JPH02198427A

JPH02198427A - 液晶空間光変調器およびその駆動方法

Info

Publication number: JPH02198427A
Application number: JP1913889A
Authority: JP
Inventors: Hideki Asada; 秀樹浅田
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1989-01-27
Filing date: 1989-01-27
Publication date: 1990-08-06
Anticipated expiration: 2010-05-31
Also published as: JPH0750280B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は光情報処理に用いられる液晶空間光変調器とそ
の駆動方法に関する。

（従来の技術）液晶空間光変調器は２次元の光情報を並列同時処理でき
ることから、並列光論理素子、あるいは画像演算素子に
応用することができ、将来光コンピュータを構築する上
で重要なキーデバイスとなる可能性を秘めている。

第６図（ａ）、（ｂ）はそれぞれ従来の液晶空間光変調
器の構造と、等価回路を示す図である。従来の液晶空間
変調器は第６図（ａ）に示すように、透明電極Ａ６０１
と、光導電体層６０２と、遮光膜６０３と、反射膜６０
４とが形成されたガラス基板Ａ６０５と、透明電極Ｂ６
０６が形成されたガラス基板Ｂ６０７どの間にネマティ
ック液晶６０８を挟持し、交流電源６０９が図のように
接続された構造となっている。ネマティック液晶は、通
常ライスティド・ネマティック（以下ＴＮと略記する）
モードが採用されておりツイスト配向が施される。第６
図（ａ）においてツイスト配向を得るための配向処理材
の層は省略されている。液晶空間光変調器の動作には直
接関与しないためである。

等価回路は第６図（ｂ）に示すごとく、光導電体層の抵
抗６１２と、液晶層の抵抗６１３が交流電源で直列に接
続されたものとなる。光導電体層の抵抗は入力光の強度
により、その抵抗値が変化する為可変抵抗で示されてい
る。

以下に上記液晶空間光変調器の動作原理と駆動方法につ
いて説明する。

第６図において、入力光６１０が照射された時とされな
い時の光導電体層抵抗６１２をそれぞれ明抵抗Ｒｐｈ、
暗抵抗Ｒｄとし、また液晶層の抵抗６１３をＲＬＣとす
ると、Ｒｐｈ、　Ｒｄ、　ＲＬＣの間には次の関係が成
立するように選ばれている。

Ｒｐｈ＜＜　　ＲＬＣ＜＜　　Ｒｄ　　　（１）従って
、入力光が照射されない時は交流電源６０９から供給さ
れる印加電圧の大部分は光導電体層に加わり、液晶層に
は電気光学効果は生じない。逆に入力光が照射された時
は光導電体層の抵抗が下がり印加電圧の大部分は液晶層
に加わり液晶はスイッチングされる。すなわち入力光の
０Ｎ１０ＦＦにより液晶を０Ｎ１０ＦＦさせることがで
き、光入出力システムが成立する。

第６図（ａ）に示すように入力光６１０はガラス基板Ａ
側から入力され、出力光６１１は、ガラス基板Ｂ側がら
照射した光が反射膜によって反射された光で読み出され
る。この際液晶空間光変調器の両サイドに設置された偏
光板Ａ６１４と偏光板Ｂ６１５は両者の偏光方向が一致
した平衡ニコルか、もしくは直交したクロスニフルに設
定されており、前者の場合において、入力光を照射した
時出力光が明るい状態を示すブライト・トウルー・ロジ
ック（Ｂｒｉｇｈｔ　ＴｒｕｅＬｏｇｉｃ、以下ＢＴＬ
と表す）となり、また後者の場合においては入力光を照
射した時出力光が暗い状態を示すダーク・トウルー・ロ
ジック（Ｄａｒｋ　Ｔｒｕｅ　Ｌｏｇｉｃ、以下ＤＴＬ
と表す）となる。

光コンピュータを構築する上で鍵を握る素子は光双安定
素子であると言われている。光双安定素子とは光入出力
系において、ある入力状態に対し出力光として安定状態
が２つ存在する素子のことを言う。そして光双安定素子
を発展させ、より具体的な光機能素子としたものの１つ
に光フリツプフロツプ素子が挙げられる。

液晶空間光変調器を用いて光フリツプフロツプ素子を作
ることができる。第７図は前記液晶空間光変調器を用い
たセット・リセット（Ｓ−Ｒ）光フリツプフロツプ素子
の従来の実現方法をを示したものである（ＡＰＰＬＩＥ
Ｄ　０ＰＴＩＣ８ｖｏｌ、　２．　Ｎｏ、　１３（１９
８４）ｐｐ。

