JPH02216007A - 超音波トランスジューサ - Google Patents
超音波トランスジューサInfo
- Publication number
- JPH02216007A JPH02216007A JP1036066A JP3606689A JPH02216007A JP H02216007 A JPH02216007 A JP H02216007A JP 1036066 A JP1036066 A JP 1036066A JP 3606689 A JP3606689 A JP 3606689A JP H02216007 A JPH02216007 A JP H02216007A
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- JP
- Japan
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- piezoelectric body
- ultrasonic
- ultrasonic wave
- pulse
- piping
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- Pending
Links
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Landscapes
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
(産業上の利用分野)
本発明は、超音波計測装置に使用する超音波トランスジ
ューサに関する。
ューサに関する。
(従来の技術)
原子力発電プラント等の配管の健全性を確認するため超
音波計測が行われている。超音波計測では、超音波トラ
ンスジューサが使用される。超音波計測に使用さ、れる
超音波トランスジューサには超音波探傷用トランスジュ
ーサ、超音波板厚計測用トランスジューサ等様々な種類
のトランスジュサが使用されている。とくに、超音波板
厚計測用トランスジューサとしては第5図に示したよう
なものが使用されている。
音波計測が行われている。超音波計測では、超音波トラ
ンスジューサが使用される。超音波計測に使用さ、れる
超音波トランスジューサには超音波探傷用トランスジュ
ーサ、超音波板厚計測用トランスジューサ等様々な種類
のトランスジュサが使用されている。とくに、超音波板
厚計測用トランスジューサとしては第5図に示したよう
なものが使用されている。
第5図は従来の超音波板厚計測用トランスジュサAの構
造を示したものである(参考文献:N1nth Int
ernational Conference on
Nondestructive Evaluation
in the Nuclear Industry、
Apri11988)。第5図において、超音波の送受
信を行う圧電体1は、ケース2に収納されている。−圧
電体1は、電極3aおよび電極3bに挾まれている。電
極3aの上方には充填材4があり、圧電体1および電極
3a、 3bを固定している。電極3aおよび電極3b
にはリード線5a、 5bが取付けられており、ケース
1の外に導かれている。
造を示したものである(参考文献:N1nth Int
ernational Conference on
Nondestructive Evaluation
in the Nuclear Industry、
Apri11988)。第5図において、超音波の送受
信を行う圧電体1は、ケース2に収納されている。−圧
電体1は、電極3aおよび電極3bに挾まれている。電
極3aの上方には充填材4があり、圧電体1および電極
3a、 3bを固定している。電極3aおよび電極3b
にはリード線5a、 5bが取付けられており、ケース
1の外に導かれている。
第6図は第5図に示した超音波トランスジュサAの使用
法を示したものである。超音波トランスジューサAはリ
ード線5a、 5bによって高周波パルス電源6と接続
されると同時に超音波受信器7にも接続されている。超
音波受信器7の出力はオシロス、コープ8等の波形表示
装置に接続されている。超音波トランスシュ〜すAは検
査する配管9等の表面に水・機械油・グリス等のカッブ
ラント10を介して対向させる。リード線5a、 5b
に高周波パルス電圧を印加すると、圧電体1は共振し第
7図の13aの超音波が発生する。この超音波がカッブ
ラント10を経由して、検査する配管9の内部に伝搬し
、配管の内面11で反射して再び、配管表面12に伝搬
してくる。この反射超音波の一部は1配管の表面12で
反射して配管の内面11に伝搬し配管の内面11で反射
して再び配管の表面12に伝搬してくるため、第7図の
ようにオシロスコープ8に表示された反射の受信波形1
3b〜13eは繰り返しのパルス波形となる。このパル
スの時間間隔は、超音波が配管内部を伝搬する時間であ
り、パルスの時間間隔Tを計測することにより、配管の
板厚を計測することができる。ここで、配管の板厚tは
っぎのように求まる。
法を示したものである。超音波トランスジューサAはリ
ード線5a、 5bによって高周波パルス電源6と接続
