JPH02223145A - 四重極質量分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は四重極質量分析装置に係り、詳しくは、その四
重極電極に印加される直流電圧を生成するための電源回
路に関する。

（ロ）従来の技術 四重極質量分析装置は、４本の電極棒からなる四重極電
極に直流電圧Ｕと高周波交流電圧Ｖ　ｃｏｓωｔとを重
畳して印加することによって四重極電極の内部に電界を
形成し、この電界内にイオンを導入するとともに、Ｕ／
Ｖの比を一定に保ちなから■を変化させることによって
イオンの質量分析を行うように構成されている。そして
、この四重極質量分析装置の電源回路においては、その
四重極電極に印加される直流電圧が高周波交流電圧から
生成されるように構成するのが一般的となっている。

ところで、このような電源回路の第１従来例としては、
第２図で示す回路図のように構成されてなるものが知ら
れている。すなわち、この第１従来例においては、発振
器１から出力された高周波交流信号が変調器２で制御信
号に応じて変調され、高周波増幅器３によって増幅され
たのち、共振器４で昇圧して生成された高周波交流電圧
が四重極電極５に印加される。そして、この高周波交流
電圧は、その振幅を検出するための検波器６から出力さ
れた低圧の直流電圧が制御信号として変調器２にフィー
ドバックされることによって制御されている。一方、こ
の共振器４の後段には共振器４で生成された高周波交流
電圧を分圧して整流する整流器７が直接的に接続されて
おり、この整流器７で生成された数百Ｖというような高
圧の直流電圧が前記高周波交流電圧と重畳されたうえで
四重極電極５に印加されるようになっている。なお、こ
のようにして生成された直２１！電圧は、整流器７を構
成する素子などからの影響を受ける結果、必ずし゛も高
周波交流電圧に対する良好な比例関係を有していない、
そこで、この第１従来例においては、検波器６から出力
された低圧の直流電圧を直流増幅器８で増幅して整流器
７に印加することにより、この整流器７から出力される
直流電圧を補正するようになっている。

また、直流電圧を生成する電源回路の第２従来例として
は、第３図で示すように、第１従来例の整流器７に代わ
る直流増幅器９．１０を共振器１３とは別に設けて構成
したものがある。そして、この第２従来例では、検波器
６から出力された低圧の直流電圧を直流増幅器９．１０
で増幅することによって四重極電極５に印加される高圧
の直流電圧を生成している。なお、この第３図における
他の符号を付した部品は、第２図における同一符号を付
した部品と互いに対応している。

（ハ）発明が解決しようとする課題 ところで、前述した第１従来例においては、高圧の直流
電圧を生成する整流器７が高周波交流電圧を生成する共
振器４に対して直接的に接続されているため、共振器４
を構成するコイルが発熱するばかりか、この共振器４の
尖鋭度Ｑが低下して高調波が発生してしまう結果、四重
極装置分析装置の性能を低下させてしまうことになって
いた。

また、前記第２従来例においては、検波器６から出力さ
れた低圧の直流電圧を直流増幅器９．１０で増幅するこ
とによって高圧の直流電圧を生成することから、これら
の直流増幅器９，１０そのものが大型化するのみならず
、これらを駆動する大型の高圧ｔｉｌ！（図示していな
い）が必要となる結果、回路構成が複雑化してコストア
ップを招いてしまうという不都合があった。

本発明は、このような不都合を解消すべく創案されたも
のであって、高圧の直流電圧を簡素な構成によって生成
することが可能な電源回路を備えた四重極質量分析装置
の提供を目的としている。

（ニ）課題を解決するための手段 本発明は、このような目的を達成するために、四重極電
極に直流電圧と高周波交流電圧とを重畳して印加゛し、
導入したイオンの質量分析を行う四重橿質量分析装置に
おいて、与えられた高周波交流信号を増幅する高周波増
幅器からの出力を整流して直流電圧を生成する直流発生
器を設けたことを特徴としている。

（ホ）作用 上記構成によれば、高周波交流電圧を生成すべく与えら
れて高周波増幅器で増幅された高周波交流信号の一部を
直接的に整流して高圧の直流電圧を生成する直流発生器
を、高周波交流電圧を生成する共振器とは別に設けてい
るので、四重極電極に印加される高圧の直流電圧が高周
波交流電圧とは関わりな（、独立的に生成されることに
なる。

