JPH0224940A - 回転対陰極形ｘ線発生装置 - Google Patents
回転対陰極形ｘ線発生装置Info
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- JPH0224940A JPH0224940A JP17575788A JP17575788A JPH0224940A JP H0224940 A JPH0224940 A JP H0224940A JP 17575788 A JP17575788 A JP 17575788A JP 17575788 A JP17575788 A JP 17575788A JP H0224940 A JPH0224940 A JP H0224940A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、回転するターゲットに熱電子を当ててＸ線を
発生させる回転対陰極形Ｘ８！発生装置に関する。
発生させる回転対陰極形Ｘ８！発生装置に関する。
第２図はＸ線分析装置の構成概要を示す図、第３図は対
陰極形Ｘ線発生装置の例を示す図である。
陰極形Ｘ線発生装置の例を示す図である。
図中、１１はＸ線発生装置、１２は試ネ４．１３はＸ線
検出装置、２１は真空管、２２と２７はフィラメント、
２３と２８はターゲット、２４と３０はウィンドウ、２
５はケーブル、２６は真空容器、２９はモータを示す。
検出装置、２１は真空管、２２と２７はフィラメント、
２３と２８はターゲット、２４と３０はウィンドウ、２
５はケーブル、２６は真空容器、２９はモータを示す。
Ｘ線分析装置は、第２図に示すようにＸ線発生装置１１
で発生した特性Ｘ線等で試料１２を照射することによっ
て、試料１２から放出される蛍光ＸＬＡ（特性Ｘ線）を
Ｘ線検出装置１３で検出し試料分析を行うものである。
で発生した特性Ｘ線等で試料１２を照射することによっ
て、試料１２から放出される蛍光ＸＬＡ（特性Ｘ線）を
Ｘ線検出装置１３で検出し試料分析を行うものである。
この装置において、蛍光Ｘ線を励起させるＸ線には、通
常、高電圧で加速した熱電子をターゲット（対電極）と
呼ばれる金属（例えば高純度のタングステン、銀、モリ
ブデン、銅、鉄、クロム等）に当てて得られる連続Ｘ線
と特性Ｘ線が用いられ、そのＸ線を発生する対陰極形Ｘ
線発生装置の例を示したのが第３図である。
常、高電圧で加速した熱電子をターゲット（対電極）と
呼ばれる金属（例えば高純度のタングステン、銀、モリ
ブデン、銅、鉄、クロム等）に当てて得られる連続Ｘ線
と特性Ｘ線が用いられ、そのＸ線を発生する対陰極形Ｘ
線発生装置の例を示したのが第３図である。
対陰極形Ｘ線発生装置は、第３図（ａ）に示す管球タイ
プのものと同図ら）に示す開放タイプのものがある。管
球タイプは、第３図（ａ）に示すように真空管２１の中
にフィラメント２２及びターゲット２３を封入した構造
により、フィラメント２２で発生した熱電子をターゲッ
トに当ててＸｙＡを発生させ、そのＸ線をウィンドウ２
４から取り出すものである。これに対して、第３図［有
］）に示す開放タイプの例は、真空引きした真空容器２
６の中で回転するターゲット２８にフィラメント２７で
発生した熱電子を当ててＸ線を発生させ、そのＸ線をウ
ィンドウ３０から取り出すものである。従って、ウィン
ドウ、２４．３０には、真空状態を維持するために例え
ばベリリウム等が使われる。
プのものと同図ら）に示す開放タイプのものがある。管
球タイプは、第３図（ａ）に示すように真空管２１の中
にフィラメント２２及びターゲット２３を封入した構造
により、フィラメント２２で発生した熱電子をターゲッ
トに当ててＸｙＡを発生させ、そのＸ線をウィンドウ２
４から取り出すものである。これに対して、第３図［有
］）に示す開放タイプの例は、真空引きした真空容器２
６の中で回転するターゲット２８にフィラメント２７で
発生した熱電子を当ててＸ線を発生させ、そのＸ線をウ
ィンドウ３０から取り出すものである。従って、ウィン
ドウ、２４．３０には、真空状態を維持するために例え
ばベリリウム等が使われる。
ところで、上記の回転対陰極形Ｘ線発生装置においては
、例えば１２ｋＷの場合には、２５００ｒｐｍというよ
うに最高出力時を想定し、それに見合った耐負荷特性か
らターゲットの回転数を定めている。そして、最高出力
時以外でも特に回転数を変化させることはなく一定の回
転数を維持するようにターゲットの回転を制御している
。
、例えば１２ｋＷの場合には、２５００ｒｐｍというよ
うに最高出力時を想定し、それに見合った耐負荷特性か
らターゲットの回転数を定めている。そして、最高出力
時以外でも特に回転数を変化させることはなく一定の回
転数を維持するようにターゲットの回転を制御している
。
しかしながら、上記の如く最高出力時以外でも常に最高
出力時に見合った回転数でターゲットを回転させる従来
の回転対陰極形Ｘ線発生装置では、ターゲット回転部に
おける真空シールの耐久性やオイルシールの耐久性、ベ
アリング等軸受部の耐久性が、走行距離や回転速度に大
きく依存するために問題となる。
出力時に見合った回転数でターゲットを回転させる従来
の回転対陰極形Ｘ線発生装置では、ターゲット回転部に
おける真空シールの耐久性やオイルシールの耐久性、ベ
アリング等軸受部の耐久性が、走行距離や回転速度に大
きく依存するために問題となる。
つまり、通常の使用状態では、最高出力下で運転するこ