されると同時に超音波受信器7にも接続されている。超
音波受信器7の出力はオシロス、コープ8等の波形表示
装置に接続されている。超音波トランスシュ〜すAは検
査する配管9等の表面に水・機械油・グリス等のカッブ
ラント10を介して対向させる。リード線5a、 5b
に高周波パルス電圧を印加すると、圧電体1は共振し第
7図の13aの超音波が発生する。この超音波がカッブ
ラント10を経由して、検査する配管9の内部に伝搬し
、配管の内面11で反射して再び、配管表面12に伝搬
してくる。この反射超音波の一部は1配管の表面12で
反射して配管の内面11に伝搬し配管の内面11で反射
して再び配管の表面12に伝搬してくるため、第7図の
ようにオシロスコープ8に表示された反射の受信波形1
3b〜13eは繰り返しのパルス波形となる。このパル
スの時間間隔は、超音波が配管内部を伝搬する時間であ
り、パルスの時間間隔Tを計測することにより、配管の
板厚を計測することができる。ここで、配管の板厚tは
っぎのように求まる。
t=vXT/2・・・・・・・・(1)ここで、v (
m/5ee)は配管材料の音速度である。
m/5ee)は配管材料の音速度である。
第8図は、オシロスコープ8に表示された波形13bを
拡大して表示したものである。ひとつの超音波パルスは
このように多くの多重反射波から構成される。
拡大して表示したものである。ひとつの超音波パルスは
このように多くの多重反射波から構成される。
つぎに第9図に基づき超音波トランスシュ″−サの動作
を説明する。圧電体1にリード線5a、 5bを介して
、高周波パルス電源6から、高周波パルスを印加すると
、圧電体1内に超音波が発生する。
を説明する。圧電体1にリード線5a、 5bを介して
、高周波パルス電源6から、高周波パルスを印加すると
、圧電体1内に超音波が発生する。
この超音波は、圧電体1の上面と圧電体1の下面(配管
と対向する面)に伝搬する2つの超音波14a 、 1
4bに分解される。圧電体1の下面(配管と対向する面
)に伝搬する超音波14bはカッブラントlOを経由し
て、配管に伝搬し検査に有効となる超音波であるが、圧
電体1の工面に伝搬する超音波は、−変圧電体1の上面
で反射して再び圧電体1中を伝搬してから圧電体1の下
面(配管と対向する面)からカッブラント10を経由し
て、配管中に伝搬する。このため、第7図に示した送信
パルス波形13a高周波パルスを圧電体1に印加しても
、実際に配管中に送信される超音波パルスは第8図に示
したような多くのパルスが続く波形となる。以上は超音
波の送信時の動作であるが、超音波の受信時でも同様で
ある。第10図において、配管表面12より超音波パル
ス15が、超音波トランスジューサA内に入射すると、
超音波パルス15が圧電体1中を伝搬し、圧電体1の上
面に到達すると、ここで超音波パルスが反射し圧電体1
の下、面(配管と対向する面)に向かって伝搬する。圧
電体1の下面(配管と対向する面)では一部の超音波パ
ルスは配管表面12に伝搬するが、残りは再び反射し圧
電体1の上面に向かって伝搬する。この、ことが何度も
繰、り返されるため超音波受信時の超音波パルスは第8
図に示したような、多くのパルスが続く波形となる。
と対向する面)に伝搬する2つの超音波14a 、 1
4bに分解される。圧電体1の下面(配管と対向する面
)に伝搬する超音波14bはカッブラントlOを経由し
て、配管に伝搬し検査に有効となる超音波であるが、圧
電体1の工面に伝搬する超音波は、−変圧電体1の上面
で反射して再び圧電体1中を伝搬してから圧電体1の下
面(配管と対向する面)からカッブラント10を経由し
て、配管中に伝搬する。このため、第7図に示した送信
パルス波形13a高周波パルスを圧電体1に印加しても
、実際に配管中に送信される超音波パルスは第8図に示
したような多くのパルスが続く波形となる。以上は超音
波の送信時の動作であるが、超音波の受信時でも同様で
ある。第10図において、配管表面12より超音波パル
ス15が、超音波トランスジューサA内に入射すると、
超音波パルス15が圧電体1中を伝搬し、圧電体1の上
面に到達すると、ここで超音波パルスが反射し圧電体1
の下、面(配管と対向する面)に向かって伝搬する。圧
電体1の下面(配管と対向する面)では一部の超音波パ
ルスは配管表面12に伝搬するが、残りは再び反射し圧
電体1の上面に向かって伝搬する。この、ことが何度も
繰、り返されるため超音波受信時の超音波パルスは第8
図に示したような、多くのパルスが続く波形となる。
(発明が解決しようとする課題)
上記のように構成された超音波トランスジュサAは、圧
電体内部の多重反射により、ひとつの超音波パルスが長
くなるため、厚みの薄い配管を検査する場合には、配管
の内面からの反射超音波パルスが重なり合い、精度のよ
い検査をすることが困難であった。
電体内部の多重反射により、ひとつの超音波パルスが長
くなるため、厚みの薄い配管を検査する場合には、配管
の内面からの反射超音波パルスが重なり合い、精度のよ
い検査をすることが困難であった。
本発明は簡単な構成で、短い超音波パルスを得ることが
可能な超音波トランスジューサを提供することを目的と
する。
