JPH02214477A - 振動波装置 - Google Patents
振動波装置Info
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- JPH02214477A JPH02214477A JP1035348A JP3534889A JPH02214477A JP H02214477 A JPH02214477 A JP H02214477A JP 1035348 A JP1035348 A JP 1035348A JP 3534889 A JP3534889 A JP 3534889A JP H02214477 A JPH02214477 A JP H02214477A
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- groove
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Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は振動波装置、特に進行波型の振動波モータにお
ける振動体の構造に関するものである。
ける振動体の構造に関するものである。
弾性体に進行性振動波を生じさせ、この振動によってロ
ータ等の移動体を移動させる振動波モータは、小型であ
り、また低速時に高いトルクが得られることがら、近年
−眼レフカメラの撮影レンズ駆動用として採用された。
ータ等の移動体を移動させる振動波モータは、小型であ
り、また低速時に高いトルクが得られることがら、近年
−眼レフカメラの撮影レンズ駆動用として採用された。
第2図は振動波モータを、撮影レンズ駆動用として組込
んだ一眼レフカメラの撮影レンズの縦断面図で、1は撮
影レンズの光軸りを回転中心とする、円環状の金属性の
弾性体で、後述するロータ3に接する側には第3図に示
される様に所定の幅tと深さhの溝IAが全周にわたっ
て設けられている。また該弾性体1の下部にはPZT等
の圧電素子2が接着剤により固定されている。電気−機
械エネルギー変換素子としての該圧電素子2に対しては
公知の方法で、位相と異なる超音波の駆動信号が印加さ
れ、この信号に応答して弾性体1が振動することによっ
て振動体を形成する弾性体lの周方向に回転する進行性
振動波が発生する。3は弾性体lの上面に加圧接触した
端部を有する円、環状のロータで、移動体としての該ロ
ータ3の他端にはゴム等の円環状の第1の吸振体5が設
けられている。4はフェルト等で形成された円環状の振
動絶縁体で、該絶縁体4はフェルト台8を介して重ね合
わされた2枚の皿バネ9から加圧力を受けている。
んだ一眼レフカメラの撮影レンズの縦断面図で、1は撮
影レンズの光軸りを回転中心とする、円環状の金属性の
弾性体で、後述するロータ3に接する側には第3図に示
される様に所定の幅tと深さhの溝IAが全周にわたっ
て設けられている。また該弾性体1の下部にはPZT等
の圧電素子2が接着剤により固定されている。電気−機
械エネルギー変換素子としての該圧電素子2に対しては
公知の方法で、位相と異なる超音波の駆動信号が印加さ
れ、この信号に応答して弾性体1が振動することによっ
て振動体を形成する弾性体lの周方向に回転する進行性
振動波が発生する。3は弾性体lの上面に加圧接触した
端部を有する円、環状のロータで、移動体としての該ロ
ータ3の他端にはゴム等の円環状の第1の吸振体5が設
けられている。4はフェルト等で形成された円環状の振
動絶縁体で、該絶縁体4はフェルト台8を介して重ね合
わされた2枚の皿バネ9から加圧力を受けている。
前述のロータ3は前記したFlの吸振体5を介して連結
板に密接保持される。円環状の連結板22は6本の締め
付はビス(不図示)により出力伝達体25と固定される