２１６３）。この方法では液晶空間光変調器Ａ７０１と
、液晶空間光変調器Ｂ７０２の２つの液晶空間光変調器
を用いている。セット光信号１１４を液晶空間光変調器
Ａに、リセット光信号１１３を液晶空間光変調器Ｂに入
力する。そして、液晶空間光変調器Ａの出力光はグラン
トントンプソンプリズム７０３、ハーフミラ−７０４を
介して、一部は出力光Ｑ７１１として取り出され、一部
は液晶空間光変調器Ｂの読み出し光として用いられる。

その読み出しによって読み出された液晶空間光変調器Ｂ
の出力光はミラー７０５、偏光板Ｂ７０９、ミラーＣ７
０７の光学系を用いてフィードバック光としてセット光
信号に加えることにより、Ｓ−Ｒ光フリップフロップ素
子を実現している。この光フリップフロップ素子は、セ
ット光信号、リセット光信号をパルスで与えることで液
晶の状態を切り替えることができ、光記憶素子として直
接利用することができる。

（発明が解決しようとする課題）以上説明した従来の液晶空間光変調器を用いたＳ−Ｒ光
フリップフロップ素子においては、液晶材料にネマティ
ック液晶が用いられている。ネマティック液晶の電気光
学応答時間は数十〜数百ｍ５ｅｃであり、前記液晶空間
光変調器の応答時間はネマティック液晶の応答時間に律
速される。すなわち従来型の液晶空間光変調器は応答時
間が数十〜数百ｍ５ｅｃと遅く、液晶空間光変調器を用
いて、より高速に光情報処理を実行する上で上記問題は
大きなネックとなっている。

また液晶空間光変調器を用いた光フリップフロップの従
来の実現方法においては、液晶空間光変調器を２個必要
とし、出力光Ｑをセット光信号にフィードバックさせる
方法を採用している。この方法では液晶空間光変調器を
２個必要とする他、さらに光フィードバックのために、
グラントンプソンプリズム１個、ハーフミラ−１個、ミ
ラー３個を要し、またそれらを設置するための空間と、
フィードバック光路確保のための空間を要する。これは
素子を大型にし、また製造コストを高くする要因となっ
ている。

強誘電性カイラルスメクテイツク液晶は、ネマティック
液晶に比べて電界に対し高速に応答する。すなわちネマ
ティック液晶が数十〜数百ｍ５ｅｃの応答時間を有する
のに対し、強誘電性液晶はそれよりも２〜３桁速い数十
〜数百ｐｓｅｃという高速応答性を示す。従って液晶空
間光変調器の液晶材料として強誘電性液晶を採用すれば
、数十〜数百ｐｓｅｃで応答する高速な液晶空間光変調
器を実現することが可能である。さらに強誘電性液晶は
高速性という特徴の外に電気光学双安定性という特徴も
合わせ持っており、その効果を利用すれば光フイードバ
ツクシステムを必要としないＳ−Ｒ光フリップフロップ
素子を実現することができる。

しかしなから、ＴＮ液晶が電界の０Ｎ１０ＦＦでスイッ
チングするのに対し、強誘電性液晶は反転でスイッチす
るため、従来の液晶空間光変調器の構造では強誘電性液
晶をスイッチングすることはできない。

本発明は従来技術の上記問題点を解消した高速応答が可
能で小型、低コストな液晶空間光変調器、及びその駆動
方法を提供することを目的としている。

（課題を解決するための手段）本発明の液晶空間光変調器は、１つあるいは複数の画素
電極と、その画素電極の異なる端部にそれぞれ形成され
た第１、第２の光導電体層と、前記画素電極と接触する
ことなく前記第１、第２の光導電体層をそれぞれ覆うよ
うに形成された第１、第２の導電性遮光膜と、から成る
第１の透明絶縁基板と、対向電極が形成された第２の透
明絶縁基板と、の間に強誘電性液晶を挟持し、前記対向
電極に対し前記第１、第２の導電性遮光膜がそれぞれ逆
バイアスとなるように第１、第２の直流電源を接続した
ことを特徴とする。

