JPH02153326A - 光スイッチ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、光の伝送路を切換えるための光スイッチに
関する。

（従来の技術） 従来より、光の伝送路の切換えを行なうための光スイッ
チとして、例えば特開昭６３−８０２２３号公報に開示
されているものがある。

第１８図はこの従来の光スイッチの実施例の構成を概略
的に示す図であり、図の（Ａ）及び（Ｂ）は垂直方向Ｑ
からみた図及び水平方向Ｐからみた図である。

これら図に示す従来の光スイッチは、一定方向に並列配
Ｍされた複数の集光性ロッドレンズ１゜と、ロッドレン
ズ１０からの光を水平方向Ｐに拡大する（垂直方向Ｑに
は作用しない）第一のレンズ１２と、このレンズ１２か
らの光を平行光にするコリメータレンズ１４と、このレ
ンズ１４からの光を垂直方向Ｑに集光する第二のレンズ
１６と、このレンズ１６からの光を入力する光シャッタ
ーアレイとしてのゲートマトリクス１８と、このマトリ
クス１８からの光を垂直方向Ｑに収束する第三のレンズ
２０と、マトリクス１８からの光を水平方向Ｐに集光す
る第四のレンズ２２とを備えて成る。

このような構成の光スイッチでは、入力ファイバ２４に
よって伝送してきた光信号をレンズ１０．１２．１４．
１６から成る光分配回路を介してゲートマトリクス１８
に入力し、またゲートマトリクス１８からの出力光をレ
ンズ２０．２２から成る光合流回路を介して出力ファイ
バ２６に入力させており、光分配回路及び光合流回路と
して光フアイバ融着型スターカブラを用いた光スイッチ
よりも作成しやすいという利点がある。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら上述した従来の光スイッチでは、レンズの
ために確保すべき光路長が長くなるため、光スイッチの
小型化を図るのが難しいという問題点があった。

またレンズを多用するので光軸合せが大変であり、特に
第三のレンズ及び出力ファイバの光軸を敗させかつ第四
のレンズ及び出力ファイバの光軸を鍵数させることがむ
ずかしかった。これがため、回線数が多くなる光スイッ
チ、例えば３２〜６４回線（３２〜６４個の入出力ボー
ト）を有する光スイッチの作成が大変であった。

この発明の目的は上述した従来の問題点を解決するため
、レンズの使用箇所を従来より少なくできる構造であっ
て、さらに好ましくは光軸合せた簡単化できる構造の光
スイッチを提供することにある。

（課題を解決するための手段） この目的の達成を図るため、この発明の光スイッチは、
導波型分岐部及びこの分岐部の出力端に光学的に結合さ
せた第−光ガイド部を有する分岐手段と、導波型合流部
及びこの合流部の入力端に光学的に結合させた第二光ガ
イド部を有する合流手段と、これら分岐手段及び合流手
段の間に設けた光シャッターアレイとを備えて成ること
を特徴とする。

この発明の実施に当っては、分岐手段及び光シャッター
アレイの間と、合流手段及び光シャッターアレイの間と
にそれぞれコリメートレンズアレイを設けた構成とする
のが好適である。

またこの発明の実施に当っては、第−光ガイド部を、反
射面又は蛍光物質を以って構成するのが好適である。

またこの発明の実施に当っては、第二光ガイド部を、反
射面又は蛍光物質を以って構成するのが好適である。

またこの発明の実施に当り、第−光ガイド部又は第二光
ガイド部を反射面を以って構成する場合には、反射面を
全反射面、乱反射面又はハーフミラ−を以って構成する
のが好適である。

（作用） このような構成の光スイッチによれば、光スイッチを、
導波型分岐部及びこの分岐部の出力端に光学的に結合さ
せた第−光ガイド部を有する分岐手段と、導波型合流部
及びこの合流部の入力端に光学的に結合させた第二光ガ
イド部を有する合流手段と、これら分岐手段及び合流手
段の間に設けた光シャッターアレイとを備えた構成とす
る。

