JPH02247555A - パルスカウント式イオン測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はパルスカウント方式のイオン測定方法に係り、
特にイオン検出器の経年変化による劣化の際にもノイズ
との分離を確保するイオン測定方法に関するもので１例
えば質量分析計等において有利に利用できるものである
。

［従来の技術］ 真空装置内の残留ガス分析や蒸着装置の蒸発ビーム計測
などには、四重極質量分析計が広く使用されている。こ
れらの四重極質量分析計におけるイオン検出器としては
、二次電子増倍管やファラデーカップ、チャンネル電子
増倍管が使用されている。ちなみに、四重極質量分析計
については、例えば、ジャーナル、オブ、バキュウム、
サイエンス、アンド、チクノロシイ、Ａ４　（３）　　
（１９８６年）第１７１５頁から第１７１９頁（Ｊ　、
　Ｖａｃ、　Ｓｃｉ。

Ｔｅｃｈｎｏｌ、　Ａ　４　（３）　　（１９８６）Ｐ
Ｐ１７１５−１７１９）において論じられている。

従来は、イオン量の検出はイオン検出器に入射したイオ
ン量に対応したイオン電流値を測定する方式が多かった
。

これ、に対し、極微量原子の分析や極微小分圧の測定の
ために、チャンネル電子増倍管や二次電子増倍管等のイ
オン検出器からの出力を電流値として測定せずに、イオ
ン検出器に入射したイオンを一個一個、計数する所謂パ
ルスカウント方式のイオン検出法が開発されている。パ
ルスカウント方式では、イオン検出器の各出力パルスは
、イオン検出器への入射イオンの一個一個について多数
の二次電子の集まりで作られる。パルスカウント方式で
はイオンの数を計数するので極微量なガス分子も検出さ
れることは容易に想像される。パルスカウント式質量分
析計の使用例としては、例えば、ジャーナル、オブ、バ
キュウム、サイエンス、アンド、チクノロシイ、Ａ５　
（４）　　（１９８７年）第４９６頁から第５００頁（
Ｊ　、Ｖａｃ、Ｓｃｉ、Ｔｅｃｈｎｏｌ、Ａ　５（４）
　　（１９８７）ＰＰ４９６−５００）において論じら
れている。パルスカウント部は、二次電子増倍管の出力
を増幅してパルス波形の整形を行い、ノイズと分離する
ために所定レベル以上のパルスのみを計数するようにな
っている。パルスカラン１一方式では、入射イオンの数
を計数するようになっているため、イオン入射によって
発生した二次電子による電流値を測定する前述の方式に
比較して、二次電子増倍管の増幅率の変化の影響を受け
にくいと云える。

［発明が解決しようとする課題］ パルスカウント方式のイオン検出においては、入射イオ
ンを全て計数できることが望ましいが、実際には、イオ
ン検出器からの出力パルスはそのレベルがある分布（波
高分布と称する）を示し、しかも通常はノイズ信号も伴
なっているため、従来、ノイズ信号を計数しないような
レベルを境にして、それ以上の出力レベルのパルス信号
のみを計数するシステムとなっている。この場合、ノイ
ズ信号の出力レベルが小さく、シかも、入射イオンに対
応するパルス信号の出力が十分大きければ、入射イオン
の個数を全て計数することが可能である。

ところが、二次電子増倍管やチャンネル電子増倍管等の
イオン検出器はその信号出力レベルを長期にわたって一
定に保つこと、すなわち、そのゲイン（入射イオン１個
に対して出力される２次電子の数、従って出力パルスの
レベル）一定に保つことが難しく、時間の経過につれて
通常はそのゲインが低下する。ついには入射イオンによ
って生ずる出力パルス信号のレベルがノイズ信号と同レ
ベルまで低下してしまうこともある。このような状態で
は、ミスカウントや計数漏れが生じ、入射イオン数を正
確に計数することができないという問題が従来技術では
避けられなかった。したがって、かかるイオン検出器を
用いたパルスカウント式の質量分析計を定量分析に使用
する場合は、組成が既知のガス等による校正作業が従来
は必要であった。

