JPH02234001A

JPH02234001A - マイクロ仕上げ機械

Info

Publication number: JPH02234001A
Application number: JP2001661A
Authority: JP
Inventors: Edward E Judge; エドワード　アール　ジャッジ; Lowell W Bennickson; ロウェル　ウォルター　ベニックソン; Arthur G Reiser; アーサー　ジョージ　レイサー
Original assignee: IND METAL PROD CORP
Current assignee: IND METAL PROD CORP
Priority date: 1989-02-07
Filing date: 1990-01-10
Publication date: 1990-09-17
Anticipated expiration: 2013-06-25
Also published as: EP0382336A3; DE69012361D1; DE69012361T3; CA1313306C; EP0382336B2; DE69012361T2; JP2768524B2; EP0382336A2; US5095663A; EP0382336B1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は金属の仕上げに関し、かつ特に製造工程中に計
測（１）ａＬＩｇｉｎｇ）する技術を使用して金属面を
マイクロ仕上げ《鳳１ｃｒｏ目ｎｉｓｈｉｎｏ）　Ｌ／
かつマイクロ仕上げ用シューを保持しかつ案内する改良
された装置および方法に関する。

［従来の技術および発明が解決しようとする課題］多数
の型式の機械構成部分は、十分満足に機能をはだすため
に表面仕上げを入念に講整することが必要である。例え
ば、マイクロ仕上げとも呼ばれている表面仕上げの調整
は、例えば、内燃機関のクランク軸、カム軸、伝動軸等
に使用されるジャーナル軸受およびカムの表面の機械加
工に関して特にｌ要である。ジャーナル軸受においては
、ｍ滑油がジャーナル軸受面と対向した軸受面との間に
強制的に加圧して供給されるときに生ずる所望の動液圧
支持作用を得るために、非常に正確に形成された表面が
必要である。軸受而が不完全に仕上げられると、軸受の
早期の破損をひき起こし、かつ軸受の負荷能力も訓限さ
れることになる。

舅在、耐久性をさらに高めることが要求され、《特に自
動車において》機関の運転速度がさらに高くなり、機関
構体の効率の向上に伴なって軸受荷重がより大きくなり
かつ製造者が「世界的な等級」の高品質の製品を提供す
ることを望んでいる結果、内燃機Ｉｌ＠造者によりジャ
ーナル軸受面をさらに精密に調整することが要求ざれて
いる。

ジャーナル軸受面をマイクロ仕上げする技術の重要な改
良が本願の請受入であるインダストリアル・メタル・プ
ロダクト●コーポレーション《以下“ｉｕｐｃｏ　”と
呼ぶ》により行われてきた。

ＩＨＰｅＯ社は″ＧＢＱ”　（“ＧＥＮＥＲＡＴＩＮＧ
旺＾ＲＩＮＧＱＵＡＬＩＴＹ″の略語でありかつＩＮＰ
ＣＯの商標》と呼ばれているマイクロ仕上げ装置および
方法の新世代を創造した。これらの機械は研磨フィルム
を軸受面に押しつける剛性のインサートによりジャーナ
ルのまわりを締め付けるマイクロ仕上げ用シューを有し
ている。ＩＨＰｃＯ社のＧＢＱ機械および方法は、この
明細書に参考のために記載した米国特許第４，６８２．
４４４号明細書に包含されている。この新世代のＩＮＰ
ＣＯ機械および方法は優れたマイクロ仕上げ面の質を提
供すると共に、マイクＯ仕上げの前に行われる研削工程
において生ずる軸受面の形状の欠陥を修正する能力を有
することが判明した。

この明ｉｇｎｉｓ；ｔＩ！ｊ造工程中に計測する装置お
よび技術が使用されるマイクロ仕上げ機械および方法を
さらに改良することを意図したものである。本発明によ
れば、ジャーナルの表面の直径を連続して測定するサイ
ズ調整用計測シューを提供するものである。このサイズ
調整用シューは、マイクロ仕上げ用シューと共にジャー
ナルの表面上に使用され、それにより加工物が研磨フィ
ルムにより材料を研磨するシューに対して回転せしめら
れるときにサイズ調整用シューがジャーナルの直径を連
続的に測定するようになっている。直径に関する情報は
、加工物の直径がいったん所望の値に到達すると、加工
された材料を止めるために使用される。例えば、多シリ
ンダ内燃機閏クランク軸のような複数のジャーナル面を
有する加工物の各々のジャーナルに、サイズ講整および
マイクロ仕上げ用シュー集成体の個々のセットを同時に
係合させることが好ましい。サイズ調整用シューがその
ジャーナルのための所望の直径を表わす出力を発生した
ときに、そのジャーナル上の研磨フィルムに対してマイ
クロ仕上げ用シューにより加えられる圧が釈放され，一
方機械加工は各々のジャーナルが正規の直径に到達する
までその他のジャーナルに対して継続して行われる。

本願用の計測装！　（ｏａｕａｉｎｇ　ｍｅａｎｓ　）
は、正確でありかつ耐久性がありかつジャーナルの偏心
および／または突出に起因する加工物の回転中の可成り
のＥ心振れ」を許容することができなければならない。

マイクロ仕上げのための製造工程中の計測装置は、使用
し易くするために、慣用のマイクロ仕上げ用シ１一取付
台に取り付けられ、それにより簡単な改造を容易に行え
るようにすることが好ましい。計測装賓は、クランク軸
のジャーナル面の計測に使用するために、クランク軸と
の干渉が起こるジＶ−ナルの軸線方内の端部を超えて延
びてはならない。

従来技術によれば、多数の型式の製造工程中に加工物の
直径を計測する装置が知られている。例えば、過去にお
いては、計測用として種々の光学技術が使用されてきた
。しかしながら、これらの装置は、大きい振動、高温を
うけかつ切削流体、機械加工用砥粒等により汚染される
苛酷な操作環境下にあるために信頼性および精度に関す
る問題が付随して起こるので、マイクロ仕上げ用に適し
ていない。これらの理由から、機械的な接触ゲージが前
述した型式のマイクロ仕上げに最適である。

多数の直径計測ゲージは加工物と直径方向に対向した二
箇所で接触するので、設計上の一つの７ブローは支持構
休に対する各々の接触プローブの位置を検出するために
１対のゲージを使用しかつ該ゲージの出力を使用して加
工物の直径を計算することである。しかしながら、この
ような装置は、２個の別個の計測装置を使用することか
ら誤差が大きくなり、コストが高くかつ構造が複雑にな
るので、好ましくない。