導波型分岐部の出力端をそれぞれ第−光ガイド部を介し
て光シャッターアレイの対応するシャッターと光学的に
結合し、同様に導波型合流部の入力端を第二光ガイド部
を介して光シャッターアレイの対応するシャッターと光
学的に結合してあり、従ってシャッターをオン或はオフ
状態として光がシャッターを通過する状態或は通過しな
い状態を形成することによって、任意好適な組合せで導
波型分岐部及び合流部を光学的に結合でき、これがため
導波型分岐部の入力端から入力した光を任意好適な導波
型合流部の出力端から出力させることができる。

また導波型分岐部を用いて光を分岐し及び導波型合流部
を用いて光を合流するので、光の分岐及び合流にレンズ
を用いずにすむ。

（実施例） 以下、この発明の実施例につき説明する。尚、図面はこ
の発明が理解できる程度に概略的に示されでいるにすぎ
ず、従って各構成成分の形状、寸法及び配設位置ヲ図示
例に限定するものではない。

第：１１虹例 第１図（Ａ）及び（Ｂ）はこの発明の第一実施例の構成
を概略的に示す平面図及び側面図であり、図（Ａ）は主
として導波型分岐部、コリメートレンズ及び導波型合流
部の平面的にみたときの配設値Ｍを及び図（Ｂ）は図（
Ａ）において二点鎖線ｐで囲んだ導波型分岐部、コリメ
ートレンズ及び導波型合流部の側面からみたときの配設
位百を概略的に示している。

第１図にも示すようにこの実施例の光スイッチ３０は、
導波型分岐部３２及びこの分岐部３２の出力端に光学的
に結合させた第−光ガイド部３４を有する分岐手段３６
と、導波型合流部３日及びこの合流部３８の入力端に光
学的に結合させた第二光ガイド部４０を有する合流手段
４２と、これら分岐手段３６及び合流手段４２の間に設
けた光シャッターアレイ４４とを備えて成る。尚、第１
図において光ガイド部３４及び４０の配設値Ｈを点を付
して示した。また図において符号４６は分岐部３２の入
力端と結合する入力ファイバ及び４８は合流部３８の出
力端と結合する出力ファイバを示し、これらファイバ４
６．４８ヲ一点鎖線で示した。また符号３２ａ及び３８
ａは分岐部３２０入力端及び合流部３８の入力端をそれ
ぞれ示す。

以下、より詳細にこの実施例につき説明する。

第２図はこの実施例の光シャッターアレイの構成を概略
的に示す平面図である。

光シャッターアレイ４４は基板５０に設けた複数のシャ
ッター５２から成り、この実施例にあってはシャッター
５２を例えばマトリクス状に配置している。シャ・ンタ
ー５２をオン状態又はオフ状態に制御することによって
光の通過状態又は不通過状態を形成できる。

そしてこの実施例では、分岐手段３６及び光シャッター
アレイ４４の間と、合流手段４２及び光シャックーアレ
イ４４の間とにコリメートレンズアレイ５４を設ける。

第３図はこの実施例のコリメートレンズアレイの構成を
概略的に示す平面図である。尚、第３図に示すコリメー
トレンズアレイは、合流手段４２及び光シャッターアレ
イ４４の間に配置する場合の構成を一例として示したも
のである。

コリメートレンズアレイ５４は基板５６に設けた複数の
コリメートレンズ５８から成り、これらレンズ５８をそ
れぞれ対応するシャック−５２の位置に配置している。

コリメートレンズ５８は、例えばイオン交換技術によっ
て基板５６に形成した基板材料よりも屈折率の高い部分
を以って構成される。

第４図（Ａ）及び（Ｂ）はこの実施例の分岐手段の構成
を概略的に示す図であり、図（Ａ）は平面図及び図（Ｂ
）は図（Ａ）におけるＩＶＢ−ＩＶＢ線に沿って取った
断面を示す。

ざらにこの実施例では、分岐手段３６を導波型スターカ
ブラと同様に、入力した光のパワーの分布を分岐部の巾
方向Ｘ、において均一化する機能を有する分岐部３２と
、全反射面を以って構成した第−光ガイド部３４とから
構成しており、第−光ガイド部３４を対応するシャッタ
ー５２の位置に配置している。

