JPH021712U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH021712U JPH021712U JP15183788U JP15183788U JPH021712U JP H021712 U JPH021712 U JP H021712U JP 15183788 U JP15183788 U JP 15183788U JP 15183788 U JP15183788 U JP 15183788U JP H021712 U JPH021712 U JP H021712U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- outputs
- signal
- signal processing
- processing means
- circuit
- Prior art date
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- Pending
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 14
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 8
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 8
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 claims description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
Description
第1図は本考案の自動焦点調節装置を備えたI
C検査用顕微鏡を信号処理系のブロツク図と共に
示す概略図、第2図はイメージセンサ上の光像と
その電気信号処理の様子を説明するための説明図
、第3図、第4図及び第5図は本考案と従来の装
置を比較するため試料のパターンとこれに対応す
る各回路の出力を波形で示す図、第6図は本考案
の装置の各回路に現われる波形図であり、第7図
は公知技術の回路構成と本願考案の回路構成とに
ついての処理信号の比較説明図であり、Aは公知
技術の回路構成を示しBは本願考案による回路構
成を示す。 主要部分の符号の説明、6a……第1の受光素
子、6b……第2の受光素子、12a〜15a;
12b〜15b……信号処理系、21……差動増
巾器、25……サーボモーター、18,19a,
19b……自動利得制御手段、13a,13b…
…周波数成分を取り出す手段、14a,15a;
14b,15b……第1と第2の信号を出力する
手段。
C検査用顕微鏡を信号処理系のブロツク図と共に
示す概略図、第2図はイメージセンサ上の光像と
その電気信号処理の様子を説明するための説明図
、第3図、第4図及び第5図は本考案と従来の装
置を比較するため試料のパターンとこれに対応す
る各回路の出力を波形で示す図、第6図は本考案
の装置の各回路に現われる波形図であり、第7図
は公知技術の回路構成と本願考案の回路構成とに
ついての処理信号の比較説明図であり、Aは公知
技術の回路構成を示しBは本願考案による回路構
成を示す。 主要部分の符号の説明、6a……第1の受光素
子、6b……第2の受光素子、12a〜15a;
12b〜15b……信号処理系、21……差動増
巾器、25……サーボモーター、18,19a,
19b……自動利得制御手段、13a,13b…
…周波数成分を取り出す手段、14a,15a;
14b,15b……第1と第2の信号を出力する
手段。
補正 平1.1.23
考案の名称を次のように補正する。
考案の名称 自動焦点調節装置
実用新案登録請求の範囲、図面の簡単な説明を
次のように補正する。
次のように補正する。
【実用新案登録請求の範囲】
1 被観察試料の像を形成するための光学系と、
該光学系による結像点の後方及び前方にそれぞ
れ配置され該像に対応する光像を光電変換する第
1と第2の受光素子と、 該第1及び第2の受光素子の出力を各々処理し
て、それぞれに対応する第1及び第2の信号を出
力する信号処理手段を有する信号処理系と、 該信号処理手段からの第1と第2の出力に基づ
いて差動増幅を行なう差動増幅手段と、 該差動増幅手段の信号に基づいて駆動されるサ
ーボモーターとを有する自動焦点調節装置におい
て、 前記差動増幅手段は、前記信号処理手段からの
前記第1及び第2出力の和の信号を出力する和算
回路と、前記第1及び第2出力をそれぞれ前記和
算回路の出力によつて割算する割算回路と、該割
算回路からの第1及び第2出力に対応する両出力
の差を出力する差動増幅回路とを有することを特
徴とする実用新案登録請求の範囲第1項記載の自
動焦点調節装置。 2 前記信号処理手段は、所定の基準信号を発生
する基準信号発生回路と、前記和算回路からの信
号と前記基準信号発生手段からの信号とを比較す
る比較回路とを有し、前記比較回路の出力によつ
て自動焦点調節の制限を行なうことを特徴とする
実用新案登録請求の範囲第1項記載の自動焦点調
節装置。 3 前記被観察試料の像を形成するための光学系
は、前記第1及び第2受光素子上にそれぞれ形成
される光像の大きさを焦点調節がなされた状態に
おいてほぼ等しくするための倍率補正部材を有す
ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第1
項乃至第2項のいずれか1項に記載の自動焦点調
節装置。
れ配置され該像に対応する光像を光電変換する第
1と第2の受光素子と、 該第1及び第2の受光素子の出力を各々処理し
て、それぞれに対応する第1及び第2の信号を出
力する信号処理手段を有する信号処理系と、 該信号処理手段からの第1と第2の出力に基づ
いて差動増幅を行なう差動増幅手段と、 該差動増幅手段の信号に基づいて駆動されるサ
ーボモーターとを有する自動焦点調節装置におい
て、 前記差動増幅手段は、前記信号処理手段からの
前記第1及び第2出力の和の信号を出力する和算
回路と、前記第1及び第2出力をそれぞれ前記和
算回路の出力によつて割算する割算回路と、該割
算回路からの第1及び第2出力に対応する両出力
の差を出力する差動増幅回路とを有することを特
徴とする実用新案登録請求の範囲第1項記載の自
動焦点調節装置。 2 前記信号処理手段は、所定の基準信号を発生
する基準信号発生回路と、前記和算回路からの信
号と前記基準信号発生手段からの信号とを比較す
る比較回路とを有し、前記比較回路の出力によつ
て自動焦点調節の制限を行なうことを特徴とする
実用新案登録請求の範囲第1項記載の自動焦点調
節装置。 3 前記被観察試料の像を形成するための光学系
