JPH02206790A

JPH02206790A - Ｘ線断層撮影用検出器

Info

Publication number: JPH02206790A
Application number: JP1017383A
Authority: JP
Inventors: Martine Drouet; マルタン　ドゥルエ; Jean-Paul Bonnefoy; ジャン―ポール　ボンヌフォア; Henri Guers; アンリ　ゲール; Gaetan Pleyber; ゲタン　プレベール
Original assignee: Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Current assignee: Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Priority date: 1988-01-26
Filing date: 1989-01-26
Publication date: 1990-08-16
Also published as: DE68906681T2; EP0326479A1; DE68906681D1; US4912736A; EP0326479B1; FR2626379B1; FR2626379A1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明はＸ−線断層撮影用検出器に関するものである。

（従来の技術）この検出器は、予め決められた切断面に従ってデバイス
または対象を横切るＸ−線を検知するのに利用される。

この検出器は、例えばコンピュータによって処理されて
、該デバイスまたは対象の断面の像を与える信号を供給
する。勿論、本発明の検出器は、断層撮影の単純化され
た形のＸ−線撮影法においても利用できる。

断層撮影デバイスにより、入射Ｘ−線平面ビームをある
デバイスまたは対象に透過させて、該デバイスまたは対
象の断面像を得る方法は公知であり、該ビームは広い間
口角をもつが厚さはそれ程大きくない、この装置で使用
されている断層陽形検出器は該デバイスまたは対象を横
切るＸ−線の吸収の測定を可能とする。この吸収は検査
されるデバイスの組織の密度または被検対象を構成する
物質の密度と組合される。

適当なディジタル処理後、交叉方向における多数回の走
査により、該検出器の検出セル上に集められた信号、問
題とする切断面の各点におけるＸ−線の吸収値、並びに
該デバイス組織の密度または該対象を構成する物質の密
度を知ることが可能となる。この密度の種々の値を知る
ことにより、該デバイスまたは対象の断層像を復元する
ことが可能となる。

簡単な構造をもつＸ−線断層撮影用検出器が従来から存
在するが、これは完全とはいえない、この検出器はデバ
イスまたは対象からの入射Ｘ−線によりイオン化し得る
ガスを含む密閉チャンバと、該密閉チャンバ内に設けら
れた分極板とを含む。

この分極板は入射光線のビーム面に平行であり、かつ例
えば正の高い電位とされる。−組の負荷収集電極（１ｏ
ａｄ　ｃｏｌｌｅｃｔｉｏｎ　ｅｌｅｃｔｒｏｄｅｓ：
これは鎖板の分極と同じ信号をもち、かつ該対象からの
Ｘ−線によるガスのイオン化を生ずる）が鎖板に対向す
るように配置される。これらの負荷収集電極（即ち測定
電極）（これらは平坦で長い）は参照電位と同様な電位
とされる。こられの電極は絶縁基板に担持され、かつ該
対象またはデバイスからの入射Ｘ−線を受は取るチャン
バの入力ゲートに向って配向している。上記の分極板と
対向する部分と共に、各測定電極はこの検出器の基本セ
ルを画成する。

各電極は、該対象またはデバイスからのＸ−線の作用下
で、この電極に対向するガスのイオン化によって得られ
る負荷の量に比例したテスト電流を供給する。このテス
ト電流は該電極に接続された測定手段により測定される
。

この種の公知の検知器においては、該分極は該チャンバ
外の電圧源によって出力供給され、電極内部を循環する
電流を測定する手段はそれ自体、該チャンバー外にある
。かくして、接続手段が与えられ、これらは該密閉チャ
ンバを横断していて、その結果鎖板が供給され、かつ電
極電流が測定可能となる。これらの接続手段は以下の２
つの型のものであり得る。

○夫々、該チャンバと絶縁され、かつゲートと対向する
チャンバの背面上に位置する接続端子に結合された接続
ワイヤ、この接続端子または結合体（ｈｉｎｄｅｒ）を
次に、他の接続ワイヤによって出力源および測定手段に
結合する。

○夫々、抜板および該電極の各々を、該チャンバ内の、
その底部とこれを密閉しているカバーとの間における絶
縁された可撓性ストリップ開口内に埋設された測定ライ
ンおよび出力源に接続している接続ワイヤ。

該分極板と、該測定電極を支持する基板との間に永久的
なギャップを維持するために、抜板と基板との間に、フ
レーム形状を有し、わずかにＸ−線を吸収する、上記ガ
スを通すための、透かし細工を施した絶縁ブレースを挿
入する方法は公知である。