第５図（Ａ）及び（Ｂ）はこの実施例の分岐手段の形成
方法の一例の説明に供する図である。これら図（Ａ）及
び（Ｂ）は主要な工程を段階的に示し、第４図（Ｂ）に
対応する断面を示す。

第５図（Ａ）及び（Ｂ）にも示すように、まずフォトリ
ン技術及びエツチング技術によって分岐部３２の形成位
置に溝６２を形成する。この溝６２は、第−光ガイド部
３４の配設位置に基板６０面に対して所定の角度θ（例
えば４５６）で傾いた斜面６４ヲ有する。この斜面６４
を全反射面を形成するに足りる程度に平滑な面とする。

そして第４図（Ｂ）にも示すように、溝６２内に分岐部
３２としての光導波路を設ける。その結果、基板面に対
して角度θで傾いた全反射面が、分岐部３２と基板材料
との屈折率差によって、斜面６４の位Ｉｌｌこできる。

この全反射面がこの実施例の第−光ガイド部３４ヲ構成
しでおり、角度θを任意好適に設定することによって、
分岐部３２を導波してきた光を第−光ガイド部３４を介
してシャッター５２に導くことができる。

この実施例では第−光ガイド部３４を全反射面としたが
、第−光ガイド部３４を全反射面にかえて乱反射面とし
でも良い、全反射面とした場合にシャッター５２へ光を
導けないような角度のθであっても、乱反射面とした場
合にはシャ・ンター５２へ光を導くことができるという
利点がある。

さらにこの実施例では分岐手段３６と同様、合流手段４
２ヲ入力した光のパワーの分布を合流部の巾方向Ｙｌ　
　（第１図（Ａ）参照）において均一化する機能を有す
る合流部３８と、全反射面を以って構成した第二光ガイ
ド部４０とから構成しており、第二光ガイド部４０を対
応するシャッター５２の位置に配置している。そして合
流手段４２ヲ分岐手段３６と同様にして基板６６に形成
する。

第二光ガイド部４０を全反射面にかえて乱反射面とする
ようにしてもよい。

第６図はこの実施例の動作の説明に供する図であり、主
として分岐部、コリメートレンズ、第−及び第二光ガイ
ド部の位謂閉係を概略的に示す要部断面図である。尚、
図面の簡略化のために断面を示すハツチングを省略しで
示した。

入力端３２ａから入力部３２に入力した光は例えば図面
に垂直な方向に沿って分岐部３２内を伝搬してゆき第−
光ガイド８Ｂ３４に入射する０分岐部３２は導波型スタ
ーカブラの場合と同様、光のパワーを分岐部３２の中方
向×１において均一に分布させるように作用する。従っ
てガイド部３４から出力する光のパワーを、光が複数の
第−光ガイド部３４のいずれのガイド部３４から出力し
でもほぼ同じ大きざのパワーとすることができ、従って
分岐部３２からの出力光の光パワーの均一化を図れる。

第−光ガイド部３４に入射した光は、第−光ガイド部３
４で例えば基板６０面に対して垂直な方向に全反射して
オン状態のシャッタ−５２ヲ通過し第二光ガイド部４０
に入射し、さらに第二光ガイド部４０で全反射して合流
部３８と光学的に結合する０合流部３８に結合した光は
出力端３８ａから出力する。

合流部３８もまた分岐部３２と同様、光のパワーを合流
８８３８の巾方向Ｙ１　（第１図（Ａ）９照）において
均一に分布させるように作用する。従って複数の入力端
３２ａのいずれの入力端３２ａから入力した光も、はぼ
同じ大きさの光パワーで出力端３８ａから出力し、従っ
て出力端３８ａからの出力光のパワーの均一化を図れる
。

またこの実施例では第−光ガイド部３４及びシャ・ンク
ー５２の間に配置したコリメートレンズ５８と、第二光
ガイド部４０及びシャッター５２の間に配置したコリメ
ートレンズ５８によって、光の回折による広がりを防止
でき、従って光が第−光ガイド部３４から第二光ガイド
部３８に入射する際の光のロスを低減できる。

シャッター５２のオン及びオフ状態を任意好適に制御す
ることによって、任意好適な入力端３２ａ及び出力端３
８ａ　％光学的に結合することができ、従って任意の入
力端３２ａに入力した光を任意の出力端３８ａから出力
させることかできる。

