JPH02227843A - 光学式記録媒体用基板の自動検査システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光学式記録媒体用基板の自動検査システムに係
り、光学的な記録再生を行う光ディスク等の製造や検査
に利用できる。

〔従来の技術〕

従来より、光ディスク等の光学的な記録および再生を行
う記録媒体用の基板においては、製造時の機械的特性お
よび光学的特性が高くかつ安定していることが求められ
る。

例えば、機械的特性としては、内径誤差や面振れ等の成
形不良がなく、かつ表面ないし内部に傷等の欠陥がない
ことが要求される。また、光学的特性としては、光の反
射や透過の際に不必要な複屈折や偏光欠陥等がないこと
が要求される。このため、光ディスク等の生産にあたっ
ては、前述のような各種特性についての欠陥検査が不可
欠であリ、不良基板への記録膜の成膜といった無駄を省
くために、製造工程の早い段階での基板の欠陥検査が行
われている。

このような欠陥検査としては、従来より、基板表面から
の目視検査が行われており、形状や寸法精度、傷の有無
、あるいは光の反射や透過状態について、正常な基板と
の直接比較による判定などが行われている。一方、近年
では検査の自動化が図られ、例えば検査対象の基板を逼
影して画像処理し、正常な基板の画像と比較して各種欠
陥を判定する方法などが提案されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、前述のような目視による欠陥検査はあくまで
人間による判定であるため、欠陥の判定に曖昧さが避け
られないとともに、検査担当者が安定した判定を行える
ようになるには経験を積む必要がある。また、人手によ
る基板の取扱いが頻繁になるため、検査作業中に基板表
面に傷を付けたり汚れが付着したりする恐れがある。さ
らに、−枚の基板の検査にかかる処理時間が長く、検査
効率が低いという問題があり、大量生産される基板の全
品検査を行うことは容易ではない。

これに対し、自動化された検査装置を用いれば各検査項
目についての客観的な結果が効率よく得られる。しかし
、多数の検査項目について検査する場合、各項目毎に検
査装置が必要となるうえ、検査対象の光デイスク基板を
各検査装置に順次セットする等の作業を人手により行わ
なければならず、全体的な効率を考えた場合、個々の検
査担当者が多様な項目に対応できる目視検査に比べて必
ずしも効率はよいとはいえない。

さらに、近年では一般的な読み泡り専用型の他、様々な
形式の光ディスクが利用されており、特に追記型光ディ
スク（Ｗｒｉｔｅ　ｏｎｃｅ　０ｐｔｉｃａｌ　ｄｉｓ
ｋ　）や書き換え型光ディスク等では記録方式に応じて
基板に要求される光学的特性もより厳しいものとなる０
例えば、書き換え型の一種である光磁気ディスク（Ｍａ
ｇｎｅｔｉｃ　０ｐＬｉｃａｌ　ｄｉｓｋ　）では、記
録層の磁化の向きに応じた偏光面の変化を用いて信号を
記録しており、基板には偏光特性を特に厳密に検査する
必要がある。このような厳密さが要求される基板におい
ては、もはや目視検査では不充分であり、検査装置の利
用が不可欠である。しかし、前述のように各検査装置に
おける光デイスク基板の人手による出し入れの際に傷等
の欠陥が発生することがあり、全体としての検査の厳密
さを確保するためには光デイスク基板の取扱い等を含め
た一貫した自動化が求められていた。

本発明の目的は、複数の項目についての一連の検査を自
動的に行える光学式記録媒体用基板の自動検査システム
を提供することにある。

（課題を解決するための手段） 本発明は、検査対象の光学式記録媒体用基板の内径を検
査する内径検査部と、前記基板の傷を検査する傷欠陥検
査部と、前記基板の偏光欠陥を検査する偏光欠陥検査部
と、前記基板の面振れを検査する面振れ検査部と、前記
基板の複屈折を検査する複屈折検査部とを含み、前記内
径検査部が最前段に配置された検査手段を設け、 前記検査手段に検査する基板を順次供給する供給部と、
前記検査手段に供給された基板を間歇的に移動させて各
検査部に順次搬送する搬送部と、前記各検査部の検査結
果に基づいて検査手段から送り出された基板を分類する
分類部とを含む搬送手段を設けるとともに、 前記検査機構および搬送機構を集中制御Ｂする制御手段
を設けて光学式記録媒体用基板の自動検査システムを構
成するものである。

