JPH02212737A - 薄片試料接着方法

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(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、化学研磨による透過電子顕微鏡観察用薄膜試
料作製方法に関し、支棒こ詳しくは、薄膜化する薄片試
料を板ガラスに接着する方法に関するものである。

（従来の技術）従来、薄膜化する薄片試料を板ガラスに接着する際、あ
らかじめ熱によって融解させた接着剤上に試料を設置し
、その後、試料と板ガラスを密着させるよう押さえつけ
て接着を行っていた。

（発明が解決しようとする問題点）以上のような従来の技術では、融解した接着剤が試料の
表面上にまわりこみ、その後の化学研磨における研磨表
面の清浄性が損なわれる欠点があり、そのため、化学研
磨が試料表面で均一に行われず、試料として得られた薄
膜の膜質が劣化していた。

本発明の目的は、この問題点を解決し、良質な膜質を有
する透過電子顕微鏡観察用薄膜試料を作製するための薄
片試料の板ガラスへの接着方法を提供することにある。

（問題を解決するための手段）本発明の薄片試料接着方法は、あらかじめ板ガラス上に
載せた接着剤の上部に薄片試料を設置し、かつ板ガラス
上に均一に付着させた熱溶融性の接着剤を、熱的に融解
した後、直ちに接着剤を冷却固化し、薄片試料を仮ガラ
スに固定することを特徴どしている。

（実施例）第１図（ａ）、　（ｂ）、　（Ｃ）、　（ｄ）に従い、
本発明に基づく作業方法を順次説明する。

（ａ）板力゛ラス１１の中央部に熱溶融性のワックス１
２をｆ＝Ｊ着する４、ワックスは、−旦融解し、板ガラ
スに均一に付着するようにしておく。

（１））このような状態のワックス上に薄片試料１３を
設置する。

（Ｃ）次に再度板ガラスをヒーター１４で熱し、試料と
板ガラスの間に存在するワックスを融解する。

′ソックスの液体化と試料の重みで、ワックスは試料下
面１５全体に付着する。その後直ちに板ガラスを冷却し
、ワックスを固化させる。

（ｂ）これにより、図示したようにワックスは試料端部
付近で止まった状態で固化するため、試料表面へのまわ
りこみを防ぐことができ、表面の清浄性を保つことが可
能となる。

なお、本発明の薄片試料接着方法によって、シリコン薄
片試料の接着を行ったところ、ワックスは表面にまわり
こむことなく試料の端部にて固化しており、表面の清浄
性は保たれていること力用゛認された。

（発明の効果）以上述べてきたように、本発明における薄片試料接着方
法は、その後の化学研磨の対象となる試料表面を接着剤
によって汚すことなく、その清浄性を高く維持すること
ができる。それにより試別表面全体に渡る均一な化学研
磨が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）、　（ｂ）、　（ｅ）、　（ｄ）は本発明
における作業方法を順次表わした説明図である。図にお
いて、１１は板ガラス、１２はワックス、１３（Ｊ薄片
試料、１４はヒーター、１５は試料下面である。

【特許請求の範囲】