JPH08146334A - 光学系の圧電素子による振動制御機構 - Google Patents
光学系の圧電素子による振動制御機構Info
- Publication number
- JPH08146334A JPH08146334A JP6284694A JP28469494A JPH08146334A JP H08146334 A JPH08146334 A JP H08146334A JP 6284694 A JP6284694 A JP 6284694A JP 28469494 A JP28469494 A JP 28469494A JP H08146334 A JPH08146334 A JP H08146334A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning mirror
- control mechanism
- piezoelectric element
- vibration control
- vibration
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 走査ミラーを備えた振動系において，温度環
境等に左右されず，振動機構系を安定且つ正確に動作さ
せることができる圧電素子による振動制御機構を提供す
る。 【構成】 走査ミラー振動制御機構は，筐体３に取付ら
れた走査ミラー１及び前記走査ミラー１の両端を保持す
るねじりバネ２を備えた振動系を備えている。また，前
記ねじりバネ２の張力を可変させることで前記振動系の
周期を可変する圧電素子７を備えた周期可変手段とを備
えている。また，振動制御機構は，この走査ミラー振動
制御構と，前記走査ミラー１に取り付けられたエンコー
ダ１１と，前記エンコーダ１１からのデジタル信号を波
形整形部２３とＤ／Ａ変換器２４とを介してアナログの
信号に変換し，このアナログ信号と，予め定められた基
準となる基準信号との位相を比較する位相比較器２５と
を備えている。この圧電素子７を制御することで，前記
振動系の周期を安定化する。
境等に左右されず，振動機構系を安定且つ正確に動作さ
せることができる圧電素子による振動制御機構を提供す
る。 【構成】 走査ミラー振動制御機構は，筐体３に取付ら
れた走査ミラー１及び前記走査ミラー１の両端を保持す
るねじりバネ２を備えた振動系を備えている。また，前
記ねじりバネ２の張力を可変させることで前記振動系の
周期を可変する圧電素子７を備えた周期可変手段とを備
えている。また，振動制御機構は，この走査ミラー振動
制御構と，前記走査ミラー１に取り付けられたエンコー
ダ１１と，前記エンコーダ１１からのデジタル信号を波
形整形部２３とＤ／Ａ変換器２４とを介してアナログの
信号に変換し，このアナログ信号と，予め定められた基
準となる基準信号との位相を比較する位相比較器２５と
を備えている。この圧電素子７を制御することで，前記
振動系の周期を安定化する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，人工衛生やロケットの
光学系センサーなどの走査ミラー振動機構系とそれを用
いた光学系の圧電素子による振動制御機構に関する。
光学系センサーなどの走査ミラー振動機構系とそれを用
いた光学系の圧電素子による振動制御機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来，この種の振動機構系は，バランス
ウエイトと振動機構系をなすねじりバネとを備え，この
ねじりバネの張力を精密に調整することで，振動系の周
期を安定化していた。
ウエイトと振動機構系をなすねじりバネとを備え，この
ねじりバネの張力を精密に調整することで，振動系の周
期を安定化していた。
【０００３】ところで，特開昭５６−１０２１９７号公
報（以下，従来例１と呼ぶ）には，振動子に設けた圧電
素子の振動に伴う歪みによる出力電圧を，発光ダイオー
ドで光エネルギー変換して，光ファイバーで伝達するこ
とによって，耐久性と信頼性の向上を図ることが示され
ている。
報（以下，従来例１と呼ぶ）には，振動子に設けた圧電
素子の振動に伴う歪みによる出力電圧を，発光ダイオー
ドで光エネルギー変換して，光ファイバーで伝達するこ
とによって，耐久性と信頼性の向上を図ることが示され
ている。
【０００４】また，特開平１−２１９６０７号公報（以
下，従来例２と呼ぶ）には，加工中の振動による変位を
多分割フォトダイオードの位置変化として検出し，この
変位出力を加工機にフィードバックすることにより，加
工中に粗さを実時間で測定可能とする構成が開示されて