ここで、検査手段に配置する各検査部としては、既存の
検査方法を適宜利用すればよいが、精度および損傷防止
を考慮して超音波や光ビーム等を用いた非接触式のもの
が好ましい０例えば、内径および面振れ等の機械的特性
の検査には、ビームの遮断検出による位置測定等が利用
できる。

また、偏光や複屈折等の光学的欠陥の検査には、基板に
光を照射し、透過した光を１最影し、画像処理により部
分的な輝度の変化等を判定する方法等が利用できる。特
に、偏光欠陥の検査には、基板に照射する光を予め所定
特性の偏光としておく等の手段が採用できる。

さらに、各検査部としては、分類部等で各基板毎に総合
的な判断が行えるように、例えば制ｊＢ手段に対して各
々の検査結果を出力できるようなデータ通信機能を有す
ることが好ましい。

〔作用〕

このような本発明においては、搬送手段の供給部により
検査する基板が検査手段に順次供給され、供給された基
板は搬送部により検査手段の各検査部に順次搬送される
。検査手段を搬送される基板は、各検査部によりそれぞ
れ内径、傷、偏光欠陥、面振れ、複屈折といった各項目
を順次判定される。

検査手段を通過した基板は、搬送手段の分類部に送り出
され、検査手段による検査結果に基づいて分類される。

ここで、搬送手段および検査手段は制御手段によって集
中制御され、搬送動作の同期や検査手段の動作との調整
等は自動的に行われる。また、各検査部からの検査結果
は制御手段により各基板毎に一括管理され、分類部にお
ける分類の際に参照され、あるいは統計データとして集
計される。

従って、本発明においては、検査対象の基板に対する各
項目の検査を一括して自動的に行うことが可能となり、
これに伴い検査時間の短縮や検査精度の向上などが実現
され、これらにより前記目的が達成される。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

第１図および第２図には、本発明に基づく光デイスク基
板自動検査システム１が示されている。

このシステムｌは、光デイスク基板２に対して複数項目
の検査を行い、各検査結果を総合的に判定し、判定結果
に基づいて各基板２の分類までを自動実行するものであ
り、このために、検査する基板２を順次搬送する搬送手
段３と、送られる基板２に対して複数項目の検査を行う
検査手段４と、これら搬送手段３および検査手段４の動
作や検査結果を集中管理する制御手段５とを備えている
。

光デイスク基板２は、光学式記録媒体である光ディスク
として利用されるものであり、情報記録膜を成膜される
前の段階のポリカーボネート製の円板である。

搬送手段３は、第１図中左右方向に延びる搬送部１０を
備えるとともに、光デイスク基板２を搬送部１０に供給
するための供給部２０と、搬送部１０の右端に送り出さ
れた基板２を回収して分類収容するための分類部３０と
を備えている。

搬送部１０は、上面に形成されたコンベア１１により、
左端に載置された光デイスク基板２を順次間歇的に移動
させて右端まで搬送可能である。

供給部２０は、搬送部１０の左端近傍に配置されたハン
ドリングロボット２１と、その近傍に配置されたマガジ
ン式スト７カ２２とを備えている。ハンドリングロボッ
ト２１は、先端で光デイスク基板２を吸着可能な回動ア
ーム２３を有し、マガジン式ストッカ２２の上面から基
板２を一枚づつ取り出し、隣接する搬送部ｌＯの左端に
載置可能である。マガジン式ストッカ２２は、光デイス
ク基板２を多数収容するマガジン２３を取り扱うもので
あり、上面には回動アーム２３の取り出し位置にピッチ
送りキャリア２４を備えるとともに、その両端にはこの
キャリア２４に基板２が充填されたマガジン２３を送る
ための入庫用マガジンストレージ２５、および空になっ
たマガジン２３を回収するための出庫用マガジンストレ
ージ２６を備えている。このため、ハンドリングロボッ
ト２２は、順次キャリア２４上を送られるマガジン２３
から光デイスク基板２を取り出し、搬送部１０の左端に
順次供給可能である。

