JPH0421970U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0421970U JPH0421970U JP6406190U JP6406190U JPH0421970U JP H0421970 U JPH0421970 U JP H0421970U JP 6406190 U JP6406190 U JP 6406190U JP 6406190 U JP6406190 U JP 6406190U JP H0421970 U JPH0421970 U JP H0421970U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pair
- sensor plates
- angular acceleration
- semiconductor
- appropriate gap
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す平面図、縦断
面図、底面図及び横断面図、第２図は第１図の角
加速度センサー出力のブリツジによる検出回路図
、第３図は第１図の角加速度センサーによる回転
体の角加速度検出時の取付要領を示す水平断面図
である。第４図は公知の半導体角加速度センサー
を示す平面図及び縦断面図、第５図は第４図の角
加速度センサーによる回転体の角加速度検出時の
角加速度センサー取付要領を示す水平断面図であ
る。 １……半導体加速度センサー、２……台座、３
……半導体加速度センサー、４，５……半導体歪
ゲージ、６……支点、７……キヤンチレバー部、
８……回転体、９……ブリツジ電源、１２……お
もり。
面図、底面図及び横断面図、第２図は第１図の角
加速度センサー出力のブリツジによる検出回路図
、第３図は第１図の角加速度センサーによる回転
体の角加速度検出時の取付要領を示す水平断面図
である。第４図は公知の半導体角加速度センサー
を示す平面図及び縦断面図、第５図は第４図の角
加速度センサーによる回転体の角加速度検出時の
角加速度センサー取付要領を示す水平断面図であ
る。 １……半導体加速度センサー、２……台座、３
……半導体加速度センサー、４，５……半導体歪
ゲージ、６……支点、７……キヤンチレバー部、
８……回転体、９……ブリツジ電源、１２……お
もり。
Claims (1)
- 薄板レバーの先端に質量体を有するとともに支
持端にレバー方向に張設された半導体ゲージを有
する同一特性の１対のキヤンチレバー型角加速度
センサー板と、上記１対のセンサー板を適宜すき
まを存して平行するようにその支持端同士を固着
するスペーサーと、一辺が上記スペーサーに固着
され他の３辺が上記１対のセンサー板の外周を適
宜すきまを存して囲繞する保護枠とを具えたこと
を特徴とする半導体角加速度センサー対。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6406190U JPH0421970U (ja) | 1990-06-18 | 1990-06-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6406190U JPH0421970U (ja) | 1990-06-18 | 1990-06-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0421970U true JPH0421970U (ja) | 1992-02-24 |
Family
ID=31594663
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6406190U Pending JPH0421970U (ja) | 1990-06-18 | 1990-06-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0421970U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012153439A1 (ja) * | 2011-05-12 | 2012-11-15 | 株式会社村田製作所 | 角加速度検出素子 |
-
1990
- 1990-06-18 JP JP6406190U patent/JPH0421970U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012153439A1 (ja) * | 2011-05-12 | 2012-11-15 | 株式会社村田製作所 | 角加速度検出素子 |
| JP5618002B2 (ja) * | 2011-05-12 | 2014-11-05 | 株式会社村田製作所 | 角加速度検出素子 |
| US9983003B2 (en) | 2011-05-12 | 2018-05-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Angular acceleration detection device |