JPH0222577A - Waveform generating circuit - Google Patents
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/3181—Functional testing
- G01R31/319—Tester hardware, i.e. output processing circuits
- G01R31/31917—Stimuli generation or application of test patterns to the device under test [DUT]
- G01R31/31928—Formatter
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は例えばメモリのようなICを試験するIC試
験装置に用いることができる波形生成回路に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION "Field of Industrial Application" The present invention relates to a waveform generation circuit that can be used in an IC testing device that tests ICs such as memories.
「従来の技術」
第3図(=従来の波形生成回路を示す。入力端子1(二
は第41gAl=示すよう響二輪理「1」か「0」を持
つパターン信号PAが与えられる。このパターン信号P
Aは排他的論理和回路2A、2B、2Cの各一方の入力
端子シー与えられる。"Prior Art" Figure 3 (= shows a conventional waveform generation circuit. Input terminal 1 (2 is No. 41gAl= As shown, a pattern signal PA having a Hibiki two-way logic "1" or "0" is given. This pattern Signal P
A is applied to one input terminal of each of the exclusive OR circuits 2A, 2B, and 2C.
排他的論理和回路2八〜2Cの他方の入力端+1:はパ
ターン信号PAを反転させるか否かを制御する制御信号
INA 、INB 、INCを与える。The other input terminal +1 of the exclusive OR circuits 28 to 2C provides control signals INA, INB, and INC for controlling whether or not to invert the pattern signal PA.
つまりこれら制御信号INA 、INB 、lNCl:
H論理を与えるとパターン信号PAは論理が反転されて
排他的論理和回路2A、2B、2Cから出力される。That is, these control signals INA, INB, INCl:
When H logic is applied, the logic of pattern signal PA is inverted and output from exclusive OR circuits 2A, 2B, and 2C.
排他的論理和回路2A、2B、2Cはそれぞれ非反転出
力端子と、反転出力端子とを有し、非反転出力端子の出
力はアンドゲート群3の各アンドゲートの一方の入力端
子に4えられ、反転出力端子の出力はアンドゲート群4
の各アンドゲートの一方の入力端子に与えられる。The exclusive OR circuits 2A, 2B, and 2C each have a non-inverting output terminal and an inverting output terminal, and the output of the non-inverting output terminal is input to one input terminal of each AND gate in the AND gate group 3. , the output of the inverted output terminal is AND gate group 4
is applied to one input terminal of each AND gate.
アンドゲート群3及び4の各他方の入力端子には制御信
号As 、BS 、C8及びAR、BR,CRを与える
。アンドゲート群3の各アンドゲートの出力は更Cニア
ンドゲート群5の各アンドゲートの一方の入力端子じ与
えられ、他方のアンドゲート群4のアンドゲートの出力
はアンドゲート群6のアンドゲートの一方の入力端子に
4える。Control signals As, BS, C8, and AR, BR, CR are applied to the other input terminals of AND gate groups 3 and 4, respectively. The output of each AND gate in AND gate group 3 is given to one input terminal of each AND gate in AND gate group 5, and the output of the AND gate in AND gate group 4 is fed to the AND gate in AND gate group 6. Add 4 to one input terminal of the .
アンドゲート群5及び6の各アンドゲートには第4図B
、C,D+二示すクロックCLA、CLB。For each AND gate in AND gate groups 5 and 6,
, C, D+2 clocks CLA, CLB.
CLCを与える。Give CLC.
アンドゲート群5及び6の各アンドゲートの出力はスキ
ニー調整用可変遅延素子7及び8を通じて論理和回路9
及び10(二人力され、論理和がとられてフリップフロ
ップ11のセット端子Sとリセット端子Rに4えられる
。The output of each AND gate of the AND gate groups 5 and 6 is passed through the skinny adjustment variable delay elements 7 and 8 to an OR circuit 9.
and 10 (two inputs), the logical sum is taken, and 4 is applied to the set terminal S and reset terminal R of the flip-flop 11.
従ってアンドゲート群5と6のアントゲ−)5Bと6C
が開の状態(二あるときはクロックCLBとCLCがフ
リップフロップ11のセクト端子S及びリセット端子R
に4えられ、第4図E(二示すパルスPEが生成され、
このパルスPEがドライバ12を通じて被試験ICI
3の一つの端子に与えられる。Therefore, and gate groups 5 and 6 ant games) 5B and 6C
is open (when two clocks CLB and CLC are connected to the sector terminal S and reset terminal R of the flip-flop 11
4, the pulse PE shown in FIG. 4E (2) is generated,
This pulse PE passes through the driver 12 to the ICI under test.
given to one terminal of 3.