本発明の目的は、イオン検出器の経年劣化の影響を排除
して入射イオン数を十分な精度で検出できるようにイオ
ン検出器を調節し、以てイオンａｌｌ定僅の定量性を良
好に維持することにある。

［課題を解決するための手段］ 上記の目的は、特許請求の範囲の夫々の請求項記載の楕
成によって達成される。

［作　　　用コ パルスカウント方式のイオン検出に用いる二次電子増倍
管やチャンネル電子増倍管などのイオン検出器は、数Ｋ
Ｖの電圧を印加して使用されるが、この印加電圧により
イオン検出器のゲイン（入射イオン１個に対して出力さ
れる二次電子の数）は１０’から１０”程度に変化する
。また、成る印加電圧のときのゲイン、従って入射イオ
ン１個に対する出力パルスの波高は同一値を示すわけで
はなく。

ある領域にピークを持ったガウス分布のような波高分布
を示す、印加電圧を高くすると、波高分布のピーク位置
は高レベル側にシフトし９分布形状は若干ブロードにな
る傾向にある。また、イオン検出器が経年変化で劣化し
て、ゲインが低下するというのは、波高分布のピーク位
置が低レベル側にシフトするということに対応する。

イオン検出器から来るパルスには、上記パルスの他に、
ノイ〆の分も含まれているが、上記パルスに比べて一般
にはノイズの波高は低いので、ノイズをカットするよう
な閾値に設定したディスクリミネータを介することによ
り、ノイズはカウントされないようになっている。しか
し、イオン検出器が経年変化で劣化してそのゲインが低
下すると、入射イオンに対する出力パルスの波高分布が
低レベル側にシフトしてノイズの波高分布範囲に部分的
に重なり、正確にノイズを分離した測定ができなくなる
事態が起こり得る。

本発明では、イオン検出器が経年変化で劣化した場合で
も、イオン検出器からの出力信号パルスの波高分布範囲
を、イオン検出器の印加電圧を調節することにより、ノ
イズ波高分布よりも高レベル側にあらしめるようにコン
トロールし、以てノイズと区別して真の出力信号パルス
の計数を実行できるので、ミスカウントや計数漏れが少
なくなり、イオン定量測定の向上が可能となる。

［実　施　例コ 本発明の一実施例を第一図により説明する。この実施例
は１本発明を四重極質量分析計に適用した例である。イ
オンソース部１で真空中の残留ガス等の中性粒子はイオ
ン化され、イオンとなって四重極電極２へと導かれる。

四重極電極２に適当な電場を印加すると、公知のように
、四重極電極２の間を通過できるイオンは特定の質ｆｆ
ｉ／ｍ荷此のもののみとなり、所謂質量分析が実行され
る。四型棒電極２を通過した特定のイオンは、イオン検
出器３（第１図ではチャンネル電子増倍管とした）に入
射する。イオン検出器３からは、１つの入射イオン毎に
時間＠２０ナノ秒程度の間に１０’　−１０Ｂ個程度の
二次電子がコレクタ３′に入り、電荷パルスとしてプリ
アンプ４に入力される。プリアンプ４は微弱な電荷パル
スを確実にメインアンプ５に伝送し、メインアンプ５で
適当なレベルまで増幅し、ディスクリミネータ６で、カ
ウンタ７が確実に信号を計数できるように、矩形パルス
とされ、カウンタ７に伝えられる。

メインアンプ５からディスクリミネータ６へ伝送される
信号シこは、入射イオンに対応するパルス信号とそれと
は無関係のノイズとが含まれている。

一般には、上記パルス信号のレベルはノイズのそれより
高いので、ディスクリミネータ６においては、成るレベ
ルの閾値ｖｔｈを設定し、ディスクリミネータ６に入力
される全信号のうち、ｖｔｈ以上のレベルの信号のみを
入射イオンに対応する真の信号とみなし、これを矩形パ
ルスとしてカウンタ７へ伝送する。したがって、ｖｔｈ
以下のレベルにあるノイズはディスクリミネータ６で除
外することができる。

