JPH02211417A - 光偏向装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、光走査装置等に用いて好適な光偏向器（例え
ば水晶で出来たガルバノメータである水晶光偏向器）を
往復走査させて使用する場合にその振幅（偏向）を一定
に保つために設けられた駆動回路を用いて動作する光偏
向装置の改善に関するものである。

〈従来の技術〉 従来の光偏向器としては、例えば第６図の従来の光偏向
器の構成図が知られている（例えば、実開昭６２−１４
２０１９号公報参照）、以下、この第６図を用いて説明
する。

第６図において、圧電材料（例えば水晶）からなる基板
１には上部ばね２及び下部ばね３を介して外枠５に結合
する可動部６がフォトリングラフィ技術を用いて形成さ
れ、この可動部６には反射鏡が形成され（尚、反射鏡の
図は省略するが、可動部を反射鏡と呼ぶ）、下部ばね３
の裏表４隅には電極４ａ、　４ｂが形成されている。

この様な構成において、下部ばね３の断面の対角線上の
電極に電圧を印加することにより捩じり力が発生し、こ
の捩じり力によるトルクＴでばねの捩じり定数にと釣合
う位置θ（＝Ｔ／Ｋ）まで反射鏡６が回転する。この結
果、例えばレーザ光源（ＬＤ）からの入射光αはθ偏向
される。

ところでこの従来の技術は反射！１１１０の変形が大き
いという問題があり、本願出願人はこの問題を解決すべ
く、第７図に示す、実願昭６２−１２５４２９号（以下
「先行技術」という）を提案した。

第７図は先行技術の光偏向装置の構成図である。

第７図において、Ａは光偏向器である。この光偏向器Ａ
は、基板１に捩じりばねとして上下２本（上部ばね２０
と下部ばね３０）により可動可能に支持された可動部１
０を有する（但し、捩じりばねは上下の２本に限らず、
下部ばね１本のみとすることもできる。これ等は一枚の
基板からフォトリソグラフィとエツチングにより作られ
る）、ここで可動部１０は、上部ばね２０と２点支持部
１３−１３を介して結合する反射Ｍ（形状は、この矩形
以外に円。

楕円、菱形等任意の形状を用いることができる）１１と
、上端が反射鏡下部の２点支持部１４−１４を介して結
合して下端が下部ばね３０と結合する例えば抵抗値を小
さくするためにＡｔ、Ｃｕ等の電気導体物質がメツキさ
れたコイル１２を具備する構造からなる（尚、コイルを
用いた電磁的駆動以外に基板に圧電材料を用いて圧電駆
動としてもよい）。

そして、反射鏡１１を駆動（振動）させるために、磁束
密度Ｂの磁界中のコイル１２に駆動回路である発振１５
から所定の電流ｌを流して［ＢＸｊ　］に比例したトル
クＴを発生させることで、ばねの捩じり定数にと釣合う
位置に反射！ａ１１を回転・駆動させる。この結果、入
射光αを所定角度ψだけ偏向させることで反射光の偏向
振幅をさせることができる。普通、１＝Ｉｇｓｉｎωｔ
の電流により反射光を走査し使用する。

〈発明が解決しようとする課題〉 ところで光偏向器にあっては、反射光の偏向振幅を一定
に保つことが要求されるが、上述の先行技術の光偏向器
と駆動回路とから成る光偏向装置にあっては、外乱の１
つである例えば磁束密度の変化により偏向振幅が変わる
。いいかえれば、偏向角の振幅が不安定となる、という
問題点があった。同様に、外乱の１つである例えば温度
変動によっても電流、ｌｉ向負角感度変わり、簡単な回
路で偏向角を一定に制御することは困器、という問題も
あった。

本発明は、従来の技術の有するこのような問題点に鑑み
てなされたものであり、その目的とするところは、温度
のような外乱があっても、簡単な回路構成でこの外乱の
影響を受けることなく高精度に偏向角を一定に制御して
、安定した偏向角を得るようにした光偏向装置を提供す
るものである。

