JPH02162688A - 多色表示型薄膜ｅｌ素子およびその製造方法 - Google Patents
多色表示型薄膜ｅｌ素子およびその製造方法Info
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- JPH02162688A JPH02162688A JP63318035A JP31803588A JPH02162688A JP H02162688 A JPH02162688 A JP H02162688A JP 63318035 A JP63318035 A JP 63318035A JP 31803588 A JP31803588 A JP 31803588A JP H02162688 A JPH02162688 A JP H02162688A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はデイスプレィ装置などに使用される薄膜ＥＬ
素子およびその製造方法に関し、さらに詳しくは２層色
とその間の全ての中間色の発光が可能な多色表示型の薄
膜ＥＬ素子とその製造方法に関する。
素子およびその製造方法に関し、さらに詳しくは２層色
とその間の全ての中間色の発光が可能な多色表示型の薄
膜ＥＬ素子とその製造方法に関する。
従来、２層色とその中間色の発光が可能な多色表示型の
薄膜ＥＬ素子として、互いに交叉する透光性のストライ
プ状平行表示側電極とストライプ状平行背面電極との間
に、発光色が異なる２層の発光層と誘電層を設け、表示
側に透過光が異なる光透過フィルターを交互に配設する
ことが行われている（特開昭６３−６６２９９号）。こ
のような多色表示型薄膜ＥＬ素子における表示側電極や
背面電極は、通常、一般に使用されている薄膜ＥＬ素子
の表示側電極や背面電極と同様にして形成されており、
たとえば、表示側電極と背面電極を所定のパターンをマ
スクして蒸着するマスク蒸着法で形成したり（特開昭６
２−１１９８９６号）、あるいは表示側電極と背面電極
を、電極材を被着した後、エツチング加工を施して、は
ぼ同じストライプ幅で形成することが行われている。（
特開昭６１−２１９０７８号） 〔発明が解決しようとする課題〕 ところが、互いに交叉する透光性のストライプ状平行表
示側電極とストライプ状平行背面電極との間に、２層の
発光層と誘電層を設け、表示側に透過光が異なる光透過
フィルターを交互に設ける多色表示型薄膜ＥＬ素子にお
いて、表示側電極と背面電極を、所定のパターンをマス
クして蒸着するマスク蒸着法で形成する方法では、微細
なマトリックス状の電極部を形成することが難しく、中
間色発光をいまひとつ充分に行えないという難点があり
、また、電極材を被着した後、エツチング加工を施して
、はぼ同じストライプ幅に形成する方法では、上部のス
トライプ状平行表示側電極をエツチング加工して形成す
る際に、薄膜ＥＬ素子中に水分が浸入したり、塵埃が付
着したりしゃすく、これらに起因して薄膜ＥＬ素子が破
壊されたりする場合がある。
薄膜ＥＬ素子として、互いに交叉する透光性のストライ
プ状平行表示側電極とストライプ状平行背面電極との間
に、発光色が異なる２層の発光層と誘電層を設け、表示
側に透過光が異なる光透過フィルターを交互に配設する
ことが行われている（特開昭６３−６６２９９号）。こ
のような多色表示型薄膜ＥＬ素子における表示側電極や
背面電極は、通常、一般に使用されている薄膜ＥＬ素子
の表示側電極や背面電極と同様にして形成されており、
たとえば、表示側電極と背面電極を所定のパターンをマ
スクして蒸着するマスク蒸着法で形成したり（特開昭６
２−１１９８９６号）、あるいは表示側電極と背面電極
を、電極材を被着した後、エツチング加工を施して、は