可能な超音波トランスジューサを提供することを目的と
する。
(課題を解決するための手段)
上記目的を達成するために、本発明においては、超音波
の送受信を行う圧電体の上部と下部に密着させた電極と
、該圧電体および該電極を固定する充填材と、これら圧
電体と電極および充填材を内包するケースとより構成さ
れた超音波トランスジューサにおいて、上面が凹凸状を
した音響伝搬媒質を前記圧電体の上部電極の上面に密着
させたことを特徴とする超音波トランスジューサを提供
する。
の送受信を行う圧電体の上部と下部に密着させた電極と
、該圧電体および該電極を固定する充填材と、これら圧
電体と電極および充填材を内包するケースとより構成さ
れた超音波トランスジューサにおいて、上面が凹凸状を
した音響伝搬媒質を前記圧電体の上部電極の上面に密着
させたことを特徴とする超音波トランスジューサを提供
する。
(作 用)
このように構成された、超音波トランスジューサにおい
て、上面に凹凸面を施した音響伝搬媒質中(以降バッキ
ング材とよぶ。)に不要超音波を誘導し、凹凸面におい
て不要超音波を乱反射させることにより圧電体内の多重
反射を除去し超音波パルスのパルス幅を短くする。
て、上面に凹凸面を施した音響伝搬媒質中(以降バッキ
ング材とよぶ。)に不要超音波を誘導し、凹凸面におい
て不要超音波を乱反射させることにより圧電体内の多重
反射を除去し超音波パルスのパルス幅を短くする。
(実施例)
第1図は本発明の実施例を示す。超音波の送受信を行う
圧電体1は、ケース2に収納されている。
圧電体1は、ケース2に収納されている。
圧電体1は、電極3aおよび電極3bに挟まれている。
電極3aの上方には、セラミックスあるいは金属材料か
らなるバッキング材16かある。バッキング材1Bの上
方には、充填材4かあり、圧電体1および電極3a、3
bを固定している。
らなるバッキング材16かある。バッキング材1Bの上
方には、充填材4かあり、圧電体1および電極3a、3
bを固定している。
前記バッキング材16の上面で電極3aに対向しない面
には乱反射層17と呼ばれる凹凸加工を施しである。電
極3aおよび電極3bには、リード線5a、 5bが取
付けられており、ケース2の外に導かれている。第1図
の本発明の超音波トランスジューサBを使用する方法は
、従来の超音波トランスシュ超音波受信器7に接続する
。超音波トランジューサBは、水・機械油・グリス等の
カッブラント10を介して、配管等の表面に接触させる
。このようにした後、高周波パルス電源6から、高周波
電圧を印加すると、超音波トランスジューサBは超音波
を発生し、この超音波がカッブラント10を介して、配
管中を伝搬し、配管内の超音波の多重反射を起こし、第
7図に示したような超音波のパルス波形がオシロスコー
プ8に表示され、このパルス波形の時間間隔を測定する
ことにより従来技術で示した(1)式により、配管の板
厚が計測される。
には乱反射層17と呼ばれる凹凸加工を施しである。電
極3aおよび電極3bには、リード線5a、 5bが取
付けられており、ケース2の外に導かれている。第1図
の本発明の超音波トランスジューサBを使用する方法は
、従来の超音波トランスシュ超音波受信器7に接続する
。超音波トランジューサBは、水・機械油・グリス等の
カッブラント10を介して、配管等の表面に接触させる
。このようにした後、高周波パルス電源6から、高周波
電圧を印加すると、超音波トランスジューサBは超音波
を発生し、この超音波がカッブラント10を介して、配
管中を伝搬し、配管内の超音波の多重反射を起こし、第
7図に示したような超音波のパルス波形がオシロスコー
プ8に表示され、このパルス波形の時間間隔を測定する
ことにより従来技術で示した(1)式により、配管の板
厚が計測される。
本発明が従来の超音波トランスジューサAと異なる点は
、新たにバッキング材16と呼ばれる音響伝搬材質を設
けたことにある。
、新たにバッキング材16と呼ばれる音響伝搬材質を設
けたことにある。
つぎに第2図に基づき本発明の超音波トランスジューサ
Bの動作を説明する。
Bの動作を説明する。
圧電体1にリード線5a、 5bを介して、高周波パル
ス電源6から、高周波電圧を印加すると、圧電体1は共
振し超音波が発生する。この超音波は、圧電体1の上面
(バッキング材16のある面)と圧電体1の下面(配管
と対向する面)に伝搬する2つの超音波18a 、18
bに分解される。圧電体1の下面(配管と対向する面)
に伝搬する超音波18aはカッブラント10を経由して
、配管中に伝搬し検査に有効な超音波となる。圧電体1
の上面(バッキング材のある面)に伝搬する超音波18
bは、バッキング月16があるために、バッキング材1
6中に伝搬することになる。しかも、バッキング材16
の上面には、凹凸の乱反射層17が施しであるので、凹
凸面に到達した超音波18bはここで乱反射して散乱し
圧電体1の下面(配管と対向する面)に戻ってくる超音
波の割合は減少する。したがって、圧電体内部で発生す
る超音波パルスの波形は、第3図に示した、高周波パル
スとほぼ同じになり超音波パルスのパルス幅は短くなる
。以上は超音波送信時の動作であるが超音波受信時も同
様である。