く課題を解決するための手段〉 上記目的を達成するために、本発明は、ばね部を介して
固定部に支持される反射鏡が設けられた可動部を有し、
この可動部を、駆動回路を用いて駆動させることで前記
反射鏡に当たる光を所定角度偏向して走査する構成の光
偏向装置において、請求項１では、駆動回路を、前記反
射鏡で反射した光の走査状態を検出する受光素子からの
信号を入力して、該入力した信号を所定のパルス幅を有
するパルス信号として作成した後に交流信号に変換し、
該変換した交流信号の（＋）ｆｆ！Ｉと（−）側のピー
ク値を夫々ホールドし、該ボールドした値と基準電圧と
発振開始又は発振停止を指示する信号とを入力してこれ
等入力値に基づいた振幅制御信号を得て、該振幅制御信
号により前記可動部を駆動させる信号を発振回路から出
力する構成とし、 請求項２では、駆動回路を、前記受光素子からのパルス
信号を入力し、該入力したパルス信号に基づきパルス幅
τ１．τ２．τ、を有する整形パルス信号β１．β２．
β３を作成し、この時（τ２＋τ、）を前記パルス信号
の１発振周期とした時に、前記整形パルス信号に基づい
て、（τ２−τ１）／（τ２＋τ、）に比例したアナロ
グ信号を得て、該アナログ信号と基準電圧とに基づいて
偏向角を一定に保つ振幅制御信号を得て、該振幅制御信
号に基づく可動部駆動信号を出力する構成として、前記
“（τ２−τ１）／（τ２＋τ１）”を一定に保つこと
で偏向角を一定に保つようにしたことを特徴とするもの
である。

く請求項１の実施例〉 請求項１の実施例について図面を参照して説明する。

尚、以下の図面において、第７図と重複する部分は同一
番号を付してその説明は省略する。

第１図は本発明の請求項１の光偏向装置の具体的実施例
を示すブロック系統図である。第２図は第１図の説明に
供する図である。

第１図、第２図において、１６は光偏向器Ａの反射！ａ
１１で反射した光の走査状態を検出するために、ここで
は例えば光の走査線上に設置した例えばフォトダイオー
ドのような受光素子（以下ｒＰＤ。

という）である、このＰＤ１６は光が通過する度に第２
図（１）に示すような信号（ここでは往復のパルス信号
Ｐ、、Ｐ２からなり、この２つのパルスを合わせてパル
ス幅ｄ１とする時、１サイクル即ち１発振周期Ｔｏを“
ｄ２＋ｄ、″とし、この時ｄ、を除いたパルス幅をｄｌ
とする）■。を出力する。１５０は、この様なパルス信
号■ｏを入力して、所定のパルス幅（ここでは前記ｄ１
とする）を有するパルス信号として作成し、更にその作
成したパルス信号を交流信号に変換し、この変換した交
流信号の（＋）側と（−）側のピーク値を夫々ボールド
し、このホールドした値と基準電圧と発振開始又は発振
停止を指示する信号とを入力してこれ等入力値に基づい
た振幅制ｔＸＪ信号を得て、この振幅制御信号により前
記可動部を駆動させる信号を発振回路から出力する構成
の駆動回路である。