ぼ同じストライプ幅で形成することが行われている。（
特開昭６１−２１９０７８号） 〔発明が解決しようとする課題〕 ところが、互いに交叉する透光性のストライプ状平行表
示側電極とストライプ状平行背面電極との間に、２層の
発光層と誘電層を設け、表示側に透過光が異なる光透過
フィルターを交互に設ける多色表示型薄膜ＥＬ素子にお
いて、表示側電極と背面電極を、所定のパターンをマス
クして蒸着するマスク蒸着法で形成する方法では、微細
なマトリックス状の電極部を形成することが難しく、中
間色発光をいまひとつ充分に行えないという難点があり
、また、電極材を被着した後、エツチング加工を施して
、はぼ同じストライプ幅に形成する方法では、上部のス
トライプ状平行表示側電極をエツチング加工して形成す
る際に、薄膜ＥＬ素子中に水分が浸入したり、塵埃が付
着したりしゃすく、これらに起因して薄膜ＥＬ素子が破
壊されたりする場合がある。
この発明はかかる現状に鑑み種々検討を行った結果なさ
れたもので、基板上に、電極材を被着し、エツチング加
工を施して細幅のストライプ状平行背面電極を形成する
とともに、この細幅のストライプ状平行背面電極を交互
に接続して櫛状に噛み合わされたストライプ状平行背面
電極群に分割し、次いで、これらのストライプ状平行背
面電極群上に２層の発光層と誘電層を適宜に積層形成し
た後、この上に広幅のストライプ状平行表示側電極を所
定のパターンをマスクして蒸着するマスク蒸着法で、下
方の細幅のストライプ状平行背面電極と互いに交叉する
方向に配設し、下方の細幅の各ストライプ状平行背面電
極群で区画される電極部に対応して、透過光がそれぞれ
に異なる光透過フィルターを表示側に交互に配設するこ
とによって、薄膜ＥＬ素子中に水分を浸入させたり、塵
埃を付着させたりすることなく、２原色とその間の全て
の中間色の発光が充分に行える多色表示型薄膜ＥＬ素子
が得られるようにしたものである。
れたもので、基板上に、電極材を被着し、エツチング加
工を施して細幅のストライプ状平行背面電極を形成する
とともに、この細幅のストライプ状平行背面電極を交互
に接続して櫛状に噛み合わされたストライプ状平行背面
電極群に分割し、次いで、これらのストライプ状平行背
面電極群上に２層の発光層と誘電層を適宜に積層形成し
た後、この上に広幅のストライプ状平行表示側電極を所
定のパターンをマスクして蒸着するマスク蒸着法で、下
方の細幅のストライプ状平行背面電極と互いに交叉する
方向に配設し、下方の細幅の各ストライプ状平行背面電
極群で区画される電極部に対応して、透過光がそれぞれ
に異なる光透過フィルターを表示側に交互に配設するこ
とによって、薄膜ＥＬ素子中に水分を浸入させたり、塵
埃を付着させたりすることなく、２原色とその間の全て
の中間色の発光が充分に行える多色表示型薄膜ＥＬ素子
が得られるようにしたものである。
以下、この発明の多色表示型薄膜ＥＬ素子の実施例を示
す図面を参照しながら説明する。
す図面を参照しながら説明する。
第１図はこの発明の多色表示型薄膜ＥＬ素子の一実施例
を断面図で示したもので、この多色表示型薄膜ＥＬ素子
Ａは、ガラス製の基板１上にＡｌ薄膜あるいはインジウ
ム−スズ複合酸化物（以下ＩＴＯという）やフッ素を含
む酸化スズの如き透明性導電材料の薄膜などからなる細
幅の背面電極２が平行ストライプパターンで形成され、
この背面電極２上に、順次、背面側誘電層３、ＺｎＳ：
Ｍｎ発光層４、ＺｎＳ：Ｔｂ、Ｆ発光層５、表示側誘電
層６が積層形成され、さらに表示側誘電層６上に、前記
背面電極２と同様の透明性導電材料の薄膜からなる広幅
の表示側電極７が背面電極２に対して直交する方向の平
行ストライプパターンで形成されている。そして、この
表示側電極７に、前記背面電極２の各ストライプと同じ
