JP2011169890A - 物体を検出及び/又はスキャンするための超音波センサ - Google Patents
物体を検出及び/又はスキャンするための超音波センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011169890A JP2011169890A JP2011004790A JP2011004790A JP2011169890A JP 2011169890 A JP2011169890 A JP 2011169890A JP 2011004790 A JP2011004790 A JP 2011004790A JP 2011004790 A JP2011004790 A JP 2011004790A JP 2011169890 A JP2011169890 A JP 2011169890A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- piezoelectric
- ultrasonic
- sensor unit
- range
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 title abstract description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 63
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 27
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 27
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 14
- 229910021418 black silicon Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 11
- 238000000708 deep reactive-ion etching Methods 0.000 claims description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 5
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 claims description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 5
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 claims description 4
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 3
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 claims description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 claims 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 abstract description 7
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 50
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 23
- 238000002592 echocardiography Methods 0.000 description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 8
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 7
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910018503 SF6 Inorganic materials 0.000 description 6
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- SFZCNBIFKDRMGX-UHFFFAOYSA-N sulfur hexafluoride Chemical compound FS(F)(F)(F)(F)F SFZCNBIFKDRMGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229960000909 sulfur hexafluoride Drugs 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 4
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000012876 carrier material Substances 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 3
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 235000019407 octafluorocyclobutane Nutrition 0.000 description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 3
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 3
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 3
- 239000004341 Octafluorocyclobutane Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003570 air Substances 0.000 description 2
- -1 argon ions Chemical class 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- BCCOBQSFUDVTJQ-UHFFFAOYSA-N octafluorocyclobutane Chemical compound FC1(F)C(F)(F)C(F)(F)C1(F)F BCCOBQSFUDVTJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000010978 in-process monitoring Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 238000004154 testing of material Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/002—Devices for damping, suppressing, obstructing or conducting sound in acoustic devices
Abstract
【解決手段】超音波センサは基板1と、該基板上に又は該基板に配置及び/又は接続した圧電センサユニット2を有し、前記圧電センサユニットから離れた側の前記基板の裏面3が、複数の隆起部と凹部を含む表面構造を有し、前記圧電センサユニットの方向から前記裏面に入射する超音波を散漫散乱するように、及び/又は、前記隆起部及び/又は前記凹部の平均横方向範囲が0.05μmから1mm、好ましくは0.1μmから200μm、好ましくは0.2μmから20μmであり、及び/又は平均横方向範囲が、前記圧電センサユニットの生成できる超音波の波長以下となるように、前記表面構造を構成する。
【選択図】図1
Description
1.F. Larmer、A. Schilp著:Method of anisotropic etching of silicon、独国特許DE4241045号、1992年12月5日出願、1994年5月26日特許付与。