より具体的には、この駆動回路１５０は、パルス信号Ｖ
ｏを入力して、第２図（１１）に示すような例えば所定
のパルス幅ｄ１を有する往路のパルス信号■２を作成す
る往路パルス作成回路１５０ａと、この作成したパルス
信号ｖ２を第２図（資）に示すようなＧＮＤを挟んで＋
側の電圧Ｅ、とＧＮＤを挟んで一側の電圧Ｅ２からなる
交流信号Ｖ３に変換して出力する交流変換回路１５０ｂ
と、この変換した交流信号■３を入力して（＋）側と（
−）側のピーク値を夫々ホールドしてホールド電圧Ｅ、
及びＥ２を出力するピークホールド回路（以下ｒ　Ｐ／
ＨＪという）　１５０ｃと、基準電圧ｖｒｅｆを出力す
る基準電圧出力回路１５０ｅと、ホールド電圧値及び基
準電圧及び後述するシーケンス回路からの信号を入力し
てを入力してこれ等入力値に基づいて偏向角の振幅を制
御する振幅制御信号Ｖｃ、 Ｖｃ　＝　（１／ＣＣＲＴ　） ｆ　（Ｖ５　　Ｖａ　　Ｖｒｅ　ｔ　　Ｅ＋　＋Ｅ２　
）　ｄｔ・・・（１） （但し、ＲＴ　＝Ｒ２＝Ｒ３＝Ｒａ　＝　Ｒｓ　＝Ｒｅ
、■４：発振停止信号、ｖ５：発振開始信号とする）を
出力する比較口＠１５０６と、発振イネーブル信号ｖＥ
を入力して光偏向器Ａを駆動開始（発振スタート）させ
たり駆動停止（発振ストップ）させたり指示する信号１
発振開始信号ｖ５及び発振停止信号Ｖ４を出力するため
に設けられたシーケンス回路１５０ｆと、振幅制御信号
Ｖｃにより光偏向器Ａの可動部を駆動制御する発振回路
１５０ｇと、による簡単な構成とすることができる。こ
の様な駆動回路１５０によれば、たとえ磁束密度Ｂの変
化等があったとしても反射光の偏向角の振幅を一定に保
つ（偏向角の振幅を安定化出来る）ことが出来るので、
例えばこの様な要求に基づいて製作される必要のあるレ
ーザープリンタに用いることで良好な安定した振幅角の
偏向を構築出来る。

尚、第２図において、１発振周期Ｔｏにおけるｄｌとｄ
ｌとの関係は、 （ｄｌ　ｄｌ）／　（ｄ２＋ｄｔ　） （ｄ　２　”　ｄ　ｔ　）　／　Ｔｏ　＝Ｃｏｎｓｔ　
　　　　　−−−■となっている。

ところで、本発明の駆動回路１５０を、更に具体的な回
路構成例で表わすと、例えば第３図のような回路構成と
することが可能である。但し、第１図のブロック構成か
らなるものはこの回路図に限定されるものではない。

第３図は第１図の各ブロックをより具体的な回路で表わ
した一回路実施例を示す図である。

第３図において、往路パルス作成回路１５０ａは、第１
ＤＦＦ　（７リツプフロツプ）　１５０ａ、と、第２Ｄ
　Ｆ　Ｆ　１５０ａ２と、入力されるパルス信号Ｖｏ（
第１　Ｄ　Ｆ　Ｆ　１５０ａ、のチエツク端子Ｃにには
このまま導かれる）を反転して第２　Ｄ　Ｆ　Ｆ　１５
０ａ２のチエツク端子ＣＫに導くために設けられたＮＯ
Ｒ回路回路で構成することができる。この時、第２図（
１）に示すようなパルス信号■。入力時は、第２ＤＦＦ
　１５０ａ２のＱ出力端子から第２図（１１）のような
所定のパルス幅ｄ１を有するパルス信号Ｖ２が作成され
て出力する。

交流変換回路１５０ｂは、往路パルス作成回路１５０ａ
の出力（Ｑ出力）の後段に設けられ、コンデンサＣ１と
抵抗Ｒ１との組合せからなるＣ−Ｒフィルタ構成とする
ことができる。この時、第２図（１１）に示すようなパ
ルス信号■２人力時は、第２図（資）のような交流電圧
信号ｖコに変換されて出力する。

Ｐ　／　Ｈ１５０Ｃは、ダイオードＤ、とコンデンサＣ
２のＥ＋（＋）系とダイオードＤ２とコンデンサＣ３の
Ｅｌ（）系の２系で構成され、交流電圧信号■３のく＋
）側のピーク電圧値と（−）側のピーク電圧値とを夫々
個別にホールドする。

