JPH02146374A

JPH02146374A - 非接触メカニカルシール

Info

Publication number: JPH02146374A
Application number: JP63300220A
Authority: JP
Inventors: Eiichi Sato; 栄一佐藤; Ko Inoue; 井上　滉; Hiromitsu Tokisue; 裕充時末; Masahiro Mase; 正弘真瀬
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1988-11-28
Filing date: 1988-11-28
Publication date: 1990-06-05
Anticipated expiration: 2012-07-09
Also published as: JP2627945B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野〕本発明は真空装置等の軸シールに使用される外部加圧方
式の非接触メカニカルシールに係り、特に、シールガス
遮断時の密封面接触事故防止に配慮した非接触メカニカ
ルシールに関する。

〔従来の技術〕

従来の装置は特開昭６１−１０４１８７号公報に記載の
ように、停止時及び低速回転時には接触式メカニカルシ
ール、高速時には非接触メカニカルシールになるように
自動的に切換える機構になっていた。なお、この種のシ
ールとして関連するものには、例えば、１９８１年発行
の「機械の研究」第３３巻第７号に［最近のメカニカル
シールとその応用」と題して記載されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術は低速回転時にもシール面が非接触になる
という点について配慮がされておらず、シール面が接触
し、異常摩耗あるいは焼付きを起こすなどの危険性が十
分考えられ、最終的には真空ポンプそのもののトラブル
につながるおそれがあった。

本発明の課題は低速回転時から非接触とするためのシー
ルガスの導入が遮断されても回転シールリングと静止シ
ールリングに非接触を維持させるにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記の課題は、回転軸に該回転軸と同心状に固定された
回転シールリングと、これに前面を対向させて密封面を
形成する、前記回転軸と独立の保持手段に保持された静
止シールリングと、該密封面にシールガスを供給する手
段と、前記密封面と真空室を連通する通路と、前記静止
シールリングの背面と前記保持手段の間に形成された背
面室と、を備えた非接触メカニカルシールにおいて、前
記静止シールリングの背面と前記保持手段の間を内部空
間を有し前記回転軸長手方向に伸縮可能なベローシール
で接続し、前記内部空間と前記密封面と連通し、前記ベ
ローシールの外部の背面室をすくなくとも大気圧に保持
することにより達成される。

また、回転軸に該回転軸と同心状に固定された回転シー
ルリングと、これに前面を対向させて密封面を形成する
、前記回転軸から独立した保持手段に保持された静止シ
ールリングと、該密封面にシールガスを供給する手段と
、前記密封面と真空室を連通する通路と、前記静止シー
ルリングの背面と前記保持手段の間に形成された背面室
と、を備えた非接触メカニカルシールにおいて、前記背
面室を前記密封面と連通してもよい。

また、回転軸に該回転軸と同心状に固定された回転シー
ルリングと、これに前面を対向させて密封面を形成する
。前記回転軸から独立した保持手段に保持された静止シ
ールリングと、該密封面にシールガスを供給する手段と
、前記密封面と真空室を連通する通路と、前記静止シー
ルリングの背面と前記保持手段の間に形成された背面室
と、を備えた非接触メカニカルシールにおいて、前記静
止シールリング背面と前記保持手段とを前記回転軸長手
方向に伸縮するスプリングで接続し、前記背面室と外部
の大気圧の空間とを弁を介して接続し、前記背面室と前
記真空室とを弁を介して接続し、前記答弁の開閉をシー
ルガスの圧力の大きさにもとすいて制御する制御手段を
備えてもよい。

さらに１回転軸に該回転軸と同心状に固定された回転シ
ールリングと、これに前面を対向させて密封面を形成す
る。前記回転軸から独立した保持手段に保持された静止
シールリングと、該密封面にシールガスを供給する手段
と、前記静止シールリングの背面と前記保持手段の間に
形成された背面室と、を備えた非接触メカニカルシール
において、前記背面室をすくなくとも大気圧に保持し、
前記静止シールリングの背面と前記保持手段とを前記回
転軸長手方向に伸縮するスプリングで接続し、前記静止
シールリング外周部に径が変化する段付面を設け、該段
付面を側面とする空間にシールガスを供給する手段を設
け、前記静止シールリングの前面と前記保持手段とを前
記回転軸長手方向に伸縮するスプリングで接続してもよ
い。

