JPH02257557A - 中性粒子を位置決めする高分解能の方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、特に、粒子源によって放射されそして平均方
向に対して定められた限定されたアパーチャの立体角内
を伝播する中性粒子のフラックスに含まれた粒子を検出
し、位置決めする装置において、上記平均方向に対して
かすめて入射するように配置された実質的に平らなソリ
ッドコンバータであって、上記中性粒子が当ったときに
電荷を形成するのに適したコンバータと、上記電荷をコ
ンバータの電荷とは異なる電位まで上昇させそして周囲
ガスの刺激イオン化によって電荷を増幅するための電荷
増幅手段と、互いに電気的に絶縁され、互いに且つ上記
コンバータに対して実質的に平行にされ、そして上記フ
ラックスの平均方向とでもって上記コンバータに対して
実質的に垂直な平面を各々形成するような細長い導線よ
り成る電荷収集手段と、上記中性粒子を透過することが
でき、上記コンバータと、電荷増幅手段と、電荷収集手
段と、ガスとを含んでいる包囲体とを具備する装置に係
る。

従来の技術 この形式の装置は、ヨーロッパ特許第０２２８９３３号
に開示されている。

この公知装置は、サイズが大きく且つ密度の高い物体で
あって、Ｘ線光子や、ガンマ線光子や、中性子のような
中性粒子の粒子源によって照射される物体の非常に高品
質な像を得ることができる。

上記の物体は、粒子源と装置との間に配置されて走査さ
れる。

特に、この公知の装置は、これまでに得られなかったコ
ントラストレベルで照射された物体の像を得ることがで
きる。

発明が解決しようとする課題 この公知装置において像を形成する当業者によって示さ
れている著しい関心は、非常に大きく且つ密度の高い物
体の像を形成するときだけではなく、サイズの小さな物
体の像を形成するときにも他の公知システムに比べてこ
の公知装置に決定的な高品質を与えるような最適な手段
を求めることである。このようにサイズの小さい物体の
像を形成する用途は、公知装置において既に考えられる
が、このような用途においては、分解能が従来システム
よりも甚だしい制約を受ける。

課題を解決するための手段 本発明は、このような目的についてなされたもので、公
知装置に対する改良をその全ての用途に適応できるとい
う付加的な効果をもたらすものである。

本発明によれば、粒子源によって放射されそして平均方
向に対して定められた限定されたアパーチャの立体角内
を伝播する中性粒子のフラックスに含まれた粒子を検出
し、位置決めする装置であって、この装置は、上記平均
方向に対してかすめて入射するように配置された実質的
に平らなソリッドコンバータであって、上記中性粒子が
当ったときに電荷を形成するのに適したコンバータと、
上記電荷をコンバータの電荷とは異なる電位まで上昇さ
せそして周囲ガスの刺激イオン化によって電荷を増幅す
るための電荷増幅手段と、互いに電気的に絶縁され、互
いに且つ上記コンバータに対して実質的に平行にされ、
そして上記フラックスの平均方向とでもって上記コンバ
ータに対して実質的に垂直な平面を各々形成するような
細長い導線より成る電荷収集手段と、上記中性粒子を透
過することができ、上記コンバータと、電荷増幅手段と
、電荷収集手段と、ガスとを含んでいる包囲体とを具備
する装置において、上記電荷増幅手段は、上記電荷収集
導線とは別々の導電性ラインを備えていると共に、上記
電荷収集導線は上記コンバータの電位に近い電位に接続
されることを特徴とする装置が提供される。

［コンバータの電位に近い電位Ｊという用語は、ここで
は、コンバータの電位と同等であるがいかなる場合にも
電荷増幅手段の電位よりもそれに近い電位を指すのに用
いられる。刺激イオン化によって増幅された電荷が負で
ある限り、収集される電荷は正であり、電荷収集導体は
カソードとして働く。