真の信号とノイズとを正しく分離するには、真の信号の
波高分布のレベル範囲はｖｔｈよりも上にあり、ノイズ
のそれはｖｔｈよりも下にある様にしなければならない
。しかし、前述のように、イオン検出器３のゲインが時
間の経過につれて低下する傾向があるため、イオン検出
器３の出力パルスの波高分布の範囲が時間の経過につれ
て低レベルの方ヘシフトし、ノイズの波高分布のレベル
範囲と部分的に重なって両者の分離が正しくできなくな
る事態を招き易い。よって１本実施例では、メインアン
プ５からの信号の波高分布を波高分析器８でモニタし、
その結果に応じてイオン検出器３への印加電圧を調節す
ることにより、上記事態の発生を防止するのである。こ
れを下記に説明する。

波高分布の一例を第２図に示す。パルス波高値の小さい
領域にノイズが分布し、真の信号は■ρを中心にガウス
分布状の波高分布を示す。なお、この波高分布は、パル
スカウント用のチャンネル電子増倍管の出力の典型的な
分布である。第２図に示した波高分布においてｖｔｈを
第２図上に示したレベルに設定すれば、ノイズと真の信
号は完全に分離され、真の信用すなわち入射イオンの個
数が正確に計数される。すなわちｖｔｈの設定は、第２
図のＡ点（ノイズのパルス波高分布のレベル範囲の上限
）からＢ点（真の信号のパルス波高分布レベル範囲の下
限）の間のパルス波高値に対応する値にすれば、真の信
号をノイズと区別して正確に計数できる。

しかるに、前述の如く、チャンネル電子増倍管や他のイ
オン検出器の特徴として、経年変化によるゲインの低下
が挙げられる。例えば、経年変化によってチャンネル電
子増倍管が劣化してそのゲインが低下すると、第３図に
示したように、真の信号の波高分布はＣからＤへと低レ
ベル側にシフトしてしまう。Ｄのような状態では、真の
信号とノイズが重なってしまうため、適当なりｔｈを設
定できず、入射イオン数に対応した計数結果を得ること
ができない。

そこで、本実施例では、第３図のＤのような状態になっ
ていないかどうかを検知するために、メインアンプ５の
出力を波高分析Ｆｌｉ８でモニタし、その結果をイオン
検出器３のためのゲイン調節器９にて解析し、イオン検
出器３からの真の信号パルの波高分布が第３図Ｃの状態
になるように、イオン検出器３へ高１［圧電源１０から
供給される印加電圧を調節する。イオン検出器は、その
印加電圧が高いほどゲインが高くなり、入射イオンによ
って生ずる出力パルスの波高分布範囲が高レベルの方へ
シフトする性質がある。それ故、上述のように印加電圧
を調節することにより、常に第２図に示した様に波高分
布を維持することができ、ノイズを除いた正確な測定が
可能となる。

ゲイン調節器９は１例えばパーソナルコンピュータとし
、波高分析器８で得られる波高分布の状態を詳細に解析
して上記の波高分布を維持すると共に、第２図のＡ点と
Ｂ点の間にｖｔｈが入るようにｖｔｈの調節機能を持つ
ことが有効である。

なお、ノイズの波高分布は一般にあまり大きくは変化し
ないので、上記実施例において、ｖｔｈを第２図に示す
位置に予め設定しておき、真の信号の波高分布ピークの
波高値Ｖｐとｖｔｈの差が所定の一定値になるようにイ
オン検出器３の印加電圧、従ってそのゲイン、を調節す
る機能をゲイン調節器９に持たせても前記と同様の効果
が得られる。