また、１つあるいは複数の画素電極と、その画素電極の
異なる端部にそれぞれ形成された第１、第２の光導電体
層と、前記画素電極と接触することなく前記第１、第２
の光導電体層をそれぞれ覆うように形成された第１、第
２の導電性遮光膜と、から成る第１の透明絶縁基板と、
対向電極が形成された第２の透明絶縁基板と、の間に強
誘電性液晶を挟持し、前記対向電極に対し前記第１、第
２の導電性遮光膜がそれぞれ逆バイアスとなるように第
１、第２の直流電源を接続した液晶空間光変調器の駆動
方法において、前記第１、第２の光導電体層の一方に、
前記第２の透明絶縁基板側からセット光パルス信号を入
力し、前記第１、第２の光導電体層の他方に、前記第２
の透明絶縁体基板側からリセット光パルス信号を入力し
、読み出し光として前記第１の透明絶縁基板側から照射
することを特徴とする液晶空間光変調器の駆動方法であ
る。

（作用）本発明の液晶空間光変調器、対向電極を基準とした場合
、セット光信号を入力した時と、リセット光信号を入力
した時とで、画素電極の電位が反転する構造になってお
り、強誘電性液晶のスイッチングをセット光信号とリセ
ット光信号で制御することができる。また、セット光信
号、リセット光信号が共に入力されていない時は画素電
極の電位はＯｖであり、強誘電性液晶は電気光学双安定
性を有しているので、セット光信号、リセット光信号を
入力した時の状態を保持することができる。

故に液晶空間光変調器を用いた高速なＳ−Ｒ光フリップ
フロップ素子を実現することができ、より高速に光情報
を処理することができる。さらにそのＳ−Ｒ光フリップ
フロップ素子は液晶空間光変調器１個のみで実現するこ
とができるだけでなく、光フイードバツクシステムを必
要としない為、液晶空間光変調器を用いたなＳ−Ｒ光フ
リップフロップ素子の小型化、低コスト化も図ることが
できる。

（実施例）以下に本発明の実施例を詳細に説明する。

（実施例１）第１図は本発明の液晶空間光変調器の一実施例を示す図
である。第１図（ａ）はその液晶空間光変調器の断面構
造を示している。本実施例においては画素数は１である
。画素電極１０１と、その画素電極の端部を覆うように
形成した光導電体層ＡｌＯ２と、前記画素点と接触する
ことなく前記光導電体層Ａを覆うように形成した導電性
遮光膜ＡｌＯ３と、前記画素電極の端部と異なる端部を
覆うように形成した光導電体層Ｂ１０４と、前記画素電
極と接触することなく前記光導電体層Ｂを覆うように導
電性遮光膜Ｂ１０５となら成るガラス基板Ａ１０６と、
対向電極１０７を形成したガラス基板Ｂ１０８との間に
強誘電性液晶１０９を挾んだ構造になっている。外部電
源は対向電極に対し、導電性遮光膜Ａ、　Ｂがそれぞれ
負バイアス、正バイアスになるように直流電源Ａ１１０
と直流電源Ｂ１１１が接続されている。

強誘電性液晶に電気光学双安定性を持たせるために、セ
ルギャブはスペーサ１１２によって、１．５ｐｍ程度に
制御されている。

ここで本発明の液晶空間光変調器の心臓部とも言える光
導電体層が形成されたガラス基板Ａの平面図と断面図を
それぞれ第２図（ａ）、（ｂ）に示しておく。

本実施例においては、光導電体層ＡｌＯ２、及び光導電
体層Ｂ１０４は、画素電極１０１の一辺を共有する角の
部分に形成されており、導電性遮光膜ＡｌＯ３、及び導
電性遮光膜Ｂ１０５はそれぞれ光導電体層Ａ及び光導電
体層Ｂを覆うように形成されている。なお、光導電体層
ＡｌＯ２、及び光導電体層Ｂ１０４は対角部分に形成し
てもよく、２つの層が重ならなければよい。

線分ＡＢによりガラス基板Ａ１０６を切断した時の断面
図を同図（ｂ）に示す。前記光導電体材料としてａ−８
ｉ：　Ｈを採用した。ａ−８ｉ：　Ｈを採用した理由は
前記ａ−８ｉ：　Ｈ材料が光導電体材料としては高速応
答性を示すことと、可視光領域で高感度を持つからであ
る。可視光領域で高感度を示すということはつまり、可
視画像を処理できる液晶空間光変調器につながる。前記
光導電体層として硫化亜鉛（ＺｎＳ）、酸化亜鉛（Ｚｎ
Ｏ）、硫化カドミウム（ＣｄＳ）、セレン（Ｓｅ）を用
いることも可能である。