（へ）実施例 以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は、本発明に係る四重極質量分析装置の電源回路
を示す回路図である。なお、この第１図で示す電源回路
を構成する部品のうち、前述した第２図および第３図に
基づいて説明した第１および第２従来例を構成する部品
と互いに同一もしくは相当する部品には同一符号を付し
ている。

本実施例に係る電源回路における発振器１から出力され
た高周波交流信号は、検波器６から出力された制御信号
に応じて変調器２で変調されたうえで高周波増幅器３に
よって増幅され、共振器４で昇圧して生成された高周波
交流電圧が四重極電極５に印加される。

一方、この電源回路には、高圧の直流電圧を生成する直
流発生器１１が高周波交流電圧を生成する共振器４とは
別に設けられている。そして、この直流発生器１１は、
高周波増幅器３からの出力を変圧するトランスＴ１と、
これからの出力を整流・平滑化するダイオードＤＩ、Ｄ
２およびコンデンサＣ１，Ｃ２を備えている。そこで、
この直流発生器１１においては、高周波増幅器３からの
出力を変圧して整流することによって共振器４で生成さ
れる高周波交流電圧とほぼ比例した関係を有する高圧の
直流電圧が直接的に生成されることになる。

さらに、この直流発生器１１には、検波器６から出力さ
れた低圧の直流電圧がそれぞれ印加される反転増幅器１
２および非反転増幅器１３が接続されている。したがっ
て、直流発生器１１で生成された高圧の直流電圧は、反
転増幅器１２および抵抗Ｒ１，Ｒ２と、非反転増幅器１
３および抵抗Ｒ３，Ｒ４とによって高周波交流電圧と比
例するように補正されることになる。なお、この直流発
生器１１を構成するトランスＴ１に代えてコンデンサ（
図示していない）を用いることもでき、コンデンサを用
いる場合には必要に応じて倍電圧整流などを行えばよい
、また、第１図における符号１４で示すような直流電圧
発生専用の高周波増幅器を変調器２の後段に設けてもよ
い。

ところで、これらの増幅器１２．１３に印加される検波
器６からの出力に対して適当な制御電圧を加えれば、こ
の直流発生器１１で生成された直流電圧と共振器４で生
成された高周波交流電圧との比例関係、すなわち、分解
能を容易に調整することができる。また、ダイオードＤ
Ｉ、Ｄ２およびコンデンサＣＩ、Ｃ２の整流出力を適当
な抵抗によってシャントすれば、応答性（レスポンス）
を高めることが可能となるばかりか、これらの抵抗とし
て可変抵抗器を用いる場合には、整流出力が反転増幅器
１２および非反転増幅器１３の動作範囲内に収まるよう
に調整することができることはいうまでもない。

（ト）発明の詳細 な説明したように、本発明に係る四重極質量分析装置の
電源回路においては、与えられた高周波交流信号を増幅
する高周波増幅器からの出力を整流して直流電圧を生成
する直流発生器を高周波交流電圧を生成する共振器とは
別に設けているので、四重種電極に印加される高圧の直
流電圧が高周波交流電圧とは関わりなく、直流発生器に
よって独立的に生成されることになる。

その結果、第１従来例のような発熱や尖鋭度Ｑの低下に
伴う高調波の発生が少なくなって高い安定性が得られる
ことになるばかりか、第２従来例では必要とされていた
直流増幅器や高圧電源を設ける必要がなくなり、回路構
成を簡素化してコストダウンを図ることができるという
効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係る四重極質量分析装置の
電源回路を示す回路図であり、第２図は第１従来例に、
また、第３図は第２従来例にそれぞれ係る四重極質量分
析装置の電源回路を示す回路図である。 図における符号３は高周波増幅器、５は四重極電橿、１
１は直流発生器、１２は反転増幅器、１３は非反転増幅
器である。 なお、図中の同一符号は、互いに同一もしくは相当する
部品、部分を示している。 第２図 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）四重極電極に直流電圧と高周波交流電圧とを重畳
   して印加し、導入したイオンの質量分析を行う四重極質
   量分析装置において、 与えられた高周波交流信号を増幅する高周波増幅器から
   の出力を整流して直流電圧を生成する直流発生器を設け
   たことを特徴とする四重極質量分析装置。