いる。
下，従来例２と呼ぶ）には，加工中の振動による変位を
多分割フォトダイオードの位置変化として検出し，この
変位出力を加工機にフィードバックすることにより，加
工中に粗さを実時間で測定可能とする構成が開示されて
いる。
【０００５】さらに，特開平２−１１３１４３号公報
（以下，従来例３と呼ぶ）には，テーブルの振動による
変位をレーザ光を利用して測定し，自動的に変位を打ち
消す方向に加振することにより，テーブルを外的加振力
に対して定常的に安定に保つことができるようにするこ
とが示されている。
（以下，従来例３と呼ぶ）には，テーブルの振動による
変位をレーザ光を利用して測定し，自動的に変位を打ち
消す方向に加振することにより，テーブルを外的加振力
に対して定常的に安定に保つことができるようにするこ
とが示されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の走査ミ
ラー振動機構系は，熟練者による精密な調整作業が要求
され，経年の変化や温度変化が筐体やねじりバネの長さ
を変化させるため振動周期が狂うという欠点を持ってい
た。また，この種の振動機構系は，他の筐体に内蔵され
る場合が多く組み込み後の調整が不可能であった。
ラー振動機構系は，熟練者による精密な調整作業が要求
され，経年の変化や温度変化が筐体やねじりバネの長さ
を変化させるため振動周期が狂うという欠点を持ってい
た。また，この種の振動機構系は，他の筐体に内蔵され
る場合が多く組み込み後の調整が不可能であった。
【０００７】また，上述した従来例１〜３において，振
動制御系に，圧電素子を用いたものが見られるが，走査
ミラー振動機構系において，使用されていなかった。
動制御系に，圧電素子を用いたものが見られるが，走査
ミラー振動機構系において，使用されていなかった。
【０００８】そこで，本発明の技術的課題は，走査ミラ
ーを備えた振動系において，温度環境等に左右されず，
振動機構系を安定且つ正確に動作させることができる走
査ミラーの振動制御機構とそれを用いた光学系の圧電素
子による振動制御機構を提供することにある。
ーを備えた振動系において，温度環境等に左右されず，
振動機構系を安定且つ正確に動作させることができる走
査ミラーの振動制御機構とそれを用いた光学系の圧電素
子による振動制御機構を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明によれば，筐体に
取付られた走査ミラー及び前記走査ミラーの両端を保持
するねじりバネを備えた振動系と，前記ねじりバネの張
力を可変させることで前記振動系の周期を可変する圧電
素子を備えた周期可変手段とを備えていることを特徴と
する走査ミラー振動制御機構が得られる。
取付られた走査ミラー及び前記走査ミラーの両端を保持
するねじりバネを備えた振動系と，前記ねじりバネの張
力を可変させることで前記振動系の周期を可変する圧電
素子を備えた周期可変手段とを備えていることを特徴と
する走査ミラー振動制御機構が得られる。
【００１０】また，本発明によれば，前記走査ミラー振
動制御機構において，前記ねじりバネに回転力を付与す
る回転力付与手段を備え，前記回転力付与手段は，前記
ねじりバネ設けられた永久磁石と，前記永久磁石の周囲
に設けられた電磁石とを備えていることを特徴とする走
査ミラー振動制御機構が得られる。
動制御機構において，前記ねじりバネに回転力を付与す
る回転力付与手段を備え，前記回転力付与手段は，前記
ねじりバネ設けられた永久磁石と，前記永久磁石の周囲
に設けられた電磁石とを備えていることを特徴とする走
査ミラー振動制御機構が得られる。
【００１１】また，本発明によれば，前記したいずれか
の走査ミラー振動制御機構と，前記走査ミラーに取り付
けられたエンコーダと，前記エンコーダからのデジタル
信号をアナログの信号に変換するＤ／Ａ変換手段と，予
め定められた基準となる基準信号によって前記回転力付
与手段を駆動する第１の駆動手段と，前記アナログ信号
と，前記基準信号との位相を比較する位相比較手段と，
前記位相比較手段の比較結果に応じて前記圧電素子を駆
動する第２の駆動手段とを備え，前記第２の駆動手段
は，前記圧電素子を制御することで，前記振動系の周期
を安定化することを特徴とする光学系の圧電素子による
振動制御機構が得られる。
の走査ミラー振動制御機構と，前記走査ミラーに取り付
けられたエンコーダと，前記エンコーダからのデジタル
信号をアナログの信号に変換するＤ／Ａ変換手段と，予
め定められた基準となる基準信号によって前記回転力付
与手段を駆動する第１の駆動手段と，前記アナログ信号