基準電圧出力回路１５０ｅは、基準電源Ｅｖを有して基
準電圧ｖｒｅｆを出力する。

シーゲンス回路１５０ｆは、入力に例えば０■、１５■
の発振イネーブル信号（１５■時のみ発振）ｖＥが接続
されるＮＯＲ回路Ｎ２．Ｎ、を有し、この時に、ＮＯＲ
回路Ｎ２の発振停止出力■４は比較回路１５０ｆノ入力
抵抗Ｒ４と第２　Ｄ　Ｆ　Ｆ　１５０ａ２のセット端子
に導かれるように構成されており、一方、往路パルス作
成回路１５０ａの第２　Ｄ　Ｐ　Ｆ　１５０ａ２の反転
出力が導かれるコンデンサＣ４を介して抵抗Ｒ？　、Ｒ
ｅ　／／ダイオードＤ３／抵抗Ｒ９〜Ｒ１゜／コンデン
サＣ５の回路構成を経た信号が一方に入力し他方に前記
ＮＯＲ回路Ｎ３の出力が入力し発振開始信号■５を出力
するＮＯＲ回路Ｎ４とから構成される。

比較回路１５０ｄは、非反転入力端子側に出力端子に一
端が接続したコンデンサＣ６の他端とＰ／Ｈ１５０Ｃの
出力が供給される抵抗Ｒ２Ｒ３、発振停止信号ｖ４が供
給される抵抗Ｒ４，基準電圧が供給される抵抗Ｒ６が接
続し、反転入力端子側に発振開始信号Ｖ、が供給される
抵抗Ｒ５が接続した増幅器Ｑ１からなる積分器構成とな
っている。

発振回路１５０ｇは、例えばＦＥＴＴｒとオペアンプＱ
２とを具備した回路構成となっている。

ところで、この様な回路構成とすることで、ｖ、＝ｖ５
＝ｏｖであれば（１）式の安定点はＥｌ−Ｅ１＝ｖｒ　
ｅ　ｆとなるから、（Ｅｌ−Ｅｌ）＝Ｃｏｎｓｔに保た
れ、又、交流変換回路１５０ｂにおける交流変換のなめ
にＥ＋　ｄ＋　＝Ｅ２　ｄ２の関係が成立するから、Ｅ
ｌ　十Ｅ＋　＝１５Ｖの時は、（’Ｅ２−Ｅ＋　）／　
（Ｅｌ　＋Ｅ１　）と（２）式の関係が等価となり、ス
、■式と偏向角ψ＝　Ｃ０ｎ５ｔも等価となる（その理
由は第４図の本発明の説明に供する図で説明すると、第
４図の時間軸上におけるポイントεを原点とした時、振
幅Ａ１はＡＯＣＯ８ω（ｄ１／２）と等しいことから、
Ａ　ｏ　／　Ａ　、はＣ０ｎ５ｔであり、従って、ｄ＋
／Ｔｏはｃｏｎｓｔとなり、Ａ、＝一定であるから、振
幅Ａ、を一定にするこ、とと、（ｄ２　ｄｔ）／Ｔｏを
一定に保つことは等価となることにより説明出来る）、
このことから、第１図は第３図のように表わすことが出
来ることとなり、この第３図の回路により偏向角ψを一
定に保つことができるものである。

