JPH0221759U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0221759U JPH0221759U JP10044888U JP10044888U JPH0221759U JP H0221759 U JPH0221759 U JP H0221759U JP 10044888 U JP10044888 U JP 10044888U JP 10044888 U JP10044888 U JP 10044888U JP H0221759 U JPH0221759 U JP H0221759U
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- JP
- Japan
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- fixed part
- resistor
- strain
- crystal
- axis
- Prior art date
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- Pending
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
第１図は本考案の１実施例の構成を示す構成図
、第２図は第１図における演算抵抗を用いて構成
される演算部の回路を示す回路図、第３図は従来
の半導体圧力変換器の要部の構成を示す構成図で
ある。 １０……ダイヤフラム、１２……起歪部、１３
……固定部、１５……支持部、１６……ガラス部
材、１７……剪断形ゲージ、１８……通常形ゲー
ジ、１９ａ〜１９ｆ……演算抵抗、２０，２１…
…電源端、２２，２３……出力端、２４……ダイ
ヤフラム、２５……起歪部、２６……固定部、２
７ａ〜２７ｈ……演算抵抗、２８……演算部、２
９……駆動回路、Ｑ１〜Ｑ５……演算増幅器。
、第２図は第１図における演算抵抗を用いて構成
される演算部の回路を示す回路図、第３図は従来
の半導体圧力変換器の要部の構成を示す構成図で
ある。 １０……ダイヤフラム、１２……起歪部、１３
……固定部、１５……支持部、１６……ガラス部
材、１７……剪断形ゲージ、１８……通常形ゲー
ジ、１９ａ〜１９ｆ……演算抵抗、２０，２１…
…電源端、２２，２３……出力端、２４……ダイ
ヤフラム、２５……起歪部、２６……固定部、２
７ａ〜２７ｈ……演算抵抗、２８……演算部、２
９……駆動回路、Ｑ１〜Ｑ５……演算増幅器。
Claims (1)
- シリコン単結晶の（１００）結晶面がエツチン
グされて凹部が形成され肉厚の薄くなつた起歪部
とこの起歪部の周辺の厚肉の固定部とを有するダ
イアフラムと、この起歪部上に形成され測定圧力
に対応してこれに応答する圧力信号を出力するピ
エゾ抵抗素子と、前記固定部の上に一体に形成さ
れこの圧力信号を演算抵抗を用いて演算処理をす
る演算手段とを具備し、この演算抵抗を前記固定
部上であつて結晶軸が〈１００〉軸の方向になる
ように形成したことを特徴とする半導体圧力変換
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10044888U JPH0221759U (ja) | 1988-07-28 | 1988-07-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10044888U JPH0221759U (ja) | 1988-07-28 | 1988-07-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0221759U true JPH0221759U (ja) | 1990-02-14 |
Family
ID=31328528
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10044888U Pending JPH0221759U (ja) | 1988-07-28 | 1988-07-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0221759U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5972775A (ja) * | 1982-10-20 | 1984-04-24 | Hitachi Ltd | シリコン歪ゲ−ジ式感圧装置およびその製造方法 |
| JPS59217374A (ja) * | 1983-05-26 | 1984-12-07 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 半導体ひずみ変換器 |
| JPS61212740A (ja) * | 1985-03-18 | 1986-09-20 | Yokogawa Electric Corp | 半導体圧力変換器 |
-
1988
- 1988-07-28 JP JP10044888U patent/JPH0221759U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5972775A (ja) * | 1982-10-20 | 1984-04-24 | Hitachi Ltd | シリコン歪ゲ−ジ式感圧装置およびその製造方法 |
| JPS59217374A (ja) * | 1983-05-26 | 1984-12-07 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 半導体ひずみ変換器 |
| JPS61212740A (ja) * | 1985-03-18 | 1986-09-20 | Yokogawa Electric Corp | 半導体圧力変換器 |