と，前記基準信号との位相を比較する位相比較手段と，
前記位相比較手段の比較結果に応じて前記圧電素子を駆
動する第２の駆動手段とを備え，前記第２の駆動手段
は，前記圧電素子を制御することで，前記振動系の周期
を安定化することを特徴とする光学系の圧電素子による
振動制御機構が得られる。
【００１２】ここで，本発明においては，前記アナログ
信号は，正弦波信号であることが好ましい。
信号は，正弦波信号であることが好ましい。
【００１３】
【作用】本発明では，経年変化や温度変化によるねじり
バネの張力の微少変化を補正するため，圧電素子をねじ
りバネの接地側に設け，圧電素子を制御電圧によりねじ
りバネの軸方向に変化させることにより，ねじりバネの
接地側の位置を微少に移動させ，ねじりバネの張力を変
化させる。制御電圧は，振動系の状態を監視し，位相比
較を行う制御ループを構成することで得られ，振動系の
安定化がはかれる。
バネの張力の微少変化を補正するため，圧電素子をねじ
りバネの接地側に設け，圧電素子を制御電圧によりねじ
りバネの軸方向に変化させることにより，ねじりバネの
接地側の位置を微少に移動させ，ねじりバネの張力を変
化させる。制御電圧は，振動系の状態を監視し，位相比
較を行う制御ループを構成することで得られ，振動系の
安定化がはかれる。
【００１４】
【実施例】以下，本発明の一実施例を図面に基づき説明
する。
する。
【００１５】図１は本発明の実施例に係る光学系の圧電
素子による振動制御機構を示す概略図である。図２は図
１の制御回路の具体的構成を示すブロック図である。ま
た，図３は図１及び図２の振動制御機構の振動制御動作
の説明に供せられる図である。図１の例においては，走
査ミラーの振動機構系１０は，走査ミラー１の慣性モー
メントと，走査ミラー１の両端に付けられたねじりバネ
２と，筐体３と，ねじりバネ２に設けられたこのねじり
バネ２励振用の二対の永久磁石４，４と，永久磁石４，
４を介して対向するように配置され，前記永久磁石４，
４とともにねじりバネ２を励振させる電磁石５と，ねじ
りバネ２の接地側の止めネジの座をなすとともに圧電素
子７を押さえるための座金６と，座金６及び筐体３間に
挟まれた圧電素子７とを備えている。二対の永久磁石
４，４と電磁石５は振動機構系１０に回転力を与える回
転力付与手段を構成する。また，圧電素子７は，電荷を
与えられるとこの圧電素子７の厚みが変化し，ねじりバ
ネ２の張力を変化させ，振動機構系１０の固有振動数を
制御する周期可変手段を構成する。
素子による振動制御機構を示す概略図である。図２は図
１の制御回路の具体的構成を示すブロック図である。ま
た，図３は図１及び図２の振動制御機構の振動制御動作
の説明に供せられる図である。図１の例においては，走
査ミラーの振動機構系１０は，走査ミラー１の慣性モー
メントと，走査ミラー１の両端に付けられたねじりバネ
２と，筐体３と，ねじりバネ２に設けられたこのねじり
バネ２励振用の二対の永久磁石４，４と，永久磁石４，
４を介して対向するように配置され，前記永久磁石４，
４とともにねじりバネ２を励振させる電磁石５と，ねじ
りバネ２の接地側の止めネジの座をなすとともに圧電素
子７を押さえるための座金６と，座金６及び筐体３間に
挟まれた圧電素子７とを備えている。二対の永久磁石
４，４と電磁石５は振動機構系１０に回転力を与える回
転力付与手段を構成する。また，圧電素子７は，電荷を
与えられるとこの圧電素子７の厚みが変化し，ねじりバ
ネ２の張力を変化させ，振動機構系１０の固有振動数を
制御する周期可変手段を構成する。
【００１６】また，制御ループは，走査ミラー１の端部
に取り付けられたエンコーダ１１と，このエンコーダ１
１のピックアップであるセンサー１２と，制御回路２０
とを有している。センサー１２は，発光ダイオードとフ
ォトセンサーにより構成され，エンコーダ１１の動作を
検出することによって走査ミラー１の振動数と変位を検
知する。尚，図１において，粗調整用ナット８は，初期
のねじりバネの張力を調整用である。
に取り付けられたエンコーダ１１と，このエンコーダ１
１のピックアップであるセンサー１２と，制御回路２０
とを有している。センサー１２は，発光ダイオードとフ
ォトセンサーにより構成され，エンコーダ１１の動作を
検出することによって走査ミラー１の振動数と変位を検
知する。尚，図１において，粗調整用ナット８は，初期
のねじりバネの張力を調整用である。
【００１７】図２に示すように，制御回路２０は，基準
信号を発生する第１の発振回路２１と，回転力付与手段
を駆動する第１の駆動手段をなすドライバ２２と，波形
整形部２３と，周波数電圧変換器２４と，センサー１２