そこでこの様な回路構成とした時の動作を以下に説明す
る。

この時の駆動回路の状態は、負論理で示すと、状態■〜
■で表わすことができる。

但し、負パルスとは、第２図（１）に示すパルス信号゛
波形の逆のパルス波形をいう。

このことから、状ｆｉｌｌＩにおいて、発振スタート時
には発振イネーブル信号“ＶＥ　＝１５Ｖ”であっても
まだ偏向角ψは極めて小さい（若しくはゼロ）。従って
、ＰＣｌ３から信号ｖＯは入力しない（ＧＮＤ状態にあ
る）、故に、Ｐ／Ｈ１５０ｃの出力はＥ　＋　＝　Ｏ、
Ｅ２　＝　Ｏであり、光偏向器Ａの駆動回路１５０によ
る偏向角制御は始まらない、この様な場合に、シーケン
ス回路１５０ｆの発振開始信号Ｖうを１５Ｖ　（Ｖ５　
＞Ｖｒｅ　りとする。このことにより、（１）式に基づ
き比較回路１５０ｄの振幅制御信号Ｖｃは（＋）（発振
振幅二人）となり発振回路１５０ｇにより可動部１０の
発振振幅を開始させる。シーケンス回路１５０ｆは、Ｐ
Ｃｌ３に光が入るまで比較回路１５０ｄを制御して発＠
振幅を大きくすることで発振回路１５０ｇを介して可動
部１０の発振振幅を制御する。ＰＣｌ３に光が入った後
においては、■５＝０、即ち、Ｖ、＝Ｖ５＝Ｏとなり、
上述のように、Ｅ２−Ｅｌ　＝ＶＴｅ　ｔと制御され、
Ｅ　２　＋Ｅ　ｔ　＝１５　ｙ　＝　ｃｏｎｓｔである
から、（Ｅ２　　Ｅｌ）／（Ｂ　２　十Ｅ　＋　）　＝
　Ｃｏｎ５ｔ　、即ち偏向角ψ＝　ｃｏｎｓｔの状態が
得られる。そして、この動作は、シーケンス回路１５０
ｆからの発振停止信号ｖ４があるまで継続される０発振
ストップ時は、発振イネーブル信号“ＶＥ＝ＯＶ”とな
ることにより、状態Ｉ。

■どなるから、シーケンス回路１５０ｆからＶ４＝１５
Ｖ、ｖ５＝ｏｖが出力され、振幅制御信号ＶＣは（−）
（発振振幅：小）となり発振回路１５０ｇの発振が停止
する。

ところでこの駆動回路の構成は以上述べたものに限定さ
れるものではない、このことを以下の請求項２の具体的
実施例を用いて説明する。

く請求項２の実施例〉 以下、請求項２の実施例について図面を参照して説明す
る。尚、以下の図面において、第１図乃至第４図及び第
７図と重複する部分は同一番号を付してその説明は省略
する。

第５図は本発明の請求項２の光偏向装置の具体的実施例
を示すブロック系統図であり、ここで、同図（Ａ）は請
求項２の光偏向装置全体の実施例を示すブロック系統図
、同図（Ｂ）は同図（Ａ）の駆動回路の具体的−例を示
す図、同図（Ｃ）は同図（Ａ）、（Ｂ）の説明に供する
図である。

第５図において、１５００は駆動回路である。この駆動
回路１５００は、ＰＣｌ３からの第２図（１）、第５図
（Ｃ）　（１）の＊論理で示す波形に示すような往復の
パルス信号Ｐ１．Ｐ、から成るパルス信号ｖ０を入力し
て、この入力したパルス信号Ｖ０に基づいて第５図（Ｃ
）（６）〜（ＩＸ）に示すようなパルス幅τ７．τ２．
τ３を有する複数の整形パルス信号β１．β２．βつを
作成し、この時（τ２＋τ１〉をパルス信号Ｖ０の１発
振周期Ｔｒ１と等しい（、のとじた時に、整形パルス信
号β７．β２．β３に基づき（τ２−τ、）／（τ２＋
τ、）に比例しなアナログ信号Ｖｈを得て、このアナロ
グ信号Ｖｈと基準電圧ＶｒＱｆとに基づいて偏向角を一
定に保つ振幅制御信号Ｖｃを得て、この振幅制御信号Ｖ
ｃに基づき可動部１０を駆動させる可動部駆動信号を出
力する構成となっており、（τ２−τ、）／（τ２＋τ
、）を一定に保つことで偏向角を一定に保つようにでき
る。

