NL8802822A - Afdichtingselement voor het doorvoeren van tenminste een langwerpig voorwerp zoals draad en van een of meer afdichtingselementen voorziene vacuuminrichting. - Google Patents

Description

Titel: Afdichtingselement voor het doorvoeren van tenminste één langwerpig voorwerp zoals draad en van één of meer afdich-tingselementen voorziene vacuuminrichting.

Door Aanvraagster worden als uitvinders genoemd: GOBIN Guy, te OOSTENDE, HOOGEWIJS Robert, te DE PINTE, DE DONCKER Geert, te BELEEM, FIERMANS Lucien, te GENT, COEPAERT Alex, te ZULTE, DE GRYSE Roger, te OOSTERZELE, VAN WASSENHOVE ISbrbert, MERELBEKE, VENNIK Joost, te AALTER, allen te België

De uitvinding heeft in de eerste plaats betrekking op een afdichtingselement voor toepassing bij het doorvoeren van tenminste één langwerpig voorwerp zoals draad, strip folie, bundels draden door de wand van een vacuuminrichting tenminste omvattende een buisvormige mantel die afdichtend in de wand van de vacuuminrichting kan worden bevestigd en die een inwendig dwarsdoorsnedeoppervlak bezit dat groter is dan het dwarsdoorsnedeoppervlak van de draad.

Een dergelijk afdichtingselement voor toepassing bij een draad is bekend uit de Nederlandse octrooiaanvrage 8602661 van Aanvraagster.

In bedoelde aanvrage wordt een afdichtingselement beschreven dat aangebracht kan worden in de wand van een vacuuminrichting en waarbij de draad wordt gevoerd door een mantel waarvan de lengte en het vrije oppervlak zodanig zijn gedimensioneerd dat bij doorvoeren van een draad de lek Van omgevingslucht naar het inwendige van de inrichting dusdanig wordt verminderd dat de met de vacuuminrichting verbonden pompen, die een normale voldoende capaciteit bezitten, het vereiste vacuum goed kunnen bereiken en handhaven.

Bij het toepassen van een dergelijk afdichtingselement is nu gebleken dat de benodigde lengte der mantel zodanig groot kan zijn dat het invoeren van een draad aan één zijde der inrichting en uitvoeren ervan aan de andere zijde, zoals bijvoorbeeld noodzakelijk is bij draadbreuk, op grote praktische moeilijkheden stuit waardoor een goede bedrijfsvoering nadelig wordt beïnvloed.

De onderhavige uitvinding heeft ten doel voor bedoeld nadeel een oplossing te verschaffen en wordt daartoe gekenmerkt doordat in het hiervoor beschreven afdichtingselement volgens de uitvinding de mantel twee of meer losneembare delen omvat die gezamenlijk tenminste een deel van de lengte der mantel vormen en die afdichtend op elkaar aansluiten onder handhaving van een vrij dwarsdoorsnedeoppervlak dat over de betreffende lengte der mantel minimaal voldoende is om de doorvoer van een draad toe te laten.

Door toepassing van een uit meerdere delen bestaande mantel wordt het doorvoeren van een draad, na een eventuele draadbreuk maar ook bij het begin van de vacuumwerkwijze, zeer eenvoudig en snel gerealiseerd. Door één deel van de mantel weg te nemen kan een eenvoudig inleggen van de draad plaatsvinden terwijl eveneens uitvoeren aan de andere zijde door wegnemen van een deel van de mantel zeer eenvoudig wordt; het sluiten kan eveneens zeer eenvoudig en snel plaatsvinden.

Zoals later nog duidelijk zal worden is het vrije dwarsdoorsnedeoppervlak van de mantel aan de bevestigingsplaats van de vacuuminrichting betrekkelijk groot zodat het doorvoeren op die plaats op geen enkele wijze wordt belemmerd. Desgewenst kan bij het doorvoeren zelfs gebruik worden gemaakt van betrekkelijk dikke stijve draden of buizen zodat ook in het inwendige van de vacuuminrichting geen belemmeringen worden ondervonden.

