JPH0223404A - 荒加工用ncデータ作成方法 - Google Patents
荒加工用ncデータ作成方法Info
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- JPH0223404A JPH0223404A JP17418388A JP17418388A JPH0223404A JP H0223404 A JPH0223404 A JP H0223404A JP 17418388 A JP17418388 A JP 17418388A JP 17418388 A JP17418388 A JP 17418388A JP H0223404 A JPH0223404 A JP H0223404A
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- JP
- Japan
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- tool
- point
- tool position
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 21
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 28
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 230000003936 working memory Effects 0.000 description 4
- 239000000700 radioactive tracer Substances 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Numerical Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は荒加工用NCデータ作成方法に係り。
特にデジタイジングした面データを用いてワークを荒加
工するNCデータの作成方法に関する。
工するNCデータの作成方法に関する。
〈従来技術〉
倣いを実行しながらデジタイジングしたモデル面データ
を用いてモデル形状通りに加工するNCデータを作成す
る方法がある。
を用いてモデル形状通りに加工するNCデータを作成す
る方法がある。
第11図はX−Z表面往復像いによりモデルMDLの面
データをデジタイジングする説明図である。スタイラス
STLをX軸方向に所定の倣い速度で移動させると共に
、Z軸方向にモデルMDLに沿って上下させ、所定時間
毎に或いは設定値が許容値を越える毎にスタイラスの三
次元位置データ(座標値)を取り込んで記憶する。そし
て、倣い範囲TRRの境界に到達した時にY軸方向に所
定量ピックフィードし、以後同様に表面倣いを行いなが
らスタイラスSTLの位置を監視すると共にその位置デ
ータを取り込んでモデルMDL面をデジタイジングし、
しかる後面データを用いてNCデータを作成する。
データをデジタイジングする説明図である。スタイラス
STLをX軸方向に所定の倣い速度で移動させると共に
、Z軸方向にモデルMDLに沿って上下させ、所定時間
毎に或いは設定値が許容値を越える毎にスタイラスの三
次元位置データ(座標値)を取り込んで記憶する。そし
て、倣い範囲TRRの境界に到達した時にY軸方向に所
定量ピックフィードし、以後同様に表面倣いを行いなが
らスタイラスSTLの位置を監視すると共にその位置デ
ータを取り込んでモデルMDL面をデジタイジングし、
しかる後面データを用いてNCデータを作成する。
ところで、かかる倣いによりデジタイジングされた位置
データを用いて荒加工用のNCデータを作成し、該NC
データに基づいてスタイラスSTLの径rより大きな径
Rの工具TLを使用して工具径オフセットしながら加工
すると、工具TLがワークWKに干渉して工具の破損、
切り過ぎ等を生じる(第12図参照)、そこで、荒加工
用工具による干渉チェック及び干渉する場合における工
具通路補正する方法が既に提案されている(「特願昭6
2−1085824参照)。
データを用いて荒加工用のNCデータを作成し、該NC
データに基づいてスタイラスSTLの径rより大きな径
Rの工具TLを使用して工具径オフセットしながら加工
すると、工具TLがワークWKに干渉して工具の破損、
切り過ぎ等を生じる(第12図参照)、そこで、荒加工