公知装置の細長い電荷収集導体は電荷増幅にも使用され
るが、本発明の装置では、完全に別々の増幅手段及び電
荷増幅手段が設けられている。

適用される設計上の制約を先ず第１に電荷増幅手段とそ
して第２に電荷収集手段とに分離することにより、この
ような構成では、公知システムの分解能を制限するよう
な兼ね合いをなくすことができる。

より詳細には、タウンゼントのアバランシェ（電子なだ
れ）のような刺激イオン化現象を得るためにコンバータ
に対して若干大きな電位に電荷増幅手段を入れ、そして
増幅現象の利用に適合するように印加電界が分布するよ
う確保するために電荷増幅導体ラインを互いに若干離す
ことを必要とするときには、ライン間の最小距離につい
ての制約がシステムの分解能を直接制限することになる
。というのは、これらのラインは電荷の収集にも使用さ
れ、それらの間隔がシステムの分解能を決定するからで
ある。

電荷収集導体間の距離を減少でき°るようにこの凱約を
免れることにより、本発明は、公知装置の分解能範囲を
その技術によって課せられる範囲まで延ばすことができ
る。

本発明の装置の特定の実施例では、電荷収集導体がコン
バータの少なくとも１つの面の至近に配置され、絶縁材
料の層によってそこから分離される。

別の実施例においては、コンバータが上記電荷収集導体
を構成する同一平面素子で構成される。

好ましくは、上記電荷増幅ラインは、電荷収集導体が延
びる方向に対して各々実質的に横方向に延びるコンバー
タの平面に実質的に平行な少なくとも１つの平面内に配
置される。

「実質的に横方向」という用語は、ここでは、「はゾ平
行ではない」の同意語であり、換言すれば、垂直又は例
えば２０°未溝の角度で斜めに延びることを意味する。

この装置が小さな体積の物体の像を形成するのに用いら
れたときには、中性粒子源を装置により接近することが
でき、この場合、電荷収集導体は、互いに実質的に平行
に保たれる間に、それらの方向が中性粒子源に向かって
収斂する向きにされるのが効果的である。

電荷収集導体がもはや互いに厳密に平行ではなく、はゾ
平行であるようなこの特定の配置では、粒子源と装置を
互いに接近するように移動し、視差の問題を回避するこ
とができる。このように互いに近づけることにより、装
置に到達する粒子の数が増加され、形成される像に良好
なコントラストを得ることができる。更に、接近した粒
子源には拘りなく、この配置により、視差の影響を受け
ない大型の検出器を形成することができる。本発明によ
れば、この配置は非常に容易になされる。

というのは、電荷収集導体は、電荷増幅ラインに拘りな
いので、アバランシェにより生じる電界における分布の
問題を招くことなくこれら導体の配置を選択できるから
である。

本発明の装置を工業的に実施する場合、絶縁材料はポリ
マーシートでありそして上記電荷収集導体は、上記ポリ
マーシートにエツチングされた銅のトラックにより構成
されるのが好ましい。

又、本発明によれば、粒子源によって放射されそして平
均方向に対して定められた限定されたアパーチャの立体
角内を伝播する中性粒子のフラックスに含まれた粒子を
検出しそして位置決めする方法であって、上記粒子フラ
ックスの平均方向に対してかすめて入射するように配置
された実質的に平らなソリッドコンバータにより上記粒
子を受け取って上記中性粒子から電荷を形成し、上記電
荷を周囲ガスの刺激イオン化によって増幅し、そして上
記粒子フラックスの平均方向に対して実質的に平行な方
向に沿って離間された種々の位置において上記コンバー
タに実質的に平行な少なくとも１つの平面に存在する電
荷を収集する段階を具備する方法において、上記電荷を
収集する動作は、イオン化によって増幅された電荷の極
性とは逆の極性を持つ電荷を収集することを含むことを
特徴とする方法が提供される。

像を形成するのに特に適したこの方法の態様においては
、電荷が電荷収集トラックに沿って収集され、これらの
トラックは、粒子フラックスの平均方向に実質的に垂直
な方向に沿って互いに離間されており、そしてこれらの
トラックは、中性粒子源に向かって収斂することができ
る。

