JPH02212502A - 光硬化性組成物 - Google Patents
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- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 25
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 20
- 239000003999 initiator Substances 0.000 claims abstract description 16
- -1 acrylic ester Chemical class 0.000 claims abstract description 13
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 claims abstract description 12
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims abstract description 9
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims abstract description 6
- HJUGFYREWKUQJT-UHFFFAOYSA-N tetrabromomethane Chemical compound BrC(Br)(Br)Br HJUGFYREWKUQJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims abstract description 5
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 claims abstract description 4
- 125000001570 methylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])[*:2] 0.000 claims abstract description 4
- 125000000449 nitro group Chemical group [O-][N+](*)=O 0.000 claims abstract description 4
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 claims abstract description 4
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 claims abstract description 3
- 125000005499 phosphonyl group Chemical group 0.000 claims abstract description 3
- 125000000472 sulfonyl group Chemical group *S(*)(=O)=O 0.000 claims abstract description 3
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims abstract 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 125000000547 substituted alkyl group Chemical group 0.000 claims description 3
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 2
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 125000004434 sulfur atom Chemical group 0.000 claims description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 3
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 abstract description 8
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N Butadiene Chemical compound C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000005907 alkyl ester group Chemical group 0.000 description 3
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 3
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NJWGQARXZDRHCD-UHFFFAOYSA-N 2-methylanthraquinone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(C)=CC=C3C(=O)C2=C1 NJWGQARXZDRHCD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QSJXEFYPDANLFS-UHFFFAOYSA-N Diacetyl Chemical compound CC(=O)C(C)=O QSJXEFYPDANLFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N Hydroquinone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1 QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OWYWGLHRNBIFJP-UHFFFAOYSA-N Ipazine Chemical compound CCN(CC)C1=NC(Cl)=NC(NC(C)C)=N1 OWYWGLHRNBIFJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 2
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 2
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 2
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 2