分類部３０は、搬送部１０の右端近傍に配置された直線
式ハンドリングロボット３１を備え、その移動範囲内の
下方には、２系統の回動式ハンドリングロボット３２が
配置されている。各ロボット３２の両側には、４系統の
パレット式ストッカ３３が配置され、各ストッカ３３に
配置されたパレット３４上には各ロボット３１．３２か
ら送られた光ディスク基板２が集積される。なお、各パ
レット３４は基板２の中心孔を挿通する軸３５を有する
とともに、基板２のスクッキングの際には順次スペーサ
を介装して基板２どうしの直接接触が防止されている。

また、各ロボット３１．３２による基板２の移送先パレ
ット３４は、制御手段５からの外部指令に基づいて選択
されるものである。

検査手段４は、搬送部１０に沿って配置された５基の検
査部４１〜４５を有し、これらは第１図中左側から右側
に向かって内径検査部４１、傷欠陥検査部４２、偏光欠
陥検査部４３、面振れ欠陥検査部４４、および複屈折検
査部４５の順に配列されている。

内径検査部４Ｉは、光デイスク基板２の中心孔の内径を
検査するものであり、光ビーム等を用いた限界ゲージ法
により基板２の内周縁位置を検査する方法等が採用され
る。

傷欠陥検査部４２は、光デイスク基板２の表面ないし内
部の傷あるいは気泡や異物の混入の有無を検査するもの
であり、基板２に所定以上の欠陥が発見されれば不合格
と判定する。具体的には、基板２の透過光をＣＣＤライ
ンセンサで撮影し、画像処理により輝度変化を検査する
方法等が採用され、画像処理の際には、明暗両欠陥の検
出スライス、あるいは連続する欠陥の連続処理や半径方
向の重み付は等が利用される。

偏光欠陥検査部４３は、光デイスク基板２の偏光特性を
検査するものであり、ウェルド等の材料の不均一による
偏光欠陥を検査するものである。具体的には、基板２に
適宜特性の偏光を照射し、その透過光を画像処理して輝
度変化を検査する方法等が採用される。

面振れ欠陥検査部４４は、光デイスク基板２の円周方向
の変位（面振れ）および径方向の変位（そり）を検査す
るものであり、光マイクロによる反射光位置検出等が採
用される。

複屈折検査部４５は、光デイスク基板２の複屈折特性を
検査するものであり、回転検光子法等により不必要な複
屈折の発生の有無を検査する方法等が採用される。

これらの各検査部４１〜４５には、それぞれ搬送部１０
との間にハンドリング装置４６が配置され、このハンド
リング装？！ｔ４６によりコンベアｌｌ上を送られてく
る光デイスク基板２は各検査部４１〜４５に取り込まれ
、検査後にコンベア１１上に戻される。

また、各検査部４１〜４５には、第２図に示すように、
それぞれ端末機能付小型コンピュータを用いた検査デー
タ処理装置４７が接続されている。この検査データ処理
装置４７は、各々が接続された検査部４１〜４５からの
検査結果を個別に処理して出力するものであり、各検査
部４１〜４５の検査条件等の設定操作を行い、必要に応
じて実行中の検査状況や検査結果の表示等を行うもので
ある。これらの各処理装置４７は、制御手段５とともに
、第１図中搬送部１０の下方に並べられたキャビネット
６内に収容されている。

制御手段５は、第２図に示すように、端末機能付小型コ
ンピュータを用いた集中コントローラ５１を備えている
。

集中コントローラ５Ｉはシステムｌ全体の制御を行うも
のであり、動作環境の設定あるいは必要に応じて検査内
容や動作状況等の表示を行うものである。また１、集中
コントローラ５１は、マルチプレクサ５２を介して検査
手段４の各検査データ処理装置４７に接続されており、
各検査部４１〜４５による検査結果を総合的に判定して
各基板２の品質ランク（Ａ、Ｂ、Ｃの３段階）を決定す
る。さらに、集中コントローラ５１は、搬送手段３およ
び検査手段４の動作制御を行うためのローカルコントロ
ーラ５３に接続されている。

ローカルコントローラ５３は、検査手段４の各検査部４
１〜４５に接続されたプロセッサ５４と、搬送手段３に
接続されたシーケンサ５５および動力回路５６とを備え
ている。