電荷増幅は、コンバータに平行な平面内で複数のライン
に沿ってコンバータとは異なる少なくとも１つの電位を
確立することを含み、上記ラインは、電荷収集トラック
に対して実質的に横方向に延びるのが好ましい。

この配置は、コンバータから導出される各々のイオン化
粒子に対し、刺激イオン化によって発生された電荷が２
つの隣接する電位線に沿って分散され、しかも、検出さ
れた電荷（即ち、トラックに収集された逆極性の対応す
る電荷）が２つの別々の電荷収集トラックに到達する必
要がないという点で特に効果的である。各トラックがラ
インに対して横方向に配置されているので、これは複数
のラインに対応する。それ故、この配置は、装置の分解
能を改善するように寄与する。

本発明の他の特徴及び効果は、添付図面を参照した以下
の説明から明らかであろうが、本発明はこれに限定され
るものではない。

実施例 第１図において、参照番号１は、例えばＸ線、ガンマ線
光子又は中性子のような中性粒子の粒子源を示している
。本発明の典型的な用途において、この粒子源１は、２
５０ｋｅＶないし７５０ｋｅ■の範囲のエネルギを有す
るＸ線源である。

この線源によって放射された粒子のフラックスは第１コ
リメータ２によって電気ビーム３に変換され、このビー
ムはフレーム５に支持された１組の検出器４に一般的に
向けられる。

放射された中性粒子を透過しない材料、例えばＸ線を用
いるときには鉛で形成さ九た１つ以上のプレート６が線
源ｌと検出器４との間で検出器の至近に配置され、各プ
レートには直線状のスロット７が設けられており、その
各々は対応する検出器４に対して特定のコリメータを構
成する。

矢印９で示された方向に沿って移動するのに適したキャ
リッジ８によって表わされた並進移動手段は、励起ビー
ム３を通して進むように設けられており、検査を受ける
物体１０が並進移動中にビーム３を通過するようにこの
物体を支持する。

コリメートスロット７は、矢印９で示された並進移動方
向に対して垂直に延びている。

第３図は検出器４の１つを詳細に示している。

この検出器は、本発明の装置を構成するのに適したもの
であり、前記ヨーロッパ特許に既に開示されているのと
同様に、中性粒子を透過するガス収容包囲体１１と、ブ
ラケット１３に支持された検出組立体１２とを備えてい
る。

ガスは、ガスの刺激イオン化により、例えば当業者に良
く知られている“タウンゼントアバランシェ′”現象の
出現により、電荷増幅をもたらすのに適したガスの混合
体によって構成される。このため、ガスは７０％アルゴ
ンと３０％エタンの混合体で構成され、エタンは冷却物
質を構成する。

ガスの圧力は約１バールである。第４図及び第５図につ
いて詳細に述べる検出組立体１２は、その形状が本質的
に平らなものである。検出組立体１２は、中性粒子のフ
ラックスをかすめて入射する角度でさえぎるようにブラ
ケット１３によって支持され、中性粒子のフラックスは
物体３及びコリメートスロット７を通り、平らなシート
１４の形態で伝播する。

検出組立体１２及びシートフラックス１４の両方は、対
応するスロットコリメータの直線上スロット７に垂直な
平面に対して垂直であるのが好ましい。

第３図に示すようにシートフラックス１４は、コリメー
トスロット７によってアパーチャが定められるような立
体角度内を伝播し、この立体角度は、スロット７の中心
を通る粒子の軌道に対応する平均方向１５の周りに延び
るものである。

物体１０の１部分を通過するシートフラックス１４は、
粒子が通過した材料の特性及び厚みを表すその伝播方向
に対して垂直な方向に粒子強度分布を有しており、検出
組立体１２の機能はこの強度分布を検出することである
。