からのアナログ信号と基準信号発生器２１からの基準信
号との位相を比較する位相比較手段をなす位相比較器２
５と，スイッチ２６と，第２の発振回路２７と，アップ
ダウンカウンタ２８と，デジタル−アナルグ信号変換器
（Ｄ／Ａ変換器）２９と，圧電素子７を駆動する第２の
駆動手段をなす第２のドライバ３０とを備えている。
信号を発生する第１の発振回路２１と，回転力付与手段
を駆動する第１の駆動手段をなすドライバ２２と，波形
整形部２３と，周波数電圧変換器２４と，センサー１２
からのアナログ信号と基準信号発生器２１からの基準信
号との位相を比較する位相比較手段をなす位相比較器２
５と，スイッチ２６と，第２の発振回路２７と，アップ
ダウンカウンタ２８と，デジタル−アナルグ信号変換器
（Ｄ／Ａ変換器）２９と，圧電素子７を駆動する第２の
駆動手段をなす第２のドライバ３０とを備えている。
【００１８】第１のドライバ２２は，励振用のコイルを
有し，第１の発振回路２１からの正弦波信号からなる基
準信号によって励振用の電磁石５を駆動する。波形整形
部２３は，エンコーダ１１のセンサー１２からのデジタ
ル信号波の波型成形を行う。周波数電圧変換器２４は波
形整形部２３からの信号をアナログの正弦波信号に変換
する。位相比較器２５は，基準信号と周波数電圧変換器
２４からの信号との位相を比較し，その結果をアップダ
ウンカウンタ２８に加える。また，アップダウンカウン
タ２８は，第２の発振回路２７からのデジタル信号をカ
ウントする。また，位相比較器２５からの信号が正の場
合アップカウントし，負の場合ダウンカウントする。ス
イッチ２６は，位相の遅れ又は進みが０の場合にＯＦＦ
となり，また，位相の遅れ又は進みが０以外の場合にＯ
Ｎとなり，第２の発信回路２７からのデジタル信号をア
ップダウンカウンタ２８に伝える。第２のドライバ３０
は，位相比較器２５からの出力により，圧電素子７の駆
動信号を出力する。
有し，第１の発振回路２１からの正弦波信号からなる基
準信号によって励振用の電磁石５を駆動する。波形整形
部２３は，エンコーダ１１のセンサー１２からのデジタ
ル信号波の波型成形を行う。周波数電圧変換器２４は波
形整形部２３からの信号をアナログの正弦波信号に変換
する。位相比較器２５は，基準信号と周波数電圧変換器
２４からの信号との位相を比較し，その結果をアップダ
ウンカウンタ２８に加える。また，アップダウンカウン
タ２８は，第２の発振回路２７からのデジタル信号をカ
ウントする。また，位相比較器２５からの信号が正の場
合アップカウントし，負の場合ダウンカウントする。ス
イッチ２６は，位相の遅れ又は進みが０の場合にＯＦＦ
となり，また，位相の遅れ又は進みが０以外の場合にＯ
Ｎとなり，第２の発信回路２７からのデジタル信号をア
ップダウンカウンタ２８に伝える。第２のドライバ３０
は，位相比較器２５からの出力により，圧電素子７の駆
動信号を出力する。
【００１９】このような構成の制御回路２０において，
筐体側のセンサー１２により発生する信号は，波形整形
部２３により，波形成形後，周波数電圧変換器２４によ
り周波数−電圧変換されてアナログ信号化された正弦波
信号となり，この正弦波信号は，位相比較器２５により
基準信号との位相比較を行い，必要な制御量を示す結果
をアナログの電圧として一対の圧電素子７に出力する。
筐体側のセンサー１２により発生する信号は，波形整形
部２３により，波形成形後，周波数電圧変換器２４によ
り周波数−電圧変換されてアナログ信号化された正弦波
信号となり，この正弦波信号は，位相比較器２５により
基準信号との位相比較を行い，必要な制御量を示す結果
をアナログの電圧として一対の圧電素子７に出力する。
【００２０】次に図３を参照して，本発明の実施例に係
る振動制御機構の振動制御動作について説明する。図３
（ａ）はセンサー１２からデジタル信号を示している。
図３（ｂ）はセンサー１２からデジタル信号が周波数／
電圧変換されたときの波形を示している。また，図３
（ｃ）は，第１の発振回路２１の基準信号を示してい
る。
る振動制御機構の振動制御動作について説明する。図３
（ａ）はセンサー１２からデジタル信号を示している。
図３（ｂ）はセンサー１２からデジタル信号が周波数／
電圧変換されたときの波形を示している。また，図３
（ｃ）は，第１の発振回路２１の基準信号を示してい
る。
【００２１】センサ１２からの信号は，波形整形部２３
により，波形成形後，周波数電圧変換器２４により周波
数−電圧変換されてアナログ信号化された正弦波信号と
なる。
により，波形成形後，周波数電圧変換器２４により周波
数−電圧変換されてアナログ信号化された正弦波信号と
