JPH02197568A

JPH02197568A - 縦型基板ホルダ

Info

Publication number: JPH02197568A
Application number: JP1578389A
Authority: JP
Inventors: Kenji Ikuno; 生野　賢治
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 1989-01-25
Filing date: 1989-01-25
Publication date: 1990-08-06

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）この発明は円板状基板を保持する縦型基板ホルダに関す
るものであって、特に真空蒸着装置、スパッタ装置、Ｃ
ＶＤ装置に用いられるものである。

（従来の技術）従来の縦型基板ホルダは第６図及び第７図に示されてい
る。これらの図において、縦型の板状ホルダ本体ｌＯに
は円形の穴１０ａが設けられ、その穴１０ａの周縁には
、面取り加工により大部分が斜面となった皿部ＩＩが形
成されている。そして、その皿部１１の下半分側には３
個の茸形状のホールド部材１２ａ　　１２ｂＳ　１２ｃ
が所定の間隔をおいて螺子１３によって螺着され、板状
ホルダ本体１０と各茸形状のホールド部材１２ａ　　１
２ｂ、１２ｃとの間で凹部１４がそれぞれ形成されてい
る。各凹部１４には円形の穴１０ａの径より大きい径を
もった円板状基板１５の端部が各茸形状のホールド部材
１２ａ、１２ｂ、１２ｃと係止するように挿置され、そ
して、円板状基板１５が円形の穴１０ａを塞ぐように保
持されている。

なお、円板状基板の保持の解除は円板状基板１５の端部
を凹部より抜きだすことによってなされる。

（発明が解決しようとする課題）従来の縦型基板ホルダは、上記のように円板状基板１５
の端部が各茸形状のホールド部材１２ａ。

１２ｂＳ　１２ｃと係止するように各凹部１４に挿置さ
れるが、各茸形状のホールド部材１２ａ、１２ｂＳ　１
２ｃの加工精度や、螺子１３による螺着位置の精度等に
よって、円板状基板１５の端部が各茸形状のホールド部
材１２ａ、１２ｂ、１２ｃと同時に係止せず、一部のホ
ールド部材にのみ係止するようになるため、円板状基板
１５の保持が不安定になり、時には円板状基板１５の落
下事故が発生する等の問題があった。

この発明は、上記のような従来の問題を解決して、円板
状基板の保持を安定させて、円板状基板が落下しない縦
型基板ホルダを提供することを目的とするものである。

（課題を解決するための手段）上記目的を達成するために、この発明の縦型基板ホルダ
は、縦型の板状ホルダ本体に円形の穴を設け、この穴周
縁の板状ホルダ本体の表面を面取り加工して、そこに板
状ホルダ本体の表面から穴の上端までの加工深さが穴の
下端までの加工深さより深くなった傾斜面付表面皿部を
形成すると共に、穴周縁の板状ホルダ本体の裏面も面取
り加工して、そこに、表面皿部とは反対をなす、板状ホ
ルダ本体の裏面から穴の上端までの加工深さが穴の下端
までの加工深さより浅くなった傾斜面付裏面皿部を形成
し、更に、表面皿部と裏面皿部との間の面取り加工のさ
れていない穴の下部内壁に凹状溝を円弧状に形成すると
共に、穴の上部内壁の表面皿部側を切欠いて、そこに切
欠き部を形成し、板状ホルダ本体の表面から切欠き部ま
での深さを板状ホルダ本体の表面から凹状溝までの距離
より大きくし、表面皿部より、穴の径より大きい径をも
った円板状基板の下方の端部を凹状溝に挿置して、その
円板状基板の上方の端部を切欠き部にもたれかかるよう
に係止させて、円板状基板を傾斜して保持することを特
徴としている。

なお、上記傾斜面付表面皿部は、切欠き部周囲において
、円板状基板の下方の端部を凹状溝に挿置することを容
易にする落し込み用面取り加工面を有していることが好
ましく、また、上記穴の軸線は板状ホルダ本体の表面及
び裏面に対して傾斜していることが好ましい。