寸法および間隔で、別のガラス基板８の下面に形成され
た赤色光透過フィルター９ｒと緑色光透過フィルター９
ｇとが対向するように重ね合わせられて構成されている
。
を断面図で示したもので、この多色表示型薄膜ＥＬ素子
Ａは、ガラス製の基板１上にＡｌ薄膜あるいはインジウ
ム−スズ複合酸化物（以下ＩＴＯという）やフッ素を含
む酸化スズの如き透明性導電材料の薄膜などからなる細
幅の背面電極２が平行ストライプパターンで形成され、
この背面電極２上に、順次、背面側誘電層３、ＺｎＳ：
Ｍｎ発光層４、ＺｎＳ：Ｔｂ、Ｆ発光層５、表示側誘電
層６が積層形成され、さらに表示側誘電層６上に、前記
背面電極２と同様の透明性導電材料の薄膜からなる広幅
の表示側電極７が背面電極２に対して直交する方向の平
行ストライプパターンで形成されている。そして、この
表示側電極７に、前記背面電極２の各ストライプと同じ
寸法および間隔で、別のガラス基板８の下面に形成され
た赤色光透過フィルター９ｒと緑色光透過フィルター９
ｇとが対向するように重ね合わせられて構成されている
。
ここで、ガラス製の基板１上の細幅の背面側電極２は、
ガラス製の基板１上に、電極材を電子ビーム蒸着や抵抗
加熱薄着の如き真空蒸着法、高周波スパッタリングの如
きスパッタリング法、イオンブレーティング法などの既
存の真空中薄膜形成法によって被着した後、第２図に示
すようにエッチング加工を施して形成され、交互に接続
されて櫛状に噛み合わされたストライプ状平行背面電極
群２ａ、２ｂに分割されている。そしてこれらのストラ
イプ状平行背面電極群２ａ、２ｂは、それぞれ共通の端
子に接続して、別個に駆動される。
ガラス製の基板１上に、電極材を電子ビーム蒸着や抵抗
加熱薄着の如き真空蒸着法、高周波スパッタリングの如
きスパッタリング法、イオンブレーティング法などの既
存の真空中薄膜形成法によって被着した後、第２図に示
すようにエッチング加工を施して形成され、交互に接続
されて櫛状に噛み合わされたストライプ状平行背面電極
群２ａ、２ｂに分割されている。そしてこれらのストラ
イプ状平行背面電極群２ａ、２ｂは、それぞれ共通の端
子に接続して、別個に駆動される。
しかして、細幅のストライプ状平行背面電極２は、多色
表示型薄膜ＥＬ素子を作製する際の前工程で形成され、
エツチング加工の際に、薄膜ＥＬ素子中への水分の侵入
やゴミの付着が生じるということもない。またエツチン
グ加工を施しているため、細幅のストライプ状平行背面
電極２を容易に形成することができ、微細なマトリック
ス状の電極部もまた容易に形成することができる。
表示型薄膜ＥＬ素子を作製する際の前工程で形成され、
エツチング加工の際に、薄膜ＥＬ素子中への水分の侵入
やゴミの付着が生じるということもない。またエツチン
グ加工を施しているため、細幅のストライプ状平行背面
電極２を容易に形成することができ、微細なマトリック
ス状の電極部もまた容易に形成することができる。
また、表示側誘電層６上の広幅の表示側電極７は、所定
のパターンをマスクして蒸着するマスク蒸着法で形成さ
れ、前記の細幅のストライプ状平行背面電極２と互いに
交叉する方向に配設される。この広幅の表示側電極７は
、このようにマスク蒸着法によって形成されるため、エ
ツチング加工を施して形成される細幅のストライプ状平
行背面電極２より幅広く、通常、細幅のストライプ状平
行背面電極２の２倍以上の幅に形成される。
のパターンをマスクして蒸着するマスク蒸着法で形成さ
れ、前記の細幅のストライプ状平行背面電極２と互いに
交叉する方向に配設される。この広幅の表示側電極７は
、このようにマスク蒸着法によって形成されるため、エ
ツチング加工を施して形成される細幅のストライプ状平
行背面電極２より幅広く、通常、細幅のストライプ状平