プロセッサ５４は、各検査部４１〜４５のハンドリング
装置４６に対し、搬送部１ｏの間歇的な送り動作の停止
時に基板２取り込みおよび基板２の戻し動作を行わせる
とともに、各検査部４１〜４５に対し、取り込んだ基板
２の検査を実行させる。

シーケンサ５５および動力回ｌ５５６は、搬送部１ｏの
間歇的な送り動作を制御し、停止時には基板２が各検査
部４１〜４５の直前に位置するように調整する。

また、シーケンサ５５および動力回路５６は、搬送部１
０の動作に同期して供給部２０に基Ｆｉ２の供給を行わ
せるとともに、分類部３０に搬送部１０から送り出され
た基板２の回収を行わせる。この際、分類部３０には集
中コントローラ５１での総合的な判定結果が参照され、
回収される各基板２を品質ランクに応じて分類できるよ
うに構成されている。

このような本実施例においては、検査する多数の光デイ
スク基板２を幾つかのマガジン２３に分けて収容し、各
マガジン２３を供給部２０のマガジン式ストッカ２２に
セットしておく。

ここで、集中コントローラ５１から制御手段５に対して
動作開始を指令することにより、システム１の自動運転
が開始され、制御手段５はローカルコントローラ５３に
より搬送手段３および検査手段４は各部を同期動作させ
る。

供給部２０は、ハンドリングロボット２１によりマガジ
ン式スト・ツカ２２のマガジン２３から順次基板２を取
り出し、搬送部１０のコンベア１１の一端に供給する。

＊送部１０は、供給された基板２を内径検査部４１、傷
欠陥検査部４２、偏光検査部４３、面振れ検査部４４、
複屈折検査部４５の順に間歇的に送り、各検査部４１〜
４５の直前位置毎に停止させる。

コンベアｌｌ上の基板２は、その停止位置に最寄りのハ
ンドリング装置４６によって、対応する各検査部４１〜
４５に取り込まれる。各検査部４１〜４５は、取り込ん
だ基板２に対して所定の検査を行い、その検査結果はそ
れぞれ検査データ処理装置４７により集中コントローラ
５１に返される。集中コントローラ５１は、各検査部４
１〜４５の検査結果を基板２毎にまとめて記録し、各基
板２の品質ランクを決定する。

各検査部４１〜４５を全て通過した基板２はコンベア１
１の他端に送り出される８分類部３０は、集中コントロ
ーラ５１で決定された当！！ｊ基板２の品質ランクを参
照して回収するパレット式ストッカ３３を決定し、直線
式ハンドリング装置ッ）３１および回動式ハンドリング
ロボット３２によりコンベア１１他端から基板２を取り
上げ、決定したストッカ３３に搬送してバレント３４上
に集積する。

これらの動作を順次継続することにより、供給部２０の
各マガジン２３内に収容しておいた光デイスク基板２は
、それぞれ各検査部４１〜４５による検査結果に基づい
て品質ランクを決定され、分類部３０の各パレット３４
に各々の品質ランクに応じて分類回収される。

このような本実施例によれば、以下に示すような効果が
ある。

すなわち、検査手段４として内径検査部４１、傷欠陥検
査部４２、偏光検査部４３、面振れ検査部４４、複屈折
検査部４５を設け、各々により光デイスク基板２の内径
、傷等の欠陥、偏光欠陥、面振れ、複屈折といった各項
目についての検査を自動的に行うことができる。

このため、検査効率や検査精度を高めることができると
ともに、従来の目視検査に比べて客観性を大幅に向上す
ることができる。

特に、偏光特性や複屈折特性の検査をも含むため、−船
釣な読み取り専用型光ディスクに比べてより厳しい光学
的特性が要求される追記型光ディスク（Ｗｒｉｔｅ　ｏ
ｎｃｅ　０ｐ１ｃａｌ　ｄｉｓｋ　）や光磁気ディスク
（Ｍａｇｎｅｔｉｃ　０ｐｔｉｃａｌ　ｄｉｓｋ　）等
に利用される基板２であっても確実な品質検査を行うこ
とができる。

また、搬送手段３として搬送部１０、供給部２０、分類
部３０を設け、搬送部ｌＯで送られる基板２をハンドリ
ング装置４６によって取り込むこととしたため、各検査
部４１〜４５に検査を行う基板２をセットする作業を自
動化する°ことができる。