また、半径方向の密封面をなす前面と、ベローシールが
接続される半径方向の背面とを備え、前面と背面とを連
通ずる連通穴を有するほぼ円筒形の静止シールリングと
、該静止シールリングの背面に、前記連通穴の開口を内
部空間に連通させて結合されたベローシールとを含んで
なることを特徴とする非接触メカニカルシール用静止シ
ールリングユニットとしてもよい。

〔作用〕

請求項１に記載の発明によれば、シールガスが遮断され
ると、シールリングの密封面付近が真空状態となり、連
通穴を通し、ベローシール内部空間が真空状態となる。

背面室はすくなくとも大気圧に保持されているので、ベ
ローシール外部が内部より高圧となり、ベローシールは
縮んで、静止シールリングは、背面側に移動し、密封面
は離れて回転シールリングと静止シールリングの接触が
防止される。

請求項２に記載の発明によれば、シールガスが遮断され
ると、真空室につながる密封面が真空状態となり、次い
で密封面に連通された背面室が真空状態になって静止シ
ールリングを回転シールリングに押しつける力が消滅し
て、逆に静止シールリングを回転シールリングから離そ
うとする力が生じ、シールリングの非接触状態が保持さ
れる。

請求項３に記載の発明によれば、シールガス圧力が正常
の場合は背面室が大気に連通され、真空室とは遮断され
て、静止シールリングに加わる軸方向の力がつり合い、
密封面が適切なすき間に保持される。シールガス圧力が
低下すると大気と背面室を連通ずる弁が閉じられ、真空
室と背面室を連通する弁が開かれて背面室圧力が真空状
態となる。このため、静止シールリングを背面室側に吸
引する力が優勢となり、静止シールリン、グが背面室側
に動き、シールリングの接触は防止される。

請求項４に記載の発明によれば、通常運転時は段付面に
加わるシールガス圧力と、静止シールリング背面に加わ
るスプリングの力が密封面に供給されるシールガスの静
圧力と静止シールリング前面と保持手段の間に設けられ
たスプリングの力とつり合って、密封面のすきまが適切
な値に保持されている。シールガスが遮断されると、段
付面に加わる圧力と密封面に供給されるシールガスによ
る静圧力とがなくなり静止シールリングの前面、背面の
スプリングの力のつり合いにより、密封面すき間が定ま
る。よって背面側のスプリング力と前面側のスプリング
力を退室してシールガス遮断時の密封面すき間を定める
ことができる。

請求項５に記載の発明によれば、静止シールリングとベ
ローシールとが一体のユニットとされているので、保持
手段への静止シールリングの組みこみが容易である。

〔実施例〕

第５図は本発明の適用対象であるスクリュー真空ポンプ
の構造断面図の一例である。スクリュー形のオスロータ
２１とメスロータ２２は鄭動軸２３により駆動されるタ
イミングギヤ２４を介して非接触で同期回転する。これ
らロータが回転すると両ロータ２１，２２のかみあい部
は図の右方向へ移動する。この時吸気口２５から吸込ま
れた気体は両ロータにより圧縮移送され、排気口２６か
ら大気圧まで昇圧され排気される。両ロータ２１゜２２
は玉軸受２７ａ、２７ｂで支持されており、玉軸受２７
ａへの潤滑油供給は油タンク室２８の油をロータ軸端に
取り付けられた油はねかけ板２９によりかきあげて行な
い、一方軸受２７ｂにはタイミングギヤ２４へのジェッ
ト給油の１部が飛沫として給油される。この潤滑油がオ
イルフリーなロータ機内側へ漏洩するのを防止するため
、吸気側、排気側それぞれに軸封装置３０ａ、３０ｂが
設けられる。その中でとくに、軸封３０ｂの場合、軸受
側の圧力は真空ポンプ定常運転中、大気圧であるが、機
内ロータ側は回転するロータ端面が低圧となる関係上、
軸封３０ｂ前後に差圧が生じる。本考案の非接触メカニ
カルシールは圧力差の大きい排気側軸封３０ｂにおいて
より有効に作用するものである。