行背面電極２の２倍以上の幅に形成される。
このようにして形成された多色表示型薄膜ＥＬ素子は、
背面側の櫛状に噛み合わされた細幅のストライプ状平行
背面電極群２ａ、２ｂを、それぞれ共通の端子に接続し
て、別個に駆動すると、ストライプ状平行背面電極群２
ａ、２ｂが交互に赤色用および緑色用電極として作動し
、側電極２．７間に発光層４．５の発光開始電圧以上の
交流電圧を印加した際に、側電極２．７の各交差部分に
おいて再発光層４．５が発光する。そして、この発光は
、発光層４ではＺｎＳ：Ｍｎによる黄橙色発光、発光層
５ではＺｎＳ：Ｔｂ、Ｆによる緑色発光あり、再発光層
４．５が上下に重なっていることから表示側表面へは両
者の混色発光として到達するが、別のガラス基板８の下
面に前記背面電極２の各ストライプと同じ寸法および間
隔で形成した赤色光透過フィルター９ｒの各領域では赤
色よりも短波長側の光がカットされて赤色発光として放
出され、緑色光透過フィルター９ｇの各領域では逆に緑
色よりも長波長側の光がカットされて緑色発光として放
出される。従って、それぞれの電極に印加する電圧、パ
ルス幅、パルス数、周波数を変化させれば、微細なマト
リックス状の一画素中で赤と緑の輝度が変化し、中間色
発光が充分に行われて、赤と緑の間の中間色が良好に得
られる。
背面側の櫛状に噛み合わされた細幅のストライプ状平行
背面電極群２ａ、２ｂを、それぞれ共通の端子に接続し
て、別個に駆動すると、ストライプ状平行背面電極群２
ａ、２ｂが交互に赤色用および緑色用電極として作動し
、側電極２．７間に発光層４．５の発光開始電圧以上の
交流電圧を印加した際に、側電極２．７の各交差部分に
おいて再発光層４．５が発光する。そして、この発光は
、発光層４ではＺｎＳ：Ｍｎによる黄橙色発光、発光層
５ではＺｎＳ：Ｔｂ、Ｆによる緑色発光あり、再発光層
４．５が上下に重なっていることから表示側表面へは両
者の混色発光として到達するが、別のガラス基板８の下
面に前記背面電極２の各ストライプと同じ寸法および間
隔で形成した赤色光透過フィルター９ｒの各領域では赤
色よりも短波長側の光がカットされて赤色発光として放
出され、緑色光透過フィルター９ｇの各領域では逆に緑
色よりも長波長側の光がカットされて緑色発光として放
出される。従って、それぞれの電極に印加する電圧、パ
ルス幅、パルス数、周波数を変化させれば、微細なマト
リックス状の一画素中で赤と緑の輝度が変化し、中間色
発光が充分に行われて、赤と緑の間の中間色が良好に得
られる。
なお、第１図の多色表示型薄膜ＥＬ素子Ａにおいて、Ｚ
ｎＳ：Ｍｎ発光層４とＺｎＳ：Ｔｂ、Ｆ発光層５との間
に中間誘電層を介在させてもよく、このような中間誘電
層を介在させると、再発光層４．５間でのＭｎ原子やＴ
ｂ原子の相互拡散のような界面反応が阻止され、その結
果として第１図に示される多色表示型薄膜ＥＬ素子Ａよ
りもさらに高い発光効率で赤緑の２原色および中間色の
発光が得られる。
ｎＳ：Ｍｎ発光層４とＺｎＳ：Ｔｂ、Ｆ発光層５との間
に中間誘電層を介在させてもよく、このような中間誘電
層を介在させると、再発光層４．５間でのＭｎ原子やＴ
ｂ原子の相互拡散のような界面反応が阻止され、その結
果として第１図に示される多色表示型薄膜ＥＬ素子Ａよ
りもさらに高い発光効率で赤緑の２原色および中間色の
発光が得られる。
また、以上の実施例では、発光層としてＺｎＳ：Ｍｎ発
光層４およびＺｎＳ：Ｔｂ、Ｆ発光層５を形成した場合
について説明したが、発光層はこれらに限定されるもの
ではな（、通常、薄膜ＥＬ素子に設けられる発光層であ
れば、いずれの発光層を形成した場合でも同じ効果が得
られる。また、光透過フィルターも、赤色光透過フィル
ター９ｒおよび緑色光透過フィルター９ｇに限らず、発