［！！題を解決するための手段］本発明によれば、ジャーナル表面の直径を正確に測定す
ることができかつ慣用のマイクロ仕上げ用シューハンガ
ーにより担持された単一の測定ゲージを使用するサイズ
調整用シューの多数の実施例が提供される。

前述した工具のようなマイクロ仕上げ工具はマイクＯ仕
上げ機械に装着される。マイクロ仕上げ機械はマイクロ
仕上げ工具を加工物の表面と接触するように位置決めし
，、マイクロ仕上げ工具に所望の圧力を加えかつ多くの
用途においてマイクロ仕上げ中にマイクロ仕上げ工具を
加工物ジャーナルの軌道通路に追従して移動させる。現
在利用されているマイクロ仕上げ機械は、これらの機能
を認容可能な態様で線たすが、加工物、例えば、内燃機
関のクランク軸のロツドジャーナルの表面の軌道通路に
追従して移動するためには、これらの機械をこの加工物
の形状に対して特殊に組み立てなければならずかつこれ
らの機械をその他の形状の加工物に使用できるようにす
るために可成りの再加工を必要とする不利点がある。し
たがって、本発明の別の一つの目的は、広範囲の再加工
を行なわないで種々の形状の加工物に使用しつるような
融通性の高いマイクロ仕上げ機械を提供することにある
、本発明は、各々がジャーナルと接触するプ〇一プ先端部
を有する１個またはそれ以上のカリパスアームを支持す
るハウジングを有するサイズ調整用シューのいくつかの
実施例を提供する。本発明の一実施例においては、１対
のカリパスアームが片・持ばねによりハウジングに装着
されている。計測装置が２個のカリパスアームの位置の
差を測定し、したがって、加工物の直径に関する出力を
発生する。この支持構休は１対の円周方向に隔離された
軸受パッドを有している。これらの軸受バツドはジャー
ナル表面と接触しかつプローブを加工物の直径にわたっ
て適正に位置決めする。これらの発明者は、加工物ジャ
ーナルの表面に接して配置された軸受パッドに対して最
適の接触角度範囲があることを発見した。もしも接触夾
角がこの範囲を超えるとすれば、所望の直径にいったん
到達すると行われる。加工物に対する圧力の釈放がいっ
たんなされると、サイズ調整用シューが所望の位置に維
持されなくなる。また、別の一実施例においては、単一
カリパスアームが使用されかつ計測装置の一部分がプロ
ーブ先端部に直接に装着される。さらに別の実施例にお
いては、ジャーナルの表面と接触する単一のプローブ先
端部を有する「Ｖ字形の」ブロック装置が使用される。

本発明のサイズ調整用シューの支持構体は慣用のマイク
ロ仕上げ用シューハンガーに装＠することができ、それ
により既存の＠竃の再加工を最小限にとどめることがで
きる。

本発明によるサイズ調整用シューに使用される一つの好
ましいゲージは加圧空気がオリフイスを通して放出され
かつカリパスアームの相対位置の如何によりオリフィス
からの距離が可変である表面に衝突するエアジェット型
のゲージである。オリフィスを通過する空気の圧力はオ
リフィスとプラグとの間のａｌｌ距離と関連している。

エアジェットゲージ装置は、清浄な空気の連続供給源に
より加圧空気を該ゲージ装置に吹き付けるので、本来、
汚染物質に耐えられるようになっている。

そのうえ、このようなゲージは容易に利用できかつ安価
である。本発明のいくつかの実施例は、現在、在庫品と
して入手される電気的なカラム型のゲージ装置を手段と
して使用する。さらに別の実施例においては、単一のプ
ローブが慣用のＶ字形ブロック直径ゲージの態様で加工
物と接触するようになっている。

また、本発明はジャーナル軸受面を正確に機械加工する
ために使用する新しい方法を考案したものである。これ
らの発明者は、マイクロ仕上げ用シューと加工物との間
の相対回転方向を定期的に逆にすることにより材料加工
速度が当初早められることを発見した。特定の一方向の
回転を継続すると、研磨フィルムの「負荷が増大」しか
つ時間の経過と共に鋭利でなくなるので、材料除去速度
が減少する。回転方向を逆にすると、研磨フィルムが再
び新しい研磨面として当初に機能をはたす。

加工物の直径を正確に調整しようとする場合には、所望
の直径に達する限界領域において回転方向を逆にするこ
とは望ましくない。その理由は、逆転した当初の段階の
材料研削速度が高いために、マイクロ仕上げ装置が所望
の直径を行過ぎて加工するからである。したがって、本
発明は加工物の直径が所望の直径に極めて近い値になっ
たときには回転方向を逆にしない方法を考案したもので
ある。

本発明の別の一つの特徴は、マイクロ仕上げ工具と共に
使用されるいわゆる「マスターのない」機械であること
である。例えば、クランク軸の０ツド軸受のジャーナル
をマイクロ仕上げするときに、代表的には、クランク軸
をその主軸受ジャーナルのまわりに回転させるので、マ
イクロ仕上げ用シューは０ツドジャーナルの偏心通路に
追従して移動しなければならない。慣用のクランク軸用
のマイクロ仕上げ機械においては、マイクロ仕上げ用シ
ューをロンドジャーナルの偏心通路に正確に追従するよ
うに案内するために、機械加工されるクランク軸の形状
に合致した内側クランク軸が使用される。本発明のマス
ターのない機械においては、連結棒ジャーナルのための
マイクロ仕上げ用シューは、クランク軸ロツドジャーナ
ルの通路に自由に追従することができ、それにより機械
を再加工しないで種々の形状のクランク軸に容易に適応
させることができる。本発明によれば、サイズ調整ゲー
ジにより測定する直径がいったん所望の値に達すると、
機械加工作用を止めるためにマイクロ仕上げ用シューに
作用する圧力を減少させ、一方加工物がその偏心通路に
追従して移動できるようにマイクロ仕上げ用シューを加
工物と係合した状態に維持するようになっている。マス
ターのないマイクロ仕上げ機械は、本発明の出願人によ
り以前に製造された。このような機械は一般に前記の特
徴を具えているけれども、マイクロ仕上げ用シューがい
ったん開かれると、マイクロ仕上げ用シューを一つの設
定位置に容易に維持することができなかった。これらの
機械においては、振動またはその他の入力される力によ
りマイクロ仕上げ用シューが所定位置外に移動して別の
機械加工操作のためのその後に続く加工物と適正に係合
しなくなる。本発明のマスクのない機械は、マイクロ仕
上げ用シューを機械加工サイクルの園に支持するガイド
アームの運動を確実に抑Ｉ１する装置を提供するもので
ある。