第６図も本発明の適用対象であるターボ真空ポンプの構
造断面図の一例である。ハウジング３１内に順次配設さ
れた遠心圧縮ポンプ段３２及び円周流圧縮ポンプ段３３
とを備え、回転軸３４はこれに連結したモータ３５によ
り除動され、吸気口３６から吸込まれた気体は排気口３
７から大気圧まで昇圧され排気される。回転軸３４は軸
受３８ａ、３８ｂで支持される。軸受３８ａ、３８ｂの
潤滑はポンプ下部内の潤滑油３９を外部ポンプにより、
強制給油して行われる。この潤滑油がポンプ段を有する
機内側へ漏洩するのを防止するため軸封装置４０が設け
られる。本考案の非接触メカニカルシールは軸封装置４
０に適用されるものである。

以下、本発明の一実施例を第１図により、説明する。円
板型の回転シールリング３は回転軸１に同心状に固定さ
れ、回転軸１は回転シールリング３より軸受室１１側で
油潤滑軸受２により支持されている。回転軸１と回転シ
ールリング３の間は０リング３ａによりシールされてい
る。回転シールリング３の軸受２が設けられているのと
反対側に、該回転シールリング３をおおう円筒状のハウ
ジング８が回転軸１と同心状に設けられ、該ハウジング
８の内径側には断面り字形の突出部８Ｃが、Ｌ字の水平
部８ｄの先端を回転シールリング３側に対向させて回転
軸１と同心環状に形成されている。前記突出部８Ｃの水
平部８ｄの内径面は、回転軸１に嵌装・固定されて回転
軸１、回転シールリング３と共に回転する円筒形のスリ
ーブ３ｂの外径面に間隔Ｓ２をへだてて対向している。

前記ハウジング８の内径面と、回転シールリング３の突
出部８Ｃに対向する面と、突出部８Ｃとで囲まれた区画
に１円環状の静止シールリング４が配設されている。該
静止シールリング４の外周とハウジング８の内径面の間
は、回転軸１と同心状に、かつ、前記回転軸の長手方向
に間隔をおいて該静止シールリング４の周囲に嵌装され
た２個のＯリング５により、シールされるとともに相互
に軸方向に滑動可能となっている。さらに該静止シール
リング４の内周面と前記突出部の水平部８ｄの外周面の
間も、前記０リング５同様、回転軸１と同心状に配設さ
れた０リング６により、相互に滑動可能にシールされて
いる。水平部８ｄの端部と回転シールリング３の間では
、静止シールリング４の内周面は、前記スリーブ３ｂの
外周面に間隔Ｓ２をへだてて対向している。静止シール
リング４の回転シールリング３の側面と対向する面（以
下、前面という）４ｄには、回転軸１と同心状に回転シ
ールリング３の側面と対向する複数（図上では１個のみ
図示した）の環状溝４ａが形成されている。環状溝４ａ
が形成された部分が密封面である。静止シールリング４
の突出部８ｃの半径方向の面と対向する面（以下背面と
いう）４ｃと、前記突出部８Ｃとはたがいにはなれて配
置され、その間が背面室９となっている。また、突出部
８Ｃと背面４ｃとは背面室９内に設けられた内部空間７
ａを僅えたベローシール７により結合されている。該ベ
ローシール７は回転軸１の長手方向に伸縮可能に形成さ
れている。第７図および第８図は、このベローシール７
の取付状態を第１図のＡ−Ａ矢視で示している。第７図
はそれぞれが独立した内部空間７ａを備える３個のベロ
ーシール７が設けられた場合を示し、第８図は回転軸１
と同心状の環状の内部空間７ａを備えた１個のベローシ
ール７が設けられた場合を示している。

前記背面室９はハウジング８に設けられた連通穴８ａに
より外部の大気と連通されており、前記ベローシール７
の内部空間７ａは、静止シールリング４の内部に設けら
れた連通穴４ｂにより密封面の環状溝４ａに連通されて
いる。また、前記連通穴４ｂは、前記２個のＯリング５
の中間で静止シールリング４の外周面に開口する分岐を
有し。

該開口には、オリフィス４ｅが設けられている。

オリフィス４ｅと環状溝４ａを接続する連通穴４ｂが、
密封面にシールガスを供給する手段をなしている。ハウ
ジング８は、また、前記オリフィス４ｅに対向する位置
のハウジング内径面とハウジング外周面を連通ずるガス
供給孔８ｂを儒えている。また、ハウジング８の内周面
が回転シールリング３の外周面に対向する部分は、回転
シールリング側に膨出して前記回転軸１と同心の環状部
８ｅとなり、前記回転シールリング３の外周面との間に
間隔Ｓ□を形成している。突出部８ｃの背面室９と反対
の側は真空室１０となっている。