光層の発光色に応じて、種々の色の光を透過できるもの
を使用できる。
光層４およびＺｎＳ：Ｔｂ、Ｆ発光層５を形成した場合
について説明したが、発光層はこれらに限定されるもの
ではな（、通常、薄膜ＥＬ素子に設けられる発光層であ
れば、いずれの発光層を形成した場合でも同じ効果が得
られる。また、光透過フィルターも、赤色光透過フィル
ター９ｒおよび緑色光透過フィルター９ｇに限らず、発
光層の発光色に応じて、種々の色の光を透過できるもの
を使用できる。
誘電層３および６は、Ｔａ２０５、Ａｌｚ ○。
Ｙｚ Ｏｓ 、Ｓ ｉｏｚ 、Ｓ ｉｘ Ｎａ 、Ｔｉ
０ｚ、Ｎｂｇ Ｏｓ 、ＢａＴｘＯｚ 、５ｒＴｔＯｓ
、Ｐ ｂＴｉｅ、など既存の誘電材料を用いて、電子
ビーム蒸着や抵抗加熱蒸着の如き真空蒸着法、高周波ス
パッタリングの如きスパッタリング法、イオンブレーテ
ィング法などの既存の種々の真空中薄膜形成法によって
形成され、各誘電層で異なるものを使用してもよく、そ
れぞれの層を構成材料の異なる２層以上の積層物として
もよい。
０ｚ、Ｎｂｇ Ｏｓ 、ＢａＴｘＯｚ 、５ｒＴｔＯｓ
、Ｐ ｂＴｉｅ、など既存の誘電材料を用いて、電子
ビーム蒸着や抵抗加熱蒸着の如き真空蒸着法、高周波ス
パッタリングの如きスパッタリング法、イオンブレーテ
ィング法などの既存の種々の真空中薄膜形成法によって
形成され、各誘電層で異なるものを使用してもよく、そ
れぞれの層を構成材料の異なる２層以上の積層物として
もよい。
〔実施例］
次に、この発明の実施例について説明する。
実施例１
第１図および第２図に示すように、ガラス製基板１上に
厚さ１５００人のＡ２からなる電極を抵抗加熱蒸着法に
よって形成し、次いで、エツチング加工を行って、第２
図に示すような各ストライプ幅が１００μｍで、各スト
ライプの間隔が２０μｍの細幅の４本のストライプ状平
行背面電極２を形成すると同時に、各ストライプ状平行
背面電極２を交互に２本ずつ接続し、ストライプ状平行
背面電極群２ａ、２ｂに分割して共通の端子に接続した
。このときの各４本のストライプ状平行背面電極２間の
間隔は５０μｍにした。
厚さ１５００人のＡ２からなる電極を抵抗加熱蒸着法に
よって形成し、次いで、エツチング加工を行って、第２
図に示すような各ストライプ幅が１００μｍで、各スト
ライプの間隔が２０μｍの細幅の４本のストライプ状平
行背面電極２を形成すると同時に、各ストライプ状平行
背面電極２を交互に２本ずつ接続し、ストライプ状平行
背面電極群２ａ、２ｂに分割して共通の端子に接続した
。このときの各４本のストライプ状平行背面電極２間の
間隔は５０μｍにした。
つぎに、この細幅のストライプ状平行背面電極２上に高
周波スパッタリング法によってＴａｚ Ｏ３からなる厚
さ５０００人の背面側誘電層３を形成し、この上に厚さ
４０００人のＺｎＳ：Ｍｎ発光層４を電子ビーム蒸着法
で形成して、さらにその上に厚さ４０００人のＺｎＳ：
Ｔｂ、Ｆ発光層５を高周波スパッタリング法で形成した
。
周波スパッタリング法によってＴａｚ Ｏ３からなる厚
さ５０００人の背面側誘電層３を形成し、この上に厚さ
４０００人のＺｎＳ：Ｍｎ発光層４を電子ビーム蒸着法
で形成して、さらにその上に厚さ４０００人のＺｎＳ：
Ｔｂ、Ｆ発光層５を高周波スパッタリング法で形成した
。
次いで、このＺｎＳ：Ｔｂ、Ｆ発光層５上に、高周波ス
パッタリング法によってＴａ、Ｏ，からなる厚さ５００
０人の表示側誘電層６を積層形成し、さらにその上に、
厚さ２０００人のＩＴＯ膜からなる幅が４００μｍで、
各ストライプの間隔が３００μｍのストライプ状平行表
示側電極７を電子ビームマスク蒸着法によって形成した
。これにより一画素の表示部分は４６０Ｘ４００μｍの
領域となった。
パッタリング法によってＴａ、Ｏ，からなる厚さ５００