なる。
【００２２】ここで，この正弦波信号は，位相比較器２
５により基準信号との位相比較を行い，図３（ｂ）及び
図３（ｃ）に示されるように，基準信号に対する位相か
遅れている場合には，負の電圧を出力する。この負の電
圧は，アップダウンカウンタ２８をダウンカウントさせ
る。このダウンカウント値に基づいて，第２のドライバ
３０は，圧電素子７の厚みを増す方向，即ち，正の電圧
を出力する。圧電素子７が厚みを増すと，ねじりバネ２
の張力が増し，ミラー１の振動数が増加する。
５により基準信号との位相比較を行い，図３（ｂ）及び
図３（ｃ）に示されるように，基準信号に対する位相か
遅れている場合には，負の電圧を出力する。この負の電
圧は，アップダウンカウンタ２８をダウンカウントさせ
る。このダウンカウント値に基づいて，第２のドライバ
３０は，圧電素子７の厚みを増す方向，即ち，正の電圧
を出力する。圧電素子７が厚みを増すと，ねじりバネ２
の張力が増し，ミラー１の振動数が増加する。
【００２３】一方，上記した場合と逆に，位相比較器２
５が，センサー１２から生成された正弦波信号が基準信
号よりの位相が進んでいる場合においては，正の電圧を
出力し，アップダウンカウンタ２８をアップカウントさ
せる。このダウンカウント値に基づいて，第２のドライ
バ３０は，圧電素子７の厚みを減らす方向，即ち，負の
電圧を出力する。
５が，センサー１２から生成された正弦波信号が基準信
号よりの位相が進んでいる場合においては，正の電圧を
出力し，アップダウンカウンタ２８をアップカウントさ
せる。このダウンカウント値に基づいて，第２のドライ
バ３０は，圧電素子７の厚みを減らす方向，即ち，負の
電圧を出力する。
【００２４】尚，位相比較器２５が，センサー１２から
生成された正弦波信号と基準信号との位相差が無い
（０）の場合においては，スイッチ２６をＯＦＦさせる
ので，第２のドライバ３０から圧電素子７に出力される
電圧は変化しないので，ねじりバネ２の張力は，変化し
ないので，振動を一定に保つことができる。
生成された正弦波信号と基準信号との位相差が無い
（０）の場合においては，スイッチ２６をＯＦＦさせる
ので，第２のドライバ３０から圧電素子７に出力される
電圧は変化しないので，ねじりバネ２の張力は，変化し
ないので，振動を一定に保つことができる。
【００２５】
【発明の効果】上述したように，本発明の振動機構系で
は温度環境などに左右されず振動機構系を安定且つ正確
に動作させることができる。
は温度環境などに左右されず振動機構系を安定且つ正確
に動作させることができる。
【図１】本発明の実施例に係る振動制御機構の概略構成
図である。
図である。
【図２】図１の制御回路の具体的構成を示すブロック図
である。
である。
【図３】本発明の実施例に係る振動制御機構の振動制御
動作の説明に供せられる図であり，（ａ）はセンサー１
２からデジタル信号を，（ｂ）はセンサー１２からデジ
タル信号が周波数／電圧変換されたときの波形を，
（ｃ）は，第１の発振回路２１の基準信号を夫々示して
いる。
動作の説明に供せられる図であり，（ａ）はセンサー１
２からデジタル信号を，（ｂ）はセンサー１２からデジ
タル信号が周波数／電圧変換されたときの波形を，
（ｃ）は，第１の発振回路２１の基準信号を夫々示して
いる。
１ 走査ミラー ２ ねじりバネ ３ 筐体 ４ 電磁石 ５ 永久磁石 ６ 座金 ７ 圧電素子 ８ 調整用ナット １１ デスクエンコーダ １２ センサー ２０ 制御回路 ２１ 第１の発振回路 ２２ 第１のドライバ ２３ 波形整形部 ２４ 周波数−電圧変換器 ２５ 位相比較器 ２７ 第２の発振回路 ２８ アップダウンカウンタ ２９ デジタル−アナログ信号変換器（Ｄ／Ａ変換
器） ３０ 第２のドライバ
器） ３０ 第２のドライバ
Claims (3)
- 【請求項１】 筐体に取付られた走査ミラー及び前記走
査ミラーの両端を保持するねじりバネを備えた振動系
と，前記ねじりバネの張力を可変させることで前記振動
系の周期を可変する圧電素子を備えた周期可変手段とを
備えていることを特徴とする走査ミラー振動制御機構。 - 【請求項２】 請求項１記載の走査ミラー振動制御機構
において，前記ねじりバネに回転力を付与する回転力付
与手段を備え，前記回転力付与手段は，前記ねじりバネ
設けられた永久磁石と，前記永久磁石の周囲に設けられ
た電磁石とを備えていることを特徴とする走査ミラー振
動制御機構。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載の走査ミラー振動制
御機構と，前記走査ミラーに取り付けられたエンコーダ