用工具による干渉チェック及び干渉する場合における工
具通路補正する方法が既に提案されている(「特願昭6
2−1085824参照)。
この提案によれば、デジタイジングした位置データ(例
えばスタイラスSTLの中心Qの座標値)を用いて形状
近似面の作成処理を行い、形状近似面から工具オフセッ
トした位置に工具の中心Pcが位置する時、工具が前記
作成した形状近似面と干渉するかチェックし、干渉する
場合には工具中心位置Pcを干渉しない高さまで移動(
例えば移動量d)した工具中心位置Pc’ に補正し、
補正後の工具位置に基づいて荒加工用のNCデータを作
成する。
えばスタイラスSTLの中心Qの座標値)を用いて形状
近似面の作成処理を行い、形状近似面から工具オフセッ
トした位置に工具の中心Pcが位置する時、工具が前記
作成した形状近似面と干渉するかチェックし、干渉する
場合には工具中心位置Pcを干渉しない高さまで移動(
例えば移動量d)した工具中心位置Pc’ に補正し、
補正後の工具位置に基づいて荒加工用のNCデータを作
成する。
〈発明が解決しようとしているW題〉
しかし、従来の干渉チェック方法では工具位置Pck(
第13図)から次の工具位置Pc(k+1)に移動する
間において工具TLが形状近似面Saと干渉するかのチ
ェックが行われていないため、加工時に工具がワークに
干渉することがあり、そのまま加工を行うと工具の破損
、切り過ぎ等を生じる場合があった。
第13図)から次の工具位置Pc(k+1)に移動する
間において工具TLが形状近似面Saと干渉するかのチ
ェックが行われていないため、加工時に工具がワークに
干渉することがあり、そのまま加工を行うと工具の破損
、切り過ぎ等を生じる場合があった。
以上から本発明の目的は、干渉チェックを行わなくても
工具位置から次の工具位置に移動する際に工具がワーク
に干渉することがない荒加工用NCデータ作成方法を提
供することである。
工具位置から次の工具位置に移動する際に工具がワーク
に干渉することがない荒加工用NCデータ作成方法を提
供することである。
く課題を解決するための手段〉
第1図は本発明の概略説明図である。
Pckは呪工具中心位置、Pc(k−1)は前工具中心
位置、 Pc(k−1)’ は干渉を防止する為に挿入
する工具中心位置である。又TLは荒加工用の工具。
位置、 Pc(k−1)’ は干渉を防止する為に挿入
する工具中心位置である。又TLは荒加工用の工具。
S m 、 S (m−1)は形状近似面である。
〈作用〉
所定の規則に従って定めた現工具位[Pckの座標11
tl(xb、yb、zb)と1つ前の前工具位置Pc(
k−1)の座標値(xa+ya、za)とのZ値の高さ
を比較し、高い方のZ値(例えばzb)を有し、かつ、
低い方の工具位置のX値、Y値(例えばxa、ya)を
有する新たな工具位置Pc(k−1)’ を求め、求
めた新たな工具位置Pc(k−1)’ を現工具位[P
ckと前工具位置Pc(k−1)との間に挿入して荒加
工用のNCデータを作成する。
tl(xb、yb、zb)と1つ前の前工具位置Pc(
k−1)の座標値(xa+ya、za)とのZ値の高さ
を比較し、高い方のZ値(例えばzb)を有し、かつ、
低い方の工具位置のX値、Y値(例えばxa、ya)を
有する新たな工具位置Pc(k−1)’ を求め、求
めた新たな工具位置Pc(k−1)’ を現工具位[P
ckと前工具位置Pc(k−1)との間に挿入して荒加
工用のNCデータを作成する。
〈実施例〉
第2図は本発明方法を具現化する装置(デジタイザ)の
ブロック図である。
ブロック図である。
1はデジタイザであり、ならい制御しながらトレーサヘ
ッドの現在位置を取り込んでデジタイジングする機能と
共に、NCデータ作成機能並びに工具干渉チェック機能
を備え、プロセッサla。
ッドの現在位置を取り込んでデジタイジングする機能と
共に、NCデータ作成機能並びに工具干渉チェック機能
を備え、プロセッサla。
制御プログラムを記憶するI?、0M1b、デジタイジ
ングした位置データを記憶するRAM1c、ワーキング
メモリ1dを有している。
ングした位置データを記憶するRAM1c、ワーキング
メモリ1dを有している。
2は操作盤であり、各種操作信号を入力すると共に、な
らい条件、ならい範囲TRR(第4図参照)、ならい方
法、メツシュM(i、j)の縦横寸法、工具半径R等を
設定する機能を有している。
らい条件、ならい範囲TRR(第4図参照)、ならい方