０人の表示側誘電層６を積層形成し、さらにその上に、
厚さ２０００人のＩＴＯ膜からなる幅が４００μｍで、
各ストライプの間隔が３００μｍのストライプ状平行表
示側電極７を電子ビームマスク蒸着法によって形成した
。これにより一画素の表示部分は４６０Ｘ４００μｍの
領域となった。
一方、別のガラス基板８の下面に厚さ約１μｍの赤色光
透過フィルター９ｒおよび緑色光透過フィルター９ｇを
、フォトリソグラフィーによって、各細幅のストライプ
状平行背面電極２と同じ寸法および間隔で形成し、これ
を前記のＩＴＯ電極面に対向させて重ね合わせ、第１図
で示すような多色表示型薄膜ＥＬ素子Ａを作製した。
透過フィルター９ｒおよび緑色光透過フィルター９ｇを
、フォトリソグラフィーによって、各細幅のストライプ
状平行背面電極２と同じ寸法および間隔で形成し、これ
を前記のＩＴＯ電極面に対向させて重ね合わせ、第１図
で示すような多色表示型薄膜ＥＬ素子Ａを作製した。
なお、この多色表示型薄膜ＥＬ素子Ａの赤色光透過フィ
ルター９ｒは波長５８０ｎｍ以下の光をカットして波長
６００ｎｍ以上の光を９５％透過させるものであり、緑
色光透過フィルター９ｇは波長５７０ｒ＋ｍ以上の光を
カットして波長５５０ｎｍ以下の光を８５％透過させ°
るものであった。また、表示側電極７は、赤色光透過フ
ィルター９ｒと対向するストライプ群である赤色電極部
と緑色光透過フィルター９ｇと対向するストライプ群で
ある緑色電極部とで別途に印加電圧、パルス幅、パルス
数、周波数などを調整しうるように設定した。
ルター９ｒは波長５８０ｎｍ以下の光をカットして波長
６００ｎｍ以上の光を９５％透過させるものであり、緑
色光透過フィルター９ｇは波長５７０ｒ＋ｍ以上の光を
カットして波長５５０ｎｍ以下の光を８５％透過させ°
るものであった。また、表示側電極７は、赤色光透過フ
ィルター９ｒと対向するストライプ群である赤色電極部
と緑色光透過フィルター９ｇと対向するストライプ群で
ある緑色電極部とで別途に印加電圧、パルス幅、パルス
数、周波数などを調整しうるように設定した。
比較例１
実施例１において、ストライプ状平行表示側電極７を、
電子ビームマスク蒸着に代えて、下方のストライプ状平
行背面電極と同じエツチング加工を行って形成し、上下
の電極の形状を′、ともに幅１００μｍ、間隔２０μｍ
として直交させた以外は、実施例１と同様にして多色表
示型薄膜ＥＬ素子を作製した。
電子ビームマスク蒸着に代えて、下方のストライプ状平
行背面電極と同じエツチング加工を行って形成し、上下
の電極の形状を′、ともに幅１００μｍ、間隔２０μｍ
として直交させた以外は、実施例１と同様にして多色表
示型薄膜ＥＬ素子を作製した。
比較例２
実施例１において、ストライプ状背面電極２を、エツチ
ング加工に代えて、上方のストライプ状平行表示側電極
と同じ電子ビームマスク蒸着を行って形成し、上下の電
極の形状を、ともに幅４００μｍ１間隔３００μｍとし
て直交させ、さらに、赤色光透過フィルター９ｒおよび
緑色光透過フィルター９ｇを上下の電極と同一の寸法に
した以外は、実施例１と同様にして多色表示型薄膜ＥＬ
素子を作製した。
ング加工に代えて、上方のストライプ状平行表示側電極
と同じ電子ビームマスク蒸着を行って形成し、上下の電
極の形状を、ともに幅４００μｍ１間隔３００μｍとし
て直交させ、さらに、赤色光透過フィルター９ｒおよび
緑色光透過フィルター９ｇを上下の電極と同一の寸法に
した以外は、実施例１と同様にして多色表示型薄膜ＥＬ
素子を作製した。
各実施例および比較例で得られた多色表示型薄膜ＥＬ素
子をＩＫＨｚパルス駆動によって発光させ、さらにＩＫ
Ｈｚパルスで１０時間エージングを行った その結果、実施例１で得られた多色表示型薄膜ＥＬ素子