。光軸りを回転中心として回転する出力伝達体25はボ
ール10を用いてボールレース13.14で玉軸受けを
構成している。ボールレース13. 14は撮影レンズ
の外筒12に固定され、外筒12は固定筒11と結合さ
れ、カメラマウント19に固定される。出力伝達体25
の先端には連結コロ15が固定され、光軸方向に設けら
れたフォーカスレンズ27を保持した移動環17のキー
溝(不図示)と係合する。固定内筒18のネジ部18a
と移動環17のネジ部17aがヘリコイド結合しており
、出力伝達体25の回転運動によって連結コロ15を介
して移動環17は回転しながら光軸方向へ移動可能とな
る。
板に密接保持される。円環状の連結板22は6本の締め
付はビス(不図示)により出力伝達体25と固定される
。光軸りを回転中心として回転する出力伝達体25はボ
ール10を用いてボールレース13.14で玉軸受けを
構成している。ボールレース13. 14は撮影レンズ
の外筒12に固定され、外筒12は固定筒11と結合さ
れ、カメラマウント19に固定される。出力伝達体25
の先端には連結コロ15が固定され、光軸方向に設けら
れたフォーカスレンズ27を保持した移動環17のキー
溝(不図示)と係合する。固定内筒18のネジ部18a
と移動環17のネジ部17aがヘリコイド結合しており
、出力伝達体25の回転運動によって連結コロ15を介
して移動環17は回転しながら光軸方向へ移動可能とな
る。
かかる構成において、カメラ側からのAF倍信号たは、
マニュアルリング16からの駆動信号によって該振動体
1.2に公知の方法で進行性振動波を発生させ、ロータ
3を回転させて最終的にフォーカスレンズ27を光軸方
向へ移動させ、ピント調整を行うものである。
マニュアルリング16からの駆動信号によって該振動体
1.2に公知の方法で進行性振動波を発生させ、ロータ
3を回転させて最終的にフォーカスレンズ27を光軸方
向へ移動させ、ピント調整を行うものである。
そしてかかる従来装置の場合、この振動体1,2は駆動
用進行性振動波が振動体上のどの位置でも同じ振幅、同
じ波長となる様に均一な部材で形成され、かつ第3図示
のようにほぼ均一な構造となっていた。
用進行性振動波が振動体上のどの位置でも同じ振幅、同
じ波長となる様に均一な部材で形成され、かつ第3図示
のようにほぼ均一な構造となっていた。
〔発明が解決しようとしている問題点〕しかしながら、
上記従来装置では振動体、移動体、或いはそれらの保持
部材の加工後の平面度誤差が、両面(振動体と移動体)
の接触面に面圧ムラを引き起こし、かかる原因により駆
動用進行性振動波とは異なった波長の進行性振動波が成
長し、騒音が発生することがあった。
上記従来装置では振動体、移動体、或いはそれらの保持
部材の加工後の平面度誤差が、両面(振動体と移動体)
の接触面に面圧ムラを引き起こし、かかる原因により駆
動用進行性振動波とは異なった波長の進行性振動波が成
長し、騒音が発生することがあった。
本発明はかかる問題を解決した、騒音発生が抑えられた
振動波装置を提供するもので、本発明は振動波装置の少
なくとも1つの部材、たとえば弾性体、振動絶縁体等の
部材における、騒音を発生さ置に該部材の動剛性を不均
一とする溝、穴、突起/ 物等の手段を設け、前記振動波が進行波に成長すること
を阻止するようにしたものである。
振動波装置を提供するもので、本発明は振動波装置の少
なくとも1つの部材、たとえば弾性体、振動絶縁体等の
部材における、騒音を発生さ置に該部材の動剛性を不均
一とする溝、穴、突起/ 物等の手段を設け、前記振動波が進行波に成長すること
を阻止するようにしたものである。
第1図は本発明を適用した一眼レフカメラ用撮影レンズ
に於ける振動波モータの弾性体lと電気−機械エネルギ