第２図に示すように、検出器はオーバラップ構成で配置
され、励起ビーム３が照射する物体１Ｏの各部分が少な
くとも１つの検出器で観察されるようになっている。

上記した部分に加えて、各検出器４には、ガ・スを導入
するためのバルブ（図示せず）が設けられていると共に
、外部電位子Ｖを検出組立体１２に供給しそして組立体
により発生された電気信号を包囲体から取り出すための
シールされたフィードスルー（図示せず）も設けられて
おり、上記の信号は、シートフラックスにおける粒子強
度分布、ひいては、フラックスが送られる材料の特性及
び厚みを表しており、そしてこの信号は導体１６によっ
て搬送される。

第４図は、検出組立体１２を詳細に示している。

この組立体は、ソリッドコンバータと、電荷増幅手段と
、電荷収集手段とを備えている。

コンバータは、フラックス１４に対してかすめて通る入
射角で配置された平坦プレート１７の形態であり、入射
角は、０ではなく、例えば１０度未満でありそして約１
度であるのが好ましい。

Ｘ線を用いるときには、このコンバータは、例えば、厚
みが５０ミクロンないし２００ミクロンのタンタルのプ
レートで構成される。

コンバータの機能は、フラックス１４から受け取った中
性粒子が当ったときに包囲体内にイオン化粒子を形成す
ることである。イオン化粒子の軌跡が第４図に一点鎖線
Ｔ１で概略的に示されている。

電荷増幅手段は、例えば、外部電源に接続された非常に
細いワイヤの形態で好ましくは構成された導電性ライン
１８を備えており、上記外部電源は上記ワイヤを例えば
約３０００ボルトのような正の電位子Ｖに維持する。上
記ワイヤ１８は、例えば、ステンレススチール又は金メ
ツキタングステンで形成される。これらのワイヤは直径
が５０ミクロンであり、互いにほぼ平行に配置され、そ
してコンバータにほぼ平行であってそこから約２ｍｍ離
された平面内において互いに約２．５ｍｍ離間される。

また、これらワイヤは、中性粒子の平均伝播方向１５に
対して一般的に横カ行に延びる。

ＴＩに沿って伝播する粒子のようなイオン化粒子は、包
囲体１１内に収容されたガスの分子から電荷を引き出し
、より詳細には、負に荷電された電子と正のイオンとを
引き出す。

電子は、正の電位子Ｖに接続された電気的ラインに向け
て強く引き寄せられ、次いで、例えばアバランシェ作用
により電荷を生じ、全ての負の電荷はライン１８に引き
寄せられる。ライン１８によって引き寄せられる負の電
荷のこの現象は、第４図に、Ｔ２のような実線の矢印で
概略的に示されている。

上記したコンバータ及び電荷増幅手段に加えて、本発明
による各々の検出組立体１２は、電荷収集手段も備えて
いる。

″電荷収集手段′″という用語は、負の電荷を収集する
ライン１８にこれまで適応されているが、この用語はこ
こではこれらラインとは異なったものを指すのに用いる
。

特に、電荷収集手段は、上記導体１６に接続されるか又
は上記導体によって構成されたトラック１９を含む。

トラック１９は、コンバータの電位に近い電位、換言す
れば、ライン１８の電位子Ｖに対して負の電位に接続さ
れた電気導体によって構成される。これらトラック１９
は、同じ電位にあるか又は同様の電位にあるが、互いに
且つコンバータから電気的に絶縁される。コンバータは
浮動電位を用いるように電気的に絶縁できるが、コンバ
ータをアース電位に接続し、そしてトラック１９を例え
ばキャパシタ２５を経てアース電位に接続するのが好ま
しい。

これらの状態のもとで、トラックは電荷増幅のみを行な
うライン１８とは同様に作用しないが、電荷の収集につ
いては対称的に作用し、より詳細には、カソードとして
作用する。アバランシェ現象によって形成された正のイ
オンは、トラック１２に対して負の電位によって吸引さ
れ、トラックによって収集される。この現象は、第４図
においてＴ３のような破線矢印で概略的に示されている
。

