JPH02203418A - 光磁気記録用磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光磁気記録磁性体層の上に保護層を形成した光
磁気ディスクに対しても磁界を印加する光磁気記録用磁
気ヘッドに関するものである。

〔従来技術及びその問題点〕

近時、光磁気記録用の磁性体材料が盛んに開発されてい
るが、その−例として希土類金属元素と遷移金属元素か
ら成る非晶質金属合金がある。

この光磁気記録方式においては、集束レーザー光を用い
てビットを書き込んだり、また、読み出しができ、しか
も、書き換えを行うこともできる。

このような書き換えを光変調記録方式により行う場合、
記録と消去を別々に行わねばならず、これにより、光磁
気ディスクを少なくとも２回転させねばならず、そのた
め、リアルタイムで書き換えることはできなかった。

この光変調記録方式に代わって磁界変調記録方式により
書き換えを行うことが提案されており、この方式によれ
ば、オーバーライドが可能となるが、その反面、大きな
バイアス磁界を印加しながら高速でスイッチングできる
磁気ヘッドを用いなければならず、そのため、この磁気
ヘッドは大きなドライブ電流並びに大きなりアクタンス
を有するという点で製作するのが難しい。

かかる事情に鑑み、次善の策として磁気ディスクに一般
的に使われる接触式もしくは浮上式の磁気ヘッドを光磁
気ディスクに応用することが提案されている。

ところで、前記非晶質金属合金層は耐酸化性に劣ってお
り、そのため、この層の上に非磁性無機質薄膜の保護層
を形成し、更に３〜２０μｍの厚みの樹脂保１１ｉを形
成することが一般的に行われている。

しかしながら、このような層構成の光磁気ディスクに対
して、上述した磁気ヘッドを用いた場合、比較的低い表
面硬度の樹脂保護層は摩耗が進行し、ヘンドクラッシュ
をきたすという問題点がある。

〔発明の目的〕 従って本発明は上記事情に鑑みて完成されたものであり
、その目的はヘッドクラッシュ発生を防止できた光磁気
記録用磁気ヘッドを提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明によれば、基板上に少なくとも光磁気配！！磁性
体層及び保護層を順次形成した光磁気ディスクに対応し
て用いられる磁界を印加するための光磁気記録用磁気ヘ
ッドにおいて、前記磁気ヘッドの保護層との接触部表面
に磁気ヘッドを構成するスライダまたはコアのビッカー
ス硬度に比べて小さい硬度を有する固体潤滑層を形成し
たことを特徴とする光磁気記録用磁気ヘッドが提供され
る。

以下、本発明の詳細な説明する。

第１図は本発明磁気ヘッドの概略を示し、第２図はこの
磁気ヘッドが磁界を印加すべき典型的な光磁気ディスク
を示す。

第１図によれば、磁気ヘッドエはスライダ２とコア３か
ら構成され、そして、スライダ２とコア３のそれぞれの
ディスク対向面にはそれぞれ固体潤滑Ｎ４が形成される
。

本発明はスライダ２やコア３のビッカース硬度に比べて
小さい硬度を有する固体潤滑層を形成したことが特徴で
ある。

即ち、−船釣に使われる接触式もしくは浮上式の磁気ヘ
ッドの場合、そのスライダやコアは第１表に示すような
材料から成るとともにビッカース材を膜状に形成したこ
とにより磁気ヘッドに摩耗及び損傷を与えないでヘッド
クラッシュ発生を防止できたことが特徴である。

上記固体潤滑材は磁気ヘッドの電磁変換特性を損なわな
いように非磁性材であるのが望ましい。

このような固体潤滑層の厚みは０．１　μｍ以上、好適
には０．４μｍ以上あるが望ましく、この範囲内であれ
ば磁気ヘッドの長寿命化という点で有利である。

上記のような磁気ヘッドが磁界を印加するための光磁気
ディスクについては、光磁気記録用磁性体層として希土
類金属−遷移金属の非晶質合金やガーネット、ＰｔＭｎ
Ｓｂ合金などが用いられるが、非晶質合金を例に挙げて
層構成を説明する。

第２図は本発明光磁気記録素子の典型的な層構成を示し
ており、基板５の上に誘電体Ｎ６を介して磁性体Ｎ７が
形成され、更に該Ｎ７の上に無機質保護層８及び樹脂保
護Ｎ９が順次形成される。

基板５にはガラス板やプラスチック板が用いられ、この
プラスチック基板用材料としてポリカーボネート系、エ
ポキシ系、アクリル系の樹脂がある。

また、誘電体層６はエンハンスメント効果を高める働き
があり、ｓｉ、ＡＩ、Ｔｉの窒化物、Ｓｔの炭化物、Ｃ
ｄ、Ｚｎの硫化物、Ｍｇのフッ化物、ＡＩ、Ｃｅ、Ｚｒ
、Ｓｔ。

Ｃｄ、Ｂｉの酸化物などにより形成される。

磁性体層７は非晶質垂直磁化膜であって、例えばＧｄＤ
ｙＦｅ、ＧｄＴｂＦｅ、ＴｂＦｅＣｏ、ＤｙＦｅＣｏ、
ＮｄＧｄＤｙＦｅ、ＧｄＴｂ口ｙＦｅ、ＧｄＴｂＦｅＣ
ｏ、ＴｂＤｙＦｅＣｏ、ＧｄＤｙＦｅＣｏ、ＮｄＤｙＦ
ｅＣｏなどがある。

