JPH02254333A - ペニング真空計 - Google Patents
ペニング真空計Info
- Publication number
- JPH02254333A JPH02254333A JP7763289A JP7763289A JPH02254333A JP H02254333 A JPH02254333 A JP H02254333A JP 7763289 A JP7763289 A JP 7763289A JP 7763289 A JP7763289 A JP 7763289A JP H02254333 A JPH02254333 A JP H02254333A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- resistor
- ammeter
- switch
- discharge resistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract description 11
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 abstract description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000003116 impacting effect Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はペニング真空計に関するものである。
第２図は例えば日本真空技術（株）ペニング真空計取扱
説明書（８４０８１０００Ｍ ）に示されたペニング真
空針の放電電流供給回路である０図において、（Ｌ）は
直流電源、（２）は放電電流を指示する電流計、（３）
は放電抵抗、（４）は放電部周囲に設置されたマグネッ
ト、（５）は放電陰極、（６）は放電陽極である。
説明書（８４０８１０００Ｍ ）に示されたペニング真
空針の放電電流供給回路である０図において、（Ｌ）は
直流電源、（２）は放電電流を指示する電流計、（３）
は放電抵抗、（４）は放電部周囲に設置されたマグネッ
ト、（５）は放電陰極、（６）は放電陽極である。
次に動作について説明する。直流電源（１１により供給
される直流電圧は放電安定化のために設けられた放電抵
抗（３）を通じて放電陽極（６）と放電陰極（５）の間
に印加される。
される直流電圧は放電安定化のために設けられた放電抵
抗（３）を通じて放電陽極（６）と放電陰極（５）の間
に印加される。
そうすると、放電陰極（５）より電子が放射され、この
電子はマグネット（４）により生じた磁界中で旋回運動
を行い真空中のガス分子に電子衝撃を与え、イオン化す
る。
電子はマグネット（４）により生じた磁界中で旋回運動
を行い真空中のガス分子に電子衝撃を与え、イオン化す
る。
このようにして、生じた放電電流は真空圧力と良い相関
を有しているので、電流計（２）の放電電流指示値によ
って真空圧力を把握することができる。
を有しているので、電流計（２）の放電電流指示値によ
って真空圧力を把握することができる。
従来のペニング真空計は以上のように構成されていたの
で、真空圧力が高い状態又は真空中のガスの汚染がある
場合には放電部表面の汚れを生じ、放電状態が不安定と
なり、指示値の変動、指示値の偏差を生じ、精度の低い
ものとなる等の問題点があった。このような場合、真空
状態から大気開放し電極部の清掃等の保守を必要とし、
多くの手間を要していた。
で、真空圧力が高い状態又は真空中のガスの汚染がある
場合には放電部表面の汚れを生じ、放電状態が不安定と
なり、指示値の変動、指示値の偏差を生じ、精度の低い
ものとなる等の問題点があった。このような場合、真空
状態から大気開放し電極部の清掃等の保守を必要とし、
多くの手間を要していた。
この発明は上記のような課題を解決するためになされた
もので、精度の高いペニング真空計を得ることを目的と
される。
もので、精度の高いペニング真空計を得ることを目的と
される。
この発明に係るペニング真空計は放電抵抗と並列に低放
電抵抗を配設し、放電抵抗と低放電抵抗とを切り換える
切換手段を設けたものである。
電抵抗を配設し、放電抵抗と低放電抵抗とを切り換える
切換手段を設けたものである。
この発明におけるペニング真空計は、切換手段により低
放電抵抗に切り換え、その低放電抵抗を通して電圧を印
加することにより、大電流放電を生じ、放電陽極と放電
陰極部にスパッタリングによる清浄化作用を生じる。
放電抵抗に切り換え、その低放電抵抗を通して電圧を印
加することにより、大電流放電を生じ、放電陽極と放電
陰極部にスパッタリングによる清浄化作用を生じる。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図において、（１）は直流電源、（２）は電流計、（３
）は放電抵抗、（４）はマグネット、（５）は放電陰極
、（６）は放電陽極、（７）は放電抵抗（３）と並列に
配設された低放電抵抗、（８）は放電抵抗（３）と低放
電抵抗（７）とを切り換える切換スイッチ、（９）は電
流計（２）にノマイパスして設けたスイッチである。
図において、（１）は直流電源、（２）は電流計、（３
）は放電抵抗、（４）はマグネット、（５）は放電陰極
、（６）は放電陽極、（７）は放電抵抗（３）と並列に
配設された低放電抵抗、（８）は放電抵抗（３）と低放
電抵抗（７）とを切り換える切換スイッチ、（９）は電
流計（２）にノマイパスして設けたスイッチである。
次に動作について説明する。電極部に汚染を生した場合
には次の手順により放電洗浄を行う。先ず、真空部に清
浄に効果的なＡｒガス等の清浄なガスを導入し、グロー
放電が可能なＱ、 ｌ Ｔｏｒｒ程度の圧力を維持する
。次いで、低放電抵抗（７）側に切換スイッチ（８）を
切り換え、低放電抵抗（７）を通して大電流直流グロー
放電を生じさせる。この切換スイッチ（８）は電流計（
２）の切り換えも行い、大電流通電時にはスイッチ（９
）を投入し、電流計（２）をノーイノぐスさせ、電流計
（２）の保護を図る。また、直流グロー放電により、生
成したガスイオンは放電陰極（５）表面をスパッタリン
グし、清浄化作用を生しる。
には次の手順により放電洗浄を行う。先ず、真空部に清
浄に効果的なＡｒガス等の清浄なガスを導入し、グロー
放電が可能なＱ、 ｌ Ｔｏｒｒ程度の圧力を維持する
。次いで、低放電抵抗（７）側に切換スイッチ（８）を
切り換え、低放電抵抗（７）を通して大電流直流グロー
放電を生じさせる。この切換スイッチ（８）は電流計（
２）の切り換えも行い、大電流通電時にはスイッチ（９
）を投入し、電流計（２）をノーイノぐスさせ、電流計
（２）の保護を図る。また、直流グロー放電により、生
成したガスイオンは放電陰極（５）表面をスパッタリン
グし、清浄化作用を生しる。
以上のように放電部表面の汚れを清浄化できるので、放
電状態が安定となり、指示値の変動あるいは偏差がなく
なり、精度が高いものとなる。また、放電洗浄により自
己清浄化ができるので、運転中の保守が簡易となる。
電状態が安定となり、指示値の変動あるいは偏差がなく
なり、精度が高いものとなる。また、放電洗浄により自
己清浄化ができるので、運転中の保守が簡易となる。
以上のように、この発明によれば、低放電抵抗側に切換
手段を切り換えて放電させることにより放電洗浄を可能
とするように構成したので、精度の高いペニング真空計
が得られる効果がある。
手段を切り換えて放電させることにより放電洗浄を可能