光導電体層Ａ、及びＢは画素電極及び導電性遮光膜Ａ、
　Ｂとオーミック接触させるために、ｎ＋層２ｏ１−Ｒ
２０２−ｎ＋層２０３の３層構造とし、また導電性遮光
膜はＣｒ２Ｏ４を用いたが、Ａ１を適用することも可能
である。また前記ガラス基板Ａ上に形成された光導電体
層Ａ１及びＢは第２図（ｂ）に於ける中心線２０５に対
し対称に作製されており、両者とも全く同じ光導電特性
を示す。

第１図（ｂ）は本発明の液晶空間光変調器の等価回路を
示す図である。光導電体層Ａの抵抗１１９、及び光導電
体層Ｂの抵抗１２０は、それぞれリセット光信号１１３
、及びセット光信号１１４の０Ｎ１０ＦＦにより、その
抵抗値が変化するため、可変抵抗で示されている。また
、液晶層は抵抗１２１と容量１２２の並列接続で示され
ることがわかっており、第１図（ｂ）に示すように接点
Ａ、　Ｂの間に接続されている。

以下に本発明の液晶空間光変調器の動作原理を第１図（
ｂ）の等価回路を用いて説明する。

液晶層の抵抗をＲＬＣ−リセット光信号を光導電体層Ａ
に照射した時の光導電体層Ａの抵抗をＲｐｈａ、照射し
ない時の光導電体層Ａの抵抗をＲｄａ、セット光信号抵
抗層を光導電体層Ｂに照射した時の光導電体層Ｂの抵抗
をＲｐｈｂ、照射しない時の光導電体層Ｂの抵抗をＲｄ
ｂとすると、次の関係が成立するように各層の膜厚、及
び不純物濃度が選定されていることを前提とする。

Ｒｐｈａ：Ｒｐｈｂ＜＜ＲＬＣ＜＜Ｒｄａ：Ｒｄｂ（２
）また直流電源Ａ、及び直流電源Ｂの電圧は等しくｖＢ
とする。

以下、前記条件のもとで、セット光信号が照射された時
、リセット信号が照射された時、セット光信号、リセッ
ト光信号共に照射されていない時の３つの状態において
、強誘電性液晶層に加わる電圧を求める。

（ａ）セット光信号が照射された時セット光信号が光導電体層Ｂに照射されると、液晶層に
印加される電圧はＡを基準とすると、前記等価回路と（
２）式より＋■Ｂｖとなる。

（ｂ）リセット光信号が照射された時リセット光信号が光導電体層Ａに照射されると、液晶層
に印加される電圧はＡ点を基準とすると、前記等価回路
と（２）式より、−ｖＢｖとなる。

（Ｃ）セット光信号、リセット光信号共に照射されてい
ない時セット光信号、リセット光信号が共に照射されていない
時、液晶層に印加される電圧は前記等価回路と（２）式
より、ＯＶとなる。

従って、セット光信号、リセット光信号によって液晶層
に加わる電界を正負に切り替えることができ、電界の反
転でスイッチングを起こす強誘電性液晶を駆動すること
ができる。

以上の動作原理より、第１図（ａ）において、リセット
光信号１１３をガラス基板Ａ側から光導電体層Ａに照射
し、セット光信号１１４をガラス基板Ａ側から光導電体
層Ｂに照射し、読み出し光１１５を偏光板Ａ１１７、液
晶空間光変調器、偏光板Ｂ１１８の順に透過させ、それ
を出力光とすればセット光信号、リセット光信号によっ
て制御される光出力を得ることができる。この際液晶空
間光変調器の両サイドに設置された偏光板Ａと偏光板Ｂ
はクロスニコルに設定されている。

次に本実施例の液晶空間光変調器の駆動方法を第３、第
４図を用いて以下に説明する。

第３図（ａ）〜（ｄ）は本実施例液晶空間光変調器の光
入出力特性を図解解法した図である。（ａ）、（ｂ）図
、及び（Ｃ）、（ｄ）図はそれぞれ前記したＢＴＩ、及
びＤＴＬの場合を示しており、これはクロスニコルに設
定されている前記偏光板Ａ、及び偏光板Ｂを強誘電性液
晶のティルト角、４５度だけ回転することにより相互に
変換することができる。

第３図（ａ）において、ｘ−ｙ平面、及びｘ−ｙ平面は
同一平面上にあり、液晶印加電圧のセットリセット光強
度依存性示し、またｙ−ｚ平面は出力光強度の液晶印加
電圧依存性を示している。