ー変換素子としての圧電素子2の要部斜視図である。該
第1図示撮影レンズは第2図、第3図示撮影レンズのそ
れとほぼ同じであるので第2図示撮影レンズと異なる機
素についてのみ説明し、他の機素についての説明は省略
する。第1図において、lは振動波モータの主要な構成
部分を形成する円環状の弾性体で、移動体としてのロー
タ3(第2図窯番)との接触面に幅tI+深さhlの多
数の溝IAが全周にわたって設けられている。またこれ
らの溝の一部はIBとして図示される様に深さh2の深
溝となっている。騒音を発生する振動の波の数が、例え
ば3個の時(以後この波の数が弾性体lに生じた時の曲
げ振動を3次モードの曲げ振動と称し、n個の波が弾性
体lに生じた時の曲げ振動を0次モードの曲げ振動と称
す)には、この深溝IBはピッチθ=60°の間隔で6
個設けられる。また騒音を発生する曲げ振動の波の数が
n個、すなわち0次モードの曲げ振動の時には、この深
溝IBはピッは電気−機械エネルギー変換素子としての
PZT等の圧電素子で、第2図示従来装置と同様に弾性
体lの一方の端面に接着剤で貼着される。該圧電素子2
のA相駆動領域を形成する各領域2A、〜2A7及びB
相駆動領域を形成する各領域2B、〜2B7は第1図示
の様に交互に異なる分極方向に分極され、またA相駆動
領域中の領域2A、とB相駆動領域中の領域2B、との
間にはA相、B相駆動領域の夫々に共通で、不図宗の駆
動源のアースに接続される共通電極2Cが設けられる。
に於ける振動波モータの弾性体lと電気−機械エネルギ
ー変換素子としての圧電素子2の要部斜視図である。該
第1図示撮影レンズは第2図、第3図示撮影レンズのそ
れとほぼ同じであるので第2図示撮影レンズと異なる機
素についてのみ説明し、他の機素についての説明は省略
する。第1図において、lは振動波モータの主要な構成
部分を形成する円環状の弾性体で、移動体としてのロー
タ3(第2図窯番)との接触面に幅tI+深さhlの多
数の溝IAが全周にわたって設けられている。またこれ
らの溝の一部はIBとして図示される様に深さh2の深
溝となっている。騒音を発生する振動の波の数が、例え
ば3個の時(以後この波の数が弾性体lに生じた時の曲
げ振動を3次モードの曲げ振動と称し、n個の波が弾性
体lに生じた時の曲げ振動を0次モードの曲げ振動と称
す)には、この深溝IBはピッチθ=60°の間隔で6
個設けられる。また騒音を発生する曲げ振動の波の数が
n個、すなわち0次モードの曲げ振動の時には、この深
溝IBはピッは電気−機械エネルギー変換素子としての
PZT等の圧電素子で、第2図示従来装置と同様に弾性
体lの一方の端面に接着剤で貼着される。該圧電素子2
のA相駆動領域を形成する各領域2A、〜2A7及びB
相駆動領域を形成する各領域2B、〜2B7は第1図示
の様に交互に異なる分極方向に分極され、またA相駆動
領域中の領域2A、とB相駆動領域中の領域2B、との
間にはA相、B相駆動領域の夫々に共通で、不図宗の駆
動源のアースに接続される共通電極2Cが設けられる。
また入相、B相駆動領域を形成する各領域2A、〜2A
7,2B、〜2B7の幅は弾性体lの曲げ振動の波長λ
の残に設定され、更に共通電極2Cとセンサ電極2Dの
幅の和は波長λに設定されている。前記共通電極2Cと
対向する側に設けられた前記A相駆動領域を形成するノ 各領域2A1〜2A、上の電極は不図示の第1交流電源
に接続される。また前記共通電極2Cと対向する側に設
けられた前記B相駆動領域を形成する各領域2B、〜2
B、上の電極は前記交流電源の出力信号と90°位相差
のある交流信号を出力する不図示の第2交流電源に接続
される。そして前記A相駆動領域2A、〜2A、の夫々
と前記領域2A、〜2A7の夫々と対応するB相駆動領
域2B、〜2B2の夫々とはλ/4離間されて設けられ
ている。