本発明の付加的な利益および利点は、本発明が関係する
技術に熟練した業者にとっては、添付図面について記載
した好ましい実施例に関する以下の説明および特許請求
の範囲から明らかになろう。

第１図を参照すると、本発明の第１実施例によるサイズ
調整用シューを示してあり、かつ全体を符号１０で示し
てある。サイズ調整用シュー１０はマイクロ仕上げ用シ
ュー１４によりＩｃｉｌ期に機械加工される加工物ジャ
ーナル１２の直径の計測に使用されるように図示されて
いる。マイクロ仕上げ用シュー１４は、本発明の出願人
に対して以前に発行された米国特許第４．６８２．４４
４号明細書の教旨に従って、数個の剛性のインサート１
６を使用している。インサート１６は研磨フィルム１８
をジャーナル１２に押し付けてジャーナル１２の表面を
マイクロ仕上げして形状の誤差を修正する。サイズ調整
用シュー１０およびマイクロ仕上げシュー１４の両方は
アーム２０を支持するために装着される。アーム２０は
マイクロ仕上げ操作中にシュー１０および１４をジャー
ナル１２のまわりに締め付けかつシュー１０．１４を加
工物の取外しおよび装着のために分離可能にする。

第１図に示した機械の使用中、加工物ジャーナル１２が
シュー１０および１４に対して回転せしめられて材料を
その外面に沿って研削する。また、シュー１０および１
４は、ジャーナル１２に沿って軸線方向に往復勤せしめ
られて、それにより部分的な表面に平行線模様で示した
望ましい研磨パターンが得られる。サイズ調整用シュー
１０により、加工部分が所望の直径に減少したことを表
わす適切な信号がいうたん出力されると、支持アーム２
０が僅か陽離されて加工物と隣接した研磨フィルム１８
に作用する圧力を軽減するかまたはく通常加工物の回転
が止められた侵のみに》十分に隔離されて加工部品に負
荷しかつ負荷を除去することが可能になる。

サイズ調整用シュー１０の構成部分の細部については、
特に第２図ないし第６図について最も詳細に説明した。

ゲージプＯツク２２は、残りのゲージ構成部分の支持構
造であり、かつ加工物を受け入れる半円形の中央面２４
を有している。１対の円周方向に隔離された支持パッド
２６が中央面２４に沿ってブロック２２に装着されかつ
加工物ジャーナル２２と直接に接触してサイズ調整用シ
ュー１０を慣用のゲージの「Ｖ字形」ブロックの態様で
位置決めしている。支持パッド２６は硬い耐磨耗性材料
、例えば、タングステンカーバイドから製造されること
が好ましい。プＯツク２２は１対の整列した商穴２８を
有している。盲穴２８はサイズ調整用シュー１０をシュ
ーハンガー３２により担持されたピン３０により支持可
能にする。ピン３０は、サイズ調整用シュー１０がジャ
ーナル１２と自動的に整合するために僅かに枢動可能に
する。ゲージブロック２２は、さらに、半円形の溝３４
を有している。満３４は１対のカリパスアーム３６およ
び３８を収納している。外側カリパスアーム３６は硬質
材料から製造されたプローブ先端部４０を有している。

プローブ先端部４０は加工物ジャーナル１２と直接に接
触している。同様に、内側カリパスアーム３８はプＯ−
プ先蝙部４２を含む。プローブ先端部４２はプローブ先
端部４０の接触点と直径方向に対向した点において加工
物ジャーナル１２と係合している。

外側カリパスアーム３６および内側カリパスアーム３８
の各々は１対の離隔した支柱４４によりゲージブロック
２２と連結されている。支柱４４はばね鋼から製造それ
、それにより片持ばね作用を与えている。支柱４４は拡
大部分４７を有する穴４６内のゲージブロック２２に取
り付けられかつ穴４６の小さい直径を有する下端部４９
内に止めねじ４８により保持されている。支柱４４の反
対側の端部はカリパスアーム３６．３８内の穴５０によ
り収納されかつ止めねじ５２により保持されている。カ
リパスアーム３６．３８の各々は１対の離隔された支柱
４４により支持されているので、カリパスアーム３６．
３８は支柱４４の高い柱および引張剛さのために垂直方
向の移動を抑訓ざれながらジャーナル１２の直径を測定
する方向に横方向に変位可能になっている。サイズ調整
用シュー１０の内部構成部分は、カバーねじ７２により
所定位置に保持されたサイド力バー７０と、止めねじ７
６により所定位置に保持された上側力バー７４とにより
囲繞されている。

本発明の主な特徴によれば、カリパスアーム３６および
３８の位置の差を測定してそれにより直径を厠定するた
めに単一の計測装置が使用されている。このような測定
を行うゲージ集成体の一例は、特に第５Ａ図および第５
Ｂ図に示したエアジェットゲージ組成体５４である。外
側カリパスアーム３６は端板５６を含む。端板５６はね
じを切った穴５８を有している。穴５８はオリフィス６
０を有するエアジェットチューブ５９を収納している。

次いで、内側カリパスアーム３８はねじを切ったプラグ
６４を受け入れる穴６２を有している。プラグ６４はオ
リフィス６０と直接に向き合いかつオリイス６０から小
さい空隙距離だけ陪離せしめられている。異なる空隙距
離が第５ａ図における寸法ｒａＪおよび第５Ｂ図におけ
る寸法ｆ’ｂＪにより示されかつ加工物の直径によって
変化する。第５ａ図は機械加工前の加工物の代表的な出
発状態を例示している。第５８図に示したように、機械
加工中に直径が減少するにつれて、カリパスアーム３６
および３８が矢印の方向に変位してブラグ６４とオリフ
ィス６０との間の隔離距離を減少する。空隙距離のこの
ような減少が起こるときに、チューブ５９を通して吹き
付けられる空気の圧力が上昇し、この圧力上昇は良く知
られた原理により適当な遠隔ゲージ計器により記録され
る。これらの発明者により上記のように構成されたサイ
ズ調整用シューにより、２．５ミクロンの範囲の直径測
定精度が得られた。

カリパスアーム３６および３８を支持するために支柱４
４を使用しているために、偏心および／または突出に起
因する表面の半径方向の回転振れが該表面が直径測定精
度に影響をおよぼすことなく回転するときに許容される
。加工物ジャーナルが直径測定方向に変位するときに、
カリパスアーム３６および３８が変位して加工物と係合
した状態に保たれる。もしも直径の変化が起こらなけれ
ば、心振れ運動が生ずるにもかかわらず、カリパスアー
ム３βおよび３８の間の位置の差は検出されない。支柱
４４は加工物と対向したプローブ先端部４０および４２
に接触力が作用するように意図的に配置されている。