法、メツシュM(i、j)の縦横寸法、工具半径R等を
設定する機能を有している。
10X、IOY、10Zはデジタイザ1から指令された
各軸方向の速度データ(デジタル値)をアナログ速度信
号vス、vy、vzに変換するDA変換器、IIX、I
IY、11ZはX軸、Y軸、2軸サ一ボ回路、12X〜
12ZはそれぞれX@、Y軸、Z軸モータ、13x〜1
3Zはそれぞれ対応するモータが所定角度回転する毎に
1個のパルスXf 、Yf 、Zfを発生するパルス発
生器、14はパルスXf 、Yf 、Zf をそれぞれ
移動方向に応じて可逆計数して各軸現在位置を記憶する
現在位置レジスタである。尚、THはトレーサヘッド、
STLはスタイラス、MDLはモデルである。
各軸方向の速度データ(デジタル値)をアナログ速度信
号vス、vy、vzに変換するDA変換器、IIX、I
IY、11ZはX軸、Y軸、2軸サ一ボ回路、12X〜
12ZはそれぞれX@、Y軸、Z軸モータ、13x〜1
3Zはそれぞれ対応するモータが所定角度回転する毎に
1個のパルスXf 、Yf 、Zfを発生するパルス発
生器、14はパルスXf 、Yf 、Zf をそれぞれ
移動方向に応じて可逆計数して各軸現在位置を記憶する
現在位置レジスタである。尚、THはトレーサヘッド、
STLはスタイラス、MDLはモデルである。
第3図は本発明方法の荒加工用NCデータ作成処理の流
れ図である。以下、第3図の流れ図に従って、本発明方
法の荒加工用NCデータ作成処理を説明する。尚、倣い
範囲TRR(第4図参照)及び各メツシュの縦横寸法等
は既に操作盤2(第2図参照)から入力されてあり、該
倣い範囲TRRはmXn個のメツシュMi、j(i =
1〜m、 j =1〜n)に分割されであるものとす
る。
れ図である。以下、第3図の流れ図に従って、本発明方
法の荒加工用NCデータ作成処理を説明する。尚、倣い
範囲TRR(第4図参照)及び各メツシュの縦横寸法等
は既に操作盤2(第2図参照)から入力されてあり、該
倣い範囲TRRはmXn個のメツシュMi、j(i =
1〜m、 j =1〜n)に分割されであるものとす
る。
さて、送り軸をX軸、倣い軸を2軸、ビックフィード軸
をY軸として表面往復倣いを行い、該倣いと並行して周
知のデジタイジング処理によりスタイラス位置(第4図
及び第5図における黒丸位置)の座標値を所定時間毎に
或いは設定値が許容値を越える毎に取り込んで面データ
を作成してRAM1cに記憶する(ステップ101)。
をY軸として表面往復倣いを行い、該倣いと並行して周
知のデジタイジング処理によりスタイラス位置(第4図
及び第5図における黒丸位置)の座標値を所定時間毎に
或いは設定値が許容値を越える毎に取り込んで面データ
を作成してRAM1cに記憶する(ステップ101)。
また、面データの作成と並行して各メツシュM(i、j
)の代表点を以下の方法で求めてワーキングメモリ1d
に記憶する。すなわち、各メツシュM(i、j)に対応
させて三次元座標値記憶用の記憶域をワーキングメモリ
1dに設けておく。そして、デジタイジング処理により
スタイラス位置が取り込まれる毎に該位置と変位量とか
らモデルMDLとスタイラスSTLとの接触位置を求め
ると共に。
)の代表点を以下の方法で求めてワーキングメモリ1d
に記憶する。すなわち、各メツシュM(i、j)に対応
させて三次元座標値記憶用の記憶域をワーキングメモリ
1dに設けておく。そして、デジタイジング処理により
スタイラス位置が取り込まれる毎に該位置と変位量とか
らモデルMDLとスタイラスSTLとの接触位置を求め
ると共に。
該接触位置がどのメツシュに属するかチェックする。接
触位置が属するメツシュMbyj)が求まれば該接触位
置がメツシュM(xyj)の最初の位置かチェックし、
最初の位置であれば、接触位置の2軸座標値znをメツ
シュM(i、j)の記憶域に記憶し、最初の位置でなけ
ればメツシュM(zsj)に対応する記憶域に記憶され
ているZ軸座標値(zo)と接触位置のZ軸座標値(z
n)とを比較し、zll ≧zn であれば記憶域の内容を更新せず。
触位置が属するメツシュMbyj)が求まれば該接触位
置がメツシュM(xyj)の最初の位置かチェックし、
最初の位置であれば、接触位置の2軸座標値znをメツ
シュM(i、j)の記憶域に記憶し、最初の位置でなけ
ればメツシュM(zsj)に対応する記憶域に記憶され
ているZ軸座標値(zo)と接触位置のZ軸座標値(z
n)とを比較し、zll ≧zn であれば記憶域の内容を更新せず。