この種の公知の検出器は多数の欠点を有している。主な
欠点は、該絶縁ブレース内のＸ−線の通過がこのブレー
スを構成する材料をイオン化するという事実に起因する
ものである。結局、何等特別な注意を払わないと、電荷
がこの材料内部およびその表面に蓄積され、電極を介し
て測定手段に流れ、そこで迷走電流として出現する。こ
の迷走電極は一定ではなく、受は取ったＸ−線の強度お
よびこのブレースを構成する絶縁材料の電気的特性に局
部的に依存する０通常にボキシガラス製である、この材
料は、測定チャンネルの精査期間とは相客れない、比較
的高い持続期間に及ぶ粘性現象を示す、更に、検出ユニ
ットが該チャンバの一部を占めているので、該検出ユニ
ットの占める体積と、チャンバの内部容積との間には死
体積があり、該チャンバ内で該分極板と接続ワイヤとの
間に電場がある。この電場の形状は正確には規定されな
い。結局、迷走電気負荷は該チャンバの死体積に流れ込
み、かつ渦電流を発生する。この渦電流は得ようとする
断層像の品位に悪影響を及ぼす。

実際、この迷走負荷の検出は検出セルの感度の見掛けの
変動を誘起する。このセルにより与えられたテスト電流
の処理後に得られる像において、これらの変動は、該像
の品位を損う人工物（ａｒｔｉｆａｃｔｓ）によって表
わされる。

更に、ブレースを構成する絶縁物の表面上に蓄積される
電気負荷は該検出セル内の電場の電位線の分布の変更を
きたす。その結果、測定電極と分極板との間で破壊的な
放電を生ずる恐れがある。

ノもう一つの欠点は、特にブレース絶縁材料表面またはそ
の内部における電流負荷の蓄積に起因するものであり、
この蓄積は電極に対する電場の直交性を変え、かつガス
中に生成された負荷の収集率を制御不能なものとする。

最後に、この種の公知の検出器の更なる欠点は抜板を外
部電力供給手段に接続すること、および電極を外部測定
手段に接続することに起因する。

結合体または該チャンバの裏面上に開放される導体のア
ンテナに接続される接続ワイヤの使用を必要とする。こ
れらの接続は実現が困難である。その上、これらの導電
性ワイヤは該チャンバ内に分裏しており、この分布は制
御困難である。

（発明が解決しようとする課題）本発明の目的はこれらの諸欠点を克服することにある。

より詳しくいえば、Ｘ−線断層撮影用検出器を作製する
ことであり、該検出器は、その導電性ストリップ（その
上で絶縁ブレースは測定電極と近接して置かれている）
によって、このブレース内部またはその表面上に蓄積す
る渦流負荷による妨害を排除する。これら導電極ストリ
ップは、測定電極の電位に類似の電位とされたガードリ
ングを形成する。この検出器はまた接続手段の単純化を
可能とする。より詳しくいえば、該接続手段はチャンバ
内の内部電極および分極板を、チャンバ外部の測定手段
および出力供給源に接続する。