7,2B、〜2B7の幅は弾性体lの曲げ振動の波長λ
の残に設定され、更に共通電極2Cとセンサ電極2Dの
幅の和は波長λに設定されている。前記共通電極2Cと
対向する側に設けられた前記A相駆動領域を形成するノ 各領域2A1〜2A、上の電極は不図示の第1交流電源
に接続される。また前記共通電極2Cと対向する側に設
けられた前記B相駆動領域を形成する各領域2B、〜2
B、上の電極は前記交流電源の出力信号と90°位相差
のある交流信号を出力する不図示の第2交流電源に接続
される。そして前記A相駆動領域2A、〜2A、の夫々
と前記領域2A、〜2A7の夫々と対応するB相駆動領
域2B、〜2B2の夫々とはλ/4離間されて設けられ
ている。
かかる構成の撮影レンズの動作について説明する。前記
第1.第2交流電源によって圧電素子2のA相駆動領域
及びB相駆動領域に交流信号を供給すると、圧電素子2
の曲げ振動によって弾性体lには8個の波からなる進行
性振動波、換言すれば8次モードの進行性振動波が発生
し、該振動波によってロータ3(第2図参照)は光軸り
を中心として回転する。その結果フォーカスレンズ27
は光軸りに沿って移動して合焦動作が実行される。
第1.第2交流電源によって圧電素子2のA相駆動領域
及びB相駆動領域に交流信号を供給すると、圧電素子2
の曲げ振動によって弾性体lには8個の波からなる進行
性振動波、換言すれば8次モードの進行性振動波が発生
し、該振動波によってロータ3(第2図参照)は光軸り
を中心として回転する。その結果フォーカスレンズ27
は光軸りに沿って移動して合焦動作が実行される。
以上の説明は振動波モータが正常に動作した時の動作説
明であるが、動作中或いは動作開始時から騒音を発生す
る可能性のある8次モードの曲げ振動、たとえば3次モ
ードの曲げ振動が弾性体l上に発生した時の動作につい
て以下に説明する。第1図示の様な不均一構造の弾性体
の場合、深溝IBの所を節とする3次モードの振動波に
於ける弾性体1の固有振動数は高く、一方探溝IBの所
を腹とする3次モードの振動波に於ける弾性体lの固有
振動数は前述の固有振動数より低いものとなる。この様
に3次モードの振動波の夫々の位置に於ける弾性体lの
固有振動数は異なるので、騒音を発生する可能性のある
3次モードの振動波は進行波となり得ず、従って3次モ
ードの振動波が何らかの原因によって発生してもそれに
よって騒音が発生することはないものである。
明であるが、動作中或いは動作開始時から騒音を発生す
る可能性のある8次モードの曲げ振動、たとえば3次モ
ードの曲げ振動が弾性体l上に発生した時の動作につい
て以下に説明する。第1図示の様な不均一構造の弾性体
の場合、深溝IBの所を節とする3次モードの振動波に
於ける弾性体1の固有振動数は高く、一方探溝IBの所
を腹とする3次モードの振動波に於ける弾性体lの固有
振動数は前述の固有振動数より低いものとなる。この様
に3次モードの振動波の夫々の位置に於ける弾性体lの
固有振動数は異なるので、騒音を発生する可能性のある
3次モードの振動波は進行波となり得ず、従って3次モ
ードの振動波が何らかの原因によって発生してもそれに
よって騒音が発生することはないものである。
尚、第1図示実施例では弾性体lの所定の位置、即ち騒
音を発生させる可能性のある3次モードの振動波のλの
%の整数倍(以下γλ/2と記す、但しγは整数)に対
応する位置に弾性体1の動剛性を部分的に不均一とする
深溝IBを設けたが、この深溝IBの位置の溝を逆に浅
くして、弾性体の動剛性/ lを部分的に不均一としても前述と同様な効果が生しる
。
音を発生させる可能性のある3次モードの振動波のλの
%の整数倍(以下γλ/2と記す、但しγは整数)に対
応する位置に弾性体1の動剛性を部分的に不均一とする