- YLHXLHGIAMFFBU-UHFFFAOYSA-N methyl phenylglyoxalate Chemical compound COC(=O)C(=O)C1=CC=CC=C1 YLHXLHGIAMFFBU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 2
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- DWWMSEANWMWMCB-UHFFFAOYSA-N tribromomethylsulfonylbenzene Chemical compound BrC(Br)(Br)S(=O)(=O)C1=CC=CC=C1 DWWMSEANWMWMCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QNODIIQQMGDSEF-UHFFFAOYSA-N (1-hydroxycyclohexyl)-phenylmethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1(O)CCCCC1 QNODIIQQMGDSEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PQUXFUBNSYCQAL-UHFFFAOYSA-N 1-(2,3-difluorophenyl)ethanone Chemical compound CC(=O)C1=CC=CC(F)=C1F PQUXFUBNSYCQAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKTOWFDVEJQWPF-UHFFFAOYSA-N 1-ethylthioxanthen-9-one Chemical compound S1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=CC=C2CC DKTOWFDVEJQWPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LQJPFRZLZSLIIO-UHFFFAOYSA-N 2,11-dimethyldodeca-2,10-dienediamide Chemical compound NC(=O)C(C)=CCCCCCCC=C(C)C(N)=O LQJPFRZLZSLIIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWVGIHKZDCUPEU-UHFFFAOYSA-N 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC)(OC)C(=O)C1=CC=CC=C1 KWVGIHKZDCUPEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ARKDCHXUGNPHJU-UHFFFAOYSA-N 2,7-dimethylocta-2,6-dienediamide Chemical compound NC(=O)C(C)=CCCC=C(C)C(N)=O ARKDCHXUGNPHJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FRCQMXHPNJVPJC-UHFFFAOYSA-N 2-(tribromomethylsulfonyl)pyridine Chemical compound BrC(Br)(Br)S(=O)(=O)C1=CC=CC=N1 FRCQMXHPNJVPJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HDPLHDGYGLENEI-UHFFFAOYSA-N 2-[1-(oxiran-2-ylmethoxy)propan-2-yloxymethyl]oxirane Chemical compound C1OC1COC(C)COCC1CO1 HDPLHDGYGLENEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PTJWCLYPVFJWMP-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO PTJWCLYPVFJWMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethanol Chemical compound CCCCOCCO POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FPKCTSIVDAWGFA-UHFFFAOYSA-N 2-chloroanthracene-9,10-dione Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(Cl)=CC=C3C(=O)C2=C1 FPKCTSIVDAWGFA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJEBAWHUJDUKQK-UHFFFAOYSA-N 2-ethylanthraquinone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(CC)=CC=C3C(=O)C2=C1 SJEBAWHUJDUKQK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VHSHLMUCYSAUQU-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxypropyl methacrylate Chemical compound CC(O)COC(=O)C(C)=C VHSHLMUCYSAUQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQUNPXRABCSKJZ-UHFFFAOYSA-N 2-propan-2-ylanthracene-9,10-dione Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(C(C)C)=CC=C3C(=O)C2=C1 BQUNPXRABCSKJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BRLQWZUYTZBJKN-UHFFFAOYSA-N Epichlorohydrin Chemical compound ClCC1CO1 BRLQWZUYTZBJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 1