In een bijzondere uitvoeringsvorm van het afdichtingselement volgens de uitvinding wordt het vrije dwarsdoorsnedeoppervlak in de richting van de zijde die is afgekeerd van de bevestigingszijde geleidelijk kleiner.

Door een dergelijk verloop in vrij dwarsdoorsnedeoppervlak aan te brengen gaande van de bevestigingszijde naar de andere zijde der mantel wordt nog een vergroting van de luchtinlek-weerstand verkregen.

In de hiervoor gegeven beschrijving werd er vanuit gegaan dat het afdichtingselement wordt toegepast bij het in en uitvoeren van één enkele draad in een vacuuminrichting.

In veel gevallen zal het wenselijk zijn om tegelijkertijd meerdere draden door een vacuuminrichting te voeren; voor dat doel is het afdichtingselement volgens de uitvinding uitgevoerd zoals is aangegeven in het kenmerkende gedeelte van conclusie 3.

Door de delen van de mantel van het afdichtingselement plaatvormig uit te voeren en de plaatvormige delen op elkaar te laten afdichten onder tussenvoeging van een veerkrachtig afdichtinsmiddel wordt bereikt dat inlekken van omgevingslucht alleen plaatsvindt via het vrije oppervlak dat overblijft aan de zijde die is afgekeerd van de de bevestigingszijde. Bedoeld vrij oppervlak is het verschil tussen het door de constructie overgelaten vrije oppervlak verminderd met het totale oppervlak dat overeenkomt met het dwarsdoorsnede-oppervlak van de doorgevoerde draden.

Doelmatig is het afdichtingselement volgens de uitvinding uitgevoerd zoals is aangegeven in het kenmerkende gedeelte van conclusie 5.

Eén plaatvormig deel van de mantel omvat dan een holte terwijl het andere deel van de mantel een in de holte passende uitstulping omvat. De holte en uitstulping kunnen zo op elkaar zijn afgestemd dat ofwel een vrij dwarsdoorsnede-oppervlak wordt verkregen dat over de hele lengte der mantel constant is; ook kan een zodanige uitvoering van de holte en uitstulping aanwezig zijn dat het vrije dwarsdoorsnede-oppervlak voor draaddoorvoer kleiner wordt in de richting van de zijde der mantel die van de bevestigingszijde is afgekeerd.

Bij het doorvoeren van draad door de betrekkelijk nauwe opening aan de zijde die is afgekeerd van de bevestigingszijde kan een zekere mate van slijtage optreden van het materiaal der mantel optreden.

Met zeer veel voordeel is voor het beperken van de slijtage de zijde die is afgekeerd van de bevestigingszijde voorzien van losneembaar bevestigde inzetstukken waartussen een vrij dwarsdoorsnedeoppervlak aanwezig is voor het doorvoeren van meerdere draden. In het bijzonder kunnen deze inzetstukken zijn vervaardigd uit een slijtvast materiaal zoals siliciumcar-bide, wolfraamcarbide, aluminiumoxyde en dergelijke.

De uitvinding heeft eveneens betrekking op een vacuum-inrichting voor het behandelen van draadvormig materiaal voorzien van één of meer afdichtingselementen voor het continu toevoeren in en/of afvoeren uit de vacuuminrichting van het draadmateriaal die wordt gekenmerkt doordat één of meer afdichtingselementen worden toegepast zoals die hiervoor volgens de uitvinding zijn beschreven.

De uitvinding zal nu worden beschreven aan de hand van de tekening waarin: fig. 1 een perspektief beeld voorstelt van een afdichtings-element volgens de uitvinding, waarbij de plaatvormige delen van het element van elkaar losgemaakt zijn; fig. 2 een doorsnede via de lijn II-II' uit fig. 3 weergeeft van het afdichtingselement volgens de uitvinding; fig. 3 een doorsnede via de lijn 111-111' weergeeft van het afdichtingselement volgens fig. 2; en fig. 4 een gedeeltelijk doorsnede-aanzicht toont van een afdichtingselement dat voorzien is van slijtbestendige inzetstukken.