ス電源6から、高周波電圧を印加すると、圧電体1は共
振し超音波が発生する。この超音波は、圧電体1の上面
(バッキング材16のある面)と圧電体1の下面(配管
と対向する面)に伝搬する2つの超音波18a 、18
bに分解される。圧電体1の下面(配管と対向する面)
に伝搬する超音波18aはカッブラント10を経由して
、配管中に伝搬し検査に有効な超音波となる。圧電体1
の上面(バッキング材のある面)に伝搬する超音波18
bは、バッキング月16があるために、バッキング材1
6中に伝搬することになる。しかも、バッキング材16
の上面には、凹凸の乱反射層17が施しであるので、凹
凸面に到達した超音波18bはここで乱反射して散乱し
圧電体1の下面(配管と対向する面)に戻ってくる超音
波の割合は減少する。したがって、圧電体内部で発生す
る超音波パルスの波形は、第3図に示した、高周波パル
スとほぼ同じになり超音波パルスのパルス幅は短くなる
。以上は超音波送信時の動作であるが超音波受信時も同
様である。
すなわち、第4図において、配管表面より超音波パルス
19が、超音波トランスジューサB内に入射すると、超
音波パルス19が圧電体1中を伝搬し、圧電体1の上面
に到達すると、バッキング材16があるために、超音波
パルス19は、圧電体の上面で反射せずバッキング材1
6中に伝搬することになる。
19が、超音波トランスジューサB内に入射すると、超
音波パルス19が圧電体1中を伝搬し、圧電体1の上面
に到達すると、バッキング材16があるために、超音波
パルス19は、圧電体の上面で反射せずバッキング材1
6中に伝搬することになる。
しかも、バッキング材16の上面には、凹凸か施しであ
るので、凹凸面に到達した超音波はここで乱反射して散
乱し圧電体の下面(配管と対向する面)に戻ってくる超
音波の割合は減少する。このため受信した超音波パルス
19の波形は第3図に示したように、短い超音波パルス
の波形となる。
るので、凹凸面に到達した超音波はここで乱反射して散
乱し圧電体の下面(配管と対向する面)に戻ってくる超
音波の割合は減少する。このため受信した超音波パルス
19の波形は第3図に示したように、短い超音波パルス
の波形となる。
このように本発明の超音波トランスジューサを使用する
と、短い超音波パルスが得られるので薄板の板厚測定が
可能となるので、検査の精度が向上する。さらに、この
ため検査の信頼性が向上する。
と、短い超音波パルスが得られるので薄板の板厚測定が
可能となるので、検査の精度が向上する。さらに、この
ため検査の信頼性が向上する。
第1図は、本発明の超音波トランスジューサの断面を示
す図。 第2図は、送信用超音波パルスのパルスが短くなること
を説明するための図。 第3図は、高周波パルスの波形および本発明の超音波ト
ランスジューサにより、受信した超音波パルスの波形。 第4図は、受信した超音波パルスのパルスが短くなるこ
とを説明するための図。 第5図は、従来の超音波トランスジューサの断面を示す
図。 第6図は、従来の超音波トランスジューサおよび本発明
の超音波トランスジューサの使用方法を示した図。 第7図は、送信受信した超音波パルスがオシロスコープ
に表示されていることを示す図。 第8図は、受信した超音波パルスのひとつを拡大して示
した図。 第9図は、従来の超音波トランスジューサの超音波送信
の動作を示した図。 第10図は、従来の超音波トランスジューサの超音波受
信の動作を示した図。 A・・・従来の超音波トランスジューサト・・圧電体
2・・・ケース3a、 3b・・・電極
4・・・充填材5a+ 5b・・・リード線 6・
・・高周波パルス電源7・・・超音波受信 8・・
・オシロスコープ9・・・配管 10・・・
カッブラント11・・・配管の内面 12・・・配
管の表面13a・・・送信パルス波形 13b〜13d・・・反射の受信波形 14a・・・圧電体の上面に向って伝搬する超音波14
b・・・圧電体の仏に向って伝搬する超音波15・・・
配管から伝搬してきた超音波1B・・・バッキング材(
音響伝搬媒質)17・・・乱反射層 B・・・本発明の超音波トランスジユーサ18a・・・
圧電体の上面に向って伝搬する超音波18b・・・圧電
体の下面に向って伝搬する超音波19・・・配管から伝
搬してき□た超音波代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 第子丸 健 第1図 第2図 l 第 図 フ 第 図 // 第 第 図
す図。 第2図は、送信用超音波パルスのパルスが短くなること
を説明するための図。 第3図は、高周波パルスの波形および本発明の超音波ト
ランスジューサにより、受信した超音波パルスの波形。 第4図は、受信した超音波パルスのパルスが短くなるこ
とを説明するための図。 第5図は、従来の超音波トランスジューサの断面を示す
図。 第6図は、従来の超音波トランスジューサおよび本発明
の超音波トランスジューサの使用方法を示した図。 第7図は、送信受信した超音波パルスがオシロスコープ
に表示されていることを示す図。 第8図は、受信した超音波パルスのひとつを拡大して示
した図。 第9図は、従来の超音波トランスジューサの超音波送信