とするように構成したので、精度の高いペニング真空計
が得られる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例によるペニング真空針を示
す回路図、第２図は従来のペニング真空計を示す回路図
である。 図において、（２）は′ｇｌ流計、（３）は放電抵抗、
（５）は放電陰極、（６）は放１陽極、（７）は低放電
抵抗、（８）は切換手段である。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代理人 大 岩 増 雄 第１図 第２図 ノ
す回路図、第２図は従来のペニング真空計を示す回路図
である。 図において、（２）は′ｇｌ流計、（３）は放電抵抗、
（５）は放電陰極、（６）は放１陽極、（７）は低放電
抵抗、（８）は切換手段である。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代理人 大 岩 増 雄 第１図 第２図 ノ
Claims (1)
- 放電抵抗を通じて放電陽極と放電陰極の間に電圧を印加
し、そのときの放電電流指示値を電流計により検出し、
その検出値により真空圧力を把握するペニング真空計に
おいて、上記放電抵抗と並列に配設された低放電抵抗と
、上記放電抵抗と上記低放電抵抗とを切り換える切換手
段とを備えたことを特徴とするペニング真空計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7763289A JPH02254333A (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 | ペニング真空計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7763289A JPH02254333A (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 | ペニング真空計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02254333A true JPH02254333A (ja) | 1990-10-15 |
Family
ID=13639277
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7763289A Pending JPH02254333A (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 | ペニング真空計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02254333A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008506936A (ja) * | 2004-07-16 | 2008-03-06 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | ガスセンサ及びゲッタポンプの運転法 |
-
1989
- 1989-03-28 JP JP7763289A patent/JPH02254333A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008506936A (ja) * | 2004-07-16 | 2008-03-06 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | ガスセンサ及びゲッタポンプの運転法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SE0102134D0 (sv) | Method and apparatus for plasma generation | |
| JPH02254333A (ja) | ペニング真空計 | |
| US7173430B2 (en) | Cold-cathode ionization manometer having a longer service life due to two separate cathodes | |
| JP2007186724A (ja) | スパッタリング方法及びスパッタリング装置 | |
| US6402904B1 (en) | System and method for performing sputter deposition using independent ion and electron sources and a target biased with an a-symmetric bi-polar DC pulse signal | |
| US3872377A (en) | Cold cathode ionization gauge | |
| JP2628528B2 (ja) | 粉塵濃度検出装置及びそれを備えた空気清浄機 | |
| JP3895919B2 (ja) | クリーニング装置 | |
| Ziyu et al. | Study on internal pressure measurement of vacuum interrupter | |
| JP3677410B2 (ja) | 液体クロマトグラフ質量分析装置 | |
| JPH1019711A (ja) | 冷陰極電離真空計 | |
| Bramble et al. | Laser-induced fluorescence excitation spectrum and radiative lifetime of Cl2+ | |
| US4825037A (en) | Apparatus for contactless determination of a deviation from the desired interval by a pulsed spark discharge | |
| JPH0554061B2 (ja) | ||
| JPH03154836A (ja) | ペニング真空計 | |
| JP3924833B2 (ja) | 真空アーク蒸着装置 | |
| JPH04184898A (ja) | トリプル・プローブ・プラズマ測定装置 | |
| JPH0785830A (ja) | 電界放射型電子銃を用いた電子線装置 | |
| JP3206194B2 (ja) | 放電洗浄装置 | |
| JPS63248048A (ja) | 液体クロマトグラフ―大気圧質量分析計 | |
| JPH05335869A (ja) | 高周波装置 | |
| Mrochek | Distribution of the Ionic Component in a Flow of Titanium Plasma Generated by an Electric-Arc Vaporizer | |
| Wiemer et al. | Effect of ion collisions on Langmuir probe measurements in Ti-N deposition by unbalanced magnetron sputtering | |
| SU887919A1 (ru) | Способ определени степени оплавлени электродов дугового разр да | |
| JPH0570949A (ja) | アークイオンプレーテイング装置における蒸発量検出装置 |