JPH02184205A - 磁気浮上制御装置 - Google Patents
磁気浮上制御装置Info
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- JPH02184205A JPH02184205A JP63333415A JP33341588A JPH02184205A JP H02184205 A JPH02184205 A JP H02184205A JP 63333415 A JP63333415 A JP 63333415A JP 33341588 A JP33341588 A JP 33341588A JP H02184205 A JPH02184205 A JP H02184205A
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- 238000005339 levitation Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims abstract description 66
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 32
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0444—Details of devices to control the actuation of the electromagnets
- F16C32/0451—Details of controllers, i.e. the units determining the power to be supplied, e.g. comparing elements, feedback arrangements with P.I.D. control
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0459—Details of the magnetic circuit
- F16C32/0461—Details of the magnetic circuit of stationary parts of the magnetic circuit
- F16C32/0463—Details of the magnetic circuit of stationary parts of the magnetic circuit with electromagnetic bias, e.g. by extra bias windings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2326/00—Articles relating to transporting
- F16C2326/10—Railway vehicles
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
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- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は磁気浮上制御装置に係わり、特に、励磁電流
制御手段を改良したものに関する。
制御手段を改良したものに関する。
（従来の技術）
近年、工作機械の高精度化に伴い、スピンドルロータを
超高速回転させるために磁気軸受型スピンドルが用い゛
られたり、或いは半導体製造工場などの特殊環境下で、
無接触的に物品を搬送させるために磁気浮上搬送装置が
用いられたり、さらには回転翼を有するロータを磁気浮
上させ、これを固定翼間で高速回転させて高真空を得る
磁気浮上式ターボ分子ポンプが用いられるようになって
きている。
超高速回転させるために磁気軸受型スピンドルが用い゛
られたり、或いは半導体製造工場などの特殊環境下で、
無接触的に物品を搬送させるために磁気浮上搬送装置が
用いられたり、さらには回転翼を有するロータを磁気浮
上させ、これを固定翼間で高速回転させて高真空を得る
磁気浮上式ターボ分子ポンプが用いられるようになって
きている。
上述のような磁気軸受型スピンドルロータ、磁気浮上搬
送装置の搬送浮上体あるいは磁気浮上式ターボ分子ポン