とはまれであるにもかかわらず、常に最高出力状態での
運転環境にあるため、寿命が短くなる。従って、通常の
使用状態で考えると過大な耐久性を要求することになり
、コストアップになる。
とはまれであるにもかかわらず、常に最高出力状態での
運転環境にあるため、寿命が短くなる。従って、通常の
使用状態で考えると過大な耐久性を要求することになり
、コストアップになる。
本発明は、上記の課題を解決するものであって、耐久性
の向上を図ることができる回転対陰極形Ｘ線発生装置を
提供することを目的とする。
の向上を図ることができる回転対陰極形Ｘ線発生装置を
提供することを目的とする。
そのために本発明は、回転するターゲットに熱電子を当
ててＸ線を発生させる回転対陰極形ｘｙＡ発生装置にお
いて、負荷値に対応してターゲット回転数を制御する手
段を備えたことを特徴とするものである。
ててＸ線を発生させる回転対陰極形ｘｙＡ発生装置にお
いて、負荷値に対応してターゲット回転数を制御する手
段を備えたことを特徴とするものである。
本発明の回転対陰極形Ｘ線発生装置では、オペレークが
電圧、電流を設定すると、これらによって決まる負荷値
からターゲット回転数が設定制御ｎされるので、最高出
力下に対応するターゲット回転数で運転することが少な
くなり、耐久性を向上させることができる。
電圧、電流を設定すると、これらによって決まる負荷値
からターゲット回転数が設定制御ｎされるので、最高出
力下に対応するターゲット回転数で運転することが少な
くなり、耐久性を向上させることができる。
以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。
第１図は本発明に係る回転対陰極形Ｘ線発生装置の１実
施例を示す図であり、■は電圧設定部、２は電流設定部
、３は負ｔｊリミット設定部、４は電圧制ｉｕ部、５は
電流制御部、６は高圧発止部、７は回転対陰極駆動部、
８は回転制御部、９は回転監視部、１０は負荷検出部を
示す。
施例を示す図であり、■は電圧設定部、２は電流設定部
、３は負ｔｊリミット設定部、４は電圧制ｉｕ部、５は
電流制御部、６は高圧発止部、７は回転対陰極駆動部、
８は回転制御部、９は回転監視部、１０は負荷検出部を
示す。
第１図において、電圧設定部１は電圧Ｖを設定し、電圧
制御部４はその設定値に電圧を制御するものであり、Ｔ
ｌ電流設定部は１！流■を設定し、電流制御ｎ部５はそ
の設定値に応じたエミッション電流になるようにフィラ
メント電流を制御するものである。高圧発生部６は、高
電圧を発生する昇圧回路とフィラメント電流供給回路か
らなり、回転対陰極駆動部７はターゲット回転ａ構部及
び電子銃部からなる。負荷リミント設定部３は、負荷の
リミット値Ｐ、を設定するものであり、負荷検出部１０
は、電圧、電流の設定値の禎Ｐｌ＝ＶＩを計算し、例え
ばＰ＋ と回転数との対応テーブルを参照するこ、とに
より回転制御部８及び回転監視部９にそれぞれＰ＋値に
応じた制御信号を出力すると共に、Ｐ＋（Ｊと設定され
た負荷リミット値Ｐｔとを比較してその大小を判定し、
ＰＩ ＞ｐＬの場合にアラーム信号を出力するものであ
る。回転制漣部８は、設定電圧、電流（負荷）に応じた
ターゲットの回転制御を行うものであり、回転監視部９
は、ターゲットの回転数を検出し、設定値と比較し異常
であればアラーム信号を出力するものである。
制御部４はその設定値に電圧を制御するものであり、Ｔ
ｌ電流設定部は１！流■を設定し、電流制御ｎ部５はそ
の設定値に応じたエミッション電流になるようにフィラ
メント電流を制御するものである。高圧発生部６は、高
電圧を発生する昇圧回路とフィラメント電流供給回路か
らなり、回転対陰極駆動部７はターゲット回転ａ構部及
び電子銃部からなる。負荷リミント設定部３は、負荷の
リミット値Ｐ、を設定するものであり、負荷検出部１０
は、電圧、電流の設定値の禎Ｐｌ＝ＶＩを計算し、例え
ばＰ＋ と回転数との対応テーブルを参照するこ、とに
より回転制御部８及び回転監視部９にそれぞれＰ＋値に
応じた制御信号を出力すると共に、Ｐ＋（Ｊと設定され
た負荷リミット値Ｐｔとを比較してその大小を判定し、
ＰＩ ＞ｐＬの場合にアラーム信号を出力するものであ
る。回転制漣部８は、設定電圧、電流（負荷）に応じた
ターゲットの回転制御を行うものであり、回転監視部９
は、ターゲットの回転数を検出し、設定値と比較し異常
であればアラーム信号を出力するものである。
ターゲット回転数御では、先に述べたように設定された
電圧、電流からターゲット負荷量を算定し、耐負荷特性
に応じた回転制御を行う、従って、使用者は使用するタ
ーゲットの種類に応じて負荷リミット値ＰＬを設定して
おけば、後は使用する電圧、電流を設定すると、その設
定に見合った負荷量に十分な回転数でターゲットが回転
制御される。
電圧、電流からターゲット負荷量を算定し、耐負荷特性
に応じた回転制御を行う、従って、使用者は使用するタ
ーゲットの種類に応じて負荷リミット値ＰＬを設定して
おけば、後は使用する電圧、電流を設定すると、その設
定に見合った負荷量に十分な回転数でターゲットが回転
制御される。
なお、本発明は、上記の実施例に限定されるものではな
く、種々の変形が可能である０例えば上記の実施例では
、ターゲットの回転制御信号をテーブルから導くように
したが、電圧、電流の設定値から換算式により導くよう
にしてもよい。
く、種々の変形が可能である０例えば上記の実施例では
