JPS6184837U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6184837U JPS6184837U JP17114484U JP17114484U JPS6184837U JP S6184837 U JPS6184837 U JP S6184837U JP 17114484 U JP17114484 U JP 17114484U JP 17114484 U JP17114484 U JP 17114484U JP S6184837 U JPS6184837 U JP S6184837U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gauge
- bridge
- pressure
- chip
- semiconductor
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図ａは本考案の一実施例のセンサ部分を示
す斜視図、第１図ｂは第１図ａにおけるＡ矢視側
面図、第１図ｃは第１図ａに形成される歪ゲージ
の配置を示すゲージ配置図、第２図は本考案の一
実施例を示す圧力変換回路のブロツク図である。 １…基板、２…ゲージチツプ、３…歪検知穴、
４…ダイヤフラム、５…圧力導入孔、６…基準孔
、９…カンチレバー、Ｇ１〜Ｇ４…歪ゲージ、Ｂ
Ｇ１…ブリツジ、Ｇ５〜Ｇ８…歪ゲージ、ＢＧ２
…ブリツジ、Ｖｓ…定電圧、ＰＣＣ…演算回路、
Ｅｓ，Ｅｐ…ブリツジ出力。
す斜視図、第１図ｂは第１図ａにおけるＡ矢視側
面図、第１図ｃは第１図ａに形成される歪ゲージ
の配置を示すゲージ配置図、第２図は本考案の一
実施例を示す圧力変換回路のブロツク図である。 １…基板、２…ゲージチツプ、３…歪検知穴、
４…ダイヤフラム、５…圧力導入孔、６…基準孔
、９…カンチレバー、Ｇ１〜Ｇ４…歪ゲージ、Ｂ
Ｇ１…ブリツジ、Ｇ５〜Ｇ８…歪ゲージ、ＢＧ２
…ブリツジ、Ｖｓ…定電圧、ＰＣＣ…演算回路、
Ｅｓ，Ｅｐ…ブリツジ出力。
Claims (1)
- 半導体のゲージチツプを有し前記ゲージチツプ
上の歪ゲージを介して被測定圧力を検出する半導
体圧力変換器において、前記ゲージチツプに形成
され前記被測定圧力に対応した歪に応答する第１
ゲージブリツジと、前記ゲージチツプに形成され
あらかじめ設定された所定の基準応力に応答する
第２ゲージブリツジと、前記第１ゲージブリツジ
を定電圧で駆動したときのブリツジ出力Ｅｐと前
記第２ゲージブリツジを定電圧で駆動したときの
ブリツジ出力Ｅｓと前記第２ゲージブリツジの基
準温度でのブリツジ出力Ｅｓ０とを用いてＥｐ／
（Ｅｓ／Ｅｓ０）なる演算を実行する演算手段と
を具備し、前記被測定圧力に対応した圧力信号を
出力することを特徴とした半導体圧力変換器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984171144U JPH0438273Y2 (ja) | 1984-11-12 | 1984-11-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984171144U JPH0438273Y2 (ja) | 1984-11-12 | 1984-11-12 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6184837U true JPS6184837U (ja) | 1986-06-04 |
| JPH0438273Y2 JPH0438273Y2 (ja) | 1992-09-08 |
Family
ID=30728840
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984171144U Expired JPH0438273Y2 (ja) | 1984-11-12 | 1984-11-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0438273Y2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5530842A (en) * | 1978-08-28 | 1980-03-04 | Nissan Motor Co Ltd | Semiconductor pressure sensor |
| JPS58136744U (ja) * | 1982-03-10 | 1983-09-14 | 富士電機株式会社 | 圧力測定装置 |
-
1984
- 1984-11-12 JP JP1984171144U patent/JPH0438273Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5530842A (en) * | 1978-08-28 | 1980-03-04 | Nissan Motor Co Ltd | Semiconductor pressure sensor |
| JPS58136744U (ja) * | 1982-03-10 | 1983-09-14 | 富士電機株式会社 | 圧力測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0438273Y2 (ja) | 1992-09-08 |