JPH02198609A - エアクリーン装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、空気中の微粒子を除去するために微粒子除去
用のフィルターを介して空気を循環させ空気清浄を行う
エアクリーン装置に関するものである。

〔従来の技術〕

一般に、半導体集積回路の表面微細加工を要する生産過
程、光ディスクのように微細な塵埃付着が防止されるこ
とを必須要件とする光ディスクの生産過程等においては
、清浄な空気の設備を必要とする。この設備としては、
室全体を清浄化するクリーンルーム、室内の一部空間内
だけをより清浄化するクリーンブース、室内の作業面だ
けをより清浄化するクリーンベンチがある。

従来のクリーンルームの一例としては、第２図に示すも
のがある。これは、壁１で外界と遮断して形成された室
２の床面３の側方に微粒子除去のための吸引用フィルタ
ー４と、室２の天井に同じく微粒子除去のための吹出用
フィルター５を設けたものである。そして、空気を矢印
Ａで示すように吸引用フィルター４、吹出用フィルター
５を介して強制的に循環させる。この循環によって空気
中の微粒子が夫々フィルター４，５によって除去され、
室２内の空気が清浄される。第３図は、従来の他の例で
あって、床３をメツシュ状とし、床下の側方に吸引用フ
ィルター４を設けたものである。これは、空気の流れと
共に、塵埃を床下に落し、床３から塵埃が再び舞上って
しまうことを防止している。

従来は、空気の清浄度の向上を図るためには空気の循環
量、回数を増すだけでは十分でな（フィルターを多段と
したり、フィルターの目を細かくする等の方法を採用し
たエアクリーン装置を用いていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、上述した従来のエアクリーン装置では、
空気の循環量、回数を増すと室２内の空気流速が大きく
なり作業がやり難くなるという問題点があった。しかも
、空気の循Ｎ量が大きくなると室２内の温度、湿度等の
空調が困難になるという問題点もあった。一方、フィル
ターの目を細かくすることは限界があり、超微粒子の除
去は困難であった。フィルターを多段にした場合は、風
量の損失が大きくなり空気循環用に大きなブロアーを必
要とした。

床３をメツシュ状にするものにあっては、超微粒子の除
去は不可能であった。しかも、室２の高さが減少され利
用性が損われるという問題点があった。また、重量の大
きな物品を置くことができない、液体を用いる装置を取
入れることが不可能である等の問題点があった。更には
、床下の保守、修理がめんどうであった。

そこで、本発明は、このような問題点に鑑みなされたも
のであり、簡単な構成で空気中の微粒子を除去し、用途
制限のないエアクリーン装置を提供することを目的とす
る。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成させるための本発明は、微粒子除去用の
フィルターを介して空気を循環させ空気清浄を行うエア
クリーン装置において、水をはった床面を具備して成る
ことを特徴とするエアクリーン装置に係るものである。

〔作　　用〕

本発明は、上記構成において、フィルターを介して循環
される空気中の塵埃が、水に捕獲される。

そして、捕獲された塵埃は水中に留まる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図に基づいて説明するが
、従来装置と同一部分は同一符号を付してその説明を省
略する。室２内には、天井に設けた吹出用フィルター５
を介して空気が送られるようになっている。６は室２内
に設けた水をはった床面である。この床面ば、受皿７と
水８によって形成されている。９は受皿７中に配した支
持台であって、例えば電鋳槽等の装置１０が載置される
ようになっている。

次に、上記の構成による本発明装置の動作を説明する。

室２内には、矢印Ａで示すように吹出用フィルター５を
介して空気が送られ、室２内を上部から下部へと吹き下
ろす。この吹き下ろされた空気中の微粒子の塵埃は、床
面６の水８に吸着捕獲される。この空気の流速は、通常
０．５　ｍ　／　ｓ〜Ｑ、１ｍ／ｓの範囲内であるため
水面に到達した塵埃は、反１８することなく十分に水中
に捕獲される。

そして、水は次第に蒸発するが、塵埃は再び空気中に戻
ることがない。また、装置１０は、支持台９によって支
持されているため、水８に濡れることがない。

なお、本発明においては、受皿７中の水９を強制循環さ
せ、この循環系路中にフィルター及び殺菌用紫外線ラン
プを設置することにより、水９を常時、清浄に保つよう
にしてもよい。この場合、水面が流れているため、塵埃
の吸着力が増大するものである。

なお、また本発明においては、受皿７中の水９の量を一
定に保持するために補給水機構を設けてもよい。この補
給水機構は、空気の流量と室温によって、水９の蒸発量
がほぼ予測できるため、単純に予測される一定水量を補
給する構成のものでよい。

なお、更に本発明においては、従来の床３をメツシュ状
にしたものにおいて、床３下に水９をはる構成にしても
よく、この場合は、クリーンルームのような大面積のも
のに好適である。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、フィルターでは除去が十
分にできない微粒子を確実に除去できるため、フィルタ
ーの負担を増大させる必要がなく構成が簡単なエアクリ
ーン装置を提供することができる。また、本発明によれ
ば室内の利用率を低減することなく空気清浄効果を増大
させることができ、しかも重量の大きな装置、液体を用
いる装置を設置できるエアークリーン装置が得られる等
、種々の効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すエアクリーン装置を適
用したクリーンルームの説明図、第２図は従来装置を適
用したクリーンルームの一例を示す説明図、第３図は従
来装置を通用したクリーンルームの他の例を示す説明図
である。 ２・・・室、５・・・吹出用フィルター、６・・・床面
、７・・・受皿、８・・・水、９・・・支持台、ｌＯ・
・・装置。 特許出願人　　日本ビクター株式会社 代表者　垣木邦夫 第１図 第２図 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 微粒子除去用のフィルターを介して空気を循環させ空気
   清浄を行うエアクリーン装置において、水をはった床面
   を具備して成ることを特徴とするエアクリーン装置。