- 229920002845 Poly(methacrylic acid) Polymers 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 description 1
- 244000028419 Styrax benzoin Species 0.000 description 1
- 235000000126 Styrax benzoin Nutrition 0.000 description 1
- 235000008411 Sumatra benzointree Nutrition 0.000 description 1
- UWHCKJMYHZGTIT-UHFFFAOYSA-N Tetraethylene glycol, Natural products OCCOCCOCCOCCO UWHCKJMYHZGTIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N Triethanolamine Chemical compound OCCN(CCO)CCO GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000008062 acetophenones Chemical class 0.000 description 1
- 150000003926 acrylamides Chemical class 0.000 description 1
- 238000012644 addition polymerization Methods 0.000 description 1
- 238000007259 addition reaction Methods 0.000 description 1
- 239000005456 alcohol based solvent Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N anthraquinone Natural products CCC(=O)c1c(O)c2C(=O)C3C(C=CC=C3O)C(=O)c2cc1CC(=O)OC PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004056 anthraquinones Chemical class 0.000 description 1
- 239000003849 aromatic solvent Substances 0.000 description 1
- 229960002130 benzoin Drugs 0.000 description 1
- JRPRCOLKIYRSNH-UHFFFAOYSA-N bis(oxiran-2-ylmethyl) benzene-1,2-dicarboxylate Chemical compound C=1C=CC=C(C(=O)OCC2OC2)C=1C(=O)OCC1CO1 JRPRCOLKIYRSNH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N desyl alcohol Natural products C=1C=CC=CC=1C(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000005690 diesters Chemical class 0.000 description 1
- NVLHKSGUMYMKRR-UHFFFAOYSA-N dodeca-2,10-dienediamide Chemical compound NC(=O)C=CCCCCCCC=CC(N)=O NVLHKSGUMYMKRR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 150000002118 epoxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000003759 ester based solvent Substances 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- IQIJRJNHZYUQSD-UHFFFAOYSA-N ethenyl(phenyl)diazene Chemical compound C=CN=NC1=CC=CC=C1 IQIJRJNHZYUQSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004210 ether based solvent Substances 0.000 description 1
- 125000001301 ethoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 1
- SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)=C SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 235000019382 gum benzoic Nutrition 0.000 description 1
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000005453 ketone based solvent Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- FQPSGWSUVKBHSU-UHFFFAOYSA-N methacrylamide Chemical class CC(=C)C(N)=O FQPSGWSUVKBHSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003145 methacrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- 125000005395 methacrylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000956 methoxy group Chemical group [H]C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 238000001393 microlithography Methods 0.000 description 1