プのロータ等の浮上体を浮上保持する−手段として、所
定の間隔を保ち、かつ対向して配置された一対の電磁石
間に浮上体を位置させ、両型磁石の磁力を制御して浮上
体を所定位置に浮上保持するように構成されている。
送装置の搬送浮上体あるいは磁気浮上式ターボ分子ポン
プのロータ等の浮上体を浮上保持する−手段として、所
定の間隔を保ち、かつ対向して配置された一対の電磁石
間に浮上体を位置させ、両型磁石の磁力を制御して浮上
体を所定位置に浮上保持するように構成されている。
第７図は、このような従来例の概略構成の示されている
ブロック図であって、浮上体として磁気軸受型スピンド
ルのロータが示されている。すなわち、ロータ１の直径
方向に所定の間隔を保って一対の電磁石Ｍ４．Ｍ２が対
向して配置されているとともに、これら電磁石Ｍ ４．
Ｍ２には励磁コイルＣ，，Ｃ２が巻回され、かつそれら
励磁コイルＣ，，Ｃ２にそれぞれパワーアンプＡ Ｉ
ｒ Ａ２から励磁電流が供給されるように構成されてい
る。
ブロック図であって、浮上体として磁気軸受型スピンド
ルのロータが示されている。すなわち、ロータ１の直径
方向に所定の間隔を保って一対の電磁石Ｍ４．Ｍ２が対
向して配置されているとともに、これら電磁石Ｍ ４．
Ｍ２には励磁コイルＣ，，Ｃ２が巻回され、かつそれら
励磁コイルＣ，，Ｃ２にそれぞれパワーアンプＡ Ｉ
ｒ Ａ２から励磁電流が供給されるように構成されてい
る。
このように構成された磁気浮上制御装置において、制御
信号Ｓ１が一方のパワーアンプＡ１の加算回路ａ１に、
また他方のパワーアンプＡ２の減算回路ａ２に人力され
ると、一方のコイルＣ１は増幅回路ａ３から基準の磁力
を発生させるためのバイアス磁束を得るバイアス電圧Ｅ
ｂと、これに制御信号Ｓ、の値が加算された励磁電流が
供給され、また、他方のコイルＣ２には増幅回路ａ４か
らバイアス電圧Ｅｂから制御信号Ｓ１の値の減算された
励磁電流が供給される。
信号Ｓ１が一方のパワーアンプＡ１の加算回路ａ１に、
また他方のパワーアンプＡ２の減算回路ａ２に人力され
ると、一方のコイルＣ１は増幅回路ａ３から基準の磁力
を発生させるためのバイアス磁束を得るバイアス電圧Ｅ
ｂと、これに制御信号Ｓ、の値が加算された励磁電流が
供給され、また、他方のコイルＣ２には増幅回路ａ４か
らバイアス電圧Ｅｂから制御信号Ｓ１の値の減算された
励磁電流が供給される。
したがって、制御信号Ｓ１により一方の電磁石Ｍ１の磁
束が増加した分だけ他方の電磁石Ｍ２の磁束が減少し、
また、一方の電磁石Ｍ１の磁束が減少した分だけ他方の
電磁石Ｍ２の磁束が増加してロータ１を所定位置に浮上
保持することができる。
束が増加した分だけ他方の電磁石Ｍ２の磁束が減少し、
また、一方の電磁石Ｍ１の磁束が減少した分だけ他方の
電磁石Ｍ２の磁束が増加してロータ１を所定位置に浮上
保持することができる。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、上記従来の磁気浮上体制御装置にあって
は、一対の電磁石Ｍ、、Ｍ２それぞれにパワーアンプＡ
Ｉ ＋ Ａ２が設けられるように構成されているため
、制御装置本体が大型化、複雑化してコスト高になると
いう問題点があった。
は、一対の電磁石Ｍ、、Ｍ２それぞれにパワーアンプＡ
Ｉ ＋ Ａ２が設けられるように構成されているため
、制御装置本体が大型化、複雑化してコスト高になると
いう問題点があった。
特に、制御装置本体におけるパワーアンプの容積の割合
は約半分であり、またその重量の割合は７割りを占めて
いるという問題点があった。
は約半分であり、またその重量の割合は７割りを占めて
いるという問題点があった。
（課題を解決するための手段）
本発明は上記課題を解決するために成されたものであっ
て、その構成は工作機械の磁気軸受型スピンドルのロー
タ、磁気浮上搬送装置の搬送浮上体あるいは磁気浮上式
ターボ分子ポンプのロータ等の浮上体と、前記浮上体を
浮上保持するように対向して配置された一対の電磁石と
、前記電磁石の磁束を調整して磁力を制御する励磁制御
手段とからなる磁気浮上制御装置において、 前記一対の電磁石に基準磁束を発生させる手段と、 前記一対の電磁石の一方の電磁石の基準磁束を増加させ
る方向に巻回された第１の励磁コイルと、前記一対の電
磁石の他方の電磁石の基準磁束を減少させる方向に巻回