深溝IBを設けたが、この深溝IBの位置の溝を逆に浅
くして、弾性体の動剛性/ lを部分的に不均一としても前述と同様な効果が生しる
。
上の位置)に不均一部分を設けたが、弾性体lは第3図
示のような均一な弾性体とし、第2図に示され対応した
位置に切欠き(第1図参照)、穴等によって不均一部分
を設ける様にしても良いし、また同様な対策を第2図に
示される吸振体5、出力伝達体25に施しても良い。付
言すれば振動波モータの構成要素或いは該モータに連結
された装置の構成要様な不均一部分を設けることにより
騒音を防止出来るものである。
示のような均一な弾性体とし、第2図に示され対応した
位置に切欠き(第1図参照)、穴等によって不均一部分
を設ける様にしても良いし、また同様な対策を第2図に
示される吸振体5、出力伝達体25に施しても良い。付
言すれば振動波モータの構成要素或いは該モータに連結
された装置の構成要様な不均一部分を設けることにより
騒音を防止出来るものである。
第4図は第1図示弾性体lの他の実施例を示すもので、
第1図示実施例で示される歯ICの一部を高さの低い歯
IDで構成して弾性体lの一部に不均一部分を形成した
例である。
第1図示実施例で示される歯ICの一部を高さの低い歯
IDで構成して弾性体lの一部に不均一部分を形成した
例である。
第5図は第1図示弾性体lの更に他の実施例を示すもの
で、騒音を発生させる可能性のある振動波の波長λのγ
λ/2に対応した位置に、第1図示実施例に示される溝
IAの幅t、とは異なる幅t2の溝IEを設け、これに
より弾性体lの一部に不均一部分を形成した例である。
で、騒音を発生させる可能性のある振動波の波長λのγ
λ/2に対応した位置に、第1図示実施例に示される溝
IAの幅t、とは異なる幅t2の溝IEを設け、これに
より弾性体lの一部に不均一部分を形成した例である。
尚、第5図示実施例では溝の幅を広(したが、溝IEの
幅を逆に狭(しても同様な効果が得られるものである。
幅を逆に狭(しても同様な効果が得られるものである。
第6図は第1図示弾性体lの他の実施例を示すもので、
騒音を発生させる可能性のある振動波の波長λのγλ/
2に対応した位置における弾性体lの幅を変えること(
該実施例では幅を狭くした例を示す)よって弾性体lに
不均一な部分を設けた例である。尚、第6図における縦
の溝IFは内側、外側の両側に溝を設けることによって
形成されているが、この溝IFは内側、若しくは外側の
いずれか一方の溝で形成してもよい。また溝IFの部分
の材質/ を他の部分の材質と変えても同様な効果が得られる。
騒音を発生させる可能性のある振動波の波長λのγλ/
2に対応した位置における弾性体lの幅を変えること(
該実施例では幅を狭くした例を示す)よって弾性体lに
不均一な部分を設けた例である。尚、第6図における縦
の溝IFは内側、外側の両側に溝を設けることによって
形成されているが、この溝IFは内側、若しくは外側の
いずれか一方の溝で形成してもよい。また溝IFの部分
の材質/ を他の部分の材質と変えても同様な効果が得られる。
第7図は第1図示弾性体lの他の実施例を示し、歯IC
を有しない平らな弾性体lの一部、即ち騒音を発生させ
る可能性のある振動波の波長λのγλ/2に夛応した位
置に溝IGを設け、弾性体lに不均一部分を形成した例
である。尚、溝IGに代えて、この部分を他の部分より
高くしても良い。また第7図示実施例の場合には溝IG
を弾性体lの上面に設けたが、これを下面に設けても同
様な効果が得られる。更に弾性体lに設ける代りにロー
タ3の上面に第7図示の溝IGの様な溝(不図示)を設
けても良い。
を有しない平らな弾性体lの一部、即ち騒音を発生させ
る可能性のある振動波の波長λのγλ/2に夛応した位
置に溝IGを設け、弾性体lに不均一部分を形成した例