より具体的にこの駆動回路１５００は、パルス作成部１
５００ａで例えば第５図（Ｃ）　＜１＞の負論理で示す
パルス信号ｖ０を第５図（１］）〜（６）に示すような
過程を経て第５図１）〜（１×）に示すような複数の整
形パルス信号β１〜β３を作成し、パルスアナログ変換
回路１５００ｂで複数の整形パルス信号を用いて（τ２
−τ、）／（τ２＋τ１）に比例しなアナログ信号Ｖｈ
を得て、比較回路１５０Ｃでこのアナログ信号Ｖｉと基
準電圧出力回路丁５０ｃからの基準電圧ｖｒｅｔとに基
づいて偏向角の振幅を制御する振幅制御信号Ｖｃを得て
光偏向器Ａの可動部を駆動制御する発振回路１５０ｇに
出力する簡単な構成とすることができる。この様な駆動
回路１５００によれば、たとえ温度変動等の外乱があっ
たとしても反射光の偏向角の振幅を一定に保つことが出
来るので、請求項１と同様に、例えばレーザープリンタ
に用いることで良好な安定した性能を得ることが出来る
。

そこで、上記駆動回路１５００の更に具体的に回路構成
例で表わすと第５図（Ｂ）のように回路を構成すること
が出来る。但し、同図（Ａ）のブロック構成からなるも
のはこの回路図に限定されない。

第５図（Ｂ）において、パルス作成部１５００ａは、第
５図（Ｃ）　（１）の負論理で示すパルス信号■ｏの最
初のパルスＰｌａの立上がり（時刻１１）で第５図（Ｃ
）　ＣＩ＋）で示すワンショットパルスＴＭを出力する
ワンショットマルチバイブレータ（以下ｒｌｓｔＭＭ」
と略称する）１５００ａｔと、１ｓｔＭ　Ｍ　ｔ５００
　ａ　ｔからのワンショットパルスＴＭをＤ端子に入力
しＮＯＲ回路Ｎ５を介してのパルス信号Ｖ０をＣＫ端子
に入力し第５図（Ｃ）＠で示す幅τ、からなるパルス信
号Ｔαと第５図（Ｃ）（社）で示す幅τ２からなるパル
ス信号Ｔｊ　（Ｔαの反転した信号）とを出力する第１
　Ｄ　Ｆ　Ｆ　１５００　ａ　２と、パルス信号Ｔαを
Ｃに端子に入力し第５図（Ｃ）■で示すパルス信号Ｔθ
と第５図（Ｃ）（６）で示す′ｒｏの反転した信号′ｒ
Ｐとを出力する第２ＤＦＦ１５００ａ３と、１゛６と１
゛μを入力して第５図（Ｃ）（Ｖ菖）で示す幅τ１から
なるパルス信号β１を出力するＮＯＲ回路Ｎ６と、１゛
αとＴＰを入力して第５図（Ｃ）　（■１）で示す幅τ
２からなるパルス信号β２を出力するＮＯＲ回路Ｎ７と
、Ｔｒｌと１゛θを入力して第５図（Ｃ）＜ＩＸ）で示
す幅τ３からなるパルス信−号β３を出力するＮＯＲ回
Ｆ＃ＩＮ　ｓとから構成されている。

パルスアナログ変換回路１５００ｂは、七■εに一端が
接続される抵抗Ｒ，，ａと、−■εに一端が接続される
抵抗Ｒ，，ｂとく但し抵抗値は、Ｒ１１ａ＝Ｒ＋＋ｂで
あり、後述する第１又第２スイツチ要素のいずれかの動
作によって選択されるので、この時は単にＲ１１として
表わす）、抵抗Ｒｔｅａと抵抗Ｒ，，ｂとの他端の間に
直列接続された抵抗Ｒ，２ａとＲ１２ｂと（上記と同様
に、Ｒ１２として表わす）、抵抗Ｒ１，ａとＲ，２゜と
の接続部に一端が接続されたパルス信号β１でオンオフ
する第１スイツチ要素ＳＷ１と、抵抗Ｒ１１ｂとＲ，２
ｂとの接続部に一端が接続されたパルス信号β２でオン
オフする第２スイツチ要素ＳＷ２と、第１スイッチ要素
ＳＷ、と第２スイツチ要素ＳＷ２の他端が共通接続して
入力端子に接続した積分回路１５００ｂ　、と、積分回
路１５００ｂ　＋の出力端子に一端が接続されたパルス
信号β３でオンオフする第３スイツチ要素ＳＷ３と、第
３スイツチ要素ＳＷコの他端が接続されてパルス信号β
コでその時のコンデンサＣ７がオペアンプの出力端子と
反転入力端子との間に設けられた構成の積分回路１５０
０ｂ＋の出力（第５図（Ｃ）（Ｘ）に示す■。３）をホ
ールドするホールド回路１５００ｂ２とから構成される
。

