付着する。そ
してノズル1′、筒状体8の一体物を引き上げる
とペレツトマウント部5上には第6図及び第7図
に示すように略十字形の導電ペースト2′が残る。
この導電ペースト2′は、ペーストガイド溝10
の底の傾斜により中央部が薄く4つの周辺端部が
厚く形成される。
Lowering the nozzle 1' equipped with the cylindrical body 8,
As shown in FIG. 5, the cylindrical body 8 is brought into contact with the pellet mount section 5, and in this state, the paste discharge amount control section 3 causes the conductive paste 2 in the nozzle 1' to be discharged in a fixed amount from the paste discharge port 4. . Then, the discharged conductive paste 2' first hits the pellet mount part 5 and then passes through the four paste guide grooves 4a.
~4d, spreads to a location corresponding to the discharge amount, and adheres to the pellet mount portion 5. When the nozzle 1' and the cylindrical body 8 are pulled up, a substantially cross-shaped conductive paste 2' remains on the pellet mount portion 5, as shown in FIGS. 6 and 7.
This conductive paste 2' is applied to the paste guide groove 10.
Due to the slope of the bottom, the center part is thin and the four peripheral edges are thick.

このように導電ペースト供給の後、第8図に示
すようにペレツトマウント部5上の導電ペースト
2′上に半導体ペレツト7をその4隅が導電ペー
スト2′の4つの周辺端部に最も近付く方向で押
し付けマウントする。この時、半導体ペレツト7
の押し付けで導電ペースト2′は肉厚大の周辺部
が第8図の矢印に示す方向に広がり、これにより
半導体ペレツト7の4隅裏面にも十分に導電ペー
スト2′が付着し、且つ半導体ペレツト下の導電
ペースト厚が均一となる。
After supplying the conductive paste in this way, as shown in FIG. 8, place the semiconductor pellet 7 on the conductive paste 2' on the pellet mount part 5 so that its four corners are closest to the four peripheral edges of the conductive paste 2'. Mount by pressing in the direction. At this time, semiconductor pellet 7
By pressing, the thick peripheral part of the conductive paste 2' spreads in the direction shown by the arrow in FIG. The thickness of the conductive paste underneath becomes uniform.

また半導体ペレツト7のサイズが変更、例えば
大きくなつた場合はこの変更に応じシリンジ1か
らの導電ペースト吐出量を増やす。すると第6図
及び第7図の鎖線で示す如くペレツトマウント部
5上に供給された導電ペースト2′の形状が大き
くなり、、ペレツトサイズの変更に十分対処でき
る。
Further, when the size of the semiconductor pellet 7 changes, for example becomes larger, the amount of conductive paste discharged from the syringe 1 is increased in accordance with this change. Then, as shown by the chain lines in FIGS. 6 and 7, the shape of the conductive paste 2' supplied onto the pellet mount portion 5 becomes larger, and it is possible to sufficiently cope with changes in pellet size.

尚、本考案は上記実施例に限らず、特に筒状体
のペーストガイド溝の形状は種々変更が可能であ
る。
Note that the present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and in particular, the shape of the paste guide groove of the cylindrical body can be modified in various ways.

考案の効果 本考案によれば導電ペーストのシリンジからの
1回の吐出量に応じ、ペレツトマウント部上等に
供給される全体の量が変るので、半導体ペレツト
のサイズ変更に対する対応性が優れ、特にハイブ
リツドIC基板に異なるサイズの複数の半導体ペ
レツト等をマウントする際に使用する導電ペース
ト供給装置において効大なるものが提供できる。
またペレツトマウント部上等に供給された導電ペ
ーストは、厚さが中央部部で小さく周辺端部で大
きいため、半導体ペレツトマウント時に半導体ペ
レツト下全域に導電ペーストを等厚にすることが
容易となり、信頼性の良い半導体ペレツトマウン
トを可能にする。また従来のシリンジに筒状体を
取付けするだけで実施できるので、設備投資的に
有利で実施の容易なものが提供できる。
Effects of the invention According to the invention, the total amount of conductive paste supplied onto the pellet mount varies depending on the amount of conductive paste discharged from the syringe at one time, so it is highly adaptable to changes in the size of semiconductor pellets. Particularly, it is possible to provide a highly effective conductive paste supply device used when mounting a plurality of semiconductor pellets of different sizes on a hybrid IC substrate.
In addition, the thickness of the conductive paste supplied to the top of the pellet mount is smaller at the center and larger at the peripheral edges, so it is easy to apply the conductive paste to the same thickness all over the bottom of the semiconductor pellet when mounting the semiconductor pellet. This enables highly reliable semiconductor pellet mounting. Furthermore, since the method can be implemented simply by attaching the cylindrical body to a conventional syringe, it is possible to provide an equipment that is advantageous in terms of equipment investment and easy to implement.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図及び第2図は本考案の一実施例を示す要
部側断面図及びA−A線に沿う断面図、第3図は
第2図のB−B線に沿う断面図、第4図は第1図
装置の筒状体部分拡大斜視図、第5図は第1図装
置の動作時の部分拡大断面図、第6図及び第7図
は第5図の状態で定量供給された導電ペーストの
平面図及びC−C線に沿う断面図、第8図は第6
図の導電ペーストへの半導体ペレツトマウント時
の平面図である。第9図は従来の導電ペースト供
給装置の要部側断面図、第10図及び第11図は
第9図装置で供給された導電ペーストへの半導体
ペレツトマウントを説明するための側断面図及び
半導体ペレツト平面図である。 1……シリンジ、1′……ノズル、2,2′,
2″……導電ペースト、4……ペースト吐出口、
8……筒状体、9……下端面、10……ペースト
ガイド溝。
1 and 2 are a side sectional view of a main part and a sectional view taken along line A-A of an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a sectional view taken along line BB of FIG. 2, and FIG. The figure is a partially enlarged perspective view of the cylindrical body of the device shown in FIG. 1, FIG. 5 is a partially enlarged sectional view of the device shown in FIG. 1 during operation, and FIGS. A plan view of the conductive paste and a cross-sectional view taken along the line C-C.
FIG. 6 is a plan view of semiconductor pellets mounted on the conductive paste shown in the figure. FIG. 9 is a side sectional view of a main part of a conventional conductive paste supply device, and FIGS. FIG. 2 is a plan view of a semiconductor pellet. 1...Syringe, 1'...Nozzle, 2, 2',
2″...Conductive paste, 4...Paste discharge port,
8... Cylindrical body, 9... Lower end surface, 10... Paste guide groove.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 導電ペーストを吐出するシリンジの下端部に、
当該シリンジ下端のペースト吐出口を中心にした
下端面及びこの下端面に前記ペースト吐出口を中
心とした星形で底が傾斜して延びるペーストガイ
ド溝を有する筒状体を取付けたことを特徴とする
導電ペースト供給装置。
At the bottom end of the syringe that dispenses the conductive paste,
The syringe is characterized in that a cylindrical body having a lower end surface centered on the paste discharge port at the lower end and a paste guide groove extending with an inclined bottom in a star shape centered on the paste discharge port is attached to the lower end surface. conductive paste supply device.
JP9637484U 1984-06-26 1984-06-26 Conductive paste supply device Granted JPS6112569U (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9637484U JPS6112569U (en) 1984-06-26 1984-06-26 Conductive paste supply device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9637484U JPS6112569U (en) 1984-06-26 1984-06-26 Conductive paste supply device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6112569U JPS6112569U (en) 1986-01-24
JPH022546Y2 true JPH022546Y2 (en) 1990-01-22

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ID=30655819

Family Applications (1)

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