JPH02213470A - 伸長部材を導くシーリング部材及びシーリング部材を備えた真空装置 - Google Patents

伸長部材を導くシーリング部材及びシーリング部材を備えた真空装置

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JPH02213470A
JPH02213470A JP1294100A JP29410089A JPH02213470A JP H02213470 A JPH02213470 A JP H02213470A JP 1294100 A JP1294100 A JP 1294100A JP 29410089 A JP29410089 A JP 29410089A JP H02213470 A JPH02213470 A JP H02213470A
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    • Y10S277/913—Seal for fluid pressure below atmospheric, e.g. vacuum

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、第一に、真空装置の壁を通ってワイヤ、スト
リップ箔、ワイヤのバンドルのような少なくとも一つの
伸長部材を導く時に適用されるシーリング部材に係り、
このシーリング部材は少なくとも真空装置の壁にシール
された状態で取り付けられ、伸長部材の断面積よりも大
きな断面積を持つ管状ケーシングを備えている。
［従来技術］ ワイヤに適用されるこのようなシーリング部材は、本出
願人に係るオランダ特許出願８６０２６（１１又はヨー
ロッ／＜特許出願０２８０８１８で知られている。
この出願では、真空装置の壁内に取付は可能なシーリン
グ部材、一つのケーシングを通過するワイヤが記載され
ている。そして、ワイヤを通す時に、真空装置に接続さ
れたポンプ（通常の十分な容量を持つもの）で所望の真
空度を得、かつ維持できるようにするために、装置内部
での外気のリークを減少できる程度にケーシングの長さ
と自由表面を規定している。
このようなシーリング部材を取付ける時に、所望するケ
ーシングの長さがかなり長いので、装置の一方の側でワ
イヤを導入し、他の側に導出する時（例えば、ワイヤが
破壊した場合に必要）に、主に実用、上の困難性がある
。このため、良い製造工程で有害な影響がある。
［発明が解決しようとする技術的課題、課題を解決する
手段、及び作用］ 本発明の目的は、上記欠点を解決したもので、そのため
に本発明のシーリング部材では、ケーシングは二もしく
はそれ以上の分離可能な部分を備え、この部分は少なく
ともケーシングの長さの一部を一緒になって構成し、自
由断面積を維持するようにシール状態で隣接しており、
このシール状態では自由断面積は、ケーシングの長さに
沿って、ワイヤが通過するのに最小限十分であるように
なっている。
幾つかの部分からなるケーシングを用いることにより、
ワイヤ破壊の場合のみならず真空方法を開始する時に、
ワイヤを単純かつ急速に通過させることができる。ケー
シングの一部分を取外すことにより、ワイヤを単純に取
付けることができる。
他方、ケーシングの一部を取外すことにより、ワイヤ番
地の側に導き出すことも大変簡単になる。
またケーシングを閉じることも、大変簡単がっ短時間で
行うことができる。
後に明確に説明するように、ケーシングの自由断面積は
、真空装置に取付ける箇所では比較的大きい。このため
、ワイヤの通過が、そこセ邪魔になることはない。もし
望むならば、比較的厚く、堅いワイヤまたは管でさえも
、供給時に使用することができ、る。このため、真空装
置内部で障害がおきることはない。
本発明のシーリング部材の特定の具体例では、自由断面
積は、取付側の逆側に向けて次第に減少している。
ケーシングの取付側から他方の側にこのような自由断面
積のテーバを設けることにより、空気の流入に対する抵
抗をさらに増加することができる。
上述の記載は、シーリング部材を一つ単純ワイヤを真空
装置に導入し及び導き出す時に適用した例についてであ
る。
多くの場合、幾つかのワイヤを同時に真空装置に供給す
るのが望ましい。この目的のために、本発明に係るシー
リング部材は、請求項３の特徴部分に示されたように実
施される。
シーリング部材のケーシング部分をシート形状とするこ
とにより、またシート形状部分が弾性シーリング手段の
挿入によりシール状態で隣接するようにすることにより
、取付側と逆側での残りの自由表面を介してしか外気の
流入が起こらない。
上記自由表面は、構成物により空隙のままとなっている
自由表面と、ここを通るワイヤの断面積に相当するトー
タルな表面との間の違いである。
好適には、本発明のシーリング部材は、請求項５の特徴
部分に示されるようになされる。
すなわち、ケーシングの一つのシート形状部分は、穴部
を備えている。他方、ケーシングの他の部分はこの穴部