この様な構成により、複数の整形パルス信号β、〜β３
に基づいて第１〜３スイツチ要素が夫々動作し、例えば
第１スイッチ要素ＳＷ、がオンとなった場合の最終電圧
■。２は、初期電圧を■。

、とすると、 Ｖ（、２＝Ｖ０１ ＜　１／Ｃｖ　Ｒｔ　　＋　　）／”　　Ｖεｄτ（１
／Ｃ７Ｒ１２）／　　Ｖ。３ｄτ ＝ｖＯ１ （ＶＥ　／Ｃ？　Ｒｔ　＋　　）　τ＋（Ｖｏ　３　／
　Ｃ？　Ｒｔ　２　）τ、　　　・・・（３）となり、
次ぎに、第２スイツチ要素ＳＷ２がオンとなった場合の
最終電圧■。３は、同様にして■０３：■０２ ＋　（ＶＥ　／Ｃ？　Ｒ１１）　τ２ （Ｖｏ　３　／　Ｃｖ　Ｒｔ　２　）τ２　　・・・（
４）となり、ここで第５図（Ｃ）（Ｘ）からＶ＠１＝■
。、であるから、（３）式を（４）式に代入して、■。

　コ　＝　　（Ｒｔ　　２　　／　Ｒｔ　　＋　　　）
　　　・　ＶＥ（（τ２−τ、）／（τ２＋τ１）） となる、ここで、Ｋ＝（Ｒｔ　１／Ｒ＋　２　）　・Ｖ
Ｅ（＝一定）とし、第３スイツチ要素ＳＷ３がオンどな
った場合はｖｏコの値が出力されることとなるから、■
。コはアナログ信号■ｈとして出力されることとなるか
ら、その値は、 Ｖｈ　＝Ｋ・（τ２−τｌ　）／　＜τｚ　＋τ＋　＞
・−（ｓ）即ち、（τ２−τ、）／（τ２＋τ１）に比
例したアナログ信号Ｖｈを出力することとなる。比較回
路１５０ｃにおいては、アナログ信号Ｖｈは、抵抗Ｒ２
を介してコンデンサＣ６が接続する増幅器Ｑ、の非反転
入力端子側に導かれ反転入力端子側に供給される基準電
圧ＶＴｅｆとの関係によりＶｒｅ＋＝ｌＶｈｌとなるよ
うに偏向角の振幅を制御する振幅制御信号Ｖｃの値が定
められる。これは、Ｖｃが（＋）の時は偏向角が大きく
なるように発振部が構成されているため、Ｖｒ　ｅ　１
＞　ｌ　Ｖｈの時偏向角がＶｒｅ５＝ｌＶｈｌとなるま
で増大する（尚、１Ｖｈｌは偏向角が小さい程大きい）
こと、即ち、 １Ｖｈｌ工Ｉ　Ｒ１，／Ｒ，２１・・・（６）であるか
らである。尚、Ｖｃが（−）の時はその逆である。