これらの接続手段は、電極を支持する基板上に診察され
たトラックとして実現される。好ましくは、これらの電
極はそれ自体この基板上に印刷される。

該トラックは、容易に実現できる絶縁路を介して該チャ
ンバの後面で開放している。

（課題を解決するための手段）本発明の目的ｔよあるデバイスまたは対象を横断してき
た、かつ薄い平面ビームを形成する入射Ｘ−線を検出す
るのに適したＸ−線断層撮影用検出器を提供することで
あるが、この目的は検出器を以下の構成とすることによ
り達成される。即ち、少なくとも一つの密閉チャンバと
、但しこのチャンバにはその前面ｔこまで伸びた入力ゲ
ートを通る入射Ｘ−線によりイオン化し得る少なくとも
一種のガスで満たされており、また該チャンバ内部はそ
の前面とこれに対向する後面との間で、該ゲートに対向
する前面と、該チャンバの後面に対向する後面とを有す
る検出ユニットで占められていｌる；該検出ユニットの
後面と該チャンバの後面との間に配置された、該チャン
バの接面を横断して該検出ユニットと該チャンバ外の測
定手段および出力供給源とを接続する手段とを含み、該
検出ユニットは上記入射ビーム面Ｐに平行で、かつ接続
手段によって電圧源に接続された分極導電性板を含む検
出スタックを少なくとも一つと、いずれもＸ−線による
ガスのイオン化に起因する負荷を収集する第１並びに最
後の電極によって画成される測定電極ユニットと、但し
これらの電極は該ゲートの方向に配向した導電性ストリ
ップにより形成されかつ該ビーム面に平行な絶縁基板面
上に設けられ、しかも夫々は接続手段によって、該負荷
の収集のために該電極内を循環する電球を測定する手段
に接続されている、および該分極板と電極とを分離し、
かつこの板と該基板とを平行に保つための電気的に絶縁
性のブレースとを包含し、該絶縁ブレースは２つの平行
な対向する後面をもつフレーム形状にあり、上記板はこ
の２つの後面の第１の面上にあり、第２支持面は、上記
ゲートに対向する電極に直角に、かつ該ゲート並びに上
記ユニットの第１および最後の電極に沿って該基板上に
配置されており、該第２の支持面は第２の導電性ストリ
ップ上にあり、該ストリップは該検出ユニットの後面に
近接する上記電極に対し直角に重り合った絶縁ストリッ
プ上にあり、上記第１並びに第２導電性ストリップおよ
び上記測定手段は参照電位源に接続手段によって結合さ
れている。

本発明の特定の一つの特徴によれば、該第１の導電性ス
トリップは該基板上に印刷され、該第２の導電性ストリ
ップは該絶縁性ストリップ上に印刷される。

本発明のもう一つの特徴によれば、第１並びに第２導電
性ストリップの電極および、分極板の接続手段は該基板
上に印刷されかつ夫々該電極、即ち第１および第２導電
極ストリップ並びに挟板に接続されたトラックで構成さ
れ、該基板および該トラックは出力接続を介して該チャ
ンバの接面の少なくとも一つの開口を横切り、該出力接
讐は該基板およびトラックの回りに固定され、かつ該チ
ャンバの後面に固定されており、これらトラックは夫々
該チャンバ外で上記測定手段および出力供給手段並びに
参照電位源に接続されている。

本発明の更に別の特徴によれば、該出力接続はアダプタ
スリーブを含み、これはトラックおよび基板を通すため
の開口を含み、該トラックおよび基板はこの開口内部に
絶縁密閉用接着剤により固定されており、該アダプタス
リーブは該チャンバの後面の開口内に嵌合されており、
また該スリーブは該チャンバの後面上に固定手段を備え
た肩部を含み、密閉接合部がこの肩部と該チャンバ後面
との間に挿入されている。

特別な特徴によれば、第１および第２導電性ストリップ
は接触状態にある。

もう一つの特別な特徴によれば、該第１および第２導電
性ストリップは相互に接続されている。

（実施例）本発明の特徴並びに利点は、添付図を参照しながら以下
の記載を読むことにより、より一層容易に理解されよう
。

第１図は、本発明のＸ−線断層撮影用検出器の断面を表
す模式的な図である。ここで実現される切断は入射Ｘ−
線ビームに平行な面内において、測定電極ユニット２を
支持する絶縁基板１の面と分極板面との間で行われる０
分極板については後に詳述するが、これは入射Ｘ−線面
に平行である。

この分極板および絶縁基板は電気的に絶縁されたブレー
ス３によって分離されている。このブレースはわずかに
Ｘ−線を吸収する。

本図に示した検出器は本質的に該入射Ｘ−線によりイオ
ン化される少なくとも一種のガスで満された密閉チャン
バを含む、このチャンバの前面の一つは入射輻射線入力
ゲートをもつ、この入力ゲートは、入射Ｘ−線を僅かに
吸収する薄膜５によって閉じられたチャンバの前面上の
開口によって構成される。この開口は、例えばチャンバ
の本体８内にある０−リング接続部７およびフランジ６
によって膜５により密閉される。フランジ６は勿論、本
図には図示してないが、これをチャンバ４／の本体８に固定する手段を備えている。このチャンバの
後面はカバー９で密封される。カバー９とチャンバ本体
８との間の密封は、例えば０−リング接合部１０で保証
され、このカバーは本図には図示していない固定手段に
よってチャンバ４の本体８に取付けられている。