され、かつ前記の第１の励磁コイルと直列に接続された
第２の励磁コイルと、前記両励磁コイルに制御電流を供
給するパワーアンプとが具備されていることを特徴とす
るものである。
て、その構成は工作機械の磁気軸受型スピンドルのロー
タ、磁気浮上搬送装置の搬送浮上体あるいは磁気浮上式
ターボ分子ポンプのロータ等の浮上体と、前記浮上体を
浮上保持するように対向して配置された一対の電磁石と
、前記電磁石の磁束を調整して磁力を制御する励磁制御
手段とからなる磁気浮上制御装置において、 前記一対の電磁石に基準磁束を発生させる手段と、 前記一対の電磁石の一方の電磁石の基準磁束を増加させ
る方向に巻回された第１の励磁コイルと、前記一対の電
磁石の他方の電磁石の基準磁束を減少させる方向に巻回
され、かつ前記の第１の励磁コイルと直列に接続された
第２の励磁コイルと、前記両励磁コイルに制御電流を供
給するパワーアンプとが具備されていることを特徴とす
るものである。
（作用）
本発明は、対向して配置された一対の電磁石間に直列に
接続された励磁コイルの一端からパワーアンプの出力が
供給されると、一方の電磁石の磁束が増加したとき他方
の電磁石の磁束は減少し、また一方の電磁石の磁束が減
少したとき他方の電磁石の磁束は増加するように作用す
る。
接続された励磁コイルの一端からパワーアンプの出力が
供給されると、一方の電磁石の磁束が増加したとき他方
の電磁石の磁束は減少し、また一方の電磁石の磁束が減
少したとき他方の電磁石の磁束は増加するように作用す
る。
（実施例）
以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明する。なお
、従来と同一構成要素には同一符号を付して説明する。
、従来と同一構成要素には同一符号を付して説明する。
第１図は、本発明の第１の実施例の概略構成を示すブロ
ック図であって、浮上体として磁気軸受型スピンドルの
ロータ１が示されている。このロータ１の直径方向には
所定の間隔を保って一対の電磁石Ｍ、、Ｍ２が配置され
、これら両型磁石Ｍ７１Ｍ２間に基準電圧＋Ｖを付加し
、基準磁力を発生させるための磁束、すなわちバイアス
磁束φ３、φ、を得るためのコイルＣ８Ｉ＋ＣＯ２が直
列に接続されているとともに、これら磁束の向きが図示
の矢印のように同方向となるように巻回されている。
ック図であって、浮上体として磁気軸受型スピンドルの
ロータ１が示されている。このロータ１の直径方向には
所定の間隔を保って一対の電磁石Ｍ、、Ｍ２が配置され
、これら両型磁石Ｍ７１Ｍ２間に基準電圧＋Ｖを付加し
、基準磁力を発生させるための磁束、すなわちバイアス
磁束φ３、φ、を得るためのコイルＣ８Ｉ＋ＣＯ２が直
列に接続されているとともに、これら磁束の向きが図示
の矢印のように同方向となるように巻回されている。
Ａは周知のアナログ或いはディジタル式（例えばＰＷＭ
方式）から構成されるパワーアンプであって、その出力
端には両電磁石Ｍ、、Ｍ２に直列に配線されて巻回され
た励磁コイルＣＩ ｔ Ｃ２が接続され、この励磁コイ
ルの終端は抵抗Ｒを介して接地されているとともに、こ
の抵抗Ｒの上端側（励磁コイルＣ２側）は励磁電流（磁
束に相当する）を電圧として検出しパワーアンプＡに負
帰還されている。当然のことながら、この励磁制御方法
に限らず他の方法であってもよい。
方式）から構成されるパワーアンプであって、その出力
端には両電磁石Ｍ、、Ｍ２に直列に配線されて巻回され
た励磁コイルＣＩ ｔ Ｃ２が接続され、この励磁コイ
ルの終端は抵抗Ｒを介して接地されているとともに、こ
の抵抗Ｒの上端側（励磁コイルＣ２側）は励磁電流（磁
束に相当する）を電圧として検出しパワーアンプＡに負
帰還されている。当然のことながら、この励磁制御方法
に限らず他の方法であってもよい。
励磁コイルＣ１及びＣ２の電磁石Ｍ１及びＭ２への巻回
方向は、電磁石Ｍ１にあってはバイアス磁束φ３に励磁
コイルＣ４によるφ１が加算（増加）されるように、ま
た電磁石Ｍ２にあってはバイアス磁束φ４から励磁コイ
ルＣ２による磁束φ２が減算（減少）されるように巻回
されている。
方向は、電磁石Ｍ１にあってはバイアス磁束φ３に励磁
コイルＣ４によるφ１が加算（増加）されるように、ま
た電磁石Ｍ２にあってはバイアス磁束φ４から励磁コイ
ルＣ２による磁束φ２が減算（減少）されるように巻回
されている。