トラック１９は、例えば、少なくとも互いに若干平行に
配置され、そしてコンバータに対してほぼ平行な平面内
に存在する。第４図及び第５図に示す実施例では、これ
らのトラックは、例えば、コンバータから約１５ミクロ
ンの距離においてコンバータの各面の至近位置に配置さ
れる。これらトラックは、中性粒子の平均伝播方向１５
にコンバータ１７上の突起に対して一般的に平行に延び
る。更に、これらのトラックは、上記突起に対して実質
的に垂直な方向に且つ隣接するライン１８間の間隔より
も実質的に小さな間隔で（例えば、１ｍｍ未満）互いに
離間される。

各トラック１９は、包囲体１１を通る導体１６を経て増
幅器として表わされた電子装置２０に接続され、この電
子装置は、それが接続されたトラックによって受け取ら
れる全電荷を更に増幅しそして測定するのに適したもの
である。

各トラック１９は、それに対して特定な電子装置２０に
個々に接続されてもよいし、又はトラック１９は単一の
電子装置２０に接続されるように通常のやり方でマルチ
プレクスされ、この単一の電子装置が各々のトラックに
より順次に受け取られる電荷を測定するようにしてもよ
い。

２０のような電子装置は、当業者に良く知られたもので
あり、これ以上詳細には説明しない。

それらの機能は、スクリーン上に可視表示を得ることが
できるようにすると共に、種々のトラック１９によって
受け取られた電荷に対応する１組の電気信号を表すよう
に適当な電子メモリに記憶を行なえるようにするのが好
ましい。上記電荷それ自体は、ライン１８の方向に沿っ
てコンバータ１７の種々の位置に到達する中性粒子が通
過した材料の特性及び厚みを表すものである。

トラック１９を互いに厳密に平行に配置するのではなく
、本発明によれば、各ライン１９が線源１の方向を向く
ように配置することができ且つそのようにするのが効果
的である。この配置によれば、２つの隣接するトラック
は、非常にわずかな角度だけ、例えば１０分の１度だけ
厳密な平行状態からずれるが、視差のエラーを招くこと
なく検出器４と線源ｌとを互いに近づけることができ、
更に、検出器と線源との間の距離が大きい場合に受け取
れる以上の多量の中性粒子を線源ｌから検出器に受け取
ることができる。

検出組立体１２は第５図に示すように形成される。

検出組立体１２は、コンバータ１７によって構成された
その中間層に対して実質的に対称的なスタックを備えて
いる。第５図に示した構成においてコンバータの上下に
配置される機能的に同等の部分は同じ参照番号で示され
ておりそして文字゛Ｓ　　（上級＝上部）及び“ｉ″　
（下級＝下部）で区別されている。

例えば、Ｋａｐｔｏｎと言う商標で販売されている材料
のシートである絶縁材料のシート２１Ｓ又は２１ｉは、
プレス機において適当なポリマー化のりによってコンバ
ータ１７の各ｍｌに熱間固定される。これらのシートは
厚さが１２ミクロンであり、各シートの外面は通常のや
り方で厚み５ミクロンの銅の層が最初に被覆される。

これらシートがコンバータにのり付けされた後に、各々
の銅の層は写真平版によってエツチングされ、トラック
１９を構成するまっすぐなトラックを残すようにされる
。明瞭化のために、少数の（４個の）著しく収斂するト
ラックのみが第５図に示されているが、実際には殆ど収
斂しない多数のトラック（例えば２５６個）が設けられ
るのが好ましく、収斂の程度は検出器と線源との間の距
離によって決まる。

１６ｓ及び１６ｉのような互いに対向した導体は同じ電
子装置２０に接続される。

トラック１９の各平面上には、２２ｓ又は２２１のよう
なスペーサフレームがある。これらフレームの各々はコ
ンバータ１７と同様に長方形をしており、２つの機能を
果たす。即ち、第１に、コンバータをできるだけ平らに
保持できるように支持し、そして第２に、第５図の垂直
方向においてトラック１９の平面と検出器のより遠い層
との間の間隔を定める。