である。尚、溝IGに代えて、この部分を他の部分より
高くしても良い。また第7図示実施例の場合には溝IG
を弾性体lの上面に設けたが、これを下面に設けても同
様な効果が得られる。更に弾性体lに設ける代りにロー
タ3の上面に第7図示の溝IGの様な溝(不図示)を設
けても良い。
第8図は第1図示弾性体lの他の実施例を示し、第4図
示歯IDの代りに歯IDより広い幅を有する歯IHを設
けた例である。
示歯IDの代りに歯IDより広い幅を有する歯IHを設
けた例である。
第9図は第1図示弾性体lの更に他の実施例を示し、第
1図示溝IBに代えて、該溝IBの位置に所定の深さの
穴IJを設けた例であり、また第1O図は鎖式IJの代
りに突起物を固着して、弾性体lに不均一部分を設けた
例である。
1図示溝IBに代えて、該溝IBの位置に所定の深さの
穴IJを設けた例であり、また第1O図は鎖式IJの代
りに突起物を固着して、弾性体lに不均一部分を設けた
例である。
尚、以上の実施例は円環状の振動波モータの例であった
が、本発明はかかる振動波モータだけではな(、弾性体
が円板状、長円形の振動波モータにも適用できるだけで
なく、弾性体自身が進行性振動波によって移動する形式
の振動波モータにも適用出来るものである。
が、本発明はかかる振動波モータだけではな(、弾性体
が円板状、長円形の振動波モータにも適用できるだけで
なく、弾性体自身が進行性振動波によって移動する形式
の振動波モータにも適用出来るものである。
以上の様に、本発明では弾性体、振動絶縁体、出力伝達
体等の振動波装置の少なくとも1つの部材上溝、突起物
、穴等の手段を設けたので、実用上大きな問題となって
いた騒音を抑えることが出来たものである。
体等の振動波装置の少なくとも1つの部材上溝、突起物
、穴等の手段を設けたので、実用上大きな問題となって
いた騒音を抑えることが出来たものである。
第1図は本発明を適用した一眼レフカメラ用撮影レンズ
における振動波モータの要部分解斜視図、第2図は従来
の振動波モータを適用した撮影レンズの縦断面図、 第3図は第2図示振動波モータの要部斜視図、第4図及
至第1O図は本発明を適用した振動波もモータの要部斜
視図である。 図において、l・・・弾性体、2・・・圧電素子、3・
・・ロー々、4・・・振動絶縁体、12・・・振動波モ
ータを有する振動波装置を構成する外筒、25・・・出
力伝達体である。
における振動波モータの要部分解斜視図、第2図は従来
の振動波モータを適用した撮影レンズの縦断面図、 第3図は第2図示振動波モータの要部斜視図、第4図及
至第1O図は本発明を適用した振動波もモータの要部斜
視図である。 図において、l・・・弾性体、2・・・圧電素子、3・
・・ロー々、4・・・振動絶縁体、12・・・振動波モ
ータを有する振動波装置を構成する外筒、25・・・出
力伝達体である。
Claims (1)
- 弾性体と、該弾性体に進行性振動波を生起させる電気
−機械エネルギー変換手段とを有し、前記進行性振動波
を駆動源とする振動波装置において、該振動波装置の少
なくとも1つの部材上における騒音を発生させる可能性
のある振動波の波長の1/2の整数倍或いはほぼ整数倍
の位置に該部材の動剛性を不均一とする手段を設けたこ
とを特徴とする振動波装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1035348A JP2698412B2 (ja) | 1989-02-14 | 1989-02-14 | 振動波装置 |
EP90102905A EP0383309B1 (en) | 1989-02-14 | 1990-02-14 | Vibration wave motor |
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