2.W. Menz、J. Mohr著:Microsystem technology for engineers、VCH-Verlag、ワインハイム、1997年、ISBN352730536X。
3.Gary S. May、Simon M. Sze著:Fundamentals of Semiconductor Fabrication、Wiley & Sons、2003年、ISBN0−47145238−6。
4.Kanechika M.、Sugimoto N.、Mitsushima Y. 著:Control of shape of silicon needles fabricated by highly selective anisotropic dry etching、Jour of Vacuum Science & Technology B:Microelectronics and Nanometer Structures、2002年7月、第20巻、I.4、1298から1302頁。
5.H. V. Jansenら著、the black silicon method: a universal method for determining the parameter setting of a fluorine based reactive ion etcher in deep silicon trench etching with profile control、Journal of Micromechanical Microengineering 5 (1995)、115頁から120頁。
6.Fritz Kurt Kneubuhl、Markus Werner Sigrist著:Laser、第6版、トイブナー、ウィースバーデン、2005年、ISBN3−8351−0032−7。
7.J. Eichler, H. J. Eichler著:Lasers, Construction forms, Jet guidance, Applications、第5版、Springer-Verlag、ISBN3−540−00376−2。
8.Ulrich Hilleringmann著:Microsystem engineering Process steps, Technologies, Applications、第1版、Vieweg + Teubner、2006年、ISBN3−835−10003−3。
9.Bruck, Rainer[編]Bauer, Hans-Dieter:Applied microengineering;LIGA, Lasers, Precision engineering/Munich; Vienna; Hanser、2001年、ISBN3−446−21471−2。
10.Leyens, Christoph著:Interaction between manufacturing parameters and layer properties of selected metal and ceramic systems in magnetron cathode sputtering、デュッセルドルフ、VDI-Verl、1998年。(Progress reports VDI: Series 5, Basic materials, work materials, plastics; 534)、ISBN3−18−353405−3。
11.U. Krause著:The behavior of the electric parameters in bipolar pulse magnetron sputtering for the example of tin oxide and zinc oxide、2002年、Hochschulschrift Magdeburg, Univ., Diss., 2001年。
12.D. Gloss著:Influence of coating parameters on the particle and energy flow to the substrate and effects on selected properties of titanium oxide layers in reactive pulse magnetron sputtering, Diss, Faculty for Natural Sciences of Chemnitz Technical University,2006年。
13.D. Depla著:Reactive sputter deposition”; Berlin, Heidelberg [inter alia]: Springer, 2008年(Springer series a in materials science, 109)、ISBN978−3−540−76662−9。
1 単結晶シリコンウエハ
2 電子センサユニット
3 裏面
4 表面構造
5 圧電層
6 第1金属接点
7 前面
8 電気絶縁層
9 第2金属接点
Claims (9)
- 物体(O)を検出及び/又はスキャンするための超音波センサであって、
基板(1)と、前記基板上に若しくは前記基板に配置及び/又は前記基板に接続した圧電センサユニット(2)とを含み、
前記圧電センサユニット(2)から離れた側の前記基板(1)の裏面(3)が、複数の隆起部と凹部を含む表面構造(4)を有し、
前記センサユニット(2)の方向から前記裏面(3)に入射する超音波を散漫散乱するように、及び/又は、前記隆起部及び/又は前記凹部の平均横方向範囲(L)が0.05μmから1mm、好ましくは0.1μmから200μm、好ましくは0.2μmから20μmであり、及び/又は平均横方向範囲(L)が、前記圧電センサユニット(2)により生じ得る超音波の波長以下となるように、前記表面構造(4)を構成すること、
を特徴とする超音波センサ。 - 20kHzから1GHzの範囲の周波数の超音波を送信及び/又は受信するように前記圧電センサユニット(2)を構成し、及び/又は、20kHzから1GHzの範囲の周波数の超音波を散漫散乱するように前記表面構造(4)を構成すること、
を特徴とする先行する請求項に記載の超音波センサ。 - 前記基板(1)がシリコン、特に結晶シリコンを含み、及び/又はシリコンウエハであり;又は前記基板がサファイヤ若しくは窒化ガリウムを含み、
及び/又は、
前記裏面(3)及び/又はその表面構造(4)が、ブラックシリコンを含み、
及び/又は、
前記基板(1)の前記裏面(3)のレーザ照射、イオン照射、特に反応性イオンエッチング若しくは深堀反応性イオンエッチング、及び/又は機械的材料除去によって、前記表面構造(4)の前記隆起部及び凹部を形成し、前記隆起部を好適には針形状に形成すること、
を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載の超音波センサ。 - 前記隆起部の平均高さ(A)、前記凹部の平均深さ、及び/又は前記隆起部及び/又は前記凹部の前記センサ面に垂直な方向の平均範囲が、0.05μmから1mmの範囲、好ましくは0.1μmから200μm、好ましくは0.2μmから20μmであり、
及び/又は、
前記隆起部及び/又は凹部の前記高さ(A)、深さ、及び/又は範囲と、前記平均横方向範囲(L)とのアスペクト比a=A/Lが、0.2から50、好適には0.5から10であること、
を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載の超音波センサ。 - 前記圧電センサユニット(2)が、少なくとも1つの圧電素子(5)を含み、好適には前記圧電素子(5)が、1μmから100μmの範囲、好ましくは10μmから25μmの範囲の層厚を有し、及び/又は好適にはAlN又はZnOを含むこと、
を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載の超音波センサ。 - 前記圧電センサユニット(2)が、少なくとも1つの圧電素子(5)と、前記圧電素子(5)に対する外部からの圧力によって及び/又は前記圧電素子(5)に電圧を印加することによって前記圧電素子(5)に生じた電圧を検出するよう前記圧電素子(5)に接続した少なくとも2つの電気接点(9、6)とを含み、好適には前記圧電素子(5)に接続する少なくとも2つの電気接点(9、6)の間に前記圧電素子(5)のうちの少なくとも1つを配置すること、