各フレーム２２ｓ、２２ｉは厚みが例えば約１・　５ｍ
ｍであ０・グラスファイバ〈でづ虫イヒされたエポキシ
樹脂又はステンレスチールのいずれかで構成される。

しかしながら、ステンレススチールを用いる場合には、
トラック１９とフレーム２２ｓ及び２２１は、フレーム
を介して種々のトラックを短絡するのを防止するために
絶縁材で分離される。更に、下部フレーム２２ｉの前縁
は、コンバータに対して影を作るのを防止するように中
性粒子を著しく透過する材料で作られる。

各フレーム２２ｓ、２２ｉの上には、長方形のフレーム
と同様の支持平面２３ｓ又は２３ｉがあり、これらは、
例えば、グラスファイバで強化されたエポキシ樹脂で形
成される。ワイヤ１８は、隣接するフレーム２２ｓ及び
２２ｉから離間された各支持体の面上に貼られ、そして
これらワイヤは互いに電気的に接続されると共に包囲体
１１の外部の電位源子Ｖに接続される。

更に別の平面カソード２４ｓ又は２４ｉが各支持体２３
ｓ又は２３ｉの上に配置され、例えば２４ｐのような適
当な絶縁スタッドによってワイヤ１８から電気的に絶縁
され、そして各カソードはコンバータ１７と実質的に同
じ電位をとる。このようなカソードは任意なものである
が、これらはワイヤ１８の周りに対称的な電界を確立す
るように働き、ひいては、装置の性能を改善するように
作用する。

絶縁プレート２５は、カソード２４ｓをそれが固定され
るブラケット１３から絶縁するために、上部の更に別の
カソード２４ｓ上に配置される。

カソード及びブラケットの電位を互いに且つ例えばアー
ス電位に等しく選択できる限り、プレート２５は任意で
ある。

第５図に示された種々の層で構成されたスタックは、例
えばナイロンのスクリューによってブラケット１５に固
定され、１つの層から別の層への電位の伝達が回避され
る。

第５図について述べた実施例は対称的な組立体に関する
ものであるが、当業者に明らかなように、この実施例に
よる検出器は、第５図のコンパ−タ１７の上下に現われ
る全ての素子を削除して構成することもできる。

第６図は本発明の別の実施例を示しており、この場合、
コンバータ１７は、例えば、タンタルのプレートを切断
することによって得た同一平面素子１７ａ、１７ｂ及び
１７ｃによって構成され、これらの素子は、コンバータ
として働くだけでなく、第４図について述べた１組の収
集トラック１９としても働く。

従って、１７ａ、１７ｂ及び１７ｃのような同一平面素
子は、第４図及び第５図のトラック１９について述べた
のと同じ配置を占有し、これらは互いに電気的に絶縁さ
れ、その各々は２５のような各キャパシタを経てアース
電位に個々に接続され、そしてその各々は２０のような
少なくとも１つの電子回路に個々に接続されるか又はマ
ルチプレクス手段を介して接続される。

本発明の別の実施例においては、２４ｓのような更に別
のカソードの少なくとも１つは、コンバータの至近位置
に配置されるか又はコンバータによって直接構成された
電荷収集トラックに代わって又はそれに加えて電荷収集
トラック１９の平面によって構成される。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の方法を実施するシステムの前面図、 第２図は、第１図のシステムを第１図の矢印２に沿って
見た側面図、 第３図は、第１図のシステムに使用できる検出装置の斜
視図、 第４図は、本発明の方法及び第３図の装置の第１次指令
の動作を説明する理論的な図、第５図は、第３図の装置
の検出サブ組立体の分解図、そして 第６図は、第４図と同様の理論的な図であって、第３図
装置の第２の実施例の作用を示す図である。 １・・・中性粒子源 ２・・・第１コリメータ ３・・・励起ビーム ４　・ ５　・ ６　・ ７　・ ８　・ 検出器 フレーム プレート スロット キャリッジ ・物体 ・ガス収容包囲体 ・検出組立体 ・ブラケット ・平面シート（フラックス） ・導体 ・平面プレート ・ワイヤ ・トラック ・電子装置 Ｆｌ（３，１ ｙＴｌ ＦＩ６．６