と，前記エンコーダからのデジタル信号をアナログの信
号に変換するＤ／Ａ変換手段と，予め定められた基準と
なる基準信号によって前記回転力付与手段を駆動する第
１の駆動手段と，前記アナログ信号と，前記基準信号と
の位相を比較する位相比較手段と，前記位相比較手段の
比較結果に応じて前記圧電素子を駆動する第２の駆動手
段とを備え，前記第２の駆動手段は，前記圧電素子を制
御することで，前記振動系の周期を安定化することを特
徴とする光学系の圧電素子による振動制御機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6284694A JPH08146334A (ja) | 1994-11-18 | 1994-11-18 | 光学系の圧電素子による振動制御機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6284694A JPH08146334A (ja) | 1994-11-18 | 1994-11-18 | 光学系の圧電素子による振動制御機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08146334A true JPH08146334A (ja) | 1996-06-07 |
Family
ID=17681772
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6284694A Withdrawn JPH08146334A (ja) | 1994-11-18 | 1994-11-18 | 光学系の圧電素子による振動制御機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08146334A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005141229A (ja) * | 2003-11-06 | 2005-06-02 | Samsung Electronics Co Ltd | 周波数変調可能な共振型スキャナー |
| WO2005059624A1 (ja) * | 2003-12-17 | 2005-06-30 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | 光スキャナおよびそれを備えた画像形成装置 |
| US7619798B2 (en) | 2005-12-27 | 2009-11-17 | Konica Minolta Holdings, Inc. | Optical deflector and light beam scanning apparatus having a control mechanism utilizing electromechanical transducers for adjusting resonant frequency for stable scanning |
| CN101950080A (zh) * | 2007-06-05 | 2011-01-19 | 精工爱普生株式会社 | 执行机构、光扫描器及图像形成装置 |
-
1994
- 1994-11-18 JP JP6284694A patent/JPH08146334A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| WO2005059624A1 (ja) * | 2003-12-17 | 2005-06-30 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | 光スキャナおよびそれを備えた画像形成装置 |
| US7619798B2 (en) | 2005-12-27 | 2009-11-17 | Konica Minolta Holdings, Inc. | Optical deflector and light beam scanning apparatus having a control mechanism utilizing electromechanical transducers for adjusting resonant frequency for stable scanning |
| CN101950080A (zh) * | 2007-06-05 | 2011-01-19 | 精工爱普生株式会社 | 执行机构、光扫描器及图像形成装置 |
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