この実施例の光スイッチ３０によれば各構成成分特に］
コリメートレンズ８とシャッター５２とガイド部３４．
４０をフォトリソ技術によって精度良く位冒決めした状
態で形成できるので、これら構成成分特に５８．５２．
３４．４０の光軸合せの簡単化が図れる。

また分岐部３２及び合流部３８をスターカブラと同様の
機能を有する分岐部及び合流部とすることによって、分
岐部３２及び合流部３８と入力ファイバ４６及び出力フ
ァイバ４８とをこれらの位冨決めを高精度に行なわなく
とも結合させることができ、この点からも光軸合せの簡
単化を図れる。

このように光軸合せの簡単化が図れる結果、５０回線以
上の光交換を行なえる光スイッ・チを容易に作成できる
。

またこの実施例によれば、光ガイド部３４．４０の方向
Ｘ、　、Ｙ、における巾を２０ｕｍとすれば基板６０．
６６の一辺１５ｃｍとして５０回線の光交換器としで用
いて好適な５０人力５０出力の光スイッチを形成でき、
小型な光スイッチを提供できる。

〈変形例〉 第７図（Ａ）及び（８）はこの実施例の分岐手段の第一
変形例の構成を概略的に示す図であり、図（Ａ）は平面
図及び図（Ｂ）は図（Ａ）にあける■Ｂ−■Ｂ線に沿っ
て取った断面を示す。尚、上述した構成成分と対応する
構成成分については同一の符号を付して示し、その詳細
な説明を省略する。

この変形例の分岐手段６８は、入力した光のパワーの分
布を分岐部３２の巾方向×１に均一化する機能を有する
分岐部３２と、蛍光物＊を以って構成した第一光ガイド
部７０とから構成する。

第７図（Ｂ）にも示すように、第一光ガイド部７０は、
対応するシャッター５２の位置に形成した蛍光物質層か
ら成る。

このような構成の分岐手段６８に入力した光が第一光ガ
イド部７０に入力すると、蛍光物質が発する蛍光が第一
光ガイド部７０がら出力する。

合流手段をこの例の分岐手段６８と同様、入力した光の
パワーの分布を合流部の巾方向に均一化する機能を有す
る合流部と、蛍光物質を以って構成した第二光ガイド部
とから構成するようにしても良い。

第８図（Ａ）及び（８）は分岐手段の第二変形例の構成
を概略的に示す図であり、図（Ａ）は平面図及び図（Ｂ
）は図（Ａ）における■Ｂ−■Ｂ線に沿って取った断面
を示す、尚、上述した構成成分と同様の構成成分につい
ては同一の符号を付して示し、その詳細な説明を省略す
る。

この変形例の分岐手段７２は、入力した光のパワーの分
布を分岐部３２の巾方向Ｘ＋に均一化する機能を有する
分岐部３２と、ハーフミラ−を以って構成した第一光ガ
イド部７４と、第一光ガイド部７４を透過した光を次段
の光回路素子へ導くための導波路７６とから構成する。

第一光ガイド部７４で反射されてシャ・ンター５２に入
力し、第一光ガイド部７４を透過した光は導波路７６ヲ
伝搬して次段の光回路素子に入力する。

好ましくは導波路７６ヲ入力した光のパワーの分布を導
波路中方向に均一化する機能を有する導波路とするのが
良い。

第９図（Ａ）及び（Ｂ）は分岐手段の第三変形例の構成
を概略的に示す図であり、図（Ａ）は平面図及び図（Ｂ
）は図（Ａ）における■Ｂ−■Ｂ線に沿って取った断面
を示す、尚、上述した構成成分と対応する構成成分につ
いては同一の符号を付して示し、その詳細な説明を省略
する。

この変形例の分岐手段７８は、分岐部８０と、ハーフミ
ラ−を以って構成した第一光ガイド部７４と、全反射面
を以って構成した第一光ガイド部３４とから構成する。

第一光ガイド部７４．３４を一列に配列し、これら第一
光ガイド部の最終段に第一光ガイド部を配置する。導波
路８０に入力した光は次々と第一光ガイド部７４を透過
したのも第一光ガイド部３４に入射する。