- 125000000896 monocarboxylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N neopentyl glycol Chemical compound OCC(C)(C)CO SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- NWVVVBRKAWDGAB-UHFFFAOYSA-N p-methoxyphenol Chemical compound COC1=CC=C(O)C=C1 NWVVVBRKAWDGAB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 description 1
- 239000011118 polyvinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 1
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229940047670 sodium acrylate Drugs 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
- G03F7/028—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators
- G03F7/029—Inorganic compounds; Onium compounds; Organic compounds having hetero atoms other than oxygen, nitrogen or sulfur
- G03F7/0295—Photolytic halogen compounds
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、紫外線、可視光線を含む広範な波長範囲の光
に対して速い硬化速度を有する光硬化性組成物に関する
。・ (従来の技術) 光照射により硬化する光重合性の組成物は種々の用途、
例えばフォトレジスト、インキ、印刷用版材等に広く利
用されている。光硬化性組成物は基本的にはエチレン性
不飽和二重結合を有する付加重合可能な化合物と光重合
開始剤を含有する。
に対して速い硬化速度を有する光硬化性組成物に関する
。・ (従来の技術) 光照射により硬化する光重合性の組成物は種々の用途、
例えばフォトレジスト、インキ、印刷用版材等に広く利
用されている。光硬化性組成物は基本的にはエチレン性
不飽和二重結合を有する付加重合可能な化合物と光重合
開始剤を含有する。
(発明が解決しようとする課題)
従来から感光性等を向上させる目的で光重合開始剤の改
良が検討されてきた結果、現在ケタール類、ベンゾイン
エーテル類またはアセトフェノン類等が光重合開始剤と
して市販されている。
良が検討されてきた結果、現在ケタール類、ベンゾイン
エーテル類またはアセトフェノン類等が光重合開始剤と
して市販されている。
これら市販の光重合開始剤はある程度満足のいく性能を
有しているが、硬化速度をより速くすることが望まれて
いる。硬化速度を上げることは光源の低出力化、作業の
迅速化を可能にする。
有しているが、硬化速度をより速くすることが望まれて
いる。硬化速度を上げることは光源の低出力化、作業の
迅速化を可能にする。
(課題を解決するための手段)
本発明者等は硬化速度が充分速い光硬化性組成物を得る
ために検討した結果、本発明を成すに至った。
ために検討した結果、本発明を成すに至った。
即ち、本発明はエチレン性不飽和二重結合を有する付加
重合可能な化合物および光重合開始剤を含む光硬化性組
成物において、該光重合開始剤が(a)下記一般式[1
] [式中、Xは硫黄原子もしくは−C−を表し、R1、R
2、R3およびR4はそれぞれ独立に水素原子、アルキ
ル基、置換アルキル基、アリール基、アルコキシ基、−
CH、COOH基、ニトロ基、スルホニル基、ホスホニ
ル基、シアノ基、ヒドロキンル基もしくはハロゲン原子
を示す。]で示される化合物、または下記一般式[11
コ [式中のR5、R6はそれぞれ独立に、アルキル基、ア
ルコキシ基またはアリール基を示すが、R5、Roが同
時にアルコキシ基であってはならない。]で示されるα
−ジケトン化合物、 (b)四臭化炭素らしくはトリブロモメチルスルフォニ
ル基を有する化合物および (c)促進剤として、窒素原子に結合した炭素のうち少
なくとも1つがメチレン基であるアミンを含有すること
を特徴とする光硬化性組成物を提供する。
重合可能な化合物および光重合開始剤を含む光硬化性組
成物において、該光重合開始剤が(a)下記一般式[1
] [式中、Xは硫黄原子もしくは−C−を表し、R1、R
2、R3およびR4はそれぞれ独立に水素原子、アルキ
ル基、置換アルキル基、アリール基、アルコキシ基、−
CH、COOH基、ニトロ基、スルホニル基、ホスホニ
ル基、シアノ基、ヒドロキンル基もしくはハロゲン原子
を示す。]で示される化合物、または下記一般式[11
コ [式中のR5、R6はそれぞれ独立に、アルキル基、ア
ルコキシ基またはアリール基を示すが、R5、Roが同
時にアルコキシ基であってはならない。]で示されるα
−ジケトン化合物、 (b)四臭化炭素らしくはトリブロモメチルスルフォニ
ル基を有する化合物および (c)促進剤として、窒素原子に結合した炭素のうち少
なくとも1つがメチレン基であるアミンを含有すること
を特徴とする光硬化性組成物を提供する。
上記一般式[1]で表わされる化合物において、R1、
R2、R3もしくはR4のアルキル基は通常炭素数1〜
4を有し、例えばメチル基、エチル基、プロピル基およ
びブチル基等が挙げられる。置換アルキル基の置換基は
、炭素数1〜4のアルコキシ基(例えば、メトキシおよ
びエトキシ基)、フェニル基、ハロゲン原子(例えば、
塩素および臭素)またはアミノ基等であってもよい。ア
ルコキノ基は上記炭素数1〜3のものが挙げられる。
R2、R3もしくはR4のアルキル基は通常炭素数1〜
4を有し、例えばメチル基、エチル基、プロピル基およ
びブチル基等が挙げられる。置換アルキル基の置換基は
、炭素数1〜4のアルコキシ基(例えば、メトキシおよ
びエトキシ基)、フェニル基、ハロゲン原子(例えば、
塩素および臭素)またはアミノ基等であってもよい。ア
ルコキノ基は上記炭素数1〜3のものが挙げられる。
上記一般式[II]で表される化合物においてR5、R
8のアルキル基は上記炭素数1〜4のものが挙げられる
。アルコキシ基は上記炭素数1〜3のらのか挙げられる
。置換基が存在してもよいフェニル基の置換基は、炭素
数1〜4のアルキル基、炭素数1〜3のアルコキシ基、
ハロゲン原子およびニトロ基等であってもよい。R5お