本実施例において、通常の運転状態では、回転＋１１１
１１は油潤滑軸受２により支持され、回転シールリング
３、スリーブ３ｂとともに高速で回転する。

一方固定側軸封要素である静止シールリング４は、Ｏリ
ング５，６およびベローシール７に支持され、シールガ
スがガス供給孔８ｂからオリフィス４ｅ、連通穴４ｂを
経て、環状溝４ａに供給され、このガスの静圧効果によ
り、静止シールリング４は、静止シールリング４と回転
シールリング３の間の密封面（以下シール面という）す
き間りが大きくなるように図上左向きの力を受ける。ま
た、連通穴４ｂに供給されたシールガスはベローシール
の内部空間７ａにも供給されるが、背面室９の内圧力は
連通穴８ａにより、大気圧に保持されているので、内部
空間７ａが背面室９より高圧となってベローシール７は
、伸びようとし、静止シールリング４に図上右向きの力
が加わる。この左向き、右向きの力がバランスする位置
で静止シールリング４は安定し、回転シールリング３と
静止シールリング４の間のシール面すき間りが数十μｍ
に維持され、シールリングの非接触状態で油潤滑軸受２
からのオイルミストが真空室１０内へ浸入するのが阻止
される。

次に、上述の状態で、シールガスが遮断されると、静止
シールリング４の環状溝４ａ及びベローシール７の内部
空間７ａの圧力が低下し、環状溝４ａの静圧による図上
左向きの力および、ベローシール７の伸びようとする図
上右向きの力が消失する。これと同時に、真空室１０が
真空状態（大気圧より低い状態）にあり、かつ、真空室
１０と環状溝４ａを備えた密封面は、密封面と真空室を
連通ずる通路であるすき間Ｓ２を介して連通されている
ので、環状溝４ａの部分は真空状態となる。

また、環状溝４ａとベローシールの内部空間７ａも、連
通穴４ｂにより連通されているのでベローシール７の内
部空間７ａも真空状態となり、大気圧である背面室９よ
りも低圧となって、ベローシール７は縮もうとする力、
図上左向きの力を生ずる。このため、シール面すき間り
は広がり、回転シールリング３と静止シールリング４の
非接触状態が維持される。尚、環状溝４ａの静圧効果に
よるスラスト力が小さい場合は、第７図に示すように、
複数個の独立したベローシールが適し、スラスト力が大
きい場合は第８図に示す円環状のベローシールとするこ
とができる。

第２図は、本発明の第２の実施例を示し、連通穴８ａが
なくて背面室９は密閉室となっていること、および、背
面室９内のベローシール７がなくて、背面室９は連通穴
４ｂに接続されていることが、前記第１の実施例と異な
る。他は同一であるので、同一の符号を付し説明は省略
する。

本実施例によれば、通常運転時はガス供給孔８ｂから１
入されたガス圧により、環状溝４ａに静圧（図上左向き
の力）が発生する。一方、背面室９は密閉室となってい
るので、連通穴４ｂからガス圧が印加されるとエアシリ
ンダとなりシール面押し付は力（図上右向きの力）が発
生する。上記２つの相反する力のつりあいにより、シー
ル面すきまｈが一定に保たれる。

つぎに、シールガスが遮断されると静圧による力及び、
シール面押し付は力がなくなる。同時に真空室１０が真
空状態であるので、環状溝４ａ及び連通穴４ｂを通し背
面室９が真空状態となる。

軸受室１１は大気圧であり、静止シールリング４の前面
４ｄと軸受室１１とは、すき間Ｓ□により連通されてい
るので、静止シールリング４の周辺の圧力分布は、前面
４ｄの方が背面４ｃより高い圧力分布を示す、従って静
止シールリング４は大気圧側（前面側）から真空側（背
面側）へ移動することになり、シール面すきまｈは広が
る。従ってシールガスが途切れてもシール面は非接触状
態を維持する効果がある。