（実施例）以下、この発明の実施例について図面を参照しながら説
明する。

第１図〜第３図はこの発明の第１実施例を示しており、
これらの図において、縦型の板状ホルダ本体りには、穴
の軸線が板状ホルダ本体の表面１ａ及び裏面１ｂに対し
て傾斜した多数の円形の穴１ｃが所定の間隔をおいて設
けられ、穴１ｃの周縁の板状ホルダ本体１の表面１ａを
面取り加工して、そこに板状ホルダ本体１の表面１ａか
ら穴ＩＣの上端までの加工深さが穴１ｃの下端までの加
工深さより深くなった傾斜面付表面皿部２ａが形成され
ていると共に、穴１ｃの周縁の板状ホルダ本体１の裏面
ｉｂも面取り加工して、そこに、表面皿部２ａとは反対
をなす、板状ホルダ本体の裏面１ｂから穴１ｃの上端ま
での加工深さが穴１ｃの下端までの加工潔さより浅（な
った傾斜面付裏面皿部２ｂが形成されている。そして、
表面皿部２ａと裏面皿部２ｂとの間の面取り加工のされ
ていない穴１ｃの下部内壁には凹状溝３が円弧状に形成
されていると共に、穴１ｃの上部内壁の表面皿部２ａ側
が切欠かれて、そこに切欠き部４が形成されている。そ
して、板状ホルダ本体ｌの表面ｌａから切欠き部４まで
の深さが、板状ホルダ本体１の表面１ａから凹状溝３ま
での距離より大きくなっている。表面皿部２ａは、切欠
き部４の周囲において、面取り加工され、そこに落し込
み用面取り加工面２ａ＋が形成されている。そのため、
第３図に示すように、穴１ｃの径より大きい径をもった
円板状基板５のの下方の端部を表面皿部２ａ側より凹状
溝３に挿置して、その円板状基板５の上方の端部を切欠
き部４にもたれかかるように係止させ、円板状基板５を
板状ホルダ本体ｌで傾斜して保持す・る場合には、円板
状基板５の下方の端部の凹状溝３への挿置が容易になる
。

次に、第４図及び第５図はこの発明の第２実施例を示し
ている。この第２実施例は、第１実施例のように表面皿
部２ａの切欠き部４周囲に落し込み用面取り加工面２ａ
、を形成する代りに、表面皿部２ａの上方部をその下方
部より段差をもって深くし、円板状基板５の下方の端部
の凹状溝３への挿置を容易にしたものである。

なお、上記第１及び第２実施例では、穴の軸線を板状ホ
ルダ本体の表面１ａ及び裏面１ｂに対して傾斜させてい
るが、その代りに、穴の軸線を板状ホルダ本体の表面１
ａ及び裏面１ｂに対して垂直にしてもよい。また、第２
実施例のように、表面皿部２ａの上方部をその下方部よ
り段差をもって深くする代りに、連続的に深くして、第
１実施例の落し込み用面取り加工面２ａ、かないように
してもよい。

（発明の効果）この発明は、上記のように表面皿部側より、穴の径より
大きい径をもった円板状基板の下方の端部を凹状溝に挿
置させ、その円板状基板の上方の端部を切欠き部にもた
れかかるように係止させ、それによって、円板状基板を
傾斜して保持するようにしているので、円板状基板の保
持が安定して、円板状　基板の落下が防止されるように
なる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図はこの発明の第１実施例を示しおり、第
１図は断面図、第２図は第１図のＩ−Ｉ線よりみたとき
の矢視図、第３図は円板状基板を保持してるときの断面
図である。第４図はこの発明の第１実施例の断面図、第
５図は第４図のｎ−■線よりみたときの矢視図である。第６図は従来の縦型基板ホルダの断面図、第７図は従来
の縦型基板ホルダの平面図である。図中、１・・・１ａ・・・ｔｂ・・・ｌｃ・・・２息・・・２ａ　　・・２ｂ・・・３・・・４・・・５・・・・・・板状ホルダ本体・・・板状ホルダ本体の表面・・・板状ホルダ本体の裏面・・・穴・・・表面皿部・・・落し込み用面取り加工面・・・裏面皿部・・・凹状溝・・・切欠き部・・・円板状基板特許出願人　日本真空技術株式会社第２図第３図第５図

Claims

【特許請求の範囲】１、縦型の板状ホルダ本体に円形の穴を設け、この穴周
縁の板状ホルダ本体の表面を面取り加工して、そこに板
状ホルダ本体の表面から穴の上端までの加工深さが穴の
下端までの加工深さより深くなった傾斜面付表面皿部を
形成すると共に、穴周縁の板状ホルダ本体の裏面も面取
り加工して、そこに、表面皿部とは反対をなす、板状ホ
ルダ本体の裏面から穴の上端までの加工深さが穴の下端
までの加工深さより浅くなった傾斜面付裏面皿部を形成
し、更に、表面皿部と裏面皿部との間の面取り加工のさ
れていない穴の下部内壁に凹状溝を円弧状に形成すると
共に、穴の上部内壁の表面皿部側を切欠いて、そこに切
欠き部を形成し、板状ホルダ本体の表面から切欠き部ま
での深さを板状ホルダ本体の表面から凹状溝までの距離
より大きくし、表面皿部側より、穴の径より大きい径を
もった円板状基板の下方の端部を凹状溝に挿置して、そ
の円板状基板の上方の端部を切欠き部にもたれかかるよ
うに係止させ、それによって、円板状基板を傾斜して保
持することを特徴とする縦型基板ホルダ。２、上記傾斜面付表面皿部は、切欠き部周囲において、
円板状基板の下方の端部を凹状溝に挿置することを容易
にする落し込み用面取り加工面を有していることを特徴
とする請求項１記載の縦型基板ホルダ。３、上記穴の軸線は板状ホルダ本体の表面及び裏面に対
して傾斜していることを特徴とする請求項１又は２記載
の縦型基板ホルダ。