よびR8は同時にアルコキン基であってはならない。R
5およびRoが同時にアルコキン基の場合、化合物(n
)はジエステルとなり、光重合開始能が殆んどみられな
い。一般式[I]で示される化合物の具体例としては、
アントラキノン、2−メチルアントラキノン、2−エチ
ルアントラキノン、2−イソプロピルアントラキノン、
2−クロロアントラキノン、I−スルホニルクロロアン
トラキノン、2,4ンメチルヂオキザントン、24−′
、)エチルチオキサントン、2−クロロチオキサン)・
ノ等を挙げることができる。一般式[IT]で示される
化合物の具体例としては、ベンジル、4.4′−ジメト
キソベンジル、■−フェニルー1.2−プロパンジオン
、メチルベンゾイルフォーメイト、2,3−ブタンジオ
ン等を挙げることができる。
8のアルキル基は上記炭素数1〜4のものが挙げられる
。アルコキシ基は上記炭素数1〜3のらのか挙げられる
。置換基が存在してもよいフェニル基の置換基は、炭素
数1〜4のアルキル基、炭素数1〜3のアルコキシ基、
ハロゲン原子およびニトロ基等であってもよい。R5お
よびR8は同時にアルコキン基であってはならない。R
5およびRoが同時にアルコキン基の場合、化合物(n
)はジエステルとなり、光重合開始能が殆んどみられな
い。一般式[I]で示される化合物の具体例としては、
アントラキノン、2−メチルアントラキノン、2−エチ
ルアントラキノン、2−イソプロピルアントラキノン、
2−クロロアントラキノン、I−スルホニルクロロアン
トラキノン、2,4ンメチルヂオキザントン、24−′
、)エチルチオキサントン、2−クロロチオキサン)・
ノ等を挙げることができる。一般式[IT]で示される
化合物の具体例としては、ベンジル、4.4′−ジメト
キソベンジル、■−フェニルー1.2−プロパンジオン
、メチルベンゾイルフォーメイト、2,3−ブタンジオ
ン等を挙げることができる。
本発明の成分(b)のトリブロモメチルスルホニル基を
有する化合物としては、トリブロモメチルフェニルスル
フォン、2−トリブロモメチルスルポニルビリジン、2
−トリブロモメチルスルホニルヘンズチアゾール等を挙
げることかできる。
有する化合物としては、トリブロモメチルフェニルスル
フォン、2−トリブロモメチルスルポニルビリジン、2
−トリブロモメチルスルホニルヘンズチアゾール等を挙
げることかできる。
本発明に用いる窒素原子に結合した炭素のうち少なくと
も1つがメチレン基であるアミン(以下、成分(c)と
称することもある。)としては、例えばトリエチルアミ
ン、N−メチルジェタノールアミン、トリエタノールア
ミン、ジェタノールアミン、ペンジルジメチルアミン等
を挙げることができる。
も1つがメチレン基であるアミン(以下、成分(c)と
称することもある。)としては、例えばトリエチルアミ
ン、N−メチルジェタノールアミン、トリエタノールア
ミン、ジェタノールアミン、ペンジルジメチルアミン等
を挙げることができる。
本発明に用いるエチレン性不飽和二重結合を有する付加
重合可能な化合物は、光重合開始剤の作用により付加重
合して硬化し、実質的に不溶化をもたらすようなエチレ
ン性不飽和二重結合を有する化合物である。そのような
化合物例としては、アクリル酸、メタクリル酸等の不飽
和カルボン酸、エチレングリコール、テトラエチレング
リコール、ネオペンチルグリコール、プロピレングリコ
ール、12−ブタンジオール、トリメチロールプロパン
、ペンタエリスリトール、トリペンタエリスリトール等
のポリヒドロキシ化合物と上記不飽和カルボン酸とのエ
ステル、トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテ
ル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、プ
ロピレングリコールジグリンジルエーテル、エピクロル
ヒドリンと2゜2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−
プロパンとの反応物、フタル酸のジグリシジルエステル
などのエポキシドと上記不飽和カルボン酸との付加反応
物、アクリルアミド、エチレンビスアクリルアミド、エ
チレンビスメタクリルアミド、ヘキサメチレンビスアク
リルアミド、ヘキサメチレンビスメタクリルアミドなど
のアクリルアミド類およびメタクリルアミド類が挙げら
れる。好ましくはアクリル酸エステル類またはメタクリ
ル酸エステル類である。
重合可能な化合物は、光重合開始剤の作用により付加重
合して硬化し、実質的に不溶化をもたらすようなエチレ
ン性不飽和二重結合を有する化合物である。そのような
化合物例としては、アクリル酸、メタクリル酸等の不飽
和カルボン酸、エチレングリコール、テトラエチレング
リコール、ネオペンチルグリコール、プロピレングリコ
ール、12−ブタンジオール、トリメチロールプロパン
、ペンタエリスリトール、トリペンタエリスリトール等
のポリヒドロキシ化合物と上記不飽和カルボン酸とのエ
ステル、トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテ
ル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、プ
ロピレングリコールジグリンジルエーテル、エピクロル
ヒドリンと2゜2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−
プロパンとの反応物、フタル酸のジグリシジルエステル
などのエポキシドと上記不飽和カルボン酸との付加反応
物、アクリルアミド、エチレンビスアクリルアミド、エ
チレンビスメタクリルアミド、ヘキサメチレンビスアク
リルアミド、ヘキサメチレンビスメタクリルアミドなど
のアクリルアミド類およびメタクリルアミド類が挙げら
れる。好ましくはアクリル酸エステル類またはメタクリ
ル酸エステル類である。
本発明組成物において光重合開始剤および促進剤の使用
割合は、二重結合含有化合物IQ、に対し成分(a)を
0.Ol〜0.3mol、好ましくは0.025〜0.
2mol、成分(b)を0.01〜0.2mol、好ま
しくは0.0 :2−0.1mol、成分(c)を0.
005〜0.5mol、好ましくは0.01〜0.25
molである。光重合開始剤および促進剤が上記配合量
より少ない場合は硬化速度が低下し、組成物の硬化に長
時間を必要とする。また、上記配合量の上限より多いと
、形成される皮膜の強度や耐溶媒溶解性などの低下をら
たらず。
割合は、二重結合含有化合物IQ、に対し成分(a)を
0.Ol〜0.3mol、好ましくは0.025〜0.
2mol、成分(b)を0.01〜0.2mol、好ま
しくは0.0 :2−0.1mol、成分(c)を0.