以上のように構成される本実施例の動作を第２図の波形
図を参照して説明する。
図を参照して説明する。
今、第２図（ａ）に示されるような値の制御信号Ｓ１が
パワーアンプＡに入力されると、電磁石Ｍ１には同図（
ｂ）の斜線で示される磁束が発生する。すなわち、コイ
ルＣｏ１によるバイアス磁束φ３に制御信号Ｓ１の電圧
に対応して励磁コイルＣ１によって生じた磁束φ、が加
算された磁束（φ１＋φ３）が発生し、この磁束による
磁力によってロータ１が吸引される。一方、電磁石Ｍ２
には同図（Ｃ）に示されるように、コイルＣ８２による
バイアス磁束φ４から制御信号Ｓ１の電圧に対応して励
磁コイルＣ２によって生じた磁束φ２が減算された磁束
（φ４−φ２）が発生し、この磁束による磁力によって
ロータ１が吸引される。
パワーアンプＡに入力されると、電磁石Ｍ１には同図（
ｂ）の斜線で示される磁束が発生する。すなわち、コイ
ルＣｏ１によるバイアス磁束φ３に制御信号Ｓ１の電圧
に対応して励磁コイルＣ１によって生じた磁束φ、が加
算された磁束（φ１＋φ３）が発生し、この磁束による
磁力によってロータ１が吸引される。一方、電磁石Ｍ２
には同図（Ｃ）に示されるように、コイルＣ８２による
バイアス磁束φ４から制御信号Ｓ１の電圧に対応して励
磁コイルＣ２によって生じた磁束φ２が減算された磁束
（φ４−φ２）が発生し、この磁束による磁力によって
ロータ１が吸引される。
なお、制御信号Ｓ１が負に転じた時は電磁石Ｍ、ではバ
イアス磁束φ３から励磁コイルＣ１による磁束φ、が減
算され、一方、電磁石Ｍ２ではバイアス磁束φ４に励磁
コイルＣ２による磁束φ２が加算されるように作用する
。
イアス磁束φ３から励磁コイルＣ１による磁束φ、が減
算され、一方、電磁石Ｍ２ではバイアス磁束φ４に励磁
コイルＣ２による磁束φ２が加算されるように作用する
。
以上の動作から明らかなように、単独のパワーアンプＡ
で、一方の電磁石Ｍ、の磁束が増加した時、その増加分
に見合う磁束が他方の電磁石Ｍ２から減少し、逆に、一
方の電磁石Ｍ１の磁束が減少したときその減少分に見合
う磁束が他方の電磁石Ｍ２の磁束が増加するように作用
する。
で、一方の電磁石Ｍ、の磁束が増加した時、その増加分
に見合う磁束が他方の電磁石Ｍ２から減少し、逆に、一
方の電磁石Ｍ１の磁束が減少したときその減少分に見合
う磁束が他方の電磁石Ｍ２の磁束が増加するように作用
する。
第３図は、本発明の第２の実施例に係わるブロック図で
あって、上記第１の実施例と相違する点は、両電磁石Ｍ
−１，Ｍ−２のバイアス磁束を永久磁石によって得るよ
うしている点である。
あって、上記第１の実施例と相違する点は、両電磁石Ｍ
−１，Ｍ−２のバイアス磁束を永久磁石によって得るよ
うしている点である。
従って、上記第１の実施例のようにコイルｃ。
＋＋ＣＯＩを必要とせず、より装置を簡略化できる利益
がある。
がある。
第４図は本発明の第３の実施例を示すブロック図であっ
て、上記第１図の第１の実施例と相違する点は、一方の
電磁石Ｍ１のバイアス磁束を上記第７図の従来例と同じ
く加算回路ａ、で発生させるとともに、他方の電磁石Ｍ
２のバイアス磁束を上記第１図と同様に基準電圧によっ
て発生させている点である。
て、上記第１図の第１の実施例と相違する点は、一方の
電磁石Ｍ１のバイアス磁束を上記第７図の従来例と同じ
く加算回路ａ、で発生させるとともに、他方の電磁石Ｍ
２のバイアス磁束を上記第１図と同様に基準電圧によっ
て発生させている点である。
従って、パワーアンプＡの入力端には加算回路ａ１の出
力側が接続されていて、このＡにはバイアス電圧Ｅｂか
らのバイアス電流ｉｂと制御信号Ｓ１の加算された信号
Ｓ２が入力されている。また、電磁石Ｍ２にはコイルＣ
８２が巻回されていて、この巻回方向は励磁コイルＣ２
によって発生する磁束φ２′方向と基準電圧＋Ｖの電流
■ｏによって生じる磁束φ、と反対向きになるように巻
回されている。
力側が接続されていて、このＡにはバイアス電圧Ｅｂか
らのバイアス電流ｉｂと制御信号Ｓ１の加算された信号
Ｓ２が入力されている。また、電磁石Ｍ２にはコイルＣ
８２が巻回されていて、この巻回方向は励磁コイルＣ２
によって発生する磁束φ２′方向と基準電圧＋Ｖの電流
■ｏによって生じる磁束φ、と反対向きになるように巻
回されている。
この実施例の動作を第５図の波形図を参照して説明する
。今、加算回路ａ、に第５図（ａ）に示されるような制