無機質保護Ｎ８はＴ　ｉ＋　Ｃｒ　＋　Ｚ　ｒ　＋　Ｔ
　ａ　＋　Ａ　Ｉなどの耐食性金属もしくはこれらの化
合物又は上記誘電体層６に用いられた同一材料によって
も形成される。

以上の各層６，７．８は公知の薄膜形成手段、例えばス
パッタリング法により形成すればよい。

また、樹脂保護層９については、エポキシ系、ポリエス
テル系、アクリル系、アクリルウレタン系の紫外線硬化
型樹脂により形成するが、必要に応じてその樹脂に固体
もしくは液体の潤滑剤を入れて表面平滑性を向上させる
ことができる。また、紫外線硬化型樹脂を用いる場合、
硬化後に２Ｈ以上の硬度を有する樹脂を用いるのが長寿
命化の点で望ましい。

〔実施例〕

次に本発明の実施例を述べる。

磁気ヘッドには、スライダ材料として焼結チタン酸カル
シウム、コア材料として焼結Ｍｎ−Ｚｎフェライトであ
るコンポジフトヘッドを用いて、第２表に示すように固
体潤滑層を形成しないもの（ＴＩｆ１気ヘッドＡ）並び
に各種固体潤滑層を形成したもの（磁気ヘッドＢ、Ｃ）
を用意した。

磁気ヘッドＢ、Ｃについては、成膜前に被膜面を研摩及
び洗浄し、プラズマ処理を行って膜密着性を高めるよう
にし、そして、モリブデンやテフロン膜をそれぞれター
ゲットとし、スパッタリング法によって固体潤滑層を形
成した。

また、光磁気ディスクについては、１．２ｍｍ　ｘ内溝
付きポリカーボネート樹脂製ディスク基板を高周波三源
マグネトロンスパッタリング装置に配置し、また、この
装置に５ｉＪｎセラミック焼結体を備えた。そして、５
　Ｘ　１０−’Ｔｏｒｒに至るまで十分に真空排気し、
次いで＾ｒガスを３３ｓｅｃｍの流量で導入し、基板に
１００−の電力を印加し、ボンバード処理を行った。然
る後、Ａｒ圧を２．５　Ｘｌ０−’に設定し、印加電力
ＩＫ＆４で５分間プレスパツタし、厚み７５０人の窒化
シリコン層をスパッタリング形成した。

次いでＦｅターゲットの上にＧｄチップとｏｙチップを
配置し、スパッタリング法によって上記窒化シリコン層
の上に厚み６００人のＧｄＤｙＦｅ磁性体層を形成し、
続けて同装置内で酸化チタン保護層を１ｏｏｏ人の厚み
で形成した。

更にアクリル系紫外線硬化型樹脂を上記酸化チタン保護
層の上に５μｍの厚みでスピンコードした。そして、紫
外線を照射し、その樹脂自体を２１１の硬度に設定した
。

かくして得られた光磁気ディスク並びに前記磁気ヘッド
を用いて、コンタクトスタートストップ（Ｃ５Ｓ）耐久
試験を行い、ヘッドクラッシュ発生回数を測定したとこ
ろ、第２表に示す通りの結果が得られた。尚、このＣ８
Ｓ耐久試験は２４０Ｏｒｐｍの回転数、サイクル６０秒
の条件により行った。

〔以下余白〕

第２表 第２表より磁気へラドＢ、Ｃはクラッシュ発生阻止効果
がきわめて大きいことが確認できる。

然るに、磁気ヘッドＡはヘッドクラッシュの発生の阻止
効果が小さいことが判る。

上記実施例においては、二硫化モリブデンやテフロンを
用いてスパッタリングにより固体潤滑層を形成している
が、本発明者等はこれらの材料や成膜法に限定するもの
ではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の材
料または成膜手段を採用できると考える。

〔発明の効果〕

以上の通り、本発明の光磁気記録用磁気ヘッドによれば
、固体潤滑層を形成°しているのでヘッドクラッシュの
発生を有効に防止でき、その結果、長期信鯨性且つ長寿
命の磁気ヘッドを提供することができた。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明光磁気記録用磁気ヘッドの概略図、第２
図は実施例の光磁気ディスクに係る層構成を示す断面図
である。 １・・・磁気ヘッド ２・・・スライダ ３・・・コア ４・・・固体潤滑層 特許出願人　（６６３）京セラ株式会社代表者安城欽寿

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板上に少なくとも光磁気記録磁性体層及び保護
   層を順次形成した光磁気ディスクに対応して用いられる
   磁界を印加するための光磁気記録用磁気ヘッドにおいて
   、前記磁気ヘッドの保護層との接触部表面に磁気ヘッド
   を構成するスライダまたはコアのビッカース硬度に比べ
   て小さい硬度を有する固体潤滑層を形成したことを特徴
   とする光磁気記録用磁気ヘッド。
2. （２）固体潤滑層の厚みが０．１μｍ以上である請求項
   （１）記載の光磁気記録用磁気ヘッド。
3. （３）固体潤滑層が二硫化モリブデンまたはテフロンか
   ら成る請求項（１）記載の光磁気記録用磁気ヘッド。
4. （４）光磁気記録磁性体層が希土類金属元素と遷移金属
   元素との非晶質金属垂直磁化膜である請求項（１）記載
   の光磁気記録用磁気ヘッド。