第３図は本発明の第３の実施例を示し、前記第１の実施
例と異なる点は、背面４ｃと突出部８ｃがベローシール
７の代りに回転軸１の長手方向に伸縮するスプリング１
２で接続されていることと、環状溝４ａ、ベローシール
の内部空間７ａとオリフィス４ｅを連通する連通穴４ｂ
の代りに、環状溝４ａとオリフィス４ｅを連通する連通
穴４ｆが設けられていることと、真空室１０と背面室９
が弁１４を介して連通され、背面室９と外部の大気が弁
１３を介して連通されていることと、シールガスの圧力
を検知して前記弁１３．１４の開閉を制御する弁制御手
段１６が設けられたことである。

他の部分は前記第１の実施例と同じであり、同一の符号
を付して説明を省略する。

本実施例において、通常運転時は連通穴４ｆを経て供給
されるシールガスにより静止シールリング４の環状溝４
ａに発生する静圧による力と、背面４ｃに加わるスプリ
ング１２による力がつり合ってシール面すき間りが保持
されている１通常運転時は、設定圧力よりシールガス圧
力が充分高いので、弁制御手段１６は弁１３を開にし、
弁１４を閉とする。この結果、背面室９は大気圧となり
、さきにのべた力のつり合いが成立している。シールガ
スが遮断されると、弁制御手段１６は、シールガス圧力
が設定値より低下したことを検知し。

弁１３を閉に、弁１４を開とする。この結果、真空状態
にある真空室１０と背面室９が連通されて背面室９が真
空状態となり、静止シールリング４の前面４ｄはすき間
Ｓｉにより大気圧の軸受室１１と連通されて圧力が大気
圧に近くなるので、静止シールリング４はシール面すき
間りが大きくなる方向に移動し、シール面は非接触に保
持される。

図中、弁を２個としたが三方切換弁１個としてもよい。

第４図は本発明の第４の実施例を示し、前記第１乃至第
３の実施例は、真空ポンプ等の真空機器の回転軸を対象
にしたが本実施例は真空を期待できない１例えば送風機
、圧縮機などの軸シールを対象にしている。本実施例は
真空ポンプにも適用可能である。

本実施例が前記第１の実施例と異なる点は、ベローシー
ル７の代りに背面４ｃと突出部８ｃが回転軸１の長手方
向に伸縮するスプリング１２で接続されていることと、
オリフィス４ｅ、ベローシールの内部空間、および環状
溝４ａを連通する連通穴４ｂの代りに、オリフィス４ｅ
と環状溝４ａを連通する連通穴４ｆが設けられているこ
とと、静止シールリング４の前面４ｄとハウジング８の
環状部８ｅの半径方向側面が回転軸１の長手方向に伸縮
するスプリング１７で接続されていることと、回転シー
ルリング３に近い側の０リング５が装着された部分の静
止シールリング４の外径が増加されて該静止シールリン
グに２個のＯリング５の間で半径方向の段付面１８が設
けられ、静止シールリング４の部分的外径増加に合わせ
て、ハウジング８に凹みが設けられていることである。

前記段付面１８とこの段付面に対向するノ）ウジング８
の面とで囲まれた円環状空間１９は、ハウジング８の内
周面と静止シールリング４の外周面の間のすき間を通し
てガス供給孔８ｂと連通している。

また、久プリング１２の力はスプリング１７の力より弱
くしである。その他の部分は前記第１の実施例と同じで
あるので同一の符号を付して説明は省略する。第４の実
施例において１通常運転時は、供給されるシールガスに
より静止シールリング４の環状溝４ａに発生する静圧に
よる力およびスプリング１７により静止シールリング４
に対し前面から背面に向って（図上左向き）加わる力が
、静止シールリング４の背面４Ｃに加わるスプリング１
２の力および供給されるシールガスにより前記段付面１
８に加わる圧力とバランスし、シール面すき間りが維持
される。シールガスが遮断されると、環状溝４ａに発生
する静圧力、段付面１８に加わるシールガス圧力が倶に
消滅するので、静止シールリング４に加わる回転軸長手
方向の力は、スプリング１２．１７の力のみとなる。ス
プリング１２の力はスプリング１７の力より弱いから。