、ターゲットの回転制御信号をテーブルから導くように
したが、電圧、電流の設定値から換算式により導くよう
にしてもよい。
〔発明の効果］
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、使用
する電圧、電流値から自ｏＪ的にターゲット回転数を設
定し、電圧、１！流の設定に見合った回転数でターゲッ
トの回転を制御するので、低負荷出力ではそれに見合っ
た低い回転数で運転され、その分耐久性が大きく向上す
る。
する電圧、電流値から自ｏＪ的にターゲット回転数を設
定し、電圧、１！流の設定に見合った回転数でターゲッ
トの回転を制御するので、低負荷出力ではそれに見合っ
た低い回転数で運転され、その分耐久性が大きく向上す
る。
第１図は本発明に係る回転対陰極形Ｘ線発生装置の１実
施例を示す図、第２図はＸ線分析装置の構成概要を示す
図、第３図は対陰極形Ｘ線発生装置の例を示す図である
。 １・・・電圧設定部、２・・・電流設定部、３・・・負
荷リミット設定部、４・・・電圧制御部、５・・・電流
制御部、６・・・高圧発生部、７・・・回転対１ｉ極駆
動部、計・・回転制御部、９・・・回転監視部、１０・
・・負荷検出部。 出 願 人 日本エックス線株式会社代理人 弁理士
阿 部 ０１ 吉（外４名）第２図
施例を示す図、第２図はＸ線分析装置の構成概要を示す
図、第３図は対陰極形Ｘ線発生装置の例を示す図である
。 １・・・電圧設定部、２・・・電流設定部、３・・・負
荷リミット設定部、４・・・電圧制御部、５・・・電流
制御部、６・・・高圧発生部、７・・・回転対１ｉ極駆
動部、計・・回転制御部、９・・・回転監視部、１０・
・・負荷検出部。 出 願 人 日本エックス線株式会社代理人 弁理士
阿 部 ０１ 吉（外４名）第２図
Claims (1)
- （１）回転するターゲットに熱電子を当ててＸ線を発生
させる回転対陰極形Ｘ線発生装置において、負荷値に対
応してターゲット回転数を制御する手段を備えたことを
特徴とする回転対陰極形Ｘ線発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63175757A JPH0812770B2 (ja) | 1988-07-14 | 1988-07-14 | 回転対陰極形ｘ線発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63175757A JPH0812770B2 (ja) | 1988-07-14 | 1988-07-14 | 回転対陰極形ｘ線発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0224940A true JPH0224940A (ja) | 1990-01-26 |
| JPH0812770B2 JPH0812770B2 (ja) | 1996-02-07 |
Family
ID=16001722
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63175757A Expired - Lifetime JPH0812770B2 (ja) | 1988-07-14 | 1988-07-14 | 回転対陰極形ｘ線発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0812770B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117059460A (zh) * | 2023-10-12 | 2023-11-14 | 苏州益腾电子科技有限公司 | 一种x射线球管的阳极靶盘保护装置及方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4860887A (ja) * | 1971-11-23 | 1973-08-25 | ||
| JPS5823199A (ja) * | 1981-07-30 | 1983-02-10 | Shimadzu Corp | 回転陽極ｘ線管の駆動装置 |
-
1988
- 1988-07-14 JP JP63175757A patent/JPH0812770B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4860887A (ja) * | 1971-11-23 | 1973-08-25 | ||
| JPS5823199A (ja) * | 1981-07-30 | 1983-02-10 | Shimadzu Corp | 回転陽極ｘ線管の駆動装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117059460A (zh) * | 2023-10-12 | 2023-11-14 | 苏州益腾电子科技有限公司 | 一种x射线球管的阳极靶盘保护装置及方法 |
| CN117059460B (zh) * | 2023-10-12 | 2023-12-12 | 苏州益腾电子科技有限公司 | 一种x射线球管的阳极靶盘保护装置及方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0812770B2 (ja) | 1996-02-07 |
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