の動作を示した図。 第10図は、従来の超音波トランスジューサの超音波受
信の動作を示した図。 A・・・従来の超音波トランスジューサト・・圧電体
2・・・ケース3a、 3b・・・電極
4・・・充填材5a+ 5b・・・リード線 6・
・・高周波パルス電源7・・・超音波受信 8・・
・オシロスコープ9・・・配管 10・・・
カッブラント11・・・配管の内面 12・・・配
管の表面13a・・・送信パルス波形 13b〜13d・・・反射の受信波形 14a・・・圧電体の上面に向って伝搬する超音波14
b・・・圧電体の仏に向って伝搬する超音波15・・・
配管から伝搬してきた超音波1B・・・バッキング材(
音響伝搬媒質)17・・・乱反射層 B・・・本発明の超音波トランスジユーサ18a・・・
圧電体の上面に向って伝搬する超音波18b・・・圧電
体の下面に向って伝搬する超音波19・・・配管から伝
搬してき□た超音波代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 第子丸 健 第1図 第2図 l 第 図 フ 第 図 // 第 第 図
Claims (1)
- 超音波の送受信を行う圧電体の上部と下部に密着させた
電極と、該圧電体および該電極を固定する充填材と、こ
れら圧電体と電極および充填材を内包するケースとより
構成された超音波トランスジューサにおいて、上面が凹
凸状をした音響伝搬媒質を前記圧電体の上部電極の上面
に密着させたことを特徴とする超音波トランスジューサ
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1036066A JPH02216007A (ja) | 1989-02-17 | 1989-02-17 | 超音波トランスジューサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1036066A JPH02216007A (ja) | 1989-02-17 | 1989-02-17 | 超音波トランスジューサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02216007A true JPH02216007A (ja) | 1990-08-28 |
Family
ID=12459349
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1036066A Pending JPH02216007A (ja) | 1989-02-17 | 1989-02-17 | 超音波トランスジューサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02216007A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04348274A (ja) * | 1991-02-06 | 1992-12-03 | Toko Denki Kk | 電気機器ケース内の浸水検出方法および装置 |
EP2348503A1 (de) * | 2010-01-19 | 2011-07-27 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung | Ultraschallsensor zum Erfassen und/ oder Abtasten von Objekten und entsprechendes Herstellungsverfahren |
JP2020118452A (ja) * | 2019-01-18 | 2020-08-06 | 株式会社デンソー | 超音波センサの収容構造 |
-
1989
- 1989-02-17 JP JP1036066A patent/JPH02216007A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04348274A (ja) * | 1991-02-06 | 1992-12-03 | Toko Denki Kk | 電気機器ケース内の浸水検出方法および装置 |
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JP2011169890A (ja) * | 2010-01-19 | 2011-09-01 | Fraunhofer Ges | 物体を検出及び/又はスキャンするための超音波センサ |
US8468892B2 (en) | 2010-01-19 | 2013-06-25 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angerwandten Forschung E.V. | Ultrasonic sensor for detecting and/or scanning objects |
JP2020118452A (ja) * | 2019-01-18 | 2020-08-06 | 株式会社デンソー | 超音波センサの収容構造 |
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