In figuur 1 is een afdichtingselement 1 getoond dat geschikt is voor het doorvoeren van meerdere draden zoals staaldraden tegelijk.

Het afdichtingselement 1 omvat een mantel welke uit de delen 2 en 4 bestaat waarbij het manteldeel 2 een uitstulping 3 omvat en het manteldeel 4 een holte 5. De uitstulping 3 en de holte 5 passen in elkaar; een veerkrachtig afdichtings-middel 8 is aanwezig in het manteldeel 4 voor het afdichtend samenwerken tussen de plaatvormige delen 2 en 4.

De uitstulping 3 en de holte 5 zijn zodanig op elkaar afgestemd dat een vrij dwarsdoorsnedeoppervlak overblijft voor het doorvoeren van de draden dat aansluit op de doorvoeropening 7 welke is aangebracht in de flens 6 die wordt bevestigd aan of in de wand van een vacuuminrichting.

Bj.j het doorvoeren van draad is het plaatvormig manteldeel 2 van het plaatvormig manteldeel 4 afgenomen; de opening 7 is zodanig van afmeting dat doorvoer van meerdere draden moeiteloos kan plaatsvinden. Indien, eventueel onder toepassing van hulpstukken de draad of draden door de inrichting en een afdichtingselement aan de andere zijde der inrichting zijn gevoerd wordt het plaatvormig deel 2 weer op zijn plaats gebracht en met behulp van geschikte middelen afdichtend bevestigd op het plaatvormig manteldeel 4. De bevestigings- middelen kunnen bestaan uit eenvoudige schroeven; ook kan van eenvoudig te bedienen knevelmiddelen gebruik gemaakt worden waarmee met een simpele handbeweging een afdichtende samenwerking tussen de manteldelen 2 en 4 tot stand kan worden gebracht.

Door variëren van de diameter van het afdichtingsmiddel 8 kan eveneens het vrije dwarsdoorsnedeoppervlak worden gevarieerd. Bij voorkeur wordt echter gebruik gemaakt van spaceriof afstandsorganen om het dwarsdoorsnedeoppervlak te regelen.

In figuur 2 is het afdichtingselement 1 uit figuur 1 in doorsnede aangegeven; dezelfde onderdelen zijn met dezelfde verwijzingscijfers aangeduid. De bevestigingszijde van het afdichtingselement is aangegeven met 9; de daar tegenover liggende zijde is aangegeven met 10. Het afdichtingsmiddel 8 is aangebracht in een groef die zich over drie van de vier omtrekszijden der mantel uitstrekt zodat uitsluitend aan één omtrekszijde een vrij dwarsdoorsnedeoppervlak in verbinding met de omgevingslucht overblijft waar doorheen een aantal draden gevoerd kunnen worden.

In figuur 2 is te zien dat het vrije dwarsdoorsnedeoppervlak van de tussen de platen 2 en 4 overblijvende ruimte afneemt van de bevestigingszijde 9 naar de tegenoverliggende zijde 10.

In figuur 3 is het afdichtingselement uit figuur 1 en 2 aangegeven in een doorsnede via de lijn III-III' uit figuur 2.

Ook hier is de ligging van het afdichtingsmiddel 8 duidelijk waarneembaar.

Tenslotte is in figuur 4 aangegeven dat het afdichtingselement aan de zijde met het kleinste dwarsdoorsnedeoppervlak (d.w.z. de zijde die van de bevestigingszijde van het afdichtingselement is afgewend) voorzien is van slijtbesten-dige inzetstukken 11 en 12 waarmee een inslijting van bedoeld gedeelte met het kleinste vrije dwasdoorsnedeoppervlak wordt tegengegaan.

Het hiervoor beschreven afdichtingselement kan worden toegepast bij het in een vacuuminrichting behandelen van draadvormig materiaal. Onder een vacuuminrichting wordt in dit verband verstaan een inrichting die een bewerking kan uitvoeren bij een druk die lager is dan de atmosferische druk en wat betreft de aard van de werkingen kan gedacht worden aan de werkingen zoals vacuumopdampen, kathodeverstui-ven, plasmadepositie, sputteretsen etc.