第４図、第５図は本発明の他の実施例を示したものであ
る。質量分析計として四型棒質量分析計を例にとる。四
型棒質量分析計はイオン化室１と四重極電極２とイオン
検出器３（ここでは二次電子増倍管とする）とコントロ
ーラ１１を有し、ガス分子をイオン化するイオン電流の
制御や四重極電極の制御、そして四重極電極を通過した
イオンを検出するイオン検出器３（二次電子増倍管）の
制御が可能となっているものとする。イオン検出器３す
なわち二次電子増倍管からの電荷パルスを計測するカウ
ントシステムが図示°の如く付属されている。カウント
システムは、イオン検出器の出力を受けるプリアンプ４
、アンプ５．ディスクリミネータ′６、カウンタ７から
構成されている。単位時間当りのイオン検出器３への入
射イオンにより生ずる電荷パルスのパルス数と電荷パル
スの波高の関係は第５図に示すような正規分布状の波高
分布となる。パルスカウントシステムでは、ノイズを除
くためにディスクリミネータ６のパルス波高閾値ｖｔｈ
ｅ設定し得るようになっている。この閾値をｖｔｈとす
ると、ｖｔｈ以上の波高のパルスのみがカウンタ７でカ
ウントされる。

さて本実施例では、第５図に示したように、ディスクリ
ミネータ６のｖｔｈ設定値をＶ　ｉ、次にＶｉ÷１とい
うように順次少しづつ上げ、単位時間当りのパルス数を
カウントする。ＶｔｈがＶｔのときのカウントされるパ
ルス数Ｎ１は第５図中の左下がりの斜線を施した部分の
面積に相当する。また、ｖｔｈがＶ　Ｌｅｌのときのカ
ウントされるパルス数Ｎｔ＋１は右下がりの斜線を施し
た部分（図では格子状に見える）の面積に相当する。そ
こで、第５図横軸上の波高値をＶ　ｋ＝　（Ｖ　ｉ　＋
　Ｖ　ｔ　＋　ｔ　）　／　２で表わし、波高値Ｖｋの
ときの単位時間当りのパルス数ＮｋをＮｈ”Ｎｔ　　Ｎ
ｔ＋ｔで表わすこととし、順次にＶｃを変えてカウント
を統けることにより、第５図の丸印で示したグラフを描
く。この様な手順でパルスの波高分布を求めることがで
きる。

次に、カウントシステムのノイズの波高分布範囲より上
のレベルにあるように定めた閾値ｖｔｈに対し、信号の
波高分布が該ｖｔｈよりも高レベル側に位置するように
、コントローラ１１でイオン検出器の印加電圧の制御を
行なう、このようにすることで、イオン検出器に入射し
たイオンはノイズと分離されて全てカウントすることが
可能となり、定量的分析が行える。

本発明の更に他の実施例を説明する。第６図は、本実施
例の構成を示すもので、四型棒質量分析計の場合を例に
とった。四型棒質量分析計は、イオン化室１．四重極電
極２、イオン検出器３．コントローラ１１から構成され
ている。ここでは、イオン検出器３は二次電子増倍管と
する。イオン化室１でイオン化された分子のうち、四重
極電極２により選別された特定の質量電荷比を有するイ
オンのみが、二次電子増倍管３に入射する。入射イオン
により、二次電子増倍管３では二次電子が放出され、１
０″〜１０’倍程度にまで増幅される。すなおち、入射
イオン１個に対し、１０６〜１０７個の電子が二次電子
増倍管３から放出され、その電子は電荷パルスとなって
出力される。この電荷パルスは、プリアンプ４．アンプ
５を経てディスクリミネータ６により矩形波に変換され
且つ閾値Ｖｔｂ以上のレベルのもののみがカウンタ７に
て計数される。

四型棒質量分析計を長時間使用していると、二次電子増
倍管３の増幅率（ゲイン）が変化し、そこから生ずる電
荷パルスの波高分布が第７図の（３）から（２）、（１
）へと低波高値側の分布へ変化してくる。（３）、（２
）の状態では、ｖｔｈより高レベル側に電荷パルスの波
高値が分布しているので、計数されるパルス数に変化は
ない。しかし、（１）の状態まで上記増幅率が減少する
と、第７図の（１）の斜線で示した部分のパルスは計数
されず、該電荷パルスの計数値は入射イオン数より少な
いものとなる。よって、この様な不都合な計数を防ぐた
めに本実施例では次のようにする。すなわち、二次電子
増倍管３への印加電圧を次第に高くする。そうすると、
電荷パルスの波高分布は。