このチャンバの前面５と後面９との間の該チャンバ４の
内部部分は、部分的に、特に電極ユニット２を含む検出
ユニット１１と、本図には図示されていない分極板とで
占有されている。この検出ユニットはゲート５に対向す
る後面１２を有し、かつチャンバの後面９に対向する後
面１３を有する。チャンバ４の内部部分は、検出ユニッ
ト１１の後面１３とチャンバの後面９との間で、後に詳
述する手段で占められている。これらの手段は該チャン
バの後面を横断し、かつ検出ユニット１１と測定手段１
４、並びにチャンバ外の電圧源１５および参照電位源１
６で構成される出力供給手段との接続を可能とする。

本発明の検出器の断面ＡＡを模式的に示す第２図を第１
図と共に参照すると、本検出器の構造をより一層良く理
解することが可能となる０本図と第１図との同一の部材
は同一の参照番号で示されている。

検出ユニット１１は少なくとも一つのスタック１７を含
み、該スタックはＸ−線入射ビーム面Ｐに平行な分極板
１８を含む０本図上においては比較的小さな厚みを呈す
る該入射ビームは実際には極めて薄く、従って、このビ
ームは面Ｐ内に含むれるものと考えられる０分極板１８
は、後に詳述される接続手段によって、電圧供給源１５
に結合され、この電源は、例えば正のｄ、ｃ、電圧（＋
ＨＶ）を与える。

チャンバ４内に侵入する入射Ｘ−線の作用下でガスがイ
オン化する際に、数ＫＶの電位（＋　ＨＴ　）となる鉄
板１８は負電荷、例えば電子（ｅ−）を集め、測定また
は収集電極２は正の負荷、例えばイオンを収集すること
を可能ならしめる。これらは夫々、後に詳述する接続手
段に、ここでは図示していない手段によって供給される
測定手段により結合されている。これらの電極は収集さ
れた負荷および測定手段により参照電位に類似の電位と
さ、れる。

明らかなことながら、分極板が負の電位とされた場合に
は、正の電荷が収集され、一方電極は負の電荷を集める
ことになる。電極は絶縁性材料の平面状基板１（例えば
エポキシガラス製）に担持され、かつ相互に電気的に絶
縁されている。チャンバ４の内部を満たすガスが、例え
ばキセノンである場合、これは１０〜２０バールの圧力
下にあり、キセノンのイオン化により板１３に引付けら
れる（ｅ）および電極に引付けられるイオンＸｅ＋を生
成する。

電極による正電荷の収集は電極内に電源の循環を生ずる
。上記手段１４で測定するのはこの電流である。各電極
に対してこのようにして測定した電流の値は本図には示
されていない処理手段に供給され、そこで面、Ｐ内で対
象またはデバイスの断層像が得られる。

電極２はゲート５の方向に配向した導電性ストリップ１
９から作られる。これらのストリップは、例えばビーム
面Ｐに平行な絶縁基板１上に印刷された銅製ストリップ
である。この絶縁基板および電極２は、電気的に絶縁さ
れたブレース３によって分極板１８から分離されており
、ブレース３は極めて少量のＸ−線を吸収する。このブ
レースは板１８と基板１とを平行に保つことを可能なら
しめる。

本発明によれば、絶縁性ブレース３は、２つの平行なか
つ対向する支持面２０．　２１（第２図）を有するフレ
ーム形状（第１図）を有している１分極板１８はこのブ
レースの第１の面２０上にある。第２の面２１は第１導
電性ストリップ２２の支持体として機能し、このストリ
ップはゲート５に対向し、かつ電極ユニット２の第１電
極２３ａおよび最後の電極２３ｂに沿って、電極２に関
して直角に伸びた基板１上に配置されている。ブレース
３の第２の面２１は第２導電性ストリップ２４を支持し
、このストリップは、検出ユニット１１の後面１３に近
接したこれら電極に間して直角に伸びている電極ユニッ
ト２に重さねられた絶縁ストリップ２５上にある。絶縁
性ブレース３の面２１は、導電性ストリップ２４と絶縁
性ストリップ２５とに隣接して、ストリップ２５の厚み
にほぼ対応して、導電性ストリップ２２に隣接するこの
面に対してわずかな偏りを呈して第１および第２導電性
ストリップｎ、２４は、後に示されるように接続手段に
より参照電位源１６に結合されている。この参照電位源
１６も測定手段に結合され、かつこれらの手段の電気的
接地に相当する。このように、これら導電性ストリップ
に印加される電位ユニット２の測定電極に印加されるも
のと同じである。

第１図に示したように、第１導電性ストリップ２２は、
例えば銅ストリップであり、これは基板１上に印刷され
ている。第２導電性ストリップ２４も、絶縁性ストリッ
プ２５上に印刷された銅製ストリップであり得る。