Zo<zn
であればznを記憶域に記憶する(zn−+z、)。
かかる処理をスタイラス位置データをデジタイジングす
る毎に実行すれば各メツシュM(IIj)に対応するワ
ーキングメモリ1dの各記憶域には、メツシュM(i、
j)に属するポイントのうち最もZ軸座標値の大きなポ
イントの座標値が記憶されることになり、各メツシュに
おける加工形状は代表点の高さを有する面(形状近似面
という)Shyj)(第5図の点線参照)で近似される
(ステップ102)6尚、メツシュ毎に該メツシュ内の
最大高さを有するデジタイジングポイントの座標値をR
A M 1 cに記憶して荒加工用デジタイジングポイ
ントとするが、形状近似面のメツシュ中心点を荒加工用
デジタイジングポイントとしてもよい。
る毎に実行すれば各メツシュM(IIj)に対応するワ
ーキングメモリ1dの各記憶域には、メツシュM(i、
j)に属するポイントのうち最もZ軸座標値の大きなポ
イントの座標値が記憶されることになり、各メツシュに
おける加工形状は代表点の高さを有する面(形状近似面
という)Shyj)(第5図の点線参照)で近似される
(ステップ102)6尚、メツシュ毎に該メツシュ内の
最大高さを有するデジタイジングポイントの座標値をR
A M 1 cに記憶して荒加工用デジタイジングポイ
ントとするが、形状近似面のメツシュ中心点を荒加工用
デジタイジングポイントとしてもよい。
しかる後、工具を形状近似面(荒加工用デジタイジング
ポイント)から工具径オフセットした時に、工具が所定
の形状近似面と交差するか(第6図参照)チェックする
(ステップ103)。尚。
ポイント)から工具径オフセットした時に、工具が所定
の形状近似面と交差するか(第6図参照)チェックする
(ステップ103)。尚。
交差チェックの対象となる形状近似面は、工具のxy平
面投影外形線(第7図の点線参照)内部に存在するメツ
シュ(交差するものも含む)に応じた形状近似面である
。又、交差するかどうかのチェックは第8図を参照する
と以下のように行う。
面投影外形線(第7図の点線参照)内部に存在するメツ
シュ(交差するものも含む)に応じた形状近似面である
。又、交差するかどうかのチェックは第8図を参照する
と以下のように行う。
即ち、工具中心が属するメツシュM(i、j)と同一行
、同一列のメツシュM (jIJ−2) r M (i
oj−り r Mb+j+t)+ McllJ+zL
M(1−21JLM(1−11J)9M(1+1. 、
J)IM(1421j)に対応する形状近似面について
は工具中心位置を通るX@及びY軸に平行な直線PX、
PYと各メツシュ線の交点を求め、該交点を投影点とす
る形状近似面S (xej−2) + S (IIj4
) + S (ltj”l) t S (lPJ”2)
l S (x−z+ j) * S (i−] p
jL s (i+i r jL s C1÷2.j)上
のポイントを求め、工具中心Pcから各形状近似面上の
ポイント迄の距離と工具半径Rを比較し、距離が短い場
合には交差すると判定し、大きい場合には交差しないと
判定する。又、メツシュM (i、j)の斜め方向のメ
ツシュに対応する形状近似面については工具先端位置に
最も近い各メツシュの角点に対応する形状近似面上のポ
イントを求め、しかる後工具中心から該ポイント迄の距
離が工具半径より小さいかチェックし、小さい場合には
交差すると判定し、大きい場合には交差しないと判定す
る。
、同一列のメツシュM (jIJ−2) r M (i
oj−り r Mb+j+t)+ McllJ+zL
M(1−21JLM(1−11J)9M(1+1. 、
J)IM(1421j)に対応する形状近似面について
は工具中心位置を通るX@及びY軸に平行な直線PX、
PYと各メツシュ線の交点を求め、該交点を投影点とす
る形状近似面S (xej−2) + S (IIj4
) + S (ltj”l) t S (lPJ”2)
l S (x−z+ j) * S (i−] p
jL s (i+i r jL s C1÷2.j)上
のポイントを求め、工具中心Pcから各形状近似面上の
ポイント迄の距離と工具半径Rを比較し、距離が短い場
合には交差すると判定し、大きい場合には交差しないと
判定する。又、メツシュM (i、j)の斜め方向のメ
ツシュに対応する形状近似面については工具先端位置に
最も近い各メツシュの角点に対応する形状近似面上のポ
イントを求め、しかる後工具中心から該ポイント迄の距