ここで第5図(二示すよう(;各制御信号の論理を設定
するとドライバ12から同図E(二示すような波形を持
つ信号が出力される。When the logic of each control signal is set as shown in FIG. 5 (2), the driver 12 outputs a signal having a waveform as shown in FIG.
このよう(二制御信号の設定によって各種の波形を持つ
信号を生成することができ、例えば被試験ICI 3の
種類迄一応じて生成波形を選択することができる構造と
なっている。In this way, signals with various waveforms can be generated by setting the two control signals, and the structure is such that the generated waveform can be selected depending on the type of ICI 3 to be tested, for example.
上述した波形生成回路は被試験ICl3の一つの端子に
対応して設けられ、このような構成の波形生成回路が少
なくとも被試験ICl3の端子の数だけ設けられる。The above-described waveform generation circuit is provided corresponding to one terminal of the ICl 3 under test, and at least as many waveform generation circuits with such a configuration as there are terminals of the ICl 3 under test are provided.
「発明が解決しようとする課題」
従来の波形生成回路はパターン信号PAの周期内(;お
いてクロックCLA、CLB、CLCを複数与えても出
力信号PEを複数生成することができない欠点がある。``Problems to be Solved by the Invention'' Conventional waveform generation circuits have a drawback that they cannot generate a plurality of output signals PE even if a plurality of clocks CLA, CLB, and CLC are applied within the period of the pattern signal PA.
つまり最大は第5tBEl−示した波形が最大変化点を
与える信号である。In other words, the maximum is the signal whose waveform shown in the 5th tBE1-th line gives the maximum change point.
従って1テスト周期内に被試験ICI 3の状態を任意
の周期にわたって変化させることができない欠点がある
。Therefore, there is a drawback that the state of the ICI 3 under test cannot be changed over an arbitrary period within one test period.
「課題を解決するための手段」
この発明ではパターン信号が一方の入力端子に与えられ
、他方の入力端子部:パターン信号の論理を反転するか
否かを制御する制御信号が与えられた複数の排他的論理
和回路と、
この排他的論理和回路から出力されるパターン信号の論
理に応じて開閉制御され、クロックの通過を制御するゲ
ート群と、
このゲート群から出力されるクロックに時間差を与えて
通過させる一対の可変遅延素子と、この可変遅延素子の
出力によってセット、リセット制御されるフリップフロ
ップと、
排他的論理和回路に同一のパターン信号を与える状態と
、別々のパターン信号を与える状態に切替るマルチプレ
クサと、
によって波形生成回路を構成したものである。"Means for Solving the Problem" In the present invention, a pattern signal is applied to one input terminal, and the other input terminal part: a plurality of input terminals to which a control signal for controlling whether or not to invert the logic of the pattern signal is applied. An exclusive OR circuit, a group of gates that are controlled to open and close according to the logic of the pattern signal output from this exclusive OR circuit, and which control the passage of clocks, and a time difference is created between the clocks output from this gate group. A pair of variable delay elements, a flip-flop whose set and reset are controlled by the output of this variable delay element, and a state where the same pattern signal is given to the exclusive OR circuit and a state where different pattern signals are given. The waveform generation circuit consists of a switching multiplexer and the following.
「作 用」
この発明の構成(二よれば排他的論理和回路の前段側に
マルチプレクサを設け、このマルチプレクサによって排
他的論理和回路に入力するパターン信号を同一のパター
ン信号としたり、別々のパターン信号I”−したり切替
ることができる。"Function" According to the structure of the present invention (according to 2), a multiplexer is provided at the front stage of the exclusive OR circuit, and the multiplexer allows pattern signals input to the exclusive OR circuit to be the same pattern signal, or to separate pattern signals from different pattern signals. I”- or can be switched.
この発明;−よれば排他的論理和回路の全てに別々のパ
ターン信号を与えた状態で全てのパターン信号をO論理
(=設定すると出力側にパルスは生成されない。According to this invention, if all the pattern signals are set to O logic (==) with different pattern signals being applied to all of the exclusive OR circuits, no pulse will be generated on the output side.
また一つのパターン信号だけ1論理(二すると、パター
ンの周期内に1個のパルスが出力される。Also, if only one pattern signal has 1 logic (2), one pulse is output within the period of the pattern.
二つのパターン信号を1論理に設定するとパターンの周
期内(:2個のパルスが出力される。When two pattern signals are set to 1 logic, two pulses are output within the period of the pattern.