005〜0.5mol、好ましくは0.01〜0.25
molである。光重合開始剤および促進剤が上記配合量
より少ない場合は硬化速度が低下し、組成物の硬化に長
時間を必要とする。また、上記配合量の上限より多いと
、形成される皮膜の強度や耐溶媒溶解性などの低下をら
たらず。
本発明の組成物は、上述の二重結合含有化合物と成分(
a)、(b)および成分(c)の組合わせからなる光重
合開始剤を必須成分とするが、必要に応じて他のポリマ
ー成分、例えば部分ケン化ポリ酢酸ビニルセルロース誘
導体、ポリエチレンオキシド、ポリアクリル酸ナトリウ
ムおよびポリアミドなどを、本発明組成物に加えてもよ
い。さらに、ポリアクリル酸アルキルエステルおよびア
クリル酸アルキルエステルとアクリル酸、メタクリル酸
、アクリロニトリル、ブタジェンおよびスチレン等との
共重合体、ポリメタクリル酸アルキルエステルおよびメ
タクリル酸アルキルエステルとアクリル酸、メタクリル
酸、アクリロニトリル、ブタジェンおよびスチレン等と
の共重合体等を加えてしよい。
a)、(b)および成分(c)の組合わせからなる光重
合開始剤を必須成分とするが、必要に応じて他のポリマ
ー成分、例えば部分ケン化ポリ酢酸ビニルセルロース誘
導体、ポリエチレンオキシド、ポリアクリル酸ナトリウ
ムおよびポリアミドなどを、本発明組成物に加えてもよ
い。さらに、ポリアクリル酸アルキルエステルおよびア
クリル酸アルキルエステルとアクリル酸、メタクリル酸
、アクリロニトリル、ブタジェンおよびスチレン等との
共重合体、ポリメタクリル酸アルキルエステルおよびメ
タクリル酸アルキルエステルとアクリル酸、メタクリル
酸、アクリロニトリル、ブタジェンおよびスチレン等と
の共重合体等を加えてしよい。
さらに、必要に応じて重合禁止剤(例えば2.6ジーt
−ブチル−p−クレゾール、)\イドロキノンおよびp
−メトキシフェノール等)を配合してもよい。重合禁止
剤の配合量は、上記エチレン性不飽和モノマー100重
量部に対して0〜5重量部、好ましくは0〜2重量部で
ある。
−ブチル−p−クレゾール、)\イドロキノンおよびp
−メトキシフェノール等)を配合してもよい。重合禁止
剤の配合量は、上記エチレン性不飽和モノマー100重
量部に対して0〜5重量部、好ましくは0〜2重量部で
ある。
上記必須成分および任意成分を必要に応じ水や有機溶剤
のような適宜の液体を添加して混和し、光硬化性組成物
を得る。
のような適宜の液体を添加して混和し、光硬化性組成物
を得る。
本発明組成物は通常の方法で調製することができる。例
えば、上述の必須成分および任意成分をそのままらしく
は必要に応じて溶媒(例えば、メチルエチルケトン、ア
セトンおよびシクロヘキサノンなどのケトン系溶媒、酢
酸エチル、酢酸ブチルなどのエステル系溶媒、トルエン
およびキシレンなどの芳香族系溶媒、メチルセロソルブ
、エチルセロソルブおよびブチルセロソルブなどのセロ
ソルブ系溶媒、メタノール、エタノールおよびプロパツ
ールなどのアルコール系溶媒、テトラヒドロフランおよ
びジオキサンなどのエーテル系溶媒)を配合し、冷暗所
にて例えばニーグーあるいはミキサーを使用して混合す
ることにより調製できる。
えば、上述の必須成分および任意成分をそのままらしく
は必要に応じて溶媒(例えば、メチルエチルケトン、ア
セトンおよびシクロヘキサノンなどのケトン系溶媒、酢
酸エチル、酢酸ブチルなどのエステル系溶媒、トルエン
およびキシレンなどの芳香族系溶媒、メチルセロソルブ
、エチルセロソルブおよびブチルセロソルブなどのセロ
ソルブ系溶媒、メタノール、エタノールおよびプロパツ
ールなどのアルコール系溶媒、テトラヒドロフランおよ
びジオキサンなどのエーテル系溶媒)を配合し、冷暗所
にて例えばニーグーあるいはミキサーを使用して混合す
ることにより調製できる。
ここに得られた光硬化性組成物はそのままで、または任
意の形状に成形し、Uv硬化インキ、U■硬化塗料、印
刷製版材料、ドライフィルムレジスト、マイクロリソグ
ラフィー用レジストなどとして使用され得る。
意の形状に成形し、Uv硬化インキ、U■硬化塗料、印
刷製版材料、ドライフィルムレジスト、マイクロリソグ
ラフィー用レジストなどとして使用され得る。
本発明の光硬化性組成物に適用できる露光光源としては
、高圧水銀灯、中圧水銀灯、キセノンランプおよびメタ
ルハライドランプ等の汎用の光源を使用できる。
、高圧水銀灯、中圧水銀灯、キセノンランプおよびメタ
ルハライドランプ等の汎用の光源を使用できる。
(発明の効果)
本発明の光硬化性組成物は光、特に紫外線に対して高い
感度を示し、硬化速度が速く、そのため、光源の低出力
化、作業の迅速化がはかれる。
感度を示し、硬化速度が速く、そのため、光源の低出力
化、作業の迅速化がはかれる。
(実施例)
本発明を実施例によりさらに詳細に説明する。