御信号Ｓ１が入力され、これとバイアス電流Ｌｂとが加
算された信号Ｓ２がパワーアンプＡに入力されると、パ
ワーアンプＡからは同図（ｂ）に示される励磁電流ｉが
励磁コイルＣ１、Ｃ２へ出力される。このため、この励
磁電流ｉによって一方の電磁石Ｍ１には同図（Ｃ）に示
されるような磁束φ′１が発生する。この磁束φ′、に
はバイアス電流ｉｂによる磁束（バイアス磁束）φｂに
制御信号Ｓｔに対応した磁束の加算されたものであり、
一方、他方の電磁石Ｍ２には同図（ｄ）に示されるよう
な磁束が発生する。この磁束は基準電流ＩＯによって発
生する磁束φ４から制御電流ｉによって発生した磁束φ
′２を減算した値（φ４−φ゛２）となり、一方の電磁
石Ｍｌの増、減に対応して減、増した磁束が発生する。
。今、加算回路ａ、に第５図（ａ）に示されるような制
御信号Ｓ１が入力され、これとバイアス電流Ｌｂとが加
算された信号Ｓ２がパワーアンプＡに入力されると、パ
ワーアンプＡからは同図（ｂ）に示される励磁電流ｉが
励磁コイルＣ１、Ｃ２へ出力される。このため、この励
磁電流ｉによって一方の電磁石Ｍ１には同図（Ｃ）に示
されるような磁束φ′１が発生する。この磁束φ′、に
はバイアス電流ｉｂによる磁束（バイアス磁束）φｂに
制御信号Ｓｔに対応した磁束の加算されたものであり、
一方、他方の電磁石Ｍ２には同図（ｄ）に示されるよう
な磁束が発生する。この磁束は基準電流ＩＯによって発
生する磁束φ４から制御電流ｉによって発生した磁束φ
′２を減算した値（φ４−φ゛２）となり、一方の電磁
石Ｍｌの増、減に対応して減、増した磁束が発生する。
この実施例の特長は、同図（ｂ）から明らかなように、
制御信号Ｓ１の正負に関係なく、励磁電流ｉの流れる向
きが常に正方向であるため、回路構成を簡略化できる点
である。
制御信号Ｓ１の正負に関係なく、励磁電流ｉの流れる向
きが常に正方向であるため、回路構成を簡略化できる点
である。
第６図は、本発明の第４の実施例に係わるブロック図で
あって、上記第４図の実施例と異なる点は、他方の電磁
石Ｍ−２のバイアス磁束を永久磁石によって得るようし
た点にある。
あって、上記第４図の実施例と異なる点は、他方の電磁
石Ｍ−２のバイアス磁束を永久磁石によって得るようし
た点にある。
従って、第４図の実施例の利益、すなわち制御電流ｉを
正方向に維持できることに加えて、バイアス磁束発生も
簡略化できるので、より簡略化された構成とすることが
できる。
正方向に維持できることに加えて、バイアス磁束発生も
簡略化できるので、より簡略化された構成とすることが
できる。
（効果）
本発明は、上述のように浮上体を中心に対向して配置さ
れた一対の電磁石間に、直列に接続された励磁コイルを
、一方の電磁石には基準のバイアス磁束を増加させる方
向に、他方の電磁石には基準のバイアス磁束を減少させ
る方向に巻回させ、この励磁コイルの一端にパワーアン
プを接続するように構成したので、パワーアンプを単一
とすることができる。
れた一対の電磁石間に、直列に接続された励磁コイルを
、一方の電磁石には基準のバイアス磁束を増加させる方
向に、他方の電磁石には基準のバイアス磁束を減少させ
る方向に巻回させ、この励磁コイルの一端にパワーアン
プを接続するように構成したので、パワーアンプを単一
とすることができる。
このため、パワーアンプは従来の半分で済み、制御装置
本体を小型化、簡略化することができ、低コストに製造
することができる等の効果を有することができる。
本体を小型化、簡略化することができ、低コストに製造
することができる等の効果を有することができる。
第１図は本発明の第１の実施例に係わるブロック図、第
２図は第１の実施例の動作の波形図、第３図は本発明の
第２の実施例に係わるブロック図。 第４図は本発明の第３の実施例に係わるブロック図、第
５図は第３の実施例の動作の波形図１体６図は本発明の
第４の実施例に係わるブロック図及び第７図は従来の概
略構成を示すブロック図である。 １・・・ロータ（浮上体） ＭＨ、Ｍ２ 、Ｍｌ−、Ｍ２ ”・・・電磁石Ａ・・・
パワーアンプ Ｃ，、Ｃ２・・・励磁コイル （ａ） ｒ （ａ） （ｂ）
２図は第１の実施例の動作の波形図、第３図は本発明の
第２の実施例に係わるブロック図。 第４図は本発明の第３の実施例に係わるブロック図、第
５図は第３の実施例の動作の波形図１体６図は本発明の