三つのパターン信号の全てを1論理に設定するとパター
ン信号の周期内(:3個のパルスを出力することができ
る。If all three pattern signals are set to 1 logic, three pulses can be output within the period of the pattern signal.
このよう(二この発明:二よればパターン信号の設定(
2応じてパターン信号の数の範囲で任意の数のパルスを
生成させることができ、被試験ICの状態を1テストサ
イクル内(二おいて任意の回数で進めることができる。In this way (2) According to this invention: 2. Setting of pattern signal (
2, any number of pulses can be generated within the range of the number of pattern signals, and the state of the IC under test can be advanced an arbitrary number of times within one test cycle (2).
「実施例」
下1図にこの発明の一実施例を示す。この発明では排他
的論理和回路2B、2Cの入力側にマルチプレクサ14
A、14Bを設け、このマルチプレクサ14A、14B
の切替(2応じて排他的論理和回路2A、2B 、2C
1二共通のパターン信号PAを与える状態と、別々のパ
ターン信号PA、PB。"Example" Figure 1 below shows an example of the present invention. In this invention, a multiplexer 14 is provided on the input side of the exclusive OR circuits 2B and 2C.
A and 14B are provided, and the multiplexers 14A and 14B are
switching (exclusive OR circuits 2A, 2B, 2C according to 2)
1. A state where two common pattern signals PA are given, and separate pattern signals PA, PB.
PCを与える状態に切替ることができるよう(二構成す
る。(Two configurations) so that the PC can be switched to the state of giving.
つまり入力端子IAの他に二つの入力端子IB。In other words, there are two input terminals IB in addition to input terminal IA.
ICを設け、これら入力端子IA、IB、ICにパター
ン信号PA 、PB 、PCを入力する。An IC is provided, and pattern signals PA, PB, and PC are input to these input terminals IA, IB, and IC.
入力端子IA1:与えたパターン信号PAは排他的論理
和回路2人の一方の入力端子(2直接与えると共に、マ
ルチプレクサ14Aと14Bの一方の入力端子A(二も
人力する。Input terminal IA1: The applied pattern signal PA is directly applied to one input terminal (2) of the two exclusive OR circuits, and is also manually applied to one input terminal A (2) of the multiplexers 14A and 14B.
マルチプレクサ14A、14Bの他方の入力端子Bには
入力端子IBとICからパターン信号PBとpcを与え
る。Pattern signals PB and pc are applied from the input terminals IB and IC to the other input terminals B of the multiplexers 14A and 14B.
マルチプレクサ14A、14Bの制御端子S(二は制御
信号CNTを与える。この制御信号CNTが0論理のと
きマルチプレクサ14A、14Bは入力端子Aが出力端
子Q(二接続される。よってこの状態では排他的論・理
和回路2A、2B、2Cの全てにパターン信号PAが与
えられる。The control terminals S (2) of the multiplexers 14A, 14B provide a control signal CNT. When this control signal CNT is 0 logic, the input terminal A of the multiplexers 14A, 14B is connected to the output terminal Q (2). Therefore, in this state, exclusive A pattern signal PA is applied to all of the logical sum circuits 2A, 2B, and 2C.
一方マルチプレクサ14A、14Bの制御端子Sに1論
理を与えるとマルチプレクサ14A。On the other hand, when 1 logic is applied to the control terminals S of the multiplexers 14A and 14B, the multiplexer 14A.
14Bは入力端子Bを出力端子Qに接続した状態に切替
られる。この状態で排他的論理和回路2A。14B is switched to a state in which input terminal B is connected to output terminal Q. In this state, the exclusive OR circuit 2A.
2B 、2Cは別々にパターン信号PA、PB、PCが
与えられた状態に切替られる。2B and 2C are switched to a state where pattern signals PA, PB, and PC are applied separately.
尚排他的論理和回路2A、2B、2Cの各反転出力端子
に接続した排他的論理和回路15A。An exclusive OR circuit 15A is connected to each inverting output terminal of the exclusive OR circuits 2A, 2B, and 2C.
15B、15Cは制御信号CNTが1論理のときインバ
ータとして動作し、アンドゲート群4の各アンドゲート
1;与えるパターン信号をアンドゲート群3に与えるパ
ターン信号と同極性となるよう(二制御するため(二設
けられている。15B and 15C operate as inverters when the control signal CNT is 1 logic, and are designed to control each AND gate 1 of the AND gate group 4 so that the pattern signal given to it has the same polarity as the pattern signal given to the AND gate group 3. (There are two.