この変形例では分岐部８０の巾を中挟に形成でき、従っ
て分岐手段７８の小型化が図れる。尚、分岐部８０は導
波型スターカブラと同様の機能を有ざなくとも良い。

合流手段をこの変形例の分岐手段７８と同様の構成とし
ても良い。

第１０図（Ａ）及び（Ｂ）は分岐手段の第四変形例の構
成を概略的に示す図であり、図（Ａ）は平面図及び図（
Ｂ）は図（Ａ）におけるＸＢ−ＸＢに沿って取った断面
を示す、尚、上述した構成成分と対応する構成成分につ
いては同一の符号を付して示し、その詳細な説明を省略
する。

この変形例では分岐手段１０４を、入力した光のパワー
の分布を分岐部巾方向Ｘ、において均一化する機能を有
する分岐部１０６と、全反射面を以って構成した第一光
ガイド部１０８とから構成する。

各分岐部１０６を基板６０に離間させて設けた導波路層
とする。第一光ガイド部１０８の形成のため、分岐部１
０６に溝１１０を設けこの溝１１０内に任意好適な屈折
率を有する媒質１１２例えば空気の層を設ける０分岐部
１０６及び溝１１０内の媒質１１２との屈折率差によっ
て第一光ガイド部１０８としての全反射面を形成できる
。尚、溝１１０内の媒質１１２の屈折率を任意好適に定
めることによって、ハーフミラ−を形成することもでき
る。従って第二変形例において、導波路７６の形成材料
を分岐部３２の形成材料と同じとし第一光ガイド部７４
をこの変形例と同様に溝及びこの溝内に設けた媒質によ
って形成したハーフミラ−とすることもできる、また第
三変形例において、第一光ガイド部３４を溝及び溝内に
設けた媒質によって形成した全反射面とし、第一光ガイ
ド部７４を溝及び溝内に設けた媒質によって形成したハ
ーフミラ−とすることもできる。

合流手段をこの変形例の分岐手段１０４と同様の構成と
しでもよい。

第１１図は第一実施例における分岐手段の第五変形例の
構成を概略的に示す平面図である。尚、上述した構成成
分と対応する構成成分については同一の符号を付して示
し、その詳細な説明を省略する。

この変形例では分岐手段＋１４を、分岐部＋１６と、全
反射面を以って構成した第一光ガイド部３４を以って構
成する。

分岐部１１６を入力した光のパワーの分布を巾方向×１
において均一化する機能を有する導波路１１６ａと複数
の曲り導波路＋１６ｂ！以って構成し、各第−光ガイド
ｇＢｌ＋６！曲り導波路１１６ｂを介して導波路１１６
ａと結合する。

合流手段をこの変形例の分岐手段１１４と同様の構成と
してもよい。

第１２図は第一実施例における分岐手段の第六変形例の
構成を概略的に示す平面図である。尚、上述した構成成
分と対応する構成成分については同一の符号を付して示
し、その詳細な説明を省略する。

この変形例では分岐手段１３８を、分岐部１４０と全反
射面を以って構成した第一光ガイド部３４とから構成す
る。

分岐部１４０を任意好適個数の分岐１４０ｂと導波路１
４０ａとから構成し、この分岐部４０によって入力した
光をツリー状に分岐させて第一光ガイド部３４に至らし
める光の伝搬経路を形成する。

合流手段をこの変形例の分岐手段１３８と同様の構成と
しても良い。

第ｆｆｌ別 第１３図（Ａ）及び（Ｂ）はこの発明の第二実施例の構
成を概略的に示す側面図及び平面図である。尚、上述し
た構成成分と同様の構成成分については同一の符号を付
しで示す。

この実施例ではコリメートレンズアレイを省略し分岐手
段及び合流手段の構成を変更した他は第一実施例と同様
の構成となっている。以下、第実施例と相違する点につ
き説明し、第一実施例と同様の点についてはその詳細な
説明を省略する。

この実施例の光スイッチ８２は、導波型分岐部８４及び
全反射面を以って構成した第一光ガイド部３４を有する
分岐手段８６と、導波型合流部８８及び全反射面を以っ
て構成した第二光ガイド部４０を有する合流手段９０と
、これら手段８６及び９０の間に設けた光シャッターア
レイ４４とを備えて成る。