を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載の超音波センサ。 - 超音波を送信する送信ユニットとして、超音波を受信する受信ユニットとして、又は超音波を送受信する送受信ユニットとして、圧電センサユニット(2)を構成し、
及び/又は、
前記基板(1)と共に前記圧電センサユニット(2)を少なくとも部分的に皮膜として形成すること、
を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載の超音波センサ。 - 複数の圧電センサユニット(2)を含み、これら複数の圧電センサユニット(2)の複数又は全てを、請求項5から7のうちの一項によって構成し、
及び/又は、
前記超音波センサを超音波テストヘッドとして構成すること、
を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載の超音波センサ。 - 特にまずレーザ照射、イオン照射、特に反応性イオンエッチング又は深堀反応性イオンエッチング、及び/又は機械的材料除去加工によって、前記基板(1)の前記裏面(3)に、特に結晶シリコンウエハの前記裏面に、前記表面構造(4)の前記隆起部及び前記凹部を形成し、
その後コーティングプロセスによって、好適には陰極スパッタリングによって、PVDプロセスによって、及び/又はパルスマグネトロンスパッタリングによって、少なくとも1つの圧電層(5)と少なくとも2つの電気接点(9、6)を、前記裏面の反対側に位置する前記基板(1)の前面(7)上に層状に設けること、
を特徴とする先行する請求項のうちの一項に記載の超音波センサを製造する方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP10000489.4 | 2010-01-19 | ||
EP10000489.4A EP2348503B1 (de) | 2010-01-19 | 2010-01-19 | Ultraschallsensor zum Erfassen und/ oder Abtasten von Objekten und entsprechendes Herstellungsverfahren |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011169890A true JP2011169890A (ja) | 2011-09-01 |
JP5734673B2 JP5734673B2 (ja) | 2015-06-17 |
Family
ID=42215734
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011004790A Active JP5734673B2 (ja) | 2010-01-19 | 2011-01-13 | 物体を検出及び/又はスキャンするための超音波センサ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8468892B2 (ja) |
EP (1) | EP2348503B1 (ja) |
JP (1) | JP5734673B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI454968B (zh) | 2012-12-24 | 2014-10-01 | Ind Tech Res Inst | 三維互動裝置及其操控方法 |
CN103111410A (zh) * | 2013-01-25 | 2013-05-22 | 常州波速传感器有限公司 | 新型超声波传感器 |
CN108502841A (zh) * | 2018-05-04 | 2018-09-07 | 李扬渊 | 一种能够实现超声波传感的电子设备及其制造方法 |
CN114106518A (zh) * | 2021-10-28 | 2022-03-01 | 中广核检测技术有限公司 | 一种薄片式超声传感器 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59225045A (ja) * | 1983-06-07 | 1984-12-18 | 松下電器産業株式会社 | 超音波探触子 |
JPS6133518B2 (ja) * | 1984-05-30 | 1986-08-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | |
JPH02216007A (ja) * | 1989-02-17 | 1990-08-28 | Toshiba Corp | 超音波トランスジューサ |
JPH03274899A (ja) * | 1990-03-24 | 1991-12-05 | Hitachi Ltd | 超音波変換器 |
JPH04218765A (ja) * | 1990-03-26 | 1992-08-10 | Toshiba Corp | 超音波プローブ |
JPH09116997A (ja) * | 1995-10-23 | 1997-05-02 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 超音波探触子 |
JP2005020700A (ja) * | 2003-02-27 | 2005-01-20 | Murata Mfg Co Ltd | 超音波送受波器、及びその製造方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3826866A (en) * | 1973-04-16 | 1974-07-30 | Univ Leland Stanford Junior | Method and system for acousto-electric scanning |
FR2324061A1 (fr) * | 1975-09-11 | 1977-04-08 | Thomson Csf | Dispositif de lecture acousto-electrique d'une image optique a une dimension |
US4435984A (en) * | 1980-04-21 | 1984-03-13 | Southwest Research Institute | Ultrasonic multiple-beam technique for detecting cracks in bimetallic or coarse-grained materials |
EP0128049B1 (en) * | 1983-06-07 | 1990-09-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ultrasonic probe having a backing member |
DE4241045C1 (de) | 1992-12-05 | 1994-05-26 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zum anisotropen Ätzen von Silicium |
DE4414081C1 (de) * | 1994-04-22 | 1995-10-12 | Sonident Anstalt | Verfahren und Vorrichtung zum Abtasten eines Ultraschallfeldes |
US6942619B2 (en) * | 2002-05-20 | 2005-09-13 | Kohji Toda | Ultrasound radiation device |
JP4715236B2 (ja) | 2005-03-01 | 2011-07-06 | 株式会社デンソー | 超音波センサ装置 |
-
2010
- 2010-01-19 EP EP10000489.4A patent/EP2348503B1/de active Active
-
2011
- 2011-01-10 US US12/987,514 patent/US8468892B2/en active Active
- 2011-01-13 JP JP2011004790A patent/JP5734673B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59225045A (ja) * | 1983-06-07 | 1984-12-18 | 松下電器産業株式会社 | 超音波探触子 |