さて、第７図ないし第９図について述べると、本発明の
別の実施例を示してある。シュー１０の構成部分と同一
であるシュー１１０の構成部分は同様な符号で示してあ
る。サイズ調整用シュー１１０は軸線方向に離隔した位
置において直径を測定することができる１対の個々のサ
イズ講整ゲージ１１２および１１４を使用している。こ
のような測定により、ジャーナルの形状のずれ、例えば
、テーパ等を調整するためのジャーナルの形状の調整を
強化することができる。サイズ調整用シュー１１０もま
たその他のいくつかの点において前述した構造から異な
っている。特に、この実施例に使用されるゲージは電気
変換器であり、かつ各々のサイズ調整ゲージは単一のカ
リパスアームを使用している。

シュー１１０のゲージ１１２および１１４の各各は同一
であるので、ゲージ１１２のみについて詳細に説明する
。ゲージ１１２は、前述した実施例のように、支柱４４
によりハウジング１２０に装着された単一のカリパスア
ーム１１６を含む。

一群の４個のピン１２４が支柱４４および取付け後に該
ピンを包囲するカバー１２６を取り付けるために使用さ
れる。同様に、ピン１２４は支柱４４の上側部分をカリ
パスアーム１１６の穴の内部に支持するために使用され
ている。この実施例のために、電気変換器１２８がゲー
ジとして使用されかつ本体部分１３０および屈撓可能な
アーム１３２を有している。変換器１２８は本体１３０
に対するアーム１３２の枢動の度合に応じた出力を発生
する。この実施例のために、プローブ先端部１３６を担
持したカリパスアーム１１６がゲージ本体１３０と連結
されている。プローブ先端部１３４はブラケット１３８
により変換器アーム１３２に留められている。

作動中、サイズ調整用シューゲージ１１２および１１４
は、両方のプローブ先端部１３４および１３６が横方向
に浮動せしめられ、その園ゲージが直径の測定値として
のプローブ先端部１３４，１３６の位置の差に関する出
力を発生する点で、サイズ調整用シュー１０と同様な態
様で作用する。

カリパスアーム１１６は１対の陽離したばねアーム４４
により支持され、それによりカリパスアーム１１６を直
径測定方向に浮動させるが、ゲージ１１２，１１４の先
端部と加工物との閤の摩擦接触によりの生ずる垂直方向
の荷重に対して固定している。

第１０図は全体を符号１５０で示した本発明によるサイ
ズ調整用シューの第３実施例を例示している。このサイ
ズ調整用シュー１５０は、前述したシューとは、単一の
プローブ先端部１５２のみを使用した点で異なっている
。ハウジング１５４は１対の硬いインサート１５６を含
む。インサート１５６は慣用の「Ｖ字形」プロック型直
径ゲージの態様でジャーナル１２と係合する。プローブ
先端部１５２はゲージアーム１５８と連結ざれている。

ゲージアーム１５８はハウジング１５４に留められた片
持板ばね１６０により支持されている。ハウジング１５
４には、ゲージアーム１５８を移動させるための間隙ス
ペース１６２が形成ざれている。コイルばね１６４がゲ
＝ジアーム１５８に作用してプローブ先端部１５２を加
工物と係合した状屠に維持する。コイルばね１６４によ
り作用せしめられる偏位力を変更可能にするために、張
力１１１１ねじ１６６が設けられている。サイズ調整用
シュー１５０は第１図について説明したようなエアゲー
ジ型計測装置を使用している。空気がチューブ１６８を
通して吹きつけられかつオリフィス１７０を通って逃出
する。オリフイス１７０において空隙を形成する調節可
能なブラグ１７２が設けられている。加工物１２の直径
が変化すると、ゲージアーム１５８が移動し、それによ
りオリフィス１７０とプラグ１７２との間の空隙距離が
変化する。サイズ調整用シュー１５０は、前述した実施
例のように、シューハンガー３２により支持ピン３０を
介して担持されるようになうている。シューハンガー３
２には、この実施例のために、調節ねじ１６６およびチ
ューブ１６８のための通路を形成した間隙開口部１７４
および１７６が形成されている。

本発明の開発の過程において、発明者は多くの用途にお
いて加工物の表面に対して支持パッド２６を適正な位置
に配置することが必要であることを発見した。第２図、
第７図および第１０図に示したように、符号ｒＣＪで示
した角度は垂直線に対する垂直バッド２６の加工物と．
の接触位置により形成されている。もしも両方の支持バ
ツド２６における加工物に対する接線が交わるとすれば
、ｒＣＪの２倍に等しい合計の夾角が得られる。もしも
夾角が過大であれば、特に工具が所望の直径にいったん
到達したときに圧力が除去される以下に記載するような
「マスターのない」マイクロ仕上げ機械と共に使用され
るときに、サイズ調整用シュー１０が加工物ジャーナル
１２から外れて涌る傾向を生ずる。もしも角度１’　Ｃ
　Ｊが４５’　　（９０゜の夾角》よりも小さい値に減
少すれば、支持パッド２６がサイズ調整用シューを加工
物に対して所望の位置に維持する傾向が生ずるように加
工物と係合する。ある用達においては、角度「Ｃ」が過
度に小さく、例えば、２０″よりも小さくなれば、締付
け角の状態が起こって、機械加工後に加工物ジャーナル
１２からサイズ調整用シューを取り外すことが困難にな
る。これらの発明者は、多くの用途に対して、角度ｒＣ
Ｊを２５’　　（５０″の夾角》とすることが最適であ
ることを発見した。

さて、特に第１１図ないし第１３図について述べると、
サイズ調整用シューおよびマイクロ仕上げ用シューのた
めの前述した実施例のいずれかに使用しつるマイクロ仕
上げ機械１８０を示してある。マイクロ仕上げ機械１８
０はサイズ調整用シューおよびマイクロ仕上げ用シュー
がジャーナル表面、例えば、クランク軸の連結棒ジャー
ナルの旋回運動に追従することができる、いわゆる、「
マスターのない」型式のものである。マイクロ仕上げ機
械１８０は上側支持アーム１８２および下側支持アーム
１８４を含む。次に、アーム１８２．１８４はマイクロ
仕上げ用シューおよびサイズ調整用シューを図示のよう
に支持する。マイクロ仕上げ用フィルム１８はマイクロ
仕上げ用シュー１４を通過している状態で示してある。

支持アーム１８２および１８４は支持棒１９０のピン１
８６のまわりに枢動可能である。液圧シリンダ１８８が
支持アーム１８２．１８４に作用して該支持アームが加
工物を締めつけまたは弛めるようになっている。《第１
１図および第１３図において締めつけ状態を示す》ブロ
ック１９２が支持棒１９０にピン１９４により留められ
ている。ピン１９４はブロック１９２を枢動させる。支
持棒１９０はピボット連結部１９８を介して桿１９６と
係合している。