このため、検査処理を一括して連続実行できるとともに
、多量の基板２の検査を自動的に連続処理できる。また
、人手による取扱いを大幅に削減することができ、作業
性の向上に加え、基板２の非汚染性を高めることができ
る。

さらに、搬送部１０に間歇的な送り動作を行わせること
により、ハンドリング装置４６による取扱を円滑にでき
、基板２の非汚染性および検査の確実性を高めることが
できる。

一方、搬送手段３および検査手段４を含むシステムｌの
全体の動作を制御手段５により一括管理することとした
ため、搬送部１ｏ、供給部２ｏ、分類部３０の送り動作
、各検査部４１〜４５の検査およびハンドリング装置４
６の動作を互いに同期させることができる。

このため、光デイスク基板自動検査システム１としての
全体的な処理効率を高めることができるとともに、各部
の受は渡し動作等を円滑にして基板２の保護を確実にで
きる。

また、各検査部４１〜４５による検査結果は、集中コン
トローラ５１によって集中的に管理することができ、各
基板２についての品質ランクの決定といった総合的な判
定までを自動的に行うことができる。

このため、従来のような各項目毎の検査を個別に行う場
合の最終的な評価の決定に要する労力を大幅に軽減でき
るとともに、統計的なデータの作成に利用できるため、
生産管理、歩留りのチェンク等への通用が容易に行える
。

さらに、検査の終了した基板２を分類部３０で回収する
にあたっては、その品質ランクに応じて分類して集積す
ることとしたため、検査結果に基づく分類作業をも自動
化することができる。

従って、本実施例の光デイスク基板自動検査システムｌ
においては、検査する光デイスク基板２はマガジン２３
に収容された状態でセットすればよく、かつ、検査を終
えた基板２は各パレット３４にａｉｍされた状態で品質
ランク別に取り出すことができる。

このため、検査にあたっての搬入、搬出作業が容易であ
るばかりでなく、基板２に対する作業者の直接接触を大
幅に削減して検査に伴う損傷や汚れの発生を未然に防止
することができ、高精度かつ微妙な特性が要求される光
デイスク基板２の検査に最適である。さらに、大量の基
板２にも対応することが容易であるうえ、自動化により
高精度の検査を効率よく行うことができ、従来は困難で
あった光デイスク基板２の全品検査にも何ら問題なく適
用することができる。

なお、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、
以下に示すような変形をも含むものである。

すなわち、搬送部１０はコンベア１１により光デイスク
基板２を載置して搬送するものに限らず、両側から基板
２を挟持するフィードバー等を利用した送り機構や、上
方からバキ五−ムカップ等を利用して吸着する送り機構
等を採用してもよく、ノ要するに、間歇的な動作により
各検査部４１〜４５に順次基板２を搬送できるものであ
ればよい。

また、供給部２０は、前記実施例のような回動アーム式
のハンドリングロボット２１およびマガジン式スタッカ
２３に限らず、実施の際には搬送部１０の形式等に応じ
た適宜な機構を採用すればよい。

さらに、供給部２０において基板２を収容するマガジン
２３を利用することは本発明に必須ではないが、前記実
施例のようにマガジン２３等の容器類を利用すれば、取
扱いが容易であるうえ基板２の保護を確実にできる。

また、前記実施例においては、供給部２０は基板２を搬
送部１０の一端に供給し、搬送部ｌＯによって検査手段
４の最前段の内径検査部４１に送るものとしたが、供給
部２０から内径検査部４１に基Ｆｉ２を直接供給しても
よく、要するに、供給部２０は検査する基板２を検査手
段４の最前段に供給できるものであればよい。

さらに、分類部３０は、前記実施例のようなハンドリン
グロボット３１．３２および複数のパレット式スタッカ
３３に限らず、搬送部１０の他端に送られた基Ｆｉ２を
回収し、品質ランクに応じて分類できるものであれば適
宜な機構を採用すればよい。

また、分類部３０において基板２をパレット３４に集積
することは本発明に必須ではないが、前記実施例のよう
にパレット３４あるいはマガジン２３のような容器類を
利用すれば、取扱いが容易であるうえ基板２の保護を確
実にできる。