JPS6133518B2 (ja) * | 1984-05-30 | 1986-08-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | |
JPH02216007A (ja) * | 1989-02-17 | 1990-08-28 | Toshiba Corp | 超音波トランスジューサ |
JPH03274899A (ja) * | 1990-03-24 | 1991-12-05 | Hitachi Ltd | 超音波変換器 |
JPH04218765A (ja) * | 1990-03-26 | 1992-08-10 | Toshiba Corp | 超音波プローブ |
JPH09116997A (ja) * | 1995-10-23 | 1997-05-02 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 超音波探触子 |
JP2005020700A (ja) * | 2003-02-27 | 2005-01-20 | Murata Mfg Co Ltd | 超音波送受波器、及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2348503A1 (de) | 2011-07-27 |
US20120013222A1 (en) | 2012-01-19 |
JP5734673B2 (ja) | 2015-06-17 |
EP2348503B1 (de) | 2015-03-11 |
US8468892B2 (en) | 2013-06-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8231795B2 (en) | Micromachined horn | |
US10756003B2 (en) | Inorganic wafer having through-holes attached to semiconductor wafer | |
JP5734673B2 (ja) | 物体を検出及び/又はスキャンするための超音波センサ | |
AU679035B2 (en) | Ultrasound transducers with reduced sidelobes and method for manufacture thereof | |
US10106397B1 (en) | Acoustic tweezers | |
US20140010052A1 (en) | Capacitive transducer | |
US20110026367A1 (en) | Acoustic Transducer | |
US7999440B2 (en) | Micro-fabricated devices having a suspended membrane or plate structure | |
JP2009055474A (ja) | 超音波トランスデューサ、超音波診断装置及び超音波顕微鏡 | |
CN104117477A (zh) | 电容变换器及其制造方法、探测器以及对象信息获取装置 | |
US10016788B2 (en) | Method and device for driving capacitance transducer | |
Guo et al. | Nebulization of water/glycerol droplets generated by ZnO/Si surface acoustic wave devices | |
Belsito et al. | Fabrication of fiber-optic broadband ultrasound emitters by micro-opto-mechanical technology | |
EP2697160A2 (en) | A method for microfabrication of a capacitive micromachined ultrasonic transducer comprising a diamond membrane and a transducer thereof | |
Gruner et al. | High pulse repetition frequency micro hole drilling of silicon using ultrashort pulse laser radiation | |
US8258678B2 (en) | Short range ultrasonic device with broadbeam ultrasonic transducers | |
US9364863B2 (en) | Method for forming an ultrasound transducer array | |
US20230311248A1 (en) | Glass element with structured wall and method for the production thereof | |
Lim et al. | Development of high frequency pMUT based on sputtered PZT | |
US20170168025A1 (en) | Device in which element is provided on substrate having penetrating wire and manufacturing method therefor | |
Lee et al. | Femtosecond laser micromachining of polyvinylidene fluoride (PVDF) based piezo films | |
US20220013103A1 (en) | Ultrasonic Transducer and Method of Fabricating an Ultrasonic Transducer | |
Kim et al. | Fabrication of surface-micromachined circular piezoelectric micromachined ultrasonic transducers with various etching holes using XeF2 and simulation of their vibrational characteristics | |
Yu et al. | Fabrication of embossed capacitive micromachined ultrasonic transducers using sacrificial release process | |
Bai | Enhanced Fabrication of Microdroplet Generator Nozzle Arrays: Optimizing KOH Etching for Microfluidic Applications |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131226 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140618 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140722 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141020 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141216 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150312 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150331 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150415 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5734673 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |