JPH02141700A - Ｘ線集光方法およびｘ線集光鏡 - Google Patents
Ｘ線集光方法およびｘ線集光鏡Info
- Publication number
- JPH02141700A JPH02141700A JP63294525A JP29452588A JPH02141700A JP H02141700 A JPH02141700 A JP H02141700A JP 63294525 A JP63294525 A JP 63294525A JP 29452588 A JP29452588 A JP 29452588A JP H02141700 A JPH02141700 A JP H02141700A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- ray
- elliptical
- mirrors
- elliptical cylindrical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 abstract description 7
- 230000008030 elimination Effects 0.000 abstract 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
【産業上の利用分野】
本発明はＸ線光学系に関り、特に解像度の高いＸ線集光
結像を得るのに適したＸ線用集光鏡に関する。 （従来の技術１ 従来、直交させた二枚の曲面鏡によって水平垂直二方向
を独立に集光させて非点収差を解消する光学系としては
、ジャーナル オブ オプティカル ソサエティー オ
ブ アメリカ ３８巻（１９４８年）頁７６６〜７７４
（Ｊ、 Ｏｐｔ、 Ｓｏｃ。 Ａｍ、 ３８ （１９４８） ７６６−７７４）にある
ように、二枚の鏡に円筒鏡（あるいは、近似的に球面鏡
）を用いる方法が知られている。 また、ウォルター型のように回転楕円面や回転放物面な
どの回転対称な非球面鏡面の組合せによっても非点収差
の無い集光結像が可能であることも知られている。 【発明が解決しようとする課題ｌ 上記従来技術において、円筒鏡を用いる方法では球面収
差のために高解像度が得られない。回転対称非球面を用
いる方法では球面収差は無いが、Ｘ線領域で十分な反射
率を得るためには非常に浅い入射角が必要であり、この
ため、必然的に内径の小さい（通常、内径数ｍｍ以下）
鏡になる。このようなものの内面を直接加工することは
極めて困難である。 本発明の目的は、回転対称非球面鏡と同様に非点収差、
球面収差が無く、かつ鏡の内面を直接加工することが容
易なＸ線光学系を提供することにある。 （課題を解決するための手段１ 上記目的は、前記従来技術の二枚の球面鏡によって水平
垂直二方向を独立に集光させたＸ線集光鏡において、球
面鏡に換えて楕円筒面鏡、すなわち、円筒鏡の円を楕円
に変えた反射鏡、あるいは。 上記楕円を放物線、もしくは双曲線に換えた反射鏡を用
いることによって達成される。 【作用１ 本発明の作用を第１図および第２図に従って説明する。 簡単な幾何学から明らかなように、楕円の一方の焦点か
らでた光線は他方の焦点に集まる。 この軸上の結像は完全なものである。 ここで、第１図に示すように、ミラーとして楕円筒の一
部を用いることによって、焦点近傍の点から出た光線も
良い近似で他方の焦点の近傍の点に集光させることがで
きる。このときの像の倍率は発光点からミラー位置まで
の距離をｂ、ミラー位置から集光点までの距離をａとし
た時に、近似的にａ ／ ｂになる。即ち、発光点が第
１の焦点から軸と直角の方向にＤだけ離れている場合、
反射光は第２の焦点の近傍で軸から、 Ｄ Ｘ ａ ／ ｂ ・・・・・・・・・・
・（１）だけ離れた位置に近似的に集光する。従って、
発光点が有限の大きさＳを有するとき、集光された像の
大きさはｓ Ｘ ａ ／ ｂになる。 本方法では一個の楕円筒面鏡では、一方向のみが集光さ
れ、他の方向は鏡面の曲率が零（即ち平面と等価）であ
るために全く集光されない。即ち。 −点からのＸ、１ｇは線状の像となって集光される。 発光点からのＸ線を点状に集光させるためには、第２図
に示す様に、二枚の楕円筒面鏡を互いに直交させて用い
ればよい。即ち第１の鏡では水平方向のみを集光させ、
第２の鏡では垂直方向のみを集光させる。ここで、二つ
の楕円筒面鏡において各々の焦点を共有するように選ぶ
ことによって、非点収差を無くすことができる。 上記説明では、楕円の場合に関してのみ述べたが、入射
光が平行光の場合（即ち、発光点が無限遠にある場合）
は楕円を放物線に換えれば良い。 また、入射光がある仮想的な点に集光するようになって
いる場合（即ち、虚像を有する場合）は双曲線に換える
ことによって同様に集光結像が可能となる。 （実施例） 以下、本発明の一実施例を第２図により説明する。発光
点から第１のミラー先端までの距離（Ｌｌ）を２８００
０ｍｍ、ミラーの長さ（Ｌ２．Ｌ３）をそれぞれ３０ｍ
ｍとして、第２のミラーの終端から１５ｍｍ （Ｌ４）
の位置に発光点の像を結像させた。ミラーはいずれも楕
円筒面鏡であり。 発光点と集光点がそれぞれの楕円の焦点になるように配
置した。第１の反射鏡が垂直方向、第２の反射鏡が水平
方向を集光する。波長２．０人のＸ線を用いた。鏡はい
ずれも銅製であり、反射効率を上げるためにＸ線は鏡面
におよそ３〜４ミリラジアンの視射角で入射させ、全反
射が起こるようにしである。これによって、１ ｍ ｍ
Ｘ ２ ｍ ｍ程度の大きさの発光点の像が約１０μ
ｍＸ１０μｍの大きさのスポットに集光された。 ［発明の効果１ 本発明によれば、円筒鏡を用いる方法と異なり。 球面収差が完全に解消される。さらに、水平垂直それぞ
れの焦点距離を独立に選ぶことができるため、非点収差
も解消出来る。従って、高解像度な集光結像が得られる
。また本発明では、回転対称非球面を用いる方法と異な
り、曲率の小さい面だけで反射面を構成出来るため、反
射面を直接に切１゛Ｆ１法や研磨法で加工することが容
易となるという効果がある。
結像を得るのに適したＸ線用集光鏡に関する。 （従来の技術１ 従来、直交させた二枚の曲面鏡によって水平垂直二方向
を独立に集光させて非点収差を解消する光学系としては
、ジャーナル オブ オプティカル ソサエティー オ
ブ アメリカ ３８巻（１９４８年）頁７６６〜７７４
（Ｊ、 Ｏｐｔ、 Ｓｏｃ。 Ａｍ、 ３８ （１９４８） ７６６−７７４）にある
ように、二枚の鏡に円筒鏡（あるいは、近似的に球面鏡
）を用いる方法が知られている。 また、ウォルター型のように回転楕円面や回転放物面な
どの回転対称な非球面鏡面の組合せによっても非点収差
の無い集光結像が可能であることも知られている。 【発明が解決しようとする課題ｌ 上記従来技術において、円筒鏡を用いる方法では球面収
差のために高解像度が得られない。回転対称非球面を用
いる方法では球面収差は無いが、Ｘ線領域で十分な反射
率を得るためには非常に浅い入射角が必要であり、この
ため、必然的に内径の小さい（通常、内径数ｍｍ以下）
鏡になる。このようなものの内面を直接加工することは
極めて困難である。 本発明の目的は、回転対称非球面鏡と同様に非点収差、
球面収差が無く、かつ鏡の内面を直接加工することが容
易なＸ線光学系を提供することにある。 （課題を解決するための手段１ 上記目的は、前記従来技術の二枚の球面鏡によって水平
垂直二方向を独立に集光させたＸ線集光鏡において、球
面鏡に換えて楕円筒面鏡、すなわち、円筒鏡の円を楕円
に変えた反射鏡、あるいは。 上記楕円を放物線、もしくは双曲線に換えた反射鏡を用
いることによって達成される。 【作用１ 本発明の作用を第１図および第２図に従って説明する。 簡単な幾何学から明らかなように、楕円の一方の焦点か
らでた光線は他方の焦点に集まる。 この軸上の結像は完全なものである。 ここで、第１図に示すように、ミラーとして楕円筒の一
部を用いることによって、焦点近傍の点から出た光線も
良い近似で他方の焦点の近傍の点に集光させることがで
きる。このときの像の倍率は発光点からミラー位置まで
の距離をｂ、ミラー位置から集光点までの距離をａとし
た時に、近似的にａ ／ ｂになる。即ち、発光点が第
１の焦点から軸と直角の方向にＤだけ離れている場合、
反射光は第２の焦点の近傍で軸から、 Ｄ Ｘ ａ ／ ｂ ・・・・・・・・・・
・（１）だけ離れた位置に近似的に集光する。従って、
発光点が有限の大きさＳを有するとき、集光された像の
大きさはｓ Ｘ ａ ／ ｂになる。 本方法では一個の楕円筒面鏡では、一方向のみが集光さ
れ、他の方向は鏡面の曲率が零（即ち平面と等価）であ
るために全く集光されない。即ち。 −点からのＸ、１ｇは線状の像となって集光される。 発光点からのＸ線を点状に集光させるためには、第２図
に示す様に、二枚の楕円筒面鏡を互いに直交させて用い
ればよい。即ち第１の鏡では水平方向のみを集光させ、
第２の鏡では垂直方向のみを集光させる。ここで、二つ
の楕円筒面鏡において各々の焦点を共有するように選ぶ
ことによって、非点収差を無くすことができる。 上記説明では、楕円の場合に関してのみ述べたが、入射
光が平行光の場合（即ち、発光点が無限遠にある場合）
は楕円を放物線に換えれば良い。 また、入射光がある仮想的な点に集光するようになって
いる場合（即ち、虚像を有する場合）は双曲線に換える
ことによって同様に集光結像が可能となる。 （実施例） 以下、本発明の一実施例を第２図により説明する。発光
点から第１のミラー先端までの距離（Ｌｌ）を２８００
０ｍｍ、ミラーの長さ（Ｌ２．Ｌ３）をそれぞれ３０ｍ
ｍとして、第２のミラーの終端から１５ｍｍ （Ｌ４）
の位置に発光点の像を結像させた。ミラーはいずれも楕
円筒面鏡であり。 発光点と集光点がそれぞれの楕円の焦点になるように配
置した。第１の反射鏡が垂直方向、第２の反射鏡が水平
方向を集光する。波長２．０人のＸ線を用いた。鏡はい
ずれも銅製であり、反射効率を上げるためにＸ線は鏡面
におよそ３〜４ミリラジアンの視射角で入射させ、全反
射が起こるようにしである。これによって、１ ｍ ｍ
Ｘ ２ ｍ ｍ程度の大きさの発光点の像が約１０μ
ｍＸ１０μｍの大きさのスポットに集光された。 ［発明の効果１ 本発明によれば、円筒鏡を用いる方法と異なり。 球面収差が完全に解消される。さらに、水平垂直それぞ
れの焦点距離を独立に選ぶことができるため、非点収差
も解消出来る。従って、高解像度な集光結像が得られる
。また本発明では、回転対称非球面を用いる方法と異な
り、曲率の小さい面だけで反射面を構成出来るため、反
射面を直接に切１゛Ｆ１法や研磨法で加工することが容
易となるという効果がある。
第１図は本発明における楕円面によるＸ線の集光結像の
原理を示す図、第２図は本発明の一実施例のふかん図で
ある。 符号の説明 Ｏ・・発光点、Ｆｌ・・第１焦点、Ｆ２・・・第２焦点
、■・・・集光点、Ｍ・・・楕円筒面ｆｉ、Ｍｌ・・・
第１ミラーＭ２・・・第２ミラー、Ｘ・・・Ｘ線の光路
。 ７目 一一一−ｂ 、 几→