電極２並びに板１８の第１および第２ストリップの接続
手段は、絶縁性基板１上に印刷された一連のトラック２
６、例えばトラック２７から構成される。

これらのストリップは、例えばこの基板上に印刷された
銅製ストリップであり得る。これらストリップは夫々ユ
ニット２の電極および第１並びに第２導電性ストリップ
２２．２４に恒久的に接続されている。かくして、スト
リップ２８は導電性ストリップ２２に接続されている。

これらの種々のストリップは、公知の方法で構成され、
かつここでは詳述していないコネクタ２９によって電極
を測定電極１４にまた導電性ストリップを参照電位源１
６に夫々接続することを可能とする。勿論、この導体は
チャンバ４内にある。導電性ストリップ２４と２２との
間の電気的結合はこれら２つのストリップ間の直接接続
によりあるいはこれらのストリップを結合する接続ワイ
ヤ３１によって保証される。電源１５により供給される
電圧が供給されるはずの分極板１８に結合される。様々
なトラック２７　、２８　、３２は出力接続、倒えば３
Ｂを介して、チャンバ４を封止するカバー９により構成
される後面の少なくとも一つの開口を横切る。この接続
は基板１およびトラック２６近傍で保証され、またカバ
ー９上でも保証される。

これらのトラックはコネクタ２９により、上記のように
、測定手段１４、出力供給源１５および参照電位源１６
に接続される。

出力接続３６はアダプタスリーブ３７を含み、このアダ
プタスリーブはトラックおよび基板１を通過せしめる開
口を含む、これらのトラックは不浸透性かつ絶縁性の接
着剤３８によりこの開口に固定される。このアダプタス
リーブはチャンバ４の後面９の開口３５内に嵌込まれ、
かつ手段３０（本図には示されず）を備えた肩部を含ん
でいて、これをチャンバの後面に固定している。封止接
合４０は該肩部とチャンバの後面との間に挿入される。

本図に示した態様では、絶縁性基板１は、接続３６と同
等な出力接続内に各々嵌込まれた２つの部材４１．４２
に更に分割される。特に、この更分割はより小さな寸法
２９を用いることを可能とし、しかもより良好な基板１
上でのトラックの分布を可能ならしめる。このコネクタ
は測定並びに出力供給手段、および電位基準は第２図に
示されていない。

もう一つの検出用スタック４３は第２図に一例として示
されている。このスタックは基板面に対してスタック１
７と同等かつ対称である。同じ型の他のスタックをチャ
ンバ４の内部に設けることができる。これら様々なスタ
ックの出力スタック間の相互接続は接続ピオン（ｐｉｏ
ｒｌｓ）によって公知の様式で実現できる。既に述べた
ものと同一の型の多数のスタックを有する一検出器は標
準的な多重断層撮影の実施を可能とする。

本発明は前に述べた目的を容易に達成することを可能と
する。電極と測定手段との接続および分極板と出力供給
源との接続（これらは既にに述べたスタックにより保証
される）は極めて簡単であり、この種の接続はチャンバ
内における接続ワイヤの存在を回避する。この存在は前
に述べたように電場の妨害をきたす、アダプタスリーブ
を用いた接続を通してチマンバ後面内へのこれらスタッ
クの導入は極めて簡単であり、特に添付図上には示して
ない他の手段との組合せによりチャンバ内部におけるし
かるべき位置に検出スタックを保つことを可能とする。