本発明はこれらの実施例に限定されない。
光硬化性組成物の調製
0方法A
2−ヒドロキンエチルメタクリレートIQに成分(a)
、(b)および(C)(第1表に示ずモル数)を溶解さ
せ、光硬化性組成物の溶液(感光液−A)を得0方法B 2−ヒドロキシプロピルメタクリレートIQおよびメチ
ルエチルケトン2501σに成分(a)、(b)および
(C)(第2表に示すモル数)を溶解させ、光硬化性組
成物の溶液(感光液−B)を得た。
、(b)および(C)(第1表に示ずモル数)を溶解さ
せ、光硬化性組成物の溶液(感光液−A)を得0方法B 2−ヒドロキシプロピルメタクリレートIQおよびメチ
ルエチルケトン2501σに成分(a)、(b)および
(C)(第2表に示すモル数)を溶解させ、光硬化性組
成物の溶液(感光液−B)を得た。
使用した成分(a)、(b)および(c)を以下に示す
。
。
a−12−エチルアントラキノン
a−22,4’−ジエチルチオキサントンa−3ベンジ
ル a−41−フェニル−1,2−プロパンジオンa−5メ
チルベンゾイルフォーメイト a−62,3−ブタンジオン b−1四臭化炭素 b−2トリブロモメチルフェニルスルフォンc
N−メチルジェタノールアミン比較のための市販開始剤
であるベンジルジメチルケタール(イルガキュア651
チバガイギー社製)および1−ヒドロキシ−1−シ
クロへキンルアセトフェノン(イルガキュア184
チバガイギー社製)を用いたものについて乙、同条件に
て第2表に示すモル数を溶解させ、それぞれ光硬化性組
成物の溶液(即ち感光液−八および−B)を得た。
ル a−41−フェニル−1,2−プロパンジオンa−5メ
チルベンゾイルフォーメイト a−62,3−ブタンジオン b−1四臭化炭素 b−2トリブロモメチルフェニルスルフォンc
N−メチルジェタノールアミン比較のための市販開始剤
であるベンジルジメチルケタール(イルガキュア651
チバガイギー社製)および1−ヒドロキシ−1−シ
クロへキンルアセトフェノン(イルガキュア184
チバガイギー社製)を用いたものについて乙、同条件に
て第2表に示すモル数を溶解させ、それぞれ光硬化性組
成物の溶液(即ち感光液−八および−B)を得た。
収
0方法A
上記感光液−A39を直径5!B*、深さ7〃のアルミ
ニウム性の円筒状の缶に入れ、オーク製作所社製超高圧
水銀灯(3Kw)の光を垂直方向60cm上方より照射
し、照射後重さ309先端の直径0.5肩肩の金属針を
鉛直方向IC屑より自由落下させ、その先端が硬化膜へ
入らなくなるまでの照射時間(秒)を測定し、硬化速度
の評価基準とした。
ニウム性の円筒状の缶に入れ、オーク製作所社製超高圧
水銀灯(3Kw)の光を垂直方向60cm上方より照射
し、照射後重さ309先端の直径0.5肩肩の金属針を
鉛直方向IC屑より自由落下させ、その先端が硬化膜へ
入らなくなるまでの照射時間(秒)を測定し、硬化速度
の評価基準とした。
0方法B
上記感光液−B8i?を直径23zxの硬質ガラス製の
びんに入れ、東芝製高圧水銀灯(4,0OW)の光を水
平方向18cjlより照射し、照射しながら、ジオン社
製粘度計を用いて感光液の粘度の上昇を測定し、感光液
の粘度か500psになるまでの照射時間を測定し、硬
化速度の評価基準とした。
びんに入れ、東芝製高圧水銀灯(4,0OW)の光を水
平方向18cjlより照射し、照射しながら、ジオン社
製粘度計を用いて感光液の粘度の上昇を測定し、感光液
の粘度か500psになるまでの照射時間を測定し、硬
化速度の評価基準とした。
表1
表ま
た、比較例5.6、夏1.12より明らかなように、本
発明の光硬化性組成物は、従来市販の開始剤を使用した
ものよりも速い硬化速度を有する。
発明の光硬化性組成物は、従来市販の開始剤を使用した
ものよりも速い硬化速度を有する。
これらのことより種々の用途への実用化が十分可能な光
硬化性組成物を特徴する 特許出願人 日本ペイント株式会社
硬化性組成物を特徴する 特許出願人 日本ペイント株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、エチレン性不飽和二重結合を有する付加重合可能な
化合物および光重合開始剤を含む光硬化性組成物におい
て、該光重合開始剤が (a)下記一般式[ I ] ▲数式、化学式、表等があります▼[ I ] [式中、xは硫黄原子もしくは▲数式、化学式、表等が
あります▼を表し、R^1、R^2、R^3およびR^
4はそれぞれ独立に水素原子、アルキル基、置換アルキ
ル基、アリール基、アルコキシ基、−CH_2COOH
基、ニトロ基、スルホニル基、ホスホニル基、シアノ基
、ヒドロキシル基もしくはハロゲン原子を示す。]で示
される化合物、または下記一般式[II] ▲数式、化学式、表等があります▼[II] [式中のR^5、R^6はそれぞれ独立に、アルキル基