に嵌合する胴部を備えている。穴部と胴部とは互いに調
整可能である。すなわち、ケーシングのすべての長さに
わたって一定である自由断面積であっても、また、ワイ
ヤを供給する自由断面積が取付側と逆側方向で減少する
ような穴部と胴部とであっても同様である。
ケーシング材料の磨耗は、取付側と逆側においてワイヤ
が比較的狭い開口を通過するときに起こる。
取付側と逆側は、取外し可能に挿入物を載置しており、
これにより磨耗を減少させるための大変大きな利点があ
る。そして、これらの間は幾つかのワイヤを供給するた
めの自由断面積である。これらの挿入物は、特にシリコ
ンカーバイド、タングステンカーバイド、アルミニウム
オキサイドなどの耐磨耗性材料で作ることができる。
本発明はまた真空装置内へまた真空装置内から連続的に
ワイヤ材料を導くための一又はそれ以上のシーリング部
材を備えた、ワイヤ形状材料の処理のための真空装置に
関する。
［実施例］ 第１図は、シーリング部材１を示し、これはスチールワ
イヤなどの複数のワイヤを同時に供給するのに適したも
のである。
シーリング部材１はケーシング部分２及び４からなるケ
ーシングを備えている。ケーシング部分２は胴部３を備
え、ケーシング部分４は穴部５を備えている。胴部３と
穴部５は互いに嵌合する。
ケーシング部分４内に弾性シーリング手段８があり、こ
れはシート形状部分２と４とをシール状態で結合させる
ものである。
胴部３と穴部５とは互いに取付けられ、この状態で自由
断面積がワイヤの通過のために残されており、そこを通
って、真空装置の上または内部に取付けられたフランジ
６内に作られた供給量ロアと接続されている。
ワイヤが通されると、シート形状のケーシング部分２が
シート形状のケーシング部分４から取外される。ここで
開ロアの寸法は、幾つかのワイヤが容品に通る程度であ
る。一つまたは複数のワイヤが真空装置と、この装置の
他の側から供給されるシーリング部材とを通ると、必要
であるならば補助手段を使用して、シート形状部分２を
その元の場所に戻し、適切な手段によりシート形状ケー
シング部材４上にシール状態で取付ける。取付手段は、
単純なねじボルトで構成することができる。
また操作が簡単な把持手段を使用することも可能である
。そしてこのことにより、単純な手作業でケーシング部
分２と４とがシール状態で結合される。
シーリング手段８の径を変えることにより、自由断面積
も変えることができる。しかし好ましくは、スペーサー
又は距離部品は、断面積を調節して使用するｐが良い。
第２図は、第１図のシーリング部材−の断面図を示す。
同じ部分は同じ参照番号で示されている。
シーリング部材の取付側は、符号９で示されている。逆
側は符号１０で示されている。シーリング手段８は溝内
に嵌合し、ケーシングの四つの辺のうち三つに達して伸
長しており、残りの一つの辺では、幾つかのワイヤが供
給可能で、外気に連通された自由断面積のみ残されてい
る。
第２図では、シート２と４との間に残されたスベースの
自由断面積は、取付側９から逆側１０へ減少している。
第３図は、第２図のｍ−ｍ　”線に沿い、第１図、第２
図のシーリング部材の断面図を示す。
ここでも、シーリング部材８の位置は明確に分かる。
最後に第４図では、最小の断面積側にあるシーリング部
材（即ち、シーリング部材の取付側と逆側）が耐磨耗性
挿入物１１及び１２を備えており、これでもって、最小
断面積を持つ上記部分の磨耗が防止される。
以下に示すシーリング部材は、真空装置内でワイヤ形状
の材料を処理する時に適用することができる。これに関
連して、真空装置は、大気圧よりも低い圧力で処理する
ことができる装置として理解でき、また処理として、真
空被覆、カソードスパッタリング、プラズマ蒸着、スパ
ッタエツチングなどが挙げられる。
本明細書では、シーリング部材はワイヤ形状材料に適用
されるシーリング部材として主に記載されている。
とくに上記記載のシーリング部材は、同時に幾つかのワ
イヤに適用されるものであるが、真空装置からバンドま
たはストリップ形状の材料を供給するのに有効に適用で
きる。本発明のシーリング部材により、ワイヤ形状から
逸脱する材料を処理する時にも優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明に係わるシーリング部材の斜視図で、
この部材のシート形状部分が互いに分離されている状態
を示す図である。 第２図は、本発明に係わるシーリング部材で、第３図の
ｎ−ｎ　”線に沿う断面図である。 第３図は、本発明に係わるシーリング部材で、第２図の
ｍ−ｍ−線に沿う断面図である。 第４図は、耐磨耗性挿入物を備えたシーリング部材の部
分断面図である。 １・・・シーリング部材、２・・・ケーシング部分、３
・・・胴部、４・・・ケーシング部分、５・・・穴部、
６・・・フランジ、７・・・供給開口、８・・・弾性シ
ーリング手段、９・・・シーリング部材の取付側、１０
・・・シーリング部材の取付側と逆側、１１・・・耐磨
耗性挿入物、１２・・・耐磨耗性挿入物、 出願人代理人　弁理士　鈴江武彦