このような振幅制御信号Ｖｃが発振回路１５０ｇに出力
されることで（τ２−τ１）／（τ２＋τ、）＝ｃｏｎ
ｓｔ　、即ち偏向角が一定に保たれる。

〈発明の効果〉 本発明は、以上説明したように構成されているので、次
に記載するような効果を奏丈る。

１：請求項１においては、 ■：ＰＤからのパルス信号により偏向角を直接検出して
いるために、外乱等の影響を受けることがなく、従って
、精度良く偏向角を一定と出来る。

■：ＰＤからのパルス信号（デジタル値）を発振振幅の
制御信号であるアナログ値に変換するのにアナログデジ
タル変換器等を用いなくともよいので、簡単且つ安価に
光偏向装置を製作することができる。

■：シーゲンス回路を用いたことにより発振のスタート
、ストップを安定化させることができる。

Ｉ：請求項２においては、前記０項の池に、■：　（τ
２−τ１）／（τ２＋τ、）に比例したアナログ信号を
簡単な構成で得ることができるために駆動回路そのもの
を安く作ることができる。

■二通常、交流の振幅値（この場合の偏向角振幅）を作
成して振幅制御信号を得るのには。

リップルをなくすなめに積分器の時定数を長くとる必要
があるために早い振幅変動（、ジッタ）は制御が難しい
のであるが、本発明のパルスアナログ変換回路は応答が
早いために、全体として早い周波数の振幅変動も制御し
やすくなるので、この様な問題点をなくすことができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の請求項１の光偏向装置の具体的実施例
を示すブロック系統図、第２図は第１図の説明に供する
図、第３図は第１図の各ブロックをより具体的な回路で
表わした場合の一回路実施例を示す図、第４図は第３図
の説明に供する図、第５図は本発明の請求項２の光偏向
装置の具体的実施例を示すブロック系統図、第６図は従
来の光偏向器の構成図、第７図は先行技術の光偏向装置
の構成図である。 １０・・・可動部、１６・・・受光素子（ＰＤ）、１５
０．１５００・・・駆動回路、１５０ａ・・・往路パル
ス作成回路、１５０ｂ・・・交流変換回路、１５０Ｃ・
・・ピークボールド回Ｎ（Ｐ／Ｈ）　、　１５０ｄ・・
・比較回路、１５０ｆ・・・シーゲンス回路、１５０ｇ
・・・発振回路、１５００ａ・・・パルス作成部、１５
００ｂ・・・パルスアナログ変換阿路。 第 Ｓ 図 （Ｃ） 第 図 第 図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）、ばね部を介して固定部に支持される反射鏡が設
   けられた可動部を有し、該可動部を駆動回路を用いて駆
   動させることで前記反射鏡に当たる光を所定角度偏向し
   走査する構成の光偏向装置において、前記駆動回路を、
   前記反射鏡で反射した光の走査状態を検出する受光素子
   からの信号を入力し、該入力した信号を所定のパルス幅
   を有するパルス信号として作成した後に交流信号に変換
   し、該変換した交流信号の（＋）側と（−）側のピーク
   値を夫々ホールドし、該ホールドした値と基準電圧と発
   振開始又は発振停止を指示する信号とを入力してこれ等
   入力値に基づいた振幅制御信号を得て、該振幅制御信号
   に基づく可動部駆動信号を出力する構成としたことを特
   徴とする光偏向装置。
2. （２）、請求項１の光偏向装置において、前記駆動回路
   を、前記受光素子からのパルス信号を入力し、該入力し
   たパルス信号に基づきパルス幅τ＿１、τ＿２、τ＿３
   を有する整形パルス信号β＿１、β＿２、β＿３を作成
   し、この時（τ＿２＋τ＿１）を前記パルス信号の１発
   振周期とした時に、前記整形パルス信号に基づいて、（
   τ＿２−τ＿１）／（τ＿２＋τ＿１）に比例したアナ
   ログ信号を得て、該アナログ信号と基準電圧とに基づい
   て偏向角を一定に保つ振幅制御信号を得て、該振幅制御
   信号に基づく可動部駆動信号を出力する構成としたこと
   を特徴とする光偏向装置。