JPH021712U - - Google Patents

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JPH021712U
JPH021712U JP15183788U JP15183788U JPH021712U JP H021712 U JPH021712 U JP H021712U JP 15183788 U JP15183788 U JP 15183788U JP 15183788 U JP15183788 U JP 15183788U JP H021712 U JPH021712 U JP H021712U
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JP
Japan
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outputs
signal
signal processing
processing means
circuit
Prior art date
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Application number
JP15183788U
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Publication of JPH021712U publication Critical patent/JPH021712U/ja
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【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の自動焦点調節装置を備えたI
C検査用顕微鏡を信号処理系のブロツク図と共に
示す概略図、第2図はイメージセンサ上の光像と
その電気信号処理の様子を説明するための説明図
、第3図、第4図及び第5図は本考案と従来の装
置を比較するため試料のパターンとこれに対応す
る各回路の出力を波形で示す図、第6図は本考案
の装置の各回路に現われる波形図であり、第7図
は公知技術の回路構成と本願考案の回路構成とに
ついての処理信号の比較説明図であり、Aは公知
技術の回路構成を示しBは本願考案による回路構
成を示す。 主要部分の符号の説明、6a……第1の受光素
子、6b……第2の受光素子、12a〜15a;
12b〜15b……信号処理系、21……差動増
巾器、25……サーボモーター、18,19a,
19b……自動利得制御手段、13a,13b…
…周波数成分を取り出す手段、14a,15a;
14b,15b……第1と第2の信号を出力する
手段。
補正 平1.1.23 考案の名称を次のように補正する。 考案の名称 自動焦点調節装置 実用新案登録請求の範囲、図面の簡単な説明を
次のように補正する。
【実用新案登録請求の範囲】 1 被観察試料の像を形成するための光学系と、 該光学系による結像点の後方及び前方にそれぞ
れ配置され該像に対応する光像を光電変換する第
1と第2の受光素子と、 該第1及び第2の受光素子の出力を各々処理し
て、それぞれに対応する第1及び第2の信号を出
力する信号処理手段を有する信号処理系と、 該信号処理手段からの第1と第2の出力に基づ
いて差動増幅を行なう差動増幅手段と、 該差動増幅手段の信号に基づいて駆動されるサ
ーボモーターとを有する自動焦点調節装置におい
て、 前記差動増幅手段は、前記信号処理手段からの
前記第1及び第2出力の和の信号を出力する和算
回路と、前記第1及び第2出力をそれぞれ前記和
算回路の出力によつて割算する割算回路と、該割
算回路からの第1及び第2出力に対応する両出力
の差を出力する差動増幅回路とを有することを特
徴とする実用新案登録請求の範囲第1項記載の自
動焦点調節装置。 2 前記信号処理手段は、所定の基準信号を発生
する基準信号発生回路と、前記和算回路からの信
号と前記基準信号発生手段からの信号とを比較す
る比較回路とを有し、前記比較回路の出力によつ
て自動焦点調節の制限を行なうことを特徴とする
実用新案登録請求の範囲第1項記載の自動焦点調
節装置。 3 前記被観察試料の像を形成するための光学系
は、前記第1及び第2受光素子上にそれぞれ形成
される光像の大きさを焦点調節がなされた状態に
おいてほぼ等しくするための倍率補正部材を有す
ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第1
項乃至第2項のいずれか1項に記載の自動焦点調
節装置。
【図面の簡単な説明】 第1図は本考案の自動焦点調節装置を備えたI
C検査用顕微鏡を信号処理系のブロツク図と共に
示す概略図、第2図はイメージセンサ上の光像と
その電気信号処理の様子を説明するための説明図
、第3図、第4図及び第5図は本考案と従来の装
置を比較するため試料のパターンとこれに対応す
る各回路の出力を波形で示す図、第6図は本考案
の装置の各回路に現われる波形図であり、第7図
は公知技術の回路構成と本願考案の回路構成とに
ついての処理信号の比較説明図であり、Aは公知
技術の回路構成を示しBは本願考案による回路構
成を示す。 主要部分の符号の説明、6a……第1の受光素
子、6b……第2の受光素子、12a〜15a;
12b〜15b……信号処理系、21……差動増
幅器、25……サーボモーター、18,19a,
19b……自動利得制御手段、13a,13b…
…周波数成分を取り出す手段、14a,15a;
14b,15b……第1と第2の信号を出力する
手段。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 1 被観察試料の像を形成するための光学系と、 該光学系による結像点の後方及び前方にそれぞ
    れ配置され該像に対応する光像を光電変換する第
    1と第2の受光素子と、 該第1及び第2の受光素子の出力を各々処理し
    て、それぞれに対応する第1及び第2の信号を出
    力する信号処理手段を有する信号処理系と、 該信号処理手段からの第1と第2の出力に基づ
    いて差動増幅を行なう差動増幅手段と、 該差動増幅手段の信号に基づいて駆動されるサ
    ーボモーターとを有する自動焦点調節装置におい
    て、 前記差動増幅手段は、前記信号処理手段からの
    前記第1及び第2出力の和の信号を出力する和算
    回路と、前記第1及び第2出力をそれぞれ前記和
    算回路の出力によつて割算する割算回路と、該割
    算回路からの第1及び第2出力に対応する両出力
    の差を出力する差動増幅回路とを有することを特
    徴とする実用新案登録請求の範囲第1項記載の自
    動焦点調節装置。 2 前記信号処理手段は、所定の基準信号を発生
    する基準信号発生回路と、前記和算回路からの信
    号と前記基準信号発生手段からの信号とを比較す
    る比較回路とを有し、前記比較回路の出力によつ
    て自動焦点調節の制限を行なうことを特徴とする
    実用新案登録請求の範囲第1項記載の自動焦点調
    節装置。 3 前記被観察試料の像を形成するための光学系
    は、前記第1及び第2受光素子上にそれぞれ形成
    される光像の大きさを焦点調節がなされた状態に
    おいてほぼ等しくするための倍率補正部材を有す
    ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第1
    項乃至第2項のいずれか1項に記載の自動焦点調
    節装置。
JP15183788U 1988-11-24 1988-11-24 Pending JPH021712U (ja)

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JP15183788U JPH021712U (ja) 1988-11-24 1988-11-24

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JP15183788U JPH021712U (ja) 1988-11-24 1988-11-24

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JPH021712U true JPH021712U (ja) 1990-01-08

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ID=31426232

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15183788U Pending JPH021712U (ja) 1988-11-24 1988-11-24

Country Status (1)

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JP (1) JPH021712U (ja)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4898826A (ja) * 1972-03-29 1973-12-14
JPS5184633A (ja) * 1975-01-23 1976-07-24 Asahi Optical Co Ltd
JPS5350851A (en) * 1976-10-20 1978-05-09 Hitachi Ltd Automatic focus control apparatus of microscope

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4898826A (ja) * 1972-03-29 1973-12-14
JPS5184633A (ja) * 1975-01-23 1976-07-24 Asahi Optical Co Ltd
JPS5350851A (en) * 1976-10-20 1978-05-09 Hitachi Ltd Automatic focus control apparatus of microscope

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