In het hiervoorgaande is het afdichtingselement voornamelijk beschreven als afdichtingselement voor toepassing bij draadvormig materiaal.

Het zal duidelijk zijn dat met name het afdichtingselement dat hiervoor is beschreven voor toepassing bij meerdere draden tegelijk ook met succes kan worden toegepast voor het doorvoeren van een band of strookvormig materiaal door een vacuuminrichting. Ook bij toepassing voor het behandelen van dergelijk van de draadvormig afwijkend materiaal worden met behulp van het afdichtingselement volgens de uitvinding uitstekende resultaten bereikt.

Claims (8)

1. Afdichtingselement voor toepassing bij het doorvoeren van een draad door de wand van een vacuuminrichting tenminste omvattende een buisvormige mantel die afdichtend in de wand van de vacuuminrichting kan worden bevestigd en die een inwendig dwarsdoorsnedeoppervlak bezit dat groter is dan het dwarsdoorsnedeoppervlak van de draad, met het kenmerk dat de mantel twee of meer losneembare delen (2, 4. omvat die gezamenlijk tenminste een deel van de lengte der mantel vormen en die afdichtend op elkaar aansluiten i onder handhaving van een vrij dwardoorsnedeoppervlak dat over de betreffende lengte der mantel minimaal voldoende is om de doorvoer van een draad toe te laten.

2. Afdichtingselement volgens conclusie 1, met het kenmerk dat het vrije dwarsdoorsnedeoppervlak in de richting van de zijde (10) die is afgekeerd van de bevestigingszijde (9) geleidelijk kleiner wordt.

3. Afdichtingselement volgens conclusie 1-2, met het kenmerk dat het afdichtingselement een rechthoekig vrij dwarsdoorsnedeoppervlak bezit en de doorvoer van meerdere draden tegelijk toelaat.

4. Afdichtingselement volgens conclusie 3, met het kenmerk dat het afdichtingselement een uit twee delen' (2,4) bestaande mantel omvat welke delen (2, 4) zich over in hoofdzaak de lengte der mantel uitstrekken en plaatvormig zijn uitgevoerd waarbij een veerkrachtig afdichtingsmiddel (8) is opgenomen in een groef in het ene plaatvormige deel (4) en dat bij afdichtend op elkaar aansluiten van beide plaatvormige delen (2,4) het afdichtingsmiddel (8) tegen een vlak van het andere plaatvormige deel (2) aanligt.

5. Afdichtingselement volgens conclusie 4, met het kenmerk dat één plaatvormig deel (4) een holte (5) omvat met een in de richting van de zijde (10) die is afgekeerd van de bevestigingszijde (9) kleiner wordend dwarsdoorsnede-oppervlak en dat het andere plaatvormig deel (2) een uitstulping (3) omvat met een in de richting van de bevestigingszijde (9) groter wordend dwarsdoorsnedeoppervlak van een met de holte (5) overeeneenkomende vorm en die genoemde holte (5) gedeeltelijk opvult.

6. Afdichtingselement volgens één of meer van de conclusies 1-5, met het kenmerk dat de mantel aan de zijde (10) die is afgekeerd van de bevestigingszijde (9) voorzien is van losneembaar bevestigde inzetstukken (11,12) waartussen een vrij dwarsdoorsnedeoppervlak aanwezig is.

7. Afdichtingselement volgens conclusie 6, met het kenmerk dat de inzetstukken (11,12) zijn vervaardigd uit slijtvast materiaal.

8. Vacuuminrichting voor het behandelen van draadvormig materiaal voorzien van één of meer afdichtingselementen voor het continu toevoeren in en/of afvoeren uit de vacuuminrichting van bedoeld draadmateriaal, met het kenmerk dat één of meer afdichtingselementen worden toegepast volgens één of meer van de conclusies 1-7.