JPH0224581A - 測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、測定技術、特に、被測定物とその測定結果と
を整合させる技術に関し、例えば、半導体装置の製造工
程において、半導体装置の電気的特性についての測定方
法に利用して有効な技術に関する。

〔従来の技術〕

半導体装置の一例である半導体レーザダイオード（以下
、レーザダイオードという。）の選別検査において、各
レーザダイオード毎に個別データを必要とする場合、被
測定物としての製品が収納されたマガジンに識別番号を
イリしたり、または、製品自体に識別番号を付すること
により、各測定データと被測定物との対応を確保するこ
とが行われている。この場合、番号の付与、当該番号の
読み取り、および当該読み取り番号と測定データとの照
合ないし確認作業は全て、人的作業によって実行されて
いる。

なお、半導体装Ｉの測定技術を述べである例としては、
株式会社工業調査会発行「電子材料１９８７年１１月号
別ＦｒｊＪ昭和６２年１１月２０日発行Ｐ２１６〜Ｐ２
２３、がある。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、人的作業によって番号の付与、当該番号の読み
取りおよび照合が実行される場合においては、多品種少
量生産が導入された場合、製品相互間の混同による測定
データの誤認、作業時間の増加等が発生するという問題
点があることが、本発明者によって明らかにされた。

本発明の目的は、被測定物と当該測定データとの整合を
適正に実行させることができる測定技術を提供すること
にある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

〔課題を解決するための手段〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を説明すれば、次の通りである。

すなわち、被測定物を保持する治具毎に識別符号をそれ
ぞれ付しておき、測定に際し、その符号をそれぞれ読み
取ることにより、被測定物をそれぞれ特定し、各被測定
物とその測定結果とを整合するようにしたものである。

〔作用〕

前記した手段によれば、治具毎に個別の符号が付されて
いるため、治具に被測定物が保持された段階で、当該被
測定物自体に個別符号が付与されることになる。したが
って、被測定物に対する測定に際して、当該治具の符号
が読み取られると、それに保持された被測定物自体が自
動的に読み取られることになる。

そして、被測定物についての測定が治具上において実行
されることにより、被測定物と当該測定データとの整合
は読み取られた符号を介して適正に確保される。その結
果、多品種少量生産においても、被測定物と測定結果と
の間で誤認混同を生ずることなく、適正な測定を維持す
ることができ〔実施例〕 第１図は本発明の一実施例である測定方法に使用される
測定装置を示す模式図、第２図は第１図の■−■線に沿
う拡大部分断面図である。

本実施例において、本発明にかかる測定方法に使用され
る測定装置は、被測定物としてのレーザダイオード１に
ついて異なる温度下において、電気特性につき動的かつ
静的に測定試験を実施するように構成されており、ソケ
ット装置２と、動的電気特性テスタ（以下、ＶＦテスタ
という、）３と、静的電気特性テスタ（以下、ＩＦテス
タという。）４と、温度制御装置５と、これらを制御す
るコントローラ６と、各テスタからのデータを処理する
とともに、これらデータと後記する読み取り装置からの
読取結果とを照合する演算処理装置７と、演算処理装置
７に接続されているプリンタ等の周辺機器７Ａと、後記
する被測定物保持治具に付された符号を読み取る読み取
り装置８とを備えている。読み取り装ｆ８は光源９と、
複数の受、光器１０とを備えており、治具を透過した光
の組み合わせにより治具に付された符号を読み取るよう
に構成されている。

被測定物保持治具１１は被測定物としてのレーザダイオ
ード１を保持してテスタのソケット装置２に電気的にそ
れぞれ接続し得るように構成されている。この治具１１
は複数個が用意されており、各治具１１にはそれぞれ固
有の識別符号１２が付されている０本実施例において、
識別符号１２は治具１１に開設された多数個の小孔１３
によって構成されている。すなわち、小孔群は１０個の
小孔が横並びにされて上下に３段配列されている。

例えば、ある治具ＩＩの符号が、第２１１番の場合、２
番目の小孔１３がそれぞれ開けられ、他の小孔は全て閉
じられている。

次に前記構成に係る測定装置の作用を説明することによ
り、本発明の一実施例であるレーザダイオードの測定方
法を説明する。

被測定物としてのレーザダイオード１は１個宛、治具１
１にそれぞれ載せられて保持される。各治具１１には個
別の識別符号１２がそれぞれ付されているため、治具１
１にそれぞれ保持された各レーザダイオードｌについて
も当該個別の符号１２がそれぞれ付与されたことになる
。