そして分岐部８４ヲ入力した光のパワーの分布を分岐部
の深さ方向×２において均一化する機能を有する分岐部
とし、同様に合流部８８８人力した光のパワーの分布を
合流部の深さ方向Ｙ２において均一化する機能を有する
合流部とする。

第１４図（Ａ）及び（Ｂ）はこの実施例の分岐手段の説
明に供する斜視図であり、これら図（Ａ）及び（Ｂ）は
分岐手段８４の形成方法の一例の主要な工程を段階的に
示す。

この実施例の分岐手段８４の形成に当っては、まず、第
１４図（Ａ）にも示すように、基板６０ａに切欠部９２
ヲ形成し、第一光ガイド部３４の形成位置に基板側面に
対して角度ψ（例えば４５°）だけ傾いた斜面９４（第
１４図（Ａ）中、斜面９４を点を付して示した）を形成
する。

次に、第１４図（８）にも示すように切欠部９２に分岐
部８４としての光導波路を設ける。その結果、基板側面
に対して角度ψで傾いた全反射面（第一光ガイド部３４
）が斜面９４の位貫にできる。

このようにして分岐手段８６を形成した基板６０ａを複
数個並列させて相互に固着することによって、蔦１３図
（Ａ）にも示すように並列耐雷した分岐手段８６を得る
。

合流手段９０も、分岐手段８６と同様にして形成できる
。

この実施例では分岐部８４及び合流部８８を中挟に形成
でき、従って分岐手段８６及び合流手段９０の高集積化
が図れ、よって光スイッチ８２の小型化を図れるという
利点がある。

またこの実施例においても第一実施例と同様、各構成成
分を精度良く位冨決めした状態で形成できるので、光軸
合せの簡単化が図れる。また分岐部８４及び合流部８８
をスターカブラと同様の機能を有する分岐部及び合流部
とすることによって、分岐部８４及び合流部８８と入力
ファイバ４６及び出力ファイバ４８との位冨決めを高精
度に行なわずにすむので、光軸合せの簡単化を図れる。

またこの実施例によれば、光ガイド部３４．４０の巾を
２０ｕｍ　（又は５０ｕｍ）、分岐部８８及び合流部８
４の深さ！２ｍｍ（又は３ｍｍ）、及び分岐手段８６及
び合流手段９０の配設どツチｌｉ　２５０　ｕ　ｍとす
れば、−辺が２．５ｃｍの基板６０．６６を用いて１０
０回線の光スイッチ（又は−辺が２ｃｍの基板６０．６
６ヲ用いて６０回線の光スイッチ）を形成でき、小型な
光スイッチを提供できる。

尚、第二実施例においてもコリメートレンズアレイを設
けるようにしても良い。

く変形例〉 第１５図はこの実施例の分岐手段の第一変形例の構成を
概略的に示す斜視図である。

この変形例の分岐手段９６は分岐部９８及び第一光ガイ
ド部１００から成り、分岐部９８をクラッド１０２で挟
んだ導波路コアを以って及びガイド部１００を分岐部９
８の端面に例えば研磨によって形成した全反射面または
乱反射面を以って構成している。

分岐手段９６の形成に当っては、板状の形状のクラッド
１０２及び分岐部９８を交互に例えば貼合せ法等によっ
て積層し、その後これら＋０２．９８から成る積層体の
端面に例えば研磨°して第一光ガイド部１００を形成す
る０分岐部９８及びクラッド１０２の厚みヲ薄くすると
これら９８．１０２が反りかえるため厚みを薄くして高
集積化を図ることには限界があるが、簡便に分岐手段９
６を作成できるという利点がある。

合流手段をこの変形例の分岐手段９６と同様の構成とし
ても良い。

第１６図（Ａ）及び（８）は第二実施例における分岐手
段の第二変形例の説明に供する斜視図であり、これら図
（Ａ）及び（Ｂ）は分岐手段の形成方法の一例の主要な
工程を段階的に示す、尚、上述した構成成分と同様の構
成成分については同一の符号を付して示しその詳細な説
明を省略する。