、アルコキシ基またはアリール基を示すが、R^5、R
^6が同時にアルコキシ基であってはならない。]で示
されるα−ジケトン化合物、 (b)四臭化炭素もしくはトリブロモメチルスルフォニ
ル基を有する化合物および (c)促進剤として、窒素原子に結合した炭素のうち少
なくとも1つがメチレン基であるアミンを含有すること
を特徴とする光硬化性組成物。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3184189A JPH062767B2 (ja) | 1989-02-10 | 1989-02-10 | 光硬化性組成物 |
EP19900102484 EP0382209A3 (en) | 1989-02-10 | 1990-02-08 | Photocurable composition |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3184189A JPH062767B2 (ja) | 1989-02-10 | 1989-02-10 | 光硬化性組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02212502A true JPH02212502A (ja) | 1990-08-23 |
JPH062767B2 JPH062767B2 (ja) | 1994-01-12 |
Family
ID=12342279
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3184189A Expired - Fee Related JPH062767B2 (ja) | 1989-02-10 | 1989-02-10 | 光硬化性組成物 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0382209A3 (ja) |
JP (1) | JPH062767B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69130003T2 (de) * | 1990-05-25 | 1999-02-11 | Mitsubishi Chem Corp | Negative lichtempfindliche Zusammensetzung und Verfahren zur Bildung eines Photolackmusters |
GB2288032A (en) * | 1994-03-12 | 1995-10-04 | Horsell Plc | Photolithographic printing plate |
US8883948B2 (en) | 2008-07-01 | 2014-11-11 | The Regents Of The University Of Colorado | Methods for extensive dark curing based on visible-light initiated, controlled radical polymerization |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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DE3215513C3 (de) * | 1981-04-27 | 1994-07-14 | Hitachi Chemical Co Ltd | Photoempfindliche Harzmasse |
NL8403706A (nl) * | 1984-12-06 | 1986-07-01 | Dsm Resins Bv | Fotopolymeriseerbare samenstelling en een fotoinitiatorsysteem. |
-
1989
- 1989-02-10 JP JP3184189A patent/JPH062767B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1990
- 1990-02-08 EP EP19900102484 patent/EP0382209A3/en not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH062767B2 (ja) | 1994-01-12 |
EP0382209A3 (en) | 1991-08-07 |
EP0382209A2 (en) | 1990-08-16 |
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