支持ハウジング２００は支持アーム１８２および１８４
を軸纏方向に移動しかつ枢勤させるための通路を有し、
かつプレート２０２を含む。プレート２０２は内部にブ
ロック１９２が移動する細長い長方形のスロット２０４
を有している。桿２０６がブロック１９２と連結されか
つシリンダ２０８と連絡している。桿用ブレーキ２１０
および２１２が桿１９６および２０６のそれぞれのため
に設けられている。

第１１５！！ｌないし第１３図に示した工程は作動中の
マイクロ仕上げ機械１８０を示す。加工物の表面１２は
、図示したように、シリンダ１８８により作用される締
付け圧力により、加工物の回転中心２１４のまわりに偏
心して回転せしめられる。

支持アーム１８２および１８４は加工物の表面１２が回
転せしめられるときに、該加工物の移動に追従して移動
する。この過程中に、支持アーム１８２および１８４の
角位置およびスロット２０４の内部のブロック１９２の
軸線方向の位置が変化する。シリンダ２０８は可動構成
部分に作用する重力に少なくとも部分的に反抗して作用
する空気による上昇力を作用させてそれによりユニット
を本質的に「重量のない」状態、すなわち、中立状態に
して望ましくない外力が加わらないようにして加工物の
表面の運動に追従するユニットの能力を高めることがで
きるように設けられている，，前記のサイズ調整用シュ
ーによるマイクロ仕上げ操作中、シリンダ１８８により
作用せしめられる締付け圧力は、所望の直径にいったん
到達すると、解除される。しかしながら、工具は、加工
物が依然として移動している園にもしも支持アーム１８
２および１８４が開かれれば起こることがある衝突によ
る工具のｆ｛傷を阻止するために、加工物と係合した状
態に維持されている。桿用ブレーキ２１０および２１２
は、いったん加工物の回転が止められかつシリンダ１８
８が作動して加工物が離脱せしめられ、シューが別の加
工物と再び係合する状態に維持されるように設けられて
いる。

これらの発明者は、前記のサイズ調整用シューに加えて
、加工物ジャーナルを所望の直径にする能力を高める操
作工程を発見した。フィルム１８を被覆した砥粒はフィ
ルム１８と仕上げられる表面との間の相対運動の方向に
関して該砥粒の前縁が円滑に摩耗する傾向がある。フィ
ルム１８の新しい表面がマイクロ仕上げシュー１４を通
して割１．出しされるときに、加工物ジャーナル１２の
当初の回転により、加工物の材料が高速度で除去される
。この材料除去速度は回転が継続するにつれて迅速に低
下する。しかしながら、もしもフィルム１８を横切るジ
ャーナル表面の相対移動方向が（例えば、ジャーナル１
２を反対の方向に回転することにより）逆になれば、材
料除去速度が再び比較的に高くなり、その侵漸減する。

加工物の相対移動方向を連続して逆にすることにより各
々の逆転に対する朝期の回転中、材料の除去速度が＾く
なる。

第１４図および第１５図について述べると、非逆転サイ
クルおよび運転サイクルに対する加工物の直径対回転数
を示してある。水平軸線はジャーナルの所望の直径を表
わしかつ回転数ぜ口における戦略点は出発直径を表わす
。第１４図はマイクロ仕上げ用シューを単一の回転方向
に作動させたときの該シューの挙動を例示している。図
示したように、材料除去速度は当初は非常に高いが、迅
速に減少する。この材料除去速度の減少は、晴磨フィル
ム１８の金属の砥粒が加工物から外れて該研磨フィルム
の「負荷が高まる」ために起こる。

この除去速度は約１０回転後に非常に低いレベルに到達
しかつ最終的にゼロになり材料が除去ざれなくなる。し
たがって、ジャーナル表面の相対移動方向を逆にしなけ
れば、研磨フィルムの新しい面を提供しない限り、サイ
ズ調整のために可成りの檄の材料を除去することが事実
上不可能である．第１５図は加工物の回転方向が定期的
に逆になるマイクロ仕上げ機械における加工物の直径対
回転数を例示している。第１５Ｆｊ！Ｊは加工物の回転
方向が５回転毎に逆になる（例えば、回転数１ないし５
の間はｒｉ計回りの方向」に回転し、かつ回転数５ない
し１０の問は「逆時計回りの方向」に回転する》マイク
ロ仕上げ機械の特性曲線を示す。

図示したように、当初の高い材料除去速度は５回転後に
可成り減少する。しかしながら、加工物の回転方向を逆
にすると、材料の除去速度が可成り増大し、その後第１
サイクルの場合と同様に減少する。この挙動は連続サイ
クルを通じて全体として鋸歯状のパターンを伴なう。第
１４図と第１５図とを比較すると明らかであるように、
除去可能な材料のｍｉｌｍは第１５図に示した四転方向
を逆にしたサイクルにおいて可成り増大する。

これらの発明者は、マイクロ仕上げ機械および方法の開
発を通じて、エンジンのクランク軸の回転方向をほぼ５
回転ないし１０回転毎《第１５図では５回転毎》に逆に
することにより、材料の除去速度および表面仕上げの優
れた組合わせが得られることを決定し”だ。代表的なク
ランク軸ジャーナルは２回ないし１５回の逆転サイクル
により許容される表面仕上げおよび形状パラメータにマ
イクロ仕上げすることができる。高い精度のマイクロ仕
上げされた表面を得ることが必要であるために、所望の
値に近い直径が測定されたときに機械加工の方向を逆に
することは望ましくない。もしも加工方向の逆転が所望
の直径に達する直前になされるとすれば、マイクロ仕上
げ装置は当初のロ転中の材料の除去速度が高いために所
望の直径に対する行過ぎが発生することを阻止するため
に十分に迅速に反応することが困難である。したがって
、この明装置ｍに記載のサイズ調整用シューを使用する
マイクロ仕上げ装式は所望の直径と測定された直径との
差が所定値にいったん達したときに機械が加工物の回転
方向を逆にすることを阻止するように作動することが好
ましい。それ故に、正規の直径は材料の除去速変が比較
的に低いときに得られ、その結果直径を高い精度で正規
の直径に近づけることができる。この方法により、一般
に本来両立しないパラメータと考えられている寸法精度
と高い材料除去速度との優れた組合わせが得られる。第
１５図は回転方向の逆転が起こるように設定された時期
の直前に加工物の直径が所望値に達する作動曲線をグラ
フで表示している。一例として、加工物の直径は２０＠
転の直前にほぼ得られるように思われる。所望の直径に
到達する時期の近くで加工物の回転方向を逆にすること
により材料の除去速度が非常に高くなり、それにより工
具が目標値を行き過ぎて加工するので、サイクルは図示
したように所望の直径に達するまで２２回転または２３
回転まで続行される。２２回転と２３回転との囚の材料
除去速度は比較的に低く、所望の直径に徐々に近づきか
つ所望の直径に高い精度で到達することが可能になる。