またこの実施例では第2アンドゲート群5及び6の出力
側(二直接論理和回路9及び10を設け、この論理和回
路9及び10でそれぞれ三つのアンドゲートの論理和を
得て、スキュー調整用可変遅延素子7と8にその論理和
の出力を与えるよう(二構成した場合を示す。ここで可
変遅延素子7と8の遅延時間に差を持たせる。つまり遅
延素子7の遅延時間をτ1、遅延素子8の遅延時間なτ
2とした場合τ2−τ1=Tとなるよう(二τ2〉τ1
の関係(ユ選定する。In addition, in this embodiment, the output side of the second AND gate group 5 and 6 (two direct OR circuits 9 and 10 are provided, and the OR circuits 9 and 10 obtain the OR of the three AND gates, respectively, and adjust the skew). In this case, the delay time of variable delay elements 7 and 8 is made to have a difference.In other words, the delay time of delay element 7 is set to τ1. , the delay time of delay element 8 τ
2, so that τ2−τ1=T (2τ2〉τ1
relationship (select).
上述の構成において、制御信号CNTをO論理に設定す
ると各排他的論理和回路2A、2B、2Cに同−のパタ
ーン信号PAが与えられ、従来と全く同じ動作を行なう
。In the above configuration, when the control signal CNT is set to O logic, the same pattern signal PA is applied to each exclusive OR circuit 2A, 2B, 2C, and the same operation as in the conventional circuit is performed.
これ;ユ対し制御信号CNTを1論理砿二設定すると、
排他的論理和回路2A、2B、2C1二は別々のパター
ン信号PA、PB、PCが与えられる。If the control signal CNT is set to 1 logic 2 for this;
Exclusive OR circuits 2A, 2B, and 2C1 are supplied with separate pattern signals PA, PB, and PC.
ここで制御信号をINA=INB=INC=O。Here, the control signal is INA=INB=INC=O.
AS=BS=C8=1 、AR=BR=CR=IC設
定すると、第2図Aに示す期間T1のよう(;パターン
信号PAだけが1論理のとき、クロックCLAだけがア
ンドゲート群5と6から出力される。When AS=BS=C8=1 and AR=BR=CR=IC, the period T1 shown in FIG. is output from.
アンドゲート群5から出力されたクロックCLAは可変
遅延素子7を通じてフリップフロップ11のセット端′
:FSl二人力される。またアンドゲート群6から出力
されるクロックCLAは可変遅延素子8を通じてフリッ
プフロ、ツブ11のリセット端子Rに与えられる。The clock CLA output from the AND gate group 5 passes through the variable delay element 7 to the set terminal of the flip-flop 11.
: FSl two people are strong. Further, the clock CLA outputted from the AND gate group 6 is applied to the reset terminal R of the flip-flop tube 11 through the variable delay element 8.
可変遅延素子7と8の遅延量には時間差Tを持たせてい
るからセット端子Sに与えられるりaツクCLAに対し
てリセット端子Rに与えられるクロックCL A’は時
間Tだけ遅れることになる。よってフリップフロップ1
1は第2図工に示すようにその時間差Tのパルス幅を持
つパルスを出力する。Since the delay amounts of variable delay elements 7 and 8 have a time difference T, the clock CL A' applied to the reset terminal R is delayed by the time T with respect to the clock CLA applied to the set terminal S. . Therefore, flip-flop 1
1 outputs a pulse having a pulse width of the time difference T as shown in the second diagram.
第2図C′−T2で示す期間のようにパターン信号PB
だけが1論理のときはアンドゲート群5と6からクロッ
クCLBが出力される。このためフリップフロップ11
はクロックCLHの位相位置でパルス幅Tのパルスを出
力する。As shown in the period C'-T2 in FIG. 2, the pattern signal PB
When only one logic is 1, the clock CLB is output from AND gate groups 5 and 6. For this reason, the flip-flop 11
outputs a pulse with a pulse width T at the phase position of the clock CLH.
第2図(二T3で示すよう(ニパターン信号PAとPB
が1論理のときはアンドゲート群5と6からクロックC
LAとCLBが出力される。このためにフリップフロッ
プ11はクロックCLAとCLBの各タイミングにおい
てパルス幅Tを持つ二つのパルスを出力する。Figure 2 (as shown by two T3 (two pattern signals PA and PB)
When is logic 1, clock C is output from AND gate groups 5 and 6.
LA and CLB are output. For this purpose, the flip-flop 11 outputs two pulses having a pulse width T at each timing of the clocks CLA and CLB.