離が工具半径より小さいかチェックし、小さい場合には
交差すると判定し、大きい場合には交差しないと判定す
る。
交差しない場合には工具中心位置を工具干渉しないオフ
セット邊路上のポイントとしてRAM ICに記憶する
(ステップ104)。
セット邊路上のポイントとしてRAM ICに記憶する
(ステップ104)。
一方、ステップ103において交差すれば(第9図参照
)、工具がどの形状近似面とも干渉しなくなる迄のZ方
向の移動量d (第10図参照)を求める(ステップ1
05)。
)、工具がどの形状近似面とも干渉しなくなる迄のZ方
向の移動量d (第10図参照)を求める(ステップ1
05)。
しかる後、工具中心の座標値を(zi、yi、zi)と
すれば、(xi、yi、zi+d)を工具干渉しないオ
フセット通路上のポイントとしてRAM1cに記憶する
(ステップ106)。
すれば、(xi、yi、zi+d)を工具干渉しないオ
フセット通路上のポイントとしてRAM1cに記憶する
(ステップ106)。
次に、全記憶したオフセット通路上のポイント(現ポイ
ント)Pck(第1図)と1つ前のポイント(前ポイン
ト)Pc(k−1)をRAM1cから読み出してきて、
現ポイントPckと前ポイントPc(k−1)とのZ値
を比較し、その結果、高い方のZ値を有し、かつ、Z値
が低い方のX値、Y値を有するポイントPc(k−1)
’ を現ポイントPckと前ポイントPc(k−1)
との間に挿入してRAM1cに記憶する。
ント)Pck(第1図)と1つ前のポイント(前ポイン
ト)Pc(k−1)をRAM1cから読み出してきて、
現ポイントPckと前ポイントPc(k−1)とのZ値
を比較し、その結果、高い方のZ値を有し、かつ、Z値
が低い方のX値、Y値を有するポイントPc(k−1)
’ を現ポイントPckと前ポイントPc(k−1)
との間に挿入してRAM1cに記憶する。
例えば、現ポイントPckの座標値が(x J )’
b+ Z b)、前ポイントPc(k−1)の座標値が
(xa+ya、za)であり、Z値の比較において、z
b)zaであれば、新たな工具中心位置Pc(k−1)
’の座標値(xa。
b+ Z b)、前ポイントPc(k−1)の座標値が
(xa+ya、za)であり、Z値の比較において、z
b)zaであれば、新たな工具中心位置Pc(k−1)
’の座標値(xa。
ya、zb)を求め、現ポイントPckと前ポイントP
c(k−1)の間にポイントPc(k−1)’ を挿入
して記憶する(ステップ107)。
c(k−1)の間にポイントPc(k−1)’ を挿入
して記憶する(ステップ107)。
ステップ107の処理が終了すれば、全荒加工用デジタ
イジングポイントについて上記処理が終わったかどうか
をチェックしくステップ108)。
イジングポイントについて上記処理が終わったかどうか
をチェックしくステップ108)。
終わっていなければ次の荒加工用デジタイジングポイン
トをRAM1cから読み取り(ステップ109)、以後
ステップ103以降の処理を繰り返す。
トをRAM1cから読み取り(ステップ109)、以後
ステップ103以降の処理を繰り返す。
一方、全荒加工用デジタイジングポイントについて処理
が終了していれば、荒加工用NCデータの作成処理を終
了する。
が終了していれば、荒加工用NCデータの作成処理を終
了する。
〈発明の効果〉
以上本発明によれば、現工具位置と1つ前の前工具位置
との高さを比較し、高い方のZ値を有し、かつ、低い方
の工具位置のX値、Y値を有する新たな工具位置を求め
、求めた新たな工具位置を現工具位置と前工具位置との
間に挿入して荒加工用のNCデータを作成するように構
成したから、移動時に工具が面に干渉することがなくな
った。
との高さを比較し、高い方のZ値を有し、かつ、低い方
の工具位置のX値、Y値を有する新たな工具位置を求め
、求めた新たな工具位置を現工具位置と前工具位置との
間に挿入して荒加工用のNCデータを作成するように構
成したから、移動時に工具が面に干渉することがなくな
った。
第1図は本発明の概略説明図、
第2図は本発明を具現化する装置(デジタイザ)のブロ
ック図。 第3図は本発明の荒加工用NCデータ作成処理の流れ図
、 第4図乃至第7図は形状近似面作成の説明図。 第8図乃至第10図は干渉する場合の説明図。 第11図乃至第13図は従来例の説明図である。 1・・デジタイザ。 1a ―・プロセッサ、 1b・・ROM、 1c・・RAM、 2・・操作盤。 Mbtj> ・・メツシュ、 S (i、j) ・・形状近似面。 T L・・荒加工用工具。 Pck・・工具中心位置 特許出願人 ファナック株式会社代理人