第２図の（１）→（２）→（３）と変化してゆく、この
場合、カウントされる単位時間当りパルス数は第８図の
如く印加電圧の増大と共に上昇し、やがて飽和する。こ
の飽和時におけるパルス計数値は入射イオン数（単位時
間当り゛）を示すことになる。

この飽和に達する（２）の状態となるまで、二次電子増
倍管３への印加電圧を増せば良い。

以上の動作を行うために、本実施例では、ディスクリミ
ネータ閾値レベルｖｔｈをノイズレベルより上に設定し
、第６図のコントローラ１２は二次電子増倍管３への印
加電圧を高電圧電ｇ１０を調節することにより少しずつ
高くシ、その時の単位時間当り計数値をカウンタ７から
読みとる。印加電圧の増加量を一定とし、印加電圧を増
加させる前の単位時間当りの計数値と増加させた後の計
数値との差ΔＮを計算し、このΔＮが計数設定器１３に
より予め設定された所定の計数値差ΔＮｏより小さけれ
ば、その時の印加電圧に固定して分析を行なえば良い、
この動作を時々縁り返すことにより、常に正しい定社的
な分析が可能となる。

本実施例においては、二次電子増倍管３の印加電圧設定
やカラン１〜されたパルス数の比較を全て自動で行って
いるが、これは手動にて可能であることは言うまでもな
い。すなわち、第６図に示す四型棒質量分析計のコント
ローラ１１の二次電子増倍管３への印加電圧調節器、あ
るいは高電圧電源９を調節しながらパルス数のカウント
を行い、第８図のグラフを描く。このグラフを見て前述
と同様に適切な印加電圧を決定すればよい。

また、上記の手法をさらに進めて自動化する下記の実施
例も可能である。第４図はその説明図でイオン化室１、
四重極電極２、イオン検出器（二次電子増倍管）３、コ
ントローラ１１を有する四正極質量分析計に、プリアン
プ４、アンプ５、ディスクリミネータ６、カウンタ７よ
り構成されたカウントシステムを備え、更に、記憶機能
を有したＣＰＵ　（又はパーソナルコンピュータ）１４
とプリンタ１５を追加する。ＣＰＵ７の指令に従い、コ
ントローラ１１で二次電子増倍管３への印加電圧を少し
ずつ変えながら単位時間当りのパルス数を計数する。Ｃ
ＰＵ１４はこの逐次の印加電圧■、と単位時間当りパル
ス数Ｎ１を記憶し、第１０図に示したようなグラフを作
成してプリンタ１５に出力し、人がそのグラフを見て前
述と同様に適切な印加電圧を設定してもよいし、あるい
は、ＣＰＵ１４にて印加電圧の増分ΔＶに対応するパル
ス数の増分ΔＮの比ΔＮ／Δ■が、予め設定した値より
小さくなるときの印加電圧を求めて、この印加電圧に設
定してもよい、あるいは、印加電圧を常時低電圧から高
電圧へと変化させることを反復しながら質量分析を行い
、印加電圧の上昇に対してΔＮ／ΔＶが予め定め所定値
より小さくなったときのパルス数がそのときのガス分圧
に対応するとみなす実施例も可能である。