は、前記第1及び第2受光素子上にそれぞれ形成
される光像の大きさを焦点調節がなされた状態に
おいてほぼ等しくするための倍率補正部材を有す
ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第1
項乃至第2項のいずれか1項に記載の自動焦点調
節装置。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の自動焦点調節装置を備えたI
C検査用顕微鏡を信号処理系のブロツク図と共に
示す概略図、第2図はイメージセンサ上の光像と
その電気信号処理の様子を説明するための説明図
、第3図、第4図及び第5図は本考案と従来の装
置を比較するため試料のパターンとこれに対応す
る各回路の出力を波形で示す図、第6図は本考案
の装置の各回路に現われる波形図であり、第7図
は公知技術の回路構成と本願考案の回路構成とに
ついての処理信号の比較説明図であり、Aは公知
技術の回路構成を示しBは本願考案による回路構
成を示す。 主要部分の符号の説明、6a……第1の受光素
子、6b……第2の受光素子、12a〜15a;
12b〜15b……信号処理系、21……差動増
幅器、25……サーボモーター、18,19a,
19b……自動利得制御手段、13a,13b…
…周波数成分を取り出す手段、14a,15a;
14b,15b……第1と第2の信号を出力する
手段。
C検査用顕微鏡を信号処理系のブロツク図と共に
示す概略図、第2図はイメージセンサ上の光像と
その電気信号処理の様子を説明するための説明図
、第3図、第4図及び第5図は本考案と従来の装
置を比較するため試料のパターンとこれに対応す
る各回路の出力を波形で示す図、第6図は本考案
の装置の各回路に現われる波形図であり、第7図
は公知技術の回路構成と本願考案の回路構成とに
ついての処理信号の比較説明図であり、Aは公知
技術の回路構成を示しBは本願考案による回路構
成を示す。 主要部分の符号の説明、6a……第1の受光素
子、6b……第2の受光素子、12a〜15a;
12b〜15b……信号処理系、21……差動増
幅器、25……サーボモーター、18,19a,
19b……自動利得制御手段、13a,13b…
…周波数成分を取り出す手段、14a,15a;
14b,15b……第1と第2の信号を出力する
手段。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 被観察試料の像を形成するための光学系と、 該光学系による結像点の後方及び前方にそれぞ
れ配置され該像に対応する光像を光電変換する第
1と第2の受光素子と、 該第1及び第2の受光素子の出力を各々処理し
て、それぞれに対応する第1及び第2の信号を出
力する信号処理手段を有する信号処理系と、 該信号処理手段からの第1と第2の出力に基づ
いて差動増幅を行なう差動増幅手段と、 該差動増幅手段の信号に基づいて駆動されるサ
ーボモーターとを有する自動焦点調節装置におい
て、 前記差動増幅手段は、前記信号処理手段からの
前記第1及び第2出力の和の信号を出力する和算
回路と、前記第1及び第2出力をそれぞれ前記和
算回路の出力によつて割算する割算回路と、該割
算回路からの第1及び第2出力に対応する両出力
の差を出力する差動増幅回路とを有することを特
徴とする実用新案登録請求の範囲第1項記載の自
動焦点調節装置。 2 前記信号処理手段は、所定の基準信号を発生
する基準信号発生回路と、前記和算回路からの信
号と前記基準信号発生手段からの信号とを比較す
る比較回路とを有し、前記比較回路の出力によつ
て自動焦点調節の制限を行なうことを特徴とする
実用新案登録請求の範囲第1項記載の自動焦点調
節装置。 3 前記被観察試料の像を形成するための光学系
は、前記第1及び第2受光素子上にそれぞれ形成
される光像の大きさを焦点調節がなされた状態に
おいてほぼ等しくするための倍率補正部材を有す
ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第1
項乃至第2項のいずれか1項に記載の自動焦点調
節装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15183788U JPH021712U (ja) | 1988-11-24 | 1988-11-24 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15183788U JPH021712U (ja) | 1988-11-24 | 1988-11-24 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH021712U true JPH021712U (ja) | 1990-01-08 |
Family
ID=31426232
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15183788U Pending JPH021712U (ja) | 1988-11-24 | 1988-11-24 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH021712U (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4898826A (ja) * | 1972-03-29 | 1973-12-14 | ||
JPS5184633A (ja) * | 1975-01-23 | 1976-07-24 | Asahi Optical Co Ltd | |
JPS5350851A (en) * | 1976-10-20 | 1978-05-09 | Hitachi Ltd | Automatic focus control apparatus of microscope |
-
1988
- 1988-11-24 JP JP15183788U patent/JPH021712U/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4898826A (ja) * | 1972-03-29 | 1973-12-14 | ||
JPS5184633A (ja) * | 1975-01-23 | 1976-07-24 | Asahi Optical Co Ltd | |
JPS5350851A (en) * | 1976-10-20 | 1978-05-09 | Hitachi Ltd | Automatic focus control apparatus of microscope |
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