ｘ−ｙ平面において、セット光信号強度の増加に対し、
液晶印加電圧はＯｖから＋■Ｂｖまではほぼ直線的に変
化する。また、ｆ−ｙ平面において、リセット光信号強
度の増加に対し、液晶印加電圧は０■から−ｖＢｖまで
ほぼ直線的に変化する。一方、本実施例の液晶空間光変
調器においては、強誘電性液晶は電気光学双安定性を示
す為、液晶の電気光学特性はｙ−ｚ平面に示すごとくな
る。

以上第３図（ａ）の３次元座標から、ｘ−ｚ平面、及び
ｘ−ｚ平面を同一平面上に表し、セット・リセット光入
出力特性を求めると、第３図（ｂ）に示すように、セッ
ト光信号、リセット光信号が共に照射されていない時、
出力光が２つの安定状態を持っている、一種の光双安定
状態が実現される。

またＤＴＬの場合は第３図（ｅ）の３次元座標から同様
にして第３図（ｄ）の光入出力特性が得られる。

第４図は第３図（ｂ）、（ｄ）に示すセット・リセット
光入出力特性を示す本実施例の液晶空間変調器の光応答
特性を示す図である。

本実施例では、セット時間外、及びセット時間外におい
ては、セット光信号、リセット光信号共に遮断されてお
り、その間液晶印加電圧は０■であり、電気光学双安定
性を有する強誘電性液晶は前の状態を保持している。セ
ット時間においては、第４図（ａ）に示すようなセット
光信号を第１図（ａ）のガラス基板Ａ側から光導電体層
Ｂに入力する。セット光パルスがＯＦＦになった後も出
力光は第４図（Ｃ）に示す様次にリセット光パルスが入
力されるまでのＴ１の期間、セット時の状態保持する。

リセット時間においては、第４図（ｂ）に示すようなリ
セット光信号を第１図（ａ）のガラス基板Ａ側から光導
電体層Ａに入力する。リセット光パルスがＯＦＦになっ
た後も出力光は第４図（Ｃ）に示す様に次にセット光パ
ルスが入力されるまでのＴ２期間、リセット時の状態を
保持する。

一方、ＤＴＬの場合、第４図（ａ）、（ｂ）のセット・
リセット光信号を入力すると第４図（ｄ）に示すごとく
第４図（Ｃ）の出力光が反転した光応答が得られる。

以上のように本実施例の液晶空間光変調器においては、
セット・リセット光入出力特性が光双安定性を示し、前
記駆動方法によりセット光パルス、リセット光パルスで
出力光の状態を切り替えることができる。また光パルス
幅は２００ｐｓｅｃで十分強誘電性液晶をスイッチング
することができ、高速動作も得られる。なお、ＢＴＬ、
　ＤＴＬが２枚の偏光板を４５度回転するだけで容易に
得られることは本液晶空間光変調器を光論理素子に適用
する場合非常に有利な点である。

（実施例２）第５図（ａ）、（ｂ）は本発明の液晶空間光変調器の一
実施例を示す図である。前記実施例１においては画素数
は１であるが、本実施例は画素数を１６（４Ｘ４）画素
にした場合の例を示す。

第５図（ａ）は画素電極１０１と、光導電体層ＡｌＯ２
と光導電体層Ｂ１０４と、導電性遮光膜ＡｌＯ３、及び
導電性遮光膜Ｂ１０５が形成されたガラス基板Ａ１０６
を画素電極側から見た平面図である。また第５図（ｂ）
は画素電極周辺の拡大図であり、導電性遮光膜Ａ、及び
Ｂの下にそれぞれ形成されている光導電体層Ａ、及び光
導電体層Ｂも示している。

第５図（ａ）において、画素電極の左上の角に光導電体
層Ａを覆うように形成された導電性遮光膜Ａは接続端子
Ａ３０１に接続され、また画素電極の左下の角に光導電
体層Ｂを覆うように形成された導電性遮光膜Ｂは接続端
子Ｂ５０２に接続されている。さらに接続端子Ａ、及び
接続端子Ｂはそれぞれ対向電極と直流電源Ａ１１０、及
び直流電源Ｂ１１１を介して第５図（ａ）に示すバイア
ス方向で接続されている。

また第５図（Ｂ）において線分ＡＢでガラス基板Ａを切
断した際の断面図は実施例１に於ける第２図（ｂ）と同
様である。

本実施例においては個々の画素がそれぞれ独立して第１
図（ｂ）に示す等価回路で表され、故に個々の画素を独
立して駆動することができる。すなわち本実施例は実施
例１に比べ、並列処理能力に優れている。