上説の説明は本発明の好ましい実施例に関するものであ
るが、本発明の変型、変更を特許請求の適正な範囲およ
び正しい意味から逸脱することなく実施しうろことは理
解されよう。

【図面の簡単な説明】

第１図はマイクロ仕上げ用シューと共に使用される、サ
イド力バーを取り外した本発明の第１実施例によるサイ
ズ調整用シューを示した加工物ジャーナルの横断面図、第２図は特に第１図に示したサイズ調整用シューの構造
を示した拡大横断面図、第３図は第２図を矢印３−３の方向に見た上面図、第４図は第２図を４−４線に沿って裁った横断面図、第５Ａ図は特にエアジェットゲージ集成体を示した第２
図を５−５１１に沿って截った切所拡大断面図、第５Ｂ図は第５Ａ図と６様な図でありかつ２個のカリパ
スアームの相対変位を示しかつこのような変位によりゲ
ージのエアギャップが生ずる状態を示した図、第６図は本発明の第１実施例によるサイズ調整用シュー
を絵で示した分解図、第７図はジャーナルの表面に沿って二つの軸線方向に離
隔した位置において直径を測定しかつ電子力ラム型ゲー
ジを使用した本発明の第２実施例によるサイズ調整用シ
ューの側面図、第８図は第７図に示したサイズ講整用シューの上面図、第９図は第７図に示したサイズ１１１１月シューの端面
図、第１０図は単一のプローブ先端部を使用しかつ「Ｖ字形
」ブロック直径測定ゲージの態様で作動する本発明の第
３実施例によるサイズ調整用シューのａ而図、第１１Ｆｌ！Ｊか６第１３５！！ｌＬｔ本発明ノサイス
装置装置用シューと共に使用することができる本発明に
よる「マスターのない」型式のマイクロ仕上げ機械の側
面図、第１４図は加工物に対するマイクロ仕上げ用シューの回
転方向を単一方向に維持する機械加工サイクルにおける
回転に対する加工物の直径を示したグラフ、第１５図はマイクロ仕上げ用シューと加工物との間の回
転方向を定期的に逆にする機械加工サイクルにお番プる
回転に対する加工物の直径を示したグラフである。１０・・・サイズ調整用シュー　１２・・・加工物、１
４・・・マイクロ仕上げ用シュー　１８・・・研磨フィ
ルム、２２・・・ゲージプＯツク、２６・・・支持パッ
ド、３０・・・ピン、３２・・・シューハンガー、３６
．３８・・・カリパスアーム、４０．４２・・・プロー
ブ先端部、４４・・・支柱、５４・・・エアジェットゲ
ージ集成体、６０・・・オリフィス、６４・・・プラグ
、１１０・・・サイズ調整用シュー　１１２．１１４−
・・サイズ調整ゲージ、１１６・・・カリパスアーム、
１２０−・・ハウジング、１２８・・・電気変換器、１
３０・・・本体部分、１３４．１３６・・・プＯ−プ先
端部、１５０・・・サイズ調整用シュー　１５２・・・
プローブ先端部、１５４・・・ハウジング、１５６・・
・インサート、１５８・・・ゲージアーム、１６０・・
・ばね、１　６　８　−・・チューブ、１７０・・・オ
リフィス、１７２・・・プラグ、１８０・・・マイクロ
仕上げ機械、１８２，１８４・・・支持アーム、１８６
・・・ピン、１８８・・・液圧シリンダ、１９２・・・
ブロック、２００・・・ハウジング、２０８・・・シリ
ンダ、２１０．２１２・・・ブレーキ。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）製造工程中に加工物の直径を測定可能にするため
のマイクロ仕上げ機械のサイズ調整用シューであつて、
位置決めパッドを有するゲージブロックを備え、該位置
決めパッドは前記ゲージブロックを位置決めするために
前記加工物と接触しており、さらに、前記加工物と接触
するための第１プローブ先端部を有するカリパスアーム
と、前記カリパスアームを前記ゲージブロックと連結し
かつ前記カリパスアームを前記ゲージブロックに対して
変位可能にするための弾性装置と、前記第１プローブ先
端部から直径方向に対向した位置において前記加工物と
接触する第２プローブ先端部と、前記第１プローブ先端
部および第２プローブ先端部の位置の差を測定しかつ前
記加工物の直径に関する出力を発生するために前記カリ
パスアームおよび前記第１プローブ先端部および第２プ
ローブ先端部と連結された計測装置とを備えたマイクロ
仕上げ機械のサイズ調整用シュー。
（２）特許請求の範囲第１項に記載のサイズ調整用シュ
ーであって、前記ゲージブロックがピン装置によりシュ
ーハンガーと連結され、それによりゲージブロックとシ
ューハンガーとの間の相対回転を可能にするサイズ調整
用シュー。
（３）特許請求の範囲第１項に記載のサイズ調整用シュ
ーであって、前記弾性装置が前記カリパスアームを直径
測定方向に変位可能にしかつ前記加工物と前記プローブ
先端部との接触点において前記加工物に対して接線をな
す方向においてさらに大きい剛性を有する１対の離隔し
た片持ばねを備えたサイズ調整用シュー。
（４）特許請求の範囲第１項に記載のサイズ調整用シュ
ーであって、前記計測装置が前記第１プローブ先端部お
よび第２プローブ先端部の一方と連結されたエアオリフ
ィスと、前記第１プローブ先端部および第２プローブ先
端部の他方と連結された空気閉塞面とを有するエアジェ
ットゲージ集成体を備え、それにより前記加工物の直径
の変化により前記エアオリフィスと前記空気閉塞面との
間の隔離距離を変更してそれにより前記オリフィスを通
しての空気の流れに対する制限を可変にしたサイズ調整
用シュー。
（５）特許請求の範囲第１項に記載のサイズ調整用シュ
ーであって、前記弾性装置が前記カリパスアームに力を
作用してそれにより前記第１プローブ先端部が前記加工
物と接触するように押し込まれるサイズ調整用シュー。
（６）特許請求の範囲第１項に記載のサイズ調整用シュ
ーであつて、前記計測装置が電子ゲージを備えたサイズ
調整用シュー。
（７）特許請求の範囲第６項に記載のサイズ調整用シュ
ーであつて、前記電子ゲージが前記カリパスアームに取
り付けられた本体と、前記第２プローブ先端部と連結さ
れた先端部とを有するサイズ調整用シュー。