次に、以上述べた諸実施例において必要である。

ノイズをカットするためにディスクリミネータに設定す
る閾値レベルｖｔｈの設定方法について第１１図を参照
して下記に述べる。このｖｔｈはイオン検出器（２次電
子増倍管等）からのノイズを除くために設定されるもの
である。イオン検出器へ入射するイオンは、四正極質量
分析計のイオン化フィラメントを消灯することにより、
無くすことができる。この状態では、ディスクリミネー
タに入るパルスはノイズのみである。この状態において
閾値ｖｔｈを零から逐次少しづつ上げながら、ディスク
リミネータからの単位時間当りのパルス数（ノイズのパ
ルス数）をカウントすると、そのカウント数はｖｔｈの
上昇につれて次第に少なくなる。このカウント数がゼロ
になるｙｔｈの値がノイズの影響を取り除くために必要
なディスクリミネータ設定閾値である。あるいは、イオ
ン検出器へ入射するイオンを無くした状態にて第１図に
示した如き波高分析器の使用によりノイズ除去用のディ
スクリミネータ閾値Ｖｔｈの設定値を決定することもで
きる。

ところで１８以上の諸実施例においては、ノイズの影響
を除くためのディスクリミネータの波高閾ａｖｔｈを設
定し、この閾値Ｖｔｈを一定にして計数を行うことが前
提であったが、逆に、二次電子増倍管への印加電圧を一
定にしておき、ｖｔｈを順次変えてパルス数のカウント
を行うことでも同様な結果が得られる。その例を第１２
図に示す。ｖｔｈを順次上昇させるにつれて、カウント
すべきパルス数が減少する。したがって、ｙｔｈの増分
Δｖｔｈとパルス数の減少分ΔＮの比ΔＮ／Δｖｔｈが
予め設定した値より小さいときのパルス数をそのときの
ガス分圧に対応゛させるか、あるいはそのときのｖｔｈ
値を設定して計測を行うようにする。

以上、四型棒質量分析計を例にとって説明したが、他の
パルスカウント方式の質量分析計においても本発明は有
効である。さらに、初めからイオンとなっている粒子の
分析の場合は、イオンソー入部が不要であるのは言うま
でもない、また、イオン検出器としてチャンネル電子増
倍管または二次電子増倍管を用いる場合について述べた
が、これに類する他のイオン検出器であっても本発明は
適用可能である。

［発明の効果コ 本発明によれば、イオン検出器のゲインを適正に調節し
、常にイオン検出器に入射するイオン数を正確に計数で
きるので、定量分析を行なうような場合に既知のガスに
よる質量分析計の感度校正を頻繁に行なう必要なしに容
易に定量的計測が可能である。