（発明の効果）以上説明したように本発明の液晶空間光変調器を適用す
れば、光フィードバックを必要としない、ただ１個の液
晶空間光変調器で構成されるＳ−Ｒ光フリップフロップ
を実現することができる。これは従来光フイードバツク
システムで必要としたグラントンプソンプリズム、ミラ
ー等の光学部品を必要とせず、またフィードバック光路
の空間を排除することができ、さらに液晶空間光変調器
を１個分削除することができることから、液晶空間光変
調器を用いたＳ−Ｒ光フリップフロップ素子の小型化、
低コスト化をはかることができる。

また本発明の液晶空間光変調器においては自由らいの液
晶空間光変調器に比べて、２〜３桁速い応答速度が得ら
れ、より高速な光情報処理を実行することが可能となる
。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）、（ｂ）、第２図（ａ）、（ｂ）は本発明
の実施例１の液晶空間光変調器の概略図、第３図（ａ）
〜（ｄ）、４図（ａ）〜（ｄ）は本発明の実施例１の駆
動方法を示す図、第５図（ａ）、（ｂ）は本発明の実施
例２の液晶空間光変調器の概略図、第６図（ａ）、（ｂ
）は従来型の液晶空間光変調器の概略図、第７図は従来
型の液晶空間光変調器を用いたＳ−Ｒ光フリップフロッ
プ素子の概略図である。図において、１０１・・・画素電極、１０２・・・光導
電体層Ａ、１０３・・・導電性遮光膜Ａ、　１０４・・
・光導電体層Ｂ、１０５・・・導電性遮光膜Ｂ、　１０
６・・・ガラス基板Ａ、　１０７・・・対向電極、１０
８・・・ガラス基板Ｂ、１０９・・・強誘電性液晶、１
１０・・・直流電源Ａ、１１１・・・直流電源Ｂ、１１
３・・・リセット光信号、１１４・・・セット光信号、
１１５・・・読み出し光、１１６・・・出力光、１１７
・・・偏光板Ａ、１１８・・・偏光板Ｂ、６０１・・・
透明電極Ａ、６０２・・・光導電体層、６０３・・・遮
光膜、６０４・・・反射膜、６０５・・・ガラス基板Ａ
、６０６・・・透明電極Ｂ、６０７・・・ガラス基板Ｂ
、　６０８・・・ネマティック液晶、６０９・・・交流
電源、６１０・・・入力光、６１１・・・出力光、６１
４・・・偏光板Ａ、６１５・・・偏光板Ｂ、７０１・・
・液晶空間光変調器Ａ、７０２・・・液晶空間変調器Ｂ
、　７０３・・・グラントンプソンプリズム、７０４・
・・ハーフミラ−１７０５・・・ミラーＡ、　７０６・
・・ミラーＢ、７０７・・・ミラーＣ，７０８・・・偏
光板Ａ、　７０９・・・偏光板Ｂ、７１０・・・出力光
Ｑ、７１１・・・出力光Ｑ、である。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）１つあるいは複数の画素電極と、その画素電極の
異なる端部にそれぞれ形成された第１、第２の光導電体
層と、前記画素電極と接触することなく前記第１、第２
の光導電体層をそれぞれ覆うように形成された第１、第
２の導電性遮光膜と、から成る第１の透明絶縁基板と、
対向電極が形成された第２の透明絶縁基板と、の間に強
誘電性液晶を挟持し、前記対向電極に対し前記第１、第
２の導電性遮光膜がそれぞれ逆バイアスとなるように第
１、第２の直流電源を接続したことを特徴とする液晶空
間光変調器。
（２）１つあるいは複数の画素電極と、その画素電極の
異なる端部にそれぞれ形成された第１、第２の光導電体
層と、前記画素電極と接触することなく前記第１、第２
の光導電体層をそれぞれ覆うように形成された第１、第
２の導電性遮光膜と、から成る第１の透明絶縁基板と、
対向電極が形成された第２の透明絶縁基板と、の間に強
誘電性挟持し、前記対向電極に対し前記第１、第２の導
電性遮光膜がそれぞれ逆バイアスとなるように第１、第
２の直流電源を接続した液晶空間光変調器の駆動方法に
おいて、前記第１、第２の光導電体層の一方に、前記第
２の透明絶縁基板側からセット光パルス信号を入力し、
前記第１、第２の光導電体層の他方に、前記第２の透明
絶縁基板側からリセット光パルス信号を入力し、読み出
し光として前記第１の透明絶縁基板側から照射すること
を特徴とする液晶空間光変調器の駆動方法。