では、赤、緑それぞれのフィルターに対応する電極に加
える電圧またはパルス幅もしくはパルス数を変化させる
ことにより、一画素において、橙、黄、黄緑といった中
間色が鮮明に得られＩＫＨｚパルスにおける１０時間の
エージングでも全５００画素中の画素破壊は一つもなく
きわめて安定であった。
子をＩＫＨｚパルス駆動によって発光させ、さらにＩＫ
Ｈｚパルスで１０時間エージングを行った その結果、実施例１で得られた多色表示型薄膜ＥＬ素子
では、赤、緑それぞれのフィルターに対応する電極に加
える電圧またはパルス幅もしくはパルス数を変化させる
ことにより、一画素において、橙、黄、黄緑といった中
間色が鮮明に得られＩＫＨｚパルスにおける１０時間の
エージングでも全５００画素中の画素破壊は一つもなく
きわめて安定であった。
また、比較例１で得られた多色表示型薄膜ＥＬ素子では
、赤と緑との隣合う二つの画素を単位として同時に発光
させたとき、混色発光が得られ、各々に印加する電圧等
を変化させることにより鮮明な中間色が得られた。とこ
ろが、ＩＫＨｚパルスにおいて１０時間エージングを行
ったとき、全５００画素中４０個の画素破壊が生じ、不
安定であった。
、赤と緑との隣合う二つの画素を単位として同時に発光
させたとき、混色発光が得られ、各々に印加する電圧等
を変化させることにより鮮明な中間色が得られた。とこ
ろが、ＩＫＨｚパルスにおいて１０時間エージングを行
ったとき、全５００画素中４０個の画素破壊が生じ、不
安定であった。
さらに、比較例２で得られた多色表示型薄膜ＥＬ素子で
は、赤と緑との隣合う二つの画素を単位として、同時に
発光させたとき、赤と緑とが区別して視認され、各々に
印加する電圧等を変化させても鮮明な中間色が得られな
かった。したがってこの素子においては、赤、或いは緑
の２原色表示のみに限られた。
は、赤と緑との隣合う二つの画素を単位として、同時に
発光させたとき、赤と緑とが区別して視認され、各々に
印加する電圧等を変化させても鮮明な中間色が得られな
かった。したがってこの素子においては、赤、或いは緑
の２原色表示のみに限られた。
以上のＩＫＨｚパルス駆動による発光試験、およびＩＫ
Ｈｚパルスで１０時間エージングを行った結果から明ら
かなように、この発明によれば、２原色とその間の全て
の中間色表示が可能で、安定な多色表示型薄膜ＥＬ素子
が得られることがわかる。
Ｈｚパルスで１０時間エージングを行った結果から明ら
かなように、この発明によれば、２原色とその間の全て
の中間色表示が可能で、安定な多色表示型薄膜ＥＬ素子
が得られることがわかる。
第１図はこの発明の多色表示型薄膜ＥＬ素子の一実施例
を示す断面図、第２図はこの発明の多色表示型薄膜ＥＬ
素子の背面電極の部分拡大平面図である。 ２・・・細幅のストライプ状平行背面電極、２ａ。 ２ｂ・・・ストライプ状平行背面電極群、３．６・・・
誘電層、４−ＺｎＳ：Ｍｎ発光層、５−ＺｎＳ：Ｔｂ、
Ｆ発光層、７・・・広幅のストライプ状平行表示側電極
、９ｒ・・・赤色光透過フィルター、９ｇ・・・緑色光
透過フィルター、Ａ・・・多色表示型薄膜ＥＬ素子 特許出願人 日立マクセル株式会社
を示す断面図、第２図はこの発明の多色表示型薄膜ＥＬ
素子の背面電極の部分拡大平面図である。 ２・・・細幅のストライプ状平行背面電極、２ａ。 ２ｂ・・・ストライプ状平行背面電極群、３．６・・・
誘電層、４−ＺｎＳ：Ｍｎ発光層、５−ＺｎＳ：Ｔｂ、
Ｆ発光層、７・・・広幅のストライプ状平行表示側電極
、９ｒ・・・赤色光透過フィルター、９ｇ・・・緑色光
透過フィルター、Ａ・・・多色表示型薄膜ＥＬ素子 特許出願人 日立マクセル株式会社
Claims (2)
- １． 基板上に、細幅のストライプ状平行背面電極を設