また、−ｆｉｆ２に二次電子増信管やチャンネル電子増
倍管などのイオン検出器は印加電圧が大きいほど早く劣
化する性質があるが、本発明によれば、イオン検出器の
ゲインを不必要に大きくしてイオン検出器の劣化を早め
寿命を短かくするといったことも防ぎ得るので、イオン
検出器の長寿命化を達成できるという効果もある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の１実施例を示す図、第２図は波高分布
を示す図、第３図はイオン検出器の劣化に伴う波高分布
の変化を示す図、第４図は本発明の他の実施例を示す図
、第５図は波高分布の測定方法の説明図、第６図は本発
明の更に他の実施例を示す図、第７図は波高分布のシフ
トとカウントされるパルス数の関係を示す図、第８図は
イオン検出器への印加電圧の増加とカウントされるパル
ス数との関係を示す図、第９図は本発明の更に他の実施
例を示す図、第１０図はイオン検出器への印加電圧の増
加とカウントされるパルス数との関係を示す図、第１１
図はノイズをカットするためのディスクリミネータ閾値
の設定値を求める方法の説明図、第１２図は閾値の増加
に伴うカウントパルス数の減少を示す図である。 １・・・イオンソース部（イオン化室）２・・・四重極
電極　　　　　３・・・イオン検出器４・・・プリアン
プ　　　　　５・・・アンプ６・・・ディスクリミネー
タ　７・・・カウンタ８・・・波高分析器　　　　　９
・・・ゲイン調節器ｌＯ・・・高電圧電源　　　　　１
１・・・コントローラ１２・・・コントローラ　　　　
１３・・・計数設定器１４・・・ＣＵＰ　　　　　　　
　　１５・・・プリンタ第１図 ５・・・メインアンプ 第 図 ｔｈ ｐ パルス波高値 第 図 ｔｈ ｐ パルス波高値 第 図 第 図 ｔｈ パルス波高値 第 図 第 図 パルス波高値 第 因 ＶＯ＋ΔＶ 印加電圧 ■ （Ｖ） 第 図 第 図 印加電圧 ■ （Ｖ） 第 図 第 図 しきい値 ｔｈ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　入射イオン毎に出力電荷パルスを発生するイオン検
   出器からの出力を、波高閾値の設定可能なディスクリミ
   ネータ手段を介した上で、カウンタ手段により計数する
   ようにしたパルスカウント式イオン測定方法において、
   ディスクリミネータよりも前段でのイオン検出器からの
   出力の波高分布を計測し、その計測結果に基づいて、前
   記出力電荷パルスの波高分布範囲がディスクリミネータ
   手段に設定するノイズ除去用の波高閾値よりも実質的に
   上のレベルに在るようにイオン検出器への印加電圧を調
   節することを特徴とするパルスカウント式イオン測定方
   法。 ２　前記の波高分布を波高分析器を用いて計測する請求
   項１記載のパルスカウント式イオン測定方法。 ３　前記の波高分布の計測は、ディスクリミネータの波
   高閾値を少しづつ順次変化させ、その各波高閾値での前
   記カウンタの計数値とその次の波高閾値での該カウンタ
   の計数値との差を該両波高閾値を両端とする波高区間に
   属するパルスの計数値として、波高区間対パルス計数値
   のヒストグラムを求めることによって行う請求項１記載
   のパルスカウント式イオン測定方法。 ４　前記出力電荷パルスの波高分布のピークの波高値が
   ディスクリミネータ手段に設定したノイズ除去用の波高
   閾値よりも所定のレベル差だけ上に在るようにイオン検
   出器への印加電圧を調節する請求項１、２又は３記載の
   パルスカウント式イオン測定方法。 ５　入射イオン毎に出力電荷パルスを発生するイオン検
   出器からの出力を、波高閾値の設定可能なディスクリミ
   ネータ手段を介した上でカウンタ手段により計数するよ
   うにしたパルスカウント式イオン測定方法において、デ
   ィスクリミネータ手段にノイズ除去用の波高閾値を設定
   し、イオン検出器への印加電圧を順次上げて各印加電圧
   での前記カウンタの計数値を求め、印加電圧の上昇に対
   してカウンタの計数値が実質的に飽和したときの印加電
   圧をイオン検出器の設定印加電圧とすることを特徴とす
   るパルスカウント式イオン測定方法。 ６　入射イオン毎に出力電荷パルスを発生するイオン検
   出器からの出力を、波高閾値の設定可能なディスクリミ
   ネータ手段を介した上でカウンタ手段により計数するよ
   うにしたパルスカウント式イオン測定方法において、デ
   ィスクリミネータ手段にノイズ除去用の波高閾値を設定
   し、イオン検出器への印加電圧を順次上げることを反復
   して各印加電圧での前記カウンタの計数値を求め、印加
   電圧の上昇に対してカウンタの計数値が実質的に飽和す
   るときのカウンタの計数値を以てイオン測定を行うこと
   を特徴とするパルスカウント式イオン測定方法。 ７　ディスクリミネータ手段に設定するノイズ除去用の
   波高閾値は、イオン検出器への入射イオンが無い状態に
   おいて、ディスクリミネータ手段の波高閾値を十分低い
   値から順次上げて行った場合における前記カウンタによ
   る計数値が実質的に零になったときの波高閾値として定
   められることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか
   に記載のパルスカウント式イオン測定方法。 ８　ディスクリミネータ手段に設定するノイズ除去用の
   波高閾値は、イオン検出器への入射イオンが無い状態に
   おいて前記波高分析器で計測される波高分布の実質的上
   限値として定められる請求項２記載のパルスカウント式
   イオン測定方法。