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. （１）粒子源によって放射されそして平均方向（１５）
   に対して定められた限定されたアパーチャの立体角内を
   伝播する中性粒子のフラックスに含まれた粒子を検出し
   、位置決めする装置であって、上記平均方向に対してか
   すめて入射するように配置された実質的に平らなソリッ
   ドコンバータ（１７）であって、上記中性粒子が当った
   ときに電荷を形成するのに適したコンバータと、 上記電荷をコンバータの電荷とは異なる電位まで上昇さ
   せそして周囲ガスの刺激イオン化によって電荷を増幅す
   るための電荷増幅手段と、互いに電気的に絶縁され、互
   いに且つ上記コンバータに対して実質的に平行にされ、
   そして上記フラックスの平均方向とでもって上記コンバ
   ータに対して実質的に垂直な平面を各々形成するような
   細長い導線（１９）より成る電荷収集手段と、上記中性
   粒子を透過することができ、上記コンバータと、電荷増
   幅手段と、電荷収集手段と、ガスとを含んでいる包囲体
   （１１）とを具備する装置において、 上記電荷増幅手段は、上記電荷収集導線とは別々の導電
   性ライン（１８）を備えていると共に、上記電荷収集導
   線（１９）は上記コンバータの電位に近い電位に接続さ
   れることを特徴とする装置。
2. （２）上記電荷収集導線は、上記コンバータの少なくと
   も１つの面の至近に配置され、絶縁材料の層（２１）に
   よってそこから分離された請求項１に記載の装置。
3. （３）上記コンバータは、上記電荷収集導線を構成する
   同一平面素子から作られる請求項１に記載の装置。
4. （４）上記電荷増幅ラインは、上記コンバータの平面に
   実質的に平行な少なくとも１つの平面内に配置され、そ
   の各々は、上記電荷収集導線が延びる方向に対して実質
   的に横方行に延びている請求項のいずれかに記載の装置
   。
5. （５）上記電荷収集導線は、中性粒子源（１）に向かっ
   て収斂する請求項のいずれかに記載の装置。
6. （６）上記絶縁材料はポリマーシートより成りそして上
   記電荷収集導線は、上記ポリマーシートにエッチングさ
   れた銅のトラックによって構成される請求項２と前記各
   項の組み合わせによる装置。
7. （７）粒子源によって放射されそして平均方向に対して
   定められた限定されたアパーチャの立体角内を伝播する
   中性粒子のフラックスに含まれた粒子を検出し、位置決
   めする方法であって、上記粒子フラックスの平均方向に
   対してかすめて入射するように配置された実質的に平ら
   なソリッドコンバータ（１７）により上記粒子を受け取
   って上記中性粒子から電荷を形成し、 上記電荷を周囲ガスの刺激イオン化によって増幅し、そ
   して上記粒子フラックスの平均方向（１５）に対して実
   質的に平行な方向に沿って離間された種々の位置におい
   て上記コンバータに実質的に平行な少なくとも１つの平
   面に存在する電荷を収集する段階を具備する方法におい
   て、 上記電荷を収集する動作は、イオン化によって増幅され
   た電荷の極性とは逆の極性を持つ電荷を収集することを
   含むことを特徴とする方法。
8. （８）上記電荷は、粒子フラックスの平均方向に実質的
   に垂直な方向に沿って互いに離間された電荷収集トラッ
   ク（１９）に沿って収集される請求項７に記載の方法。
9. （９）上記電荷は、中性粒子の粒子源（１）に向かって
   収斂する電荷収集トラックに沿って収集される請求項７
   又は８に記載の方法。
10. （１０）上記電荷増幅は、上記コンバータに平行な平面
    内で複数のラインに沿ってコンバータの電位とは異なる
    少なくとも１つの電位（＋Ｖ）を確立することを含む請
    求項７ないし９のいずれかに記載の方法。
11. （１１）上記確立された電位にある上記ライン（１８）
    は、上記電荷収集トラック（１９）が延びる方向に対し
    て実質的に横方行に延びる請求項１０に記載の方法。