一体膜回路として具体化されたスタックは、溶接を全く
必要としないのでワイヤ結合よりもずって実現し易い、
ブレースがある第１および第２導電性ストリップはガー
ドリングを形成し、該リングの電位は測定電極の電位と
同じであり、従って寄生電荷の出現を回避できる。最後
に、チャンバ４およびアダプタスリーブ３７は有利には
導体であるので、このアダプタスリーブによって形成さ
れる出力接続は、また出力ドラック近辺のガードリング
としても機能する。このチャンバはファラデーケージ（
Ｆａｒａｄａｙ　ｃａｇｅ）として作用する。実際に、
チャンバおよびアダプタスリーブは電極の電位とされる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の検出器の概略断面図であり、断層は分
極板と測定電極との間で、入射線に平行な面内で実現さ
れる；　および第２図は第１図に示した検出器のラインＡ−Ａに沿って
取った側部投影断面図である。１・・・絶縁基板、　　　　　２・・・測定電極ユニッ
ト、３・・・ブレース、　　　　　４・・・チャンバ、
５・・・薄膜、　　　　　　　６・・・フランジ、７．
１０・・・０−リング接合部、８・・・チャンバ本体、　　　９・・・カバー１１・・
・検出ユニット、　　　１４・・・測定手段、工５・・
・電圧源、　　　　　　１６・・・参照電位源、１７・
・・スタック、　　　　　１８・・・分極板、１９・・
・導電性ストリップ、２５・・・絶縁性ストリップ、２
６．２７・・・トラック、　　　２８・・・ストリップ
、２９・・・コネクタ、　　　　　３１．３３・・・接
続ワイヤ、３５・・・開口、　　　　　　　３６・・・
出力接続、３７・・・アダプタスリーブ、３８・・・不浸透性絶縁接着剤、４０・・・封止接合部、　　　　４３・・・検出スタッ
ク。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）あるデバイスまたは対象を横断し、かつ薄いビー
ム面Ｐを形成する入射Ｘ線の検出を可能とするＸ−線断
層撮影用検出器であって、少なくとも一つの密閉チャン
バと、但しこのチャンバにはその前面にまで伸びた入力
ゲートを通る入射Ｘ−線によりイオン化し得る少なくと
も一種のガスで満たされており、また該チャンバの内部
はその前面とこれに対向する後面との間で、該ゲートに
対向する前面と該チャンバの後面に対向する後面とを有
する検出ユニットで部分的に占められている；該検出ユ
ニットの後面と該チャンバの後面との間に配置された、
該チャンバの後面を横断して、該検出ユニットと該チャ
ンバ外の測定手段および出力供給源とを接続する手段と
を含み；該検出ユニットは上記入射ビーム面Ｐに平行で
、かつ接続手段によつて電圧源に接続された分極導電性
板を含む少なくとも一つの検出スタックと、いずれもＸ
−線によるガスのイオン化に起因する負荷を集める第１
および最後の電極によって画成される測定電極ユニット
と、但しこれらの電極は該ゲート方向に配向した導電性
ストリップにより形成され、かつ該ビーム面Ｐに平行な
絶縁基板面上に設けられ、しかも夫々は接続手段によっ
て該負荷の収集のために該電極内を循環する電流を測定
する手段に接続されている、および該分極板と電極とを
分離し、かつこの板と該薄板とを平行に保つための電気
的に絶縁されたブレースとを包含し、該絶縁ブレースは
２つの平行な対向する後面をもつフレーム状にあり、該
分極板はこれら２つの支持面の第１の面上にあり、該第
２支持面は上記ゲートに対向する電極に直角にかつ該ゲ
ート並びに該ユニットの第１および最後の電極に沿つて
、該基板上に配置されており、該第２支持面は第２の導
電性ストリップ上にあり、該ストリップは該検出ユニッ
トの後面に隣接する上記電極ストリップおよび上記測定
手段は参照電位源に接続手段によって結合されているこ
とを特徴とする上記検出器。
（２）上記第１導電性ストリップが上記基板上に印刷さ
れてあり、上記第２導電性ストリップが上記絶縁性スト
リップ上に印刷されていることを特徴とする請求項１記
載の検出器。
（３）上記電極、分極板および第１並びに第２導電性ス
トリップの上記接続手段が、夫々該電極および該分極板
の第１並びに第２導電性ストリップに結合された、該基
板上に印刷された導電性トラックで構成され、この基板
およびこれらストリップが、該基板およびストリップ近
傍で固定され、かつ該チャンバ後面に固定された出力接
続により該チャンバの後面の少なくとも一つの開口を横
断しており、これら各ストリップが該チャンバの外部で
上記測定手段および出力供給手段並びに上記参照電位源
に結合されている請求項１記載の検出器。
（４）該出力接続が、トラック通路用開口と基板とを含
むアダプタスリーブを含み、該トラック封止性かつ絶縁
性接着剤で該開口内に固定されており、該アダプタスリ
ーブは該チャンバの後面の開口内に嵌込まれており、か
つ該チャンバの後面上に固定手段を備えた肩部を有し、
この肩部と該チャンバの後面との間に封止接合が挿入さ
れている請求項３記載の検出器。
（５）上記第１および第２導電性ストリップが接触状態
にある請求項２記載の検出器。
（６）上記第１および第２導電性ストリップが相互に結
合されている請求項２記載の検出器。