第2図1:示すT4ではパターン信号PCが1論理とな
っているから、このときはりaツクCLCだけがアンド
ゲート群5と6から出力される。よってこのときはフリ
ップフロップ11はクロックCLCのタイミングでパル
ス幅Tのパルスを出力する。Since the pattern signal PC is at logic 1 at T4 shown in FIG. Therefore, at this time, the flip-flop 11 outputs a pulse with a pulse width T at the timing of the clock CLC.
第2図に示すT5ではパターン信号PAとPCが1論理
となっている。よってこの場合1ユはアンドゲート群5
と6からクロックCLAとCLCが出力される。よりて
この場合にはソリツブフロップ11はクロックCLAと
CLCのタイミングでパルス幅がTの2個のパルスを出
力する。At T5 shown in FIG. 2, the pattern signals PA and PC are 1 logic. Therefore, in this case, 1 U is the and gate group 5
and 6 output clocks CLA and CLC. Therefore, in this case, the solve flop 11 outputs two pulses with a pulse width of T at the timing of the clocks CLA and CLC.
更に第2図1−示すT7ではパターン信号PA、PB。Furthermore, at T7 shown in FIG. 2, the pattern signals PA and PB.
PCの全てが1論理になっている。従ってこの場合(二
は各クロックCLA、CLB、CLCの各タイミングで
三つのパルスを出力する。Everything on the PC is 1 logic. Therefore, in this case (2), three pulses are output at each timing of each clock CLA, CLB, and CLC.
「発明の効果」
以上説明したようにこの発明によればパターン゛・信号
PA、PB、PCの各論理値を適宜;ユ設定すること:
二よってパターン信号の数を最大とする任意の数の矩形
波を生成することができる。よって1テストサイクル内
に数サイクルも動作するICを試験することができる。"Effects of the Invention" As explained above, according to the present invention, each logical value of the pattern signals PA, PB, and PC can be set appropriately:
Therefore, any number of rectangular waves that maximize the number of pattern signals can be generated. Therefore, it is possible to test an IC that operates for several cycles within one test cycle.
第1図はこの発明の一実施例を説明するための接続図、
第2図は第1図に示した実施例の動作を説明するための
波形図、第3図は従来の技術を説明するための接続図、
第4図及び第5図は従来の技術の動作を説明するための
波形図である。
2A、2B、2C:排他的論理和回路、3,4:第1ア
ンドゲート群、5,6:第2アンドゲート群、7,8:
可変遅延素子、11:ソリツブフロップ。
オ 4 図FIG. 1 is a connection diagram for explaining one embodiment of the present invention,
FIG. 2 is a waveform diagram for explaining the operation of the embodiment shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a connection diagram for explaining the conventional technology.
FIGS. 4 and 5 are waveform diagrams for explaining the operation of the conventional technology. 2A, 2B, 2C: exclusive OR circuit, 3, 4: first AND gate group, 5, 6: second AND gate group, 7, 8:
Variable delay element, 11: Solitub flop. E 4 Figure
Claims (1)
他方の入力端子にパターン信号の論理を反転するか否か
を制御する信号が与えられた複数の排他的論理和回路と
、 B、この排他的論理和回路から出力されるパターンの論
理に応じて開閉制御され、クロックの通過を制御するゲ
ート群と、 C、このゲート群から出力されるクロックに時間差を与
えて通過させる一対の可変遅延素子と、 D、可変遅延素子の出力によってセット、リセット制御
されるフリップフロップと、 E、上記排他的論理和回路に同一のパターン信号を与え
る状態と別々のパターン信号を与える状態に切替るマル
チプレクサと、 によって構成した波形生成回路。(1) A, a pattern signal is given to one input terminal,
A plurality of exclusive OR circuits, each of which is supplied with a signal for controlling whether or not to invert the logic of the pattern signal at the other input terminal; B. According to the logic of the pattern output from the exclusive OR circuits A group of gates that are controlled to open and close to control the passage of a clock; C. A pair of variable delay elements that allow the clock output from this gate group to pass with a time difference; D. Set and reset control by the output of the variable delay element. E, a multiplexer that switches between a state in which the same pattern signal is given to the exclusive OR circuit and a state in which different pattern signals are given to the exclusive OR circuit.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63172972A JP2662987B2 (en) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | Waveform generation circuit |
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JP2662987B2 JP2662987B2 (en) | 1997-10-15 |
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ID=15951774
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Country Status (1)
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JP2009121844A (en) * | 2007-11-12 | 2009-06-04 | Yokogawa Electric Corp | Apparatus for testing semiconductor |
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