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、ワイヤ、ストリップなどの少なくとも一つの伸長部
    材が真空装置の壁を通過する時に適用され、少なくとも
    真空装置の壁内にシール状態で取付けられる管状のケー
    シングを備え、このケーシングがワイヤの断面積よりも
    大きな内部断面積を持つシーリング部材において、上記
    ケーシングは、２もしくはそれ以上の分離可能な部分（
    ２、４）を備え、この部分は少なくともケーシングの長
    さ部分の一部を一緒になって構成して、自由断面積を維
    持するようにシール状態で隣接し、この自由断面積が、
    ケーシング長さに沿って、伸長部材が通過するのに最小
    限充分なものであることを特徴とするシーリング部材。 ２、請求項１のシーリング部材であって、自由断面積は
    、取付側（９）と逆側（１０）の方向に次第に減少して
    いることを特徴とする。 ３、請求項１または２のシーリング部材であって、シー
    リング部材は、矩形自由断面積を持ち、幾つかのワイヤ
    が同時に供給されるようになっていることを特徴とする
    。 ４、請求項３のシーリング部材であって、シーリング部
    材は二つの部分（２、４）からなるケーシングを備え、
    この二つの部分は実質的にケーシングの長さまで伸び、
    かつシート状であり、さらに弾性シーリング手段（８）
    を備え、これは一つのシート形状部分（４）内の溝内に
    挿入され、そしてその中でシール状態で二つのシート形
    状部分（２、４）が隣接した時に、シーリング手段（８
    ）は他のシート形状部分（２）の面を載置していること
    を特徴とする。 ５、請求項４のシーリング部材であって、一つのシート
    形状部分（４）は、穴部（５）を備え、この穴部は断面
    積が取付側（９）と逆側（１０）の方向に減少しており
    、他のシート形状部分（２）は、胴部（３）を備え、こ
    の胴部は断面積が取付側（９）の方向に増加しており、
    このことにより胴部が穴部（５）に嵌合し、上記穴部（
    ５）を部分的に充填するようになっていることを特徴と
    する。 ６、請求項１乃至５のいずれか１のシーリング部材であ
    って、取付側（９）と逆側（１０）上では、ケーシング
    は、挿入物（１１、１２）を取外し可能に載置しており
    、これら挿入物の間は自由断面積であることを特徴とす
    る。 ７、請求項６のシーリング部材であって、挿入物（１１
    、１２）は、耐磨耗性材料からなることを特徴とする。 ８、ワイヤ形状の材料を真空装置に導入若しくは導出す
    る一又は二以上のシーリング部材を備えたワイヤ材料処
    理用真空装置において、一又は二以上のシーリング部材
    は請求項１乃至７のいずれか１のシーリング部材に適用
    されることを特徴とする。
JP1294100A 1988-11-16 1989-11-14 伸長部材を導くシーリング部材及びシーリング部材を備えた真空装置 Expired - Lifetime JP2918583B2 (ja)

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NL8802822 1988-11-16

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JPH02213470A true JPH02213470A (ja) 1990-08-24
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CA (1) CA2001578A1 (ja)
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ES (1) ES2070896T3 (ja)
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