この変形例の分岐手段１１８は、第１６図（Ｂ）にも示
すように、入力した光のパワーの分布を分岐部深さ方向
×２において均一化する機能を有する分岐部１２０と、
全反射面を以って構成した第一光ガイド部１２２とから
構成する。

分岐部１２０ソ基板６０ａに設けた導波路層とし、第一
光ガイド部１２２を分岐部１２０に設けた溝１２４及び
溝＋２４内に設けた任意好適な屈折率を有する媒質例え
ば空気の層によって形成した全反斜面とする。

次に分岐手段１１８の形成方法の一例につき説明する。

まず基板６０ａとして例えばガラス基板を用意し、第１
６図（Ａ）にも示すように例えばイオン交換技術によっ
て基板６０ａに分岐部１２０を形成する。

次に分岐部１２０に例えばイオンミリングによって溝１
２４ヲ形成し、この溝１２４内に媒質１２６例えば空気
の層を設ける。媒質１２６と分岐部１２０との屈折率差
によって全反射面を形成できる。

次に第１６図ＣＢ）にも示すように分岐手段１１８を形
成した複数個の基板６０ａを相互に固着し、よって所定
の位置に並列耐雪した複数個の分岐手段１１８を得る。

尚、導波路形成材料を基板６０ａに例えばＣＶＤ法によ
って堆積させることによって、分岐部１２０ヲ形成する
ようにしても良い。

合流手段をこの変形例の分岐手段１１８と同様の構成と
してもよい。

第１７図は第二実施例における分岐手段の第三変形例の
構成を概略的に示す斜視図である。尚、上述した構成成
分と同様の構成成分については同一の符号を付して示し
その詳細な説明を省略する。

この変形例では分岐手段１２８を、分岐部１３０と全反
射面を以って構成した第−光ガイド部１３２とから構成
する。

分岐部１３０８クラツド１０２で挟んだ導波路コアとし
、第−光ガイド部１３２を分岐部１３０に設けた溝１３
４及び溝１３４内に設けた任意好適な屈折率を有する媒
質１３６によって形成した全反射面とする。

溝１３４の構成を図示のものに限定するものではないが
、図中、分岐部＋３０に設けた溝１３４のひとつの全体
構成を点線で示した。

合流手段をこの変形例の分岐手段１２８と同様の構成と
してもよい。

この発明は上述した実施例にのみ限定されるものではな
く、従って各構成成分の形状、寸法、配設位置、形成材
料、形成方法、配設個数を任意好適に変更することがで
きる０例えば第−及び第二光ガイド部をプリズムとし、
光シャッターアレイと導波型分岐部及び合流部とをプリ
ズム結合するようにしても良い、このプリズムを、例え
ば導波型分岐部上及び導波型合流部上に設けるようにし
ても良いし、或は導波型分岐部及び合流部中に形成する
ようにしても良い。

（発明の効果） 上述した説明からも明らかなように、この発明によれば
、光スイッチを、導波型分岐部及びこの分岐部の出力端
に光学的に結合させた第−光ガイド部を有する分岐手段
と、導波型合流部及びこの合流部の入力端に光学的に結
合させた第二光ガイド部を有する合流手段と、これら分
岐手段及び合流手段の間に設けた光シャックーアレイと
を備えた構成とする。

従っで導波型分岐部を用いて光を分岐し及び導波型合流
部を用いて光を合流するので、光の分岐及び合流にレン
ズを用いずにすみ、これがため光スイッチの小型化が図
れる。