さらに、前記実施例においては、分類部３０は搬送部１
０の他端から基板２を回収するものとしたが、分類部３
０が検査手段４の最終段である複屈折検査部４５から直
接回収してもよく、要するに検査手段４から送り出され
た基板２を総合的な検査結果に基づいて分類できるもの
であればよい。

一方、検査手段４としては内径検査部４１、傷欠陥検査
部４２、偏光検査部４３、面振れ検査部４４、複屈折検
査部４５に限らず、その他の項目に関する検査部を適宜
追加してもよい。

また、検査手段４の各検査部４１〜４５の配列は、前記
実施例のような順序に限らず、最前段の内径検査部４１
に続く各検査部４２〜４５は任意の順序に入れ換えても
よい、この順序としては、基板２としての品質項目の重
要度、検査時間等を考慮して決定すればよい。

さらに、各検査部４１〜４５の動作は、各々の検査を送
られる基板２の全てに対して行うのではなく、前の段階
の検査部で明らかに不良品と判定された基板２について
は、その判定を受けた制御手段５が以後の検査部に対し
て指令を出し、該当する基板２に対する検査を省略させ
てもよい。

なお、各検査部４１〜４５は各−基づつではなく、同様
な検査部を複数配置してもよく、例えば他の検査部の検
査時間に比べである検査部の検査時間が２倍となる場合
、その検査部を２基配置して交互に動作させることによ
り、その検査部の検査時間によって全体的な送り時間が
制約されることを解消でき、高速運転が可能となる。

また、基板２の歩留まりが予めある程度判っている場合
、歩留まりに応じて前段側を多く後段側を少なくし、前
段側から後段側に向けてコンベアを集合させ、検査ライ
ンの中間で中間で不良品を排除することにより、後段側
の検査部を共用して運転効率を向上することができる。

さらに、各検査部４１〜４５に付随するハンドリング装
置４６および検査データ処理装置４７は、前記実施例に
限らず、同等な機能のものに代替したり、あるいは省略
してもよく、実施にあたって適宜選択すればよい。

このほか、制御手段５１の具体的構成は実施にあたって
適宜変更してよく、例えば集中コントローラ５１の形式
等は任意に選択でき、マルチプレクサ５２は各検査部４
１〜４５からの検査結果をまとめて受信するのに適した
他の構成であってもよい。

また、ローカルコントローラ５３の具体的構成も任意で
あり、プロセッサ５４とシーケンサ５５とを一体化した
り、あるいはこれらのＩ！能を集中コントローラ５１自
体で行うことにより、ローカルコントローラ５３を省略
してもよい。

なお、検査にあたっては、製造された基板２の全てにつ
いての全品を検査するのではなく、無作為抽出による抜
き取りを行って一部の基板２についての検査を行うとし
てもよい。

また、前記実施例においては、検査対象の光学式記録媒
体用基板としてポロカーボネイト製の光デイスク基板２
を採用したが、本発明の光学式記録媒体の自動検査シス
テムは高精度が要求される他の材質の基板の自動検査に
も広く利用できるものである。

〔発明の効果〕

以上に説明したように、本発明の光学式記録媒体用基板
の自動検査システムによれば、複数の項目についての一
連の検査を自動的に行うことができ、検査対象の非汚染
性を向上できるとともに、検査精度および検査効率を向
上でき、大量生産される光学式記録媒体用基板の全品検
査に通用しても優れた効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の装置構成を示す斜視図、第
２図は前記実施例の回路構成を示すブロック図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）検査対象の光学式記録媒体用基板の内径を検査す
   る内径検査部と、前記基板の傷を検査する傷欠陥検査部
   と、前記基板の偏光欠陥を検査する偏光欠陥検査部と、
   前記基板の面振れを検査する面振れ検査部と、前記基板
   の複屈折を検査する複屈折検査部とを含み、前記内径検
   査部が最前段に配置された検査手段を設け、 前記検査手段に検査する基板を順次供給する供給部と、
   前記検査手段に供給された基板を間歇的に移動させて各
   検査部に順次搬送する搬送部と、前記各検査部の検査結
   果に基づいて検査手段から送り出された基板を分類する
   分類部とを含む搬送手段を設けるとともに、前記検査機
   構および搬送機構を集中制御する制御手段を設けて構成
   されたことを特徴とする光学式記録媒体用基板の自動検
   査システム。