（８）特許請求の範囲第１項に記載のサイズ調整用シュ
ーであつて、さらに、弾性装置により前記ゲージブロッ
クと連結された第２カリパスアームを備え、かつ前記第
２プローブ先端部が第２カリパスアームにより担持され
たサイズ調整用シュー。
（９）特許請求の範囲第８項に記載のサイズ調整用シュ
ーであつて、前記第１カリパスアームおよび第２カリパ
スアームが全体として相互に重なり合いかつ前記加工物
を部分的に包囲するサイズ調整用シュー。
（１０）特許請求の範囲第１項に記載のサイズ調整用シ
ューであつて、前記サイズ調整用シューがさらに前記加
工物に沿って軸線方向に変位した直径方向に対向した位
置において前記加工物と接触するための第３プローブ先
端部および第４プローブ先端部を含むサイズ調整用シュ
ー。
（１１）特許請求の範囲第１項に記載のサイズ調整用シ
ューであって、前記位置決めパッドが前記加工物と接触
して前記加工物との接触点において前記位置決めパッド
を通る接線の間に９０°よりも小さい夾角を形成するサ
イズ調整用シュー。
（１２）特許請求の範囲第１１項に記載のサイズ調整用
シューであって、前記夾角が５０°であるサイズ調整用
シュー。
（１３）製造工程中に加工物の直径を測定可能にするた
めのマイクロ仕上げ機械のサイズ調整用シューであつて
、位置決めパッドを有するゲージブロックを備え、該位
置決めパッドは前記ゲージブロックを位置決めするため
に前記加工物と接触しており、さらに、弾性装置により
前記ゲージブロックと連結されたゲージアームと、前記
加工物の表面の直径の変化により前記ゲージ本体に対す
る前記ゲージアームの位置の変化を生ずるように前記ゲ
ージアームと連結されたプローブ先端部と、前記ゲージ
本体に対する前記ゲージアームの位置を測定してそれに
より前記加工物の直径を測定する計測装置とを備えたサ
イズ調整用シュー。
（１４）特許請求の範囲第１３項に記載のサイズ調整用
シューであって、前記弾性装置が前記ゲージアームの一
端部に取り付けられた片持板ばねを備えかつ前記ゲージ
装置が前記プローブ先端部を備えた前記ゲージアームの
反対側の端部の近くに配置されたサイズ調整用シュー。
（１５）特許請求の範囲第１３項に記載のサイズ調整用
シューであって、前記計測装置が前記加工物の直径によ
り変化する空気間隙を形成するオリフィスおよび閉塞面
を有するエアゲージを備えたサイズ調整用シュー。
（１６）特許請求の範囲第１３項に記載のサイズ調整用
シューであつて、前記位置決めパッドが前記加工物と接
触して前記加工物との接触点において前記位置決めパッ
ドを通る接線の間に９０°よりも小さい夾角を形成する
サイズ調整用シュー。
（１７）特許請求の範囲第１６項に記載のサイズ調整用
シューであって、前記夾角が５０°であるサイズ調整用
シュー。
（１８）加工物の全体として円筒形の外面を仕上げるた
めのマイクロ仕上げ機械であって、研磨フィルムを前記
加工物の円周の一部分に押しつけるマイクロ仕上げ用シ
ューと、前記加工物の直径を測定するサイズ調整用シュ
ーと、前記マイクロ仕上げ用シューおよびサイズ調整用
シューに対して前記加工物を回転する装置と、前記加工
物に接した前記マイクロ仕上げ用シューに締付け力を作
用してそれにより前記加工物の円筒形の表面から材料を
除去する締付け装置と、前記サイズ調整用シューにより
前記加工物の直径が所望の値に達したことが検出された
ときに前記締付け装置を消勢する制御装置とを備えたマ
イクロ仕上げ機械。
（１９）特許請求の範囲第１８項に記載のマイクロ仕上
げ機械であつて、前記サイズ調整用シューが位置決めパ
ッドを有するゲージブロックを備え、該位置決めパッド
は前記ゲージブロックを位置決めするために前記加工物
と接触しており、さらに、前記加工物と接触するための
第１プローブ先端部を有するカリパスアームと、前記カ
リパスアームを前記ゲージブロックと連結してそれによ
り前記加工物が前記ゲージブロックに対して回転すると
きに前記カリパスアームを前記ゲージブロックに対して
変位可能にするための弾性装置と、前記第１プローブ先
端部から直径方向に対向した位置において前記加工物と
接触する第２プローブ先端部と、前記第１プローブ先端
部および第２プローブ先端部の位置の差を測定してそれ
により前記加工物の直径を測定する計測装置とを備えた
マイクロ仕上げ機械。
（２０）特許請求の範囲第１９項に記載のマイクロ仕上
げ機械であつて、前記弾性装置が前記カリパスアームを
直径測定方向に変位可能にしかつ前記直径測定方向にお
いて前記プローブ先端部との接触点における前記加工物
に対して接線をなす方向においてさらに大きい剛性を有
する１対の離隔した片持ばねを備えたマイクロ仕上げ機
械。
（２１）特許請求の範囲第１９項に記載のマイクロ仕上
げ機械であって、前記計測装置が前記第１プローブ先端
部および第２プローブ先端部の一方と連結されたエアオ
リフィスと、前記第１プローブ先端部および第２プロー
ブ先端部の他方と連結された空気閉塞面とを有するエア
ジェットゲージ集成体を備え、それにより前記加工物の
直径の変化により前記エアオリフィスと前記空気閉塞面
との間の隔離距離を変更してそれにより前記オリフィス
を通しての空気の流れに対する制限を可変にしたマイク
ロ仕上げ機械。
（２２）特許請求の範囲第１９項に記載のマイクロ仕上
げ機械であって、前記弾性装置が前記カリパスアームに
力を作用してそれにより前記第１プローブ先端部が前記
加工物と接触するように押し込まれるマイクロ仕上げ機
械。
（２３）特許請求の範囲第１９項に記載のマイクロ仕上
げ機械であって、前記サイズ調整用シューがさらに前記
第１プローブ先端部および第２プローブ先端部から軸線
方向に変位した位置において前記加工物と接触する第３
プローブ先端部および第４プローブ先端部を備えたマイ
クロ仕上げ機械。
（２４）特許請求の範囲第１９項に記載のマイクロ仕上
げ機械であつて、前記計測装置が電子ゲージを備えたマ
イクロ仕上げ機械。