けるとともに、この細幅のストライプ状平行背面電極を
交互に接続して櫛状に噛み合わされたストライプ状平行
背面電極群に分割し、この上に２層の発光層と誘電層を
適宜に積層形成して、さらにその上に広幅のストライプ
状平行表示側電極を、細幅のストライプ状平行背面電極
と互いに交叉する方向に配設し、下方の細幅のストライ
プ状平行背面電極群で区画される電極部に対応して、透
過光がそれぞれに異なる光透過フィルターを表示側に交
互に配置したことを特徴とする多色表示型薄膜ＥＬ素子
。 - ２． 基板上に、電極材を被着し、エッチング加工を施
して細幅のストライプ状平行背面電極を形成するととも
に、この細幅のストライプ状平行背面電極を交互に接続
して櫛状に噛み合わされたストライプ状平行背面電極群
に分割し、次いで、これらのストライプ状平行背面電極
群上に２層の発光層と誘電層を適宜に積層形成した後、
その上に広幅のストライプ状平行表示側電極を所定のパ
ターンをマスクして蒸着するマスク蒸着法で、下方の細
幅のストライプ状平行背面電極と互いに交叉する方向に
配設し、下方の細幅の各ストライプ状平行背面電極群で
区画される電極部に対応して、透過光がそれぞれに異な
る光透過フィルターを表示側に交互に配設することを特
徴とする多色表示型薄膜ＥＬ素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63318035A JPH02162688A (ja) | 1988-12-15 | 1988-12-15 | 多色表示型薄膜ｅｌ素子およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63318035A JPH02162688A (ja) | 1988-12-15 | 1988-12-15 | 多色表示型薄膜ｅｌ素子およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02162688A true JPH02162688A (ja) | 1990-06-22 |
Family
ID=18094770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63318035A Pending JPH02162688A (ja) | 1988-12-15 | 1988-12-15 | 多色表示型薄膜ｅｌ素子およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02162688A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH062596U (ja) * | 1992-06-12 | 1994-01-14 | 株式会社小松製作所 | マルチカラーｅｌパネルの背面電極 |
| KR100466399B1 (ko) * | 2000-12-29 | 2005-01-13 | 현대엘씨디주식회사 | 아이피이 구조를 갖는 유기 이엘소자 |
-
1988
- 1988-12-15 JP JP63318035A patent/JPH02162688A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH062596U (ja) * | 1992-06-12 | 1994-01-14 | 株式会社小松製作所 | マルチカラーｅｌパネルの背面電極 |
| KR100466399B1 (ko) * | 2000-12-29 | 2005-01-13 | 현대엘씨디주식회사 | 아이피이 구조를 갖는 유기 이엘소자 |
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