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ）及び（８）はこの発明の第一実施例の説明
に供する平面図及び側面図、 第２図は光シャッターアレイの説明に供する平面図、 第３図はコリメートレンズアレイの説明に供する平面図
、 第４図（Ａ）及び（Ｂ）は分岐手段の説明に供する平面
図及び断面図、 第５図（Ａ）及び（Ｂ）は分岐手段の形成方法の一例の
説明に供する断面図、 第６図は第−実施例の動作の説明に供する図、 第７図（Ａ）及び（Ｂ）は第一実施例にあける分岐手段
の第一変形例の説明に供する平面図及び断面図、 第８図（Ａ）及び（Ｂ）は第一実施例における分岐手段
の第二変形例の説明に供する平面図及び断面図、 第９図（Ａ）及び（８）は第一実施例における分岐手段
の第三変形例の説明に供する平面図及び断面図、 第１０図（Ａ）及び（Ｂ）は第一実施例における分岐手
段の第四変形例の説明に供する平面図及び断面図、 第１１図は第一実施例における分岐手段の第五変形例の
説明に供する平面図、 第１２図は第一実施例における分岐手段の第六変形例の
説明に供する平面図、 第１３図（Ａ）及び（Ｂ）はこの発明の第二実施例の説
明に供する側面図及び平面図、第１４図（Ａ）及び（Ｂ
）は第二実施例の分岐手段の説明に供する斜視図、 第１５図は第二実施例における分岐手段の第一変形例の
説明に供する斜視図、 第１６図（Ａ）及び（Ｂ）は第二実施例における分岐手
段の第二変形例の説明【こ供する斜視図、 第１７図は第二実施例における分岐手段の第三変形例の
説明に供する斜視図、 第１８図（Ａ）及び（Ｂ）は従来の光スイッチの構成の
説明に供する図である。 ４２．９０・・・合流手段 ４４・・・光シャ・ンターアレイ ５４・・・コリメートレンズアレイ。 特許出願人　　　沖電気工業株式会社 ３０．８２・・・光スイッチ ３２．８０．８４．９８、＋０６． １１６．１２０．１３０、＋４０−・・導波型分岐部３
４．７０．７４、＋００．１０８．１２２．１３２・・
・第−光ガイド部３６．６８．７２．７８．８６．９６
．１０４．１１４．１１８．１２８．１３８・・・分岐
手段３８．８８・・・導波型合流部 ４０−・・第二光ガイド部 光シャッターアレイ 第２ 図 二 ＶＢ 分岐手段 第４ 図 コリメートレンズアレイ 第３ 図 分岐手段の形成方法の一例 第５ 図 第−芙施例の動作の説明図 第６ 図 第−英施例の分岐手段の蔦二変形例 第８図 ニ 蔦−英施例の分岐手段の第−変形例 第一英施例の分岐手段の第三変ｆｉｇ砂ｊ第９図 １０４：分岐手段 １０６：分岐部 １０８第一光ガイド部 １１０溝 １１２：媒震 第−実施例の分岐手段の第四変形例 第１０図 １４０ａ：導波路 １４０ｂ・分岐 第一実施例の分岐手段の第六変形例 第１２図 １１４分岐手段 １１６分岐部 １１６ａ：導波路 １１６ｂ曲つ導波路 第−実施例の分岐手段の第五変形例 第１１図 第二実施例の分岐手段の説明図 第１４図 １２６媒質 第二実施例の分岐手段の第二変形例 第１６図 ９６：分岐手段 ９８：導Ｓ型分岐部 １００・第−光ガイド部 １０２、クラッド 第二実施例の分岐手段の第−変形例 第１５図 １２日：分岐手段 １３０：導波型分岐部 １３２：第−光ガイド部 第１７図

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）導波型分岐部及び該分岐部の出力端に光学的に結
   合させた第一光ガイド部を有する分岐手段と、 導波型合流部及び該合流部の入力端に光学的に結合させ
   た第二光ガイド部を有する合流手段と、これら分岐手段
   及び合流手段の間に設けた光シャッターアレイとを備え
   て成ることを特徴とする光スイッチ。
2. （２）前記分岐手段及び光シャッターアレイの間と、前
   記合流手段及び光シャッターアレイの間とにそれぞれコ
   リメートレンズアレイを設けて成ることを特徴とする請
   求項１に記載の光スイッチ。
3. （３）前記第一光ガイド部を、 反射面又は蛍光物質を以って構成することを特徴とする
   請求項１〜２のいずれか一項に記載の光スイッチ。
4. （４）前記第二光ガイド部を、 反射面又は蛍光物質を以って構成することを特徴とする
   請求項１〜３のいずれか一項に記載の光スイッチ。
5. （５）反射面を全反射面、乱反射面又はハーフミラーを
   以って構成することを特徴とする請求項３又は４に記載
   の光スイッチ。