測定すべきレーザダイオード１は治具１１に保持された
状態のまま、前記測定装置に供給され、治具１１を介し
てソケット装置２に接続される。

この接続により、レーザダイオード１１はテスタ等にソ
ケット装置２を介して電気的に接続される。

一方、この治具１１の識別符号１２は読み取り装Ｗ８に
より読み取られる。すなわち、読み取り装置８の光′ａ
９からの投光は治具１１に開口されている小孔１３のみ
を透過することになるため、読み取り装Ｗ８の受光器１
０は開口されている小孔１３を認識することにより、予
め記憶された辞書との照合によって、当該治具１１に付
与された符号１２を読み取ることができる。そして、当
該読み取り結果は演算処理袋Ｗ７に送信されて記憶され
る。

コントローラ６は予め設定されたシーケンス等にしたが
って、温度制御装置５を作動させるとともに、テスタ３
および４を制御することにより、ソケット装置２に接続
されたレーザダイオード１につき所望の電気的特性試験
を実行させる。そして、その測定結果は演算処理装置７
に送信される。

演算処理装置７においては、当該インプットされて来る
測定データを、前述したように読み取られた符号１２と
対応させて順次記録して行く。

所定の測定が終了すると、測定済みのレーザダイオード
ｌは治具１１に保持されたまま、各測定データを総合的
に判定されて次工程へと送給されて行く。以降、前記作
用が各レーザダイオードｌ毎に繰り返される。

前記実施例によれば次の効果が得られる。

（１）被測定物を保持する治具毎に識別符号をそれぞれ
付しておき、測定に際し、その符号をそれぞれ読み取る
ことにより、被測定物をそれぞれ特定し、各被測定物と
測定結果とを整合させることにより、人的作業を要せず
に各被測定物と測定結果とを整合させることができるた
め、多品種少量生産が採用された場合であっても、被測
定物と被測定物との混同誤認による障害の発生を回避す
ることができる。

（２）治具に識別符号を付することにより、被測定物自
体に符号を付さなくて済むため、被測定物自体に符号を
付する場合に比べて符号の付与に自由度を拡大させるこ
とができる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。

例えば、識別符号は小孔群により構成して光学的手段に
より読み取り得るように構成するに限らず、バーコード
により構成して光学式のバーコード・リーダ等により読
み取るように構成してもよい また、識別符号は光学的手段により読み取るように構成
するに限らず、第３図に示されているように、機械的に
読み取るように構成してもよい。

すなわち、第３図において、治具１１には識別符号１２
Ａが凹部１４および凸部１５の組み合わせにより付され
ており、読み取り装２１６はマイクロスイッチ１７によ
りこれら凹部１４、凸部１５の組み合わせを読み取るよ
うに構成されている。

測定すべき内容は、温度変化に対応する動的、静的電気
的特性に限らず、その他の各種特性であってもよい。

また、設備すべきテスタおよび温度制御装置等の数、種
類、性能等は任意に設定することができる。

前記実施例では、被測定物毎に測定処理する場合につき
説明したが、バッチ毎に測定処理するように設定しても
よい。

以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるレーザダイオードの
測定技術に適用した場合について説明したが、それに限
定されるものではなく、その他の半導体装置や電子部品
および電子機器等についての測定技術全層に適用するこ
とができる。

〔発明の効果〕

本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、次の通りである。

被測定物を保持する治具毎に識別符号をそれぞれ付して
おき、測定に際し、その符号をそれぞわ読み取ることに
より、被測定物をそれぞれ特定し、各被測定物と測定結
果とを整合させることにより、。

人的作業を要せずに各被測定物と測定結果とを整合させ
ることができるため、多品種少量生産が採用された場合
であっても、被測定物と被測定物との混同誤認による障
害の発生を回避することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である測定方法に使用される
測定装置を示す模式図、 第２図は第１図の■−■線に沿う拡大部分断面図である
。 第３図は本発明に使用される治具の他の実施例を示す纒
断面図である。 】・・・レーザダイオード（被測定物）、２・・・測定
装置、３・・・温度制御装置、４．５・・・テスタ、６
・・・コントローラ、７・・・演算処理装置、８・・・
光学式読み取り装置、９・・・光源、１０・・・受光器
、１１・・・治具、Ｉ２・・・識別符号、Ｉ３・・・小
孔、１４・・・凹部、１５・・・凸部、１６・・・機械
式読み取り装置、１７・・・マイクロスイッチ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被測定物を保持する治具毎に識別符号をそれぞれ付
   しておき、測定に際し、その符号をそれぞれ読み取るこ
   とにより、被測定物をそれぞれ特定し、各被測定物とそ
   の測定結果とを整合するようにしたことを特徴とする測
   定方法。 ２、識別符号が、透光部の組み合わせにより構成されて
   おり、この組み合わせが光学的手段により読み取られる
   ように構成されていることを特徴とする特許請求の範囲
   第１項記載の測定方法。 ３、識別符号が、凹部と凸部との組み合わせにより構成
   されており、この組み合わせがこれらに追従する機械的
   手段により読み取られるように構成されていることを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の測定方法。 ４、識別符号が、バーコードにより構成されており、バ
   ーコード・リーダにより読み取られるように構成されて
   いることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の測定
   方法。