弁理士 齋藤千幹第1図 Sm−一一形状近似面 第3 図 第4 図 第5 図 第6 図 第7 図 第11 図 第12 面 第13図
ック図。 第3図は本発明の荒加工用NCデータ作成処理の流れ図
、 第4図乃至第7図は形状近似面作成の説明図。 第8図乃至第10図は干渉する場合の説明図。 第11図乃至第13図は従来例の説明図である。 1・・デジタイザ。 1a ―・プロセッサ、 1b・・ROM、 1c・・RAM、 2・・操作盤。 Mbtj> ・・メツシュ、 S (i、j) ・・形状近似面。 T L・・荒加工用工具。 Pck・・工具中心位置 特許出願人 ファナック株式会社代理人
弁理士 齋藤千幹第1図 Sm−一一形状近似面 第3 図 第4 図 第5 図 第6 図 第7 図 第11 図 第12 面 第13図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 デジタイジングした範囲を複数のメッシュに分割すると
共に、各メッシュ毎に面データが示すポイントのうち最
も高いポイントを代表点として求め、各メッシュにおけ
る加工形状を代表点と同一の高さを有する面で近似し、
所定の規則に従って定まる工具位置において工具が前記
形状近似面と交差するかチェックし、交差する場合には
工具位置を交差しないように高さ方向に補正し、補正後
の工具位置に基づいて荒加工用のNCデータを作成する
荒加工用NCデータ作成方法において、現工具位置と1
つ前の前工具位置との高さを比較し、 高い方のZ値を有し、かつ、低い方の工具位置のX値、
Y値を有する新たな工具位置を求め、求めた新たな工具
位置を現工具位置と前工具位置との間に挿入して荒加工
用のNCデータを作成することを特徴とする荒加工用N
Cデータ作成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17418388A JPH0223404A (ja) | 1988-07-13 | 1988-07-13 | 荒加工用ncデータ作成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17418388A JPH0223404A (ja) | 1988-07-13 | 1988-07-13 | 荒加工用ncデータ作成方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0223404A true JPH0223404A (ja) | 1990-01-25 |
Family
ID=15974168
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17418388A Pending JPH0223404A (ja) | 1988-07-13 | 1988-07-13 | 荒加工用ncデータ作成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0223404A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10142593B4 (de) * | 2001-08-31 | 2005-07-14 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zur gegenseitigen Justierung von Strukturen auf einer Mehrebenen-Phasenschiebemaske |
-
1988
- 1988-07-13 JP JP17418388A patent/JPH0223404A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10142593B4 (de) * | 2001-08-31 | 2005-07-14 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zur gegenseitigen Justierung von Strukturen auf einer Mehrebenen-Phasenschiebemaske |
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