第４の実施例に係わるブロック図及び第７図は従来の概
略構成を示すブロック図である。 １・・・ロータ（浮上体） ＭＨ、Ｍ２ 、Ｍｌ−、Ｍ２ ”・・・電磁石Ａ・・・
パワーアンプ Ｃ，、Ｃ２・・・励磁コイル （ａ） ｒ （ａ） （ｂ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、工作機械の磁気軸受型スピンドルのロータ、磁気浮
上搬送装置の搬送浮上体あるいは磁気浮上式ターボ分子
ポンプのロータ等の浮上体と、前記浮上体を浮上保持す
るように対向して配置された一対の電磁石と、前記電磁
石の磁束を調整して磁力を制御する励磁制御手段とから
なる磁気浮上制御装置において、 前記一対の電磁石に基準磁束を発生させる手段と、 前記一対の電磁石の一方の電磁石の基準磁束を増加させ
る方向に巻回された第１の励磁コイルと、前記一対の電
磁石の他方の電磁石の基準磁束を減少させる方向に巻回
され、かつ前記の第１の励磁コイルと直列に接続された
第２の励磁コイルと、 前記両励磁コイルに制御電流を供給するパワーアンプと
、 が具備されていることを特徴とする磁気浮上制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63333415A JPH02184205A (ja) | 1988-12-29 | 1988-12-29 | 磁気浮上制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63333415A JPH02184205A (ja) | 1988-12-29 | 1988-12-29 | 磁気浮上制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02184205A true JPH02184205A (ja) | 1990-07-18 |
Family
ID=18265857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63333415A Pending JPH02184205A (ja) | 1988-12-29 | 1988-12-29 | 磁気浮上制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02184205A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5565722A (en) * | 1992-05-19 | 1996-10-15 | Forschungszentrum Julich Gmbh | Magnetic bearing control system |
| JP2010268552A (ja) * | 2009-05-13 | 2010-11-25 | Saitama Univ | 磁気浮上装置 |
| WO2013103095A1 (ja) * | 2012-01-06 | 2013-07-11 | 株式会社 島津製作所 | センサレス磁気浮上式真空ポンプおよびセンサレス磁気浮上装置 |
-
1988
- 1988-12-29 JP JP63333415A patent/JPH02184205A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5565722A (en) * | 1992-05-19 | 1996-10-15 | Forschungszentrum Julich Gmbh | Magnetic bearing control system |
| JP2010268552A (ja) * | 2009-05-13 | 2010-11-25 | Saitama Univ | 磁気浮上装置 |
| WO2013103095A1 (ja) * | 2012-01-06 | 2013-07-11 | 株式会社 島津製作所 | センサレス磁気浮上式真空ポンプおよびセンサレス磁気浮上装置 |
| JP2013142408A (ja) * | 2012-01-06 | 2013-07-22 | Shimadzu Corp | センサレス磁気浮上式真空ポンプおよびセンサレス磁気浮上装置 |
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