静止シールリング４は背面方向に動いた位置で両者の力
がバランスし、シール面の非接触状態が維持される。

〔発明の効果〕

本発明によれば、シールガスが遮断されても、密封面が
接触するのを回避することが可能となり、メカニカルシ
ールの寿命延長の効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例を示す非接触メカニカルシ
ール部の縦断面図、第２図、２第３図及び第４図はそれ
ぞれ第２．３．４の実施例を示す非接触メカニカルシー
ル部の縦断面図、第５図及び第６図は本発明を実施する
スクリュー真空ポンプ及びターボ真空ポンプの構造断面
図、第７図及び第８図は第１図のＡ−Ａ断面図である。１・・・回転軸、３・・・回転シールリング、４・・・
静止シールリング、４ａ・・・密封面（環状溝）、４ｂ
・・・密封面にシールガスを供給する手段（連通穴）、
４ｃ・・・静止シールリングの背面。４ｄ・・・静止シールリングの前面、７・・・ベローシ
ール、７ａ・・・ベローシールの内部空間、８・・・保
持手段（ハウジング）、９・・・背面室。１０・・・真空室、１２．１７・・・スプリング、１３
．１４・・・弁、１６・・・制御手段、１８・・・段付
面、Ｓ２・・・密封面と真空室を連通ずる通路（すき間
）。第１図

Claims

【特許請求の範囲】１、回転軸に該回転軸と同心状に固定された回転シール
リングと、これに前面を対向させて密封面を形成する、
前記回転軸と独立の保持手段に保持された静止シールリ
ングと、該密封面にシールガスを供給する手段と、前記
密封面と真空室を連通する通路と、前記静止シールリン
グの背面と前記保持手段の間に形成された背面室と、を
備えた非接触メカニカルシールにおいて、前記静止シー
ルリングの背面と前記保持手段の間が内部空間を有し前
記回転軸長手方向に伸縮可能なベローシールで接続され
ていることと、前記内部空間と前記密封面とが連通され
ていることと、前記ベローシールの外部の背面室がすく
なくとも大気圧に保持されていることと、を特徴とする
非接触メカニカルシール。２、回転軸に該回転軸と同心状に固定された回転シール
リングと、これに前面を対向させて密封面を形成する、
前記回転軸から独立した保持手段に保持された静止シー
ルリングと、該密封面にシールガスを供給する手段と、
前記密封面と真空室を連通する通路と、前記静止シール
リングの背面と前記保持手段の間に形成された背面室と
、を備えた非接触メカニカルシールにおいて、前記背面
室が前記密封面と連通されていることを特徴とする非接
触メカニカルシール。３、回転軸に該回転軸と同心状に固定された回転シール
リングと、これに前面を対向させて密封面を形成する、
前記回転軸から独立した保持手段に保持された静止シー
ルリングと、該密封面にシールガスを供給する手段と、
前記密封面と真空室を連通する通路と、前記静止シール
リングの背面と前記保持手段の間に形成された背面室と
、を備えた非接触メカニカルシールにおいて、前記静止
シールリング背面と前記保持手段とが前記回転軸長手方
向に伸縮するスプリングで接続されていることと、前記
背面室と外部の大気圧の空間とが弁を介して接続されて
いることと、前記背面室と前記真空室とが弁を介して接
続されていることと、前記各弁の開閉をシールガスの圧
力の大きさにもとずいて制御する制御手段を備えている
ことと、を特徴とする非接触メカニカルシール。４、回転軸に該回転軸と同心状に固定された回転シール
リングと、これに前面を対向させて密封面を形成する、
前記回転軸から独立した保持手段に保持された静止シー
ルリングと、該密封面にシールガスを供給する手段と、
前記静止シールリングの背面と前記保持手段の間に形成
された背面室と、を備えた非接触メカニカルシールにお
いて、前記背面室がすくなくとも大気圧に保持されてい
ることと、前記静止シールリングの背面と前記保持手段
とが前記回転軸長手方向に伸縮するスプリングで接続さ
れていることと、前記静止シールリング外周部に径が変
化する段付面が設けられ、該段付面を側面とする空間に
シールガスを供給する手段が設けられていることと、前
記静止シールリングの前面と前記保持手段とが前記回転
軸長手方向に伸縮するスプリングで接続されていること
と、を特徴とする非接触メカニカルシール。５、半径方向の密封面をなす前面と、ベローシールが接
続される半径方向の背面とを備え、前面と背面とを連通
する連通穴を有するほぼ円筒形の静止シールリングと、
該静止シールリングの背面に、前記連通穴の開口を内部
空間に連通させて結合されたベローシールとを含んでな
ることを特徴とする非接触メカニカルシール用静止シー
ルリングユニット。