（２５）特許請求の範囲第２４項に記載のマイクロ仕上
げ機械であって、前記電子ゲージが前記カリパスアーム
に取り付けられた本体と、前記第２プローブ先端部と連
結された先端部とを有するマイクロ仕上げ機械。
（２６）特許請求の範囲１９項に記載のマイクロ仕上げ
機械であって、さらに、弾性装置により前記ゲージブロ
ックと連結された第２カリパスアームを備え、かつ前記
第２プローブ先端部が第２カリパスアームにより担持さ
れたマイクロ仕上げ機械。
（２７）特許請求の範囲第２６項に記載のマイクロ仕上
げ機械であって、前記第１カリパスアームおよび前記第
２カリパスアームが全体として相互に重なり合いかつ前
記加工物を部分的に包囲するマイクロ仕上げ機械。
（２８）特許請求の範囲第１９項に記載のマイクロ仕上
げ機械であつて、前記位置決めパッドが前記加工物と接
触して前記加工物との接触点において前記位置決めパッ
ドを通る接線の間に９０°よりも小さい夾角を形成する
マイクロ仕上げ機械。
（２９）特許請求の範囲第２８項に記載のマイクロ仕上
げ機械であつて、前記夾角が５０°であるマイクロ仕上
げ機械。
（３０）特許請求の範囲第１８項に記載のマイクロ仕上
げ機械であつて、前記サイズ調整用シューが位置決めパ
ッドを有するゲージブロックを備え、該位置決めパッド
は前記ゲージブロックを位置決めするために前記加工物
と接触しており、さらに、弾性装置により前記ゲージブ
ロックと連結されたゲージアームと、前記加工物の表面
の直径の変化により前記ゲージ本体に対する前記ゲージ
アームの位置の変化を生ずるように前記ゲージアームと
連結されたプローブ先端部と、前記ゲージ本体に対する
前記ゲージアームの位置を測定してそれにより前記加工
物の直径を測定する計測装置とを備えたマイクロ仕上げ
機械。
（３１）特許請求の範囲第３０項に記載のマイクロ仕上
げ機械であつて、前記弾性装置が前記ゲージアームの一
端部に取り付けられた片持板ばねを備え、かつ前記計測
装置が前記プローブ先端部を備えた前記ゲージアームの
反対側の端部の近くに配置されたマイクロ仕上げ機械。
（３２）特許請求の範囲第３０項に記載のマイクロ仕上
げ機械であって、前記計測装置が前記加工物の直径によ
り変化する空気間隙を形成するオリフィスおよび閉塞面
を有するエアゲージを備えたマイクロ仕上げ機械。
（３３）特許請求の範囲第３０項に記載のマイクロ仕上
げ機械であって、前記位置決めパッドが前記加工物と接
触して前記加工物との接触点において前記位置決めパッ
ドを通る接線との間に９０°よりも小さい夾角を形成す
るマイクロ仕上げ機械。
（３４）特許請求の範囲第３３項に記載のサイズ調整用
シューであつて、前記夾角が５０°であるサイズ調製用
シュー。
（３５）加工物の全体として円筒形の表面を仕上げるた
めのマイクロ仕上げ機械であって、前記加工物と係合す
る第１シューと、前記加工物と係合する第２シューとを
備え、前記第１シューおよび第２シューの少なくとも一
方が前記加工物の表面に研磨フィルムを押しつけるよう
になっており、さらに、前記加工物を回転する装置と、
各々が前記第１シューおよび第２シューの一方を支持す
る１対のアームとを備え、前記１対のアームは前記加工
物から前記第１シューおよび第２シューを離脱させる開
放位置および前記第１シューおよび第２シューを前記加
工物と係合させる閉鎖位置に枢動可能であり、さらに、
前記１対のアームをピボットにおいて係合させかつ前記
アームを前記ピボットのまわりに回転させかつ前記ピボ
ットを直線状に移動させてそれにより前記加工物の回転
中に前記加工物の表面が偏心して移動せしめられるとき
に前記第１シューおよび第２シューが前記加工物の表面
と係合しうるように前記アームを支持する装置と、前記
アームが前記ピボットのまわりに回転することを阻止す
るために作動可能な第１ブレーキ装置と、前記ピボット
が直線状に移動することを阻止するために作動可能な第
２ブレーキ装置とを備え、それにより前記第１ブレーキ
装置および第２ブレーキ装置が前記アームを開いて予め
選択された回転した割出し位置に配置された第１加工物
を離脱させかつ前記割出し位置において前記機械中に装
填された第２加工物に対して前記アームを閉じることを
可能にするマイクロ仕上げ機械。
（３６）特許請求の範囲第３４項に記載のマイクロ仕上
げ機械であって、前記ピボットの線形運動が全体として
垂直方向に行われるマイクロ仕上げ機械。
（３７）特許請求の範囲第３６項に記載のマイクロ仕上
げ機械であって、さらに、前記１対のアームに作用する
重力に抗して少なくとも部分的に反作用する偏位装置を
備えたマイクロ仕上げ機械。
（３８）特許請求の範囲第３５項に記載のマイクロ仕上
げ機械であって、さらに、前記１対のアームを相互に枢
動するように作動させるために作動可能な偏位装置を備
えたマイクロ仕上げ機械。
（３９）円筒形の加工物の表面をマイクロ仕上げする方
法であつて、研磨フィルムを前記加工物の表面に押しつ
けるためのマイクロ仕上げ用シューを準備し、前記加工
物の直径を連続して測定するためのゲージを準備し、前
記加工物を前記研磨フィルムに対して第１方向に回転し
てそれにより材料を当初比較的に高い速度で除去し、そ
の後材料を比較的に低い速度で除去し、前記加工物を前
記研磨フィルムに対して前記第１方向と反対の第２方向
に回転してそれにより材料を当初比較的に高い速度で除
去し、その後材料を比較的に低い速度で除去し、かつ前
記回転方向を定期的に逆にし、かつ前記ゲージによりい
つたん所定の直径が測定されると前記加工物の表面に対
して前記研磨フィルムにより加えられる圧力を釈放する
諸工程を含むマイクロ仕上げ方法。
（４０）特許請求の範囲第３９項に記載のマイクロ仕上
げ方法であって、前記加工物の表面の直径が前記所望の
直径よりも所定量大きいときに前記の回転方向の逆転が
起こるようにしてそれにより前記材料が比較的に低い速
度で除去される間に加工物の直径が所望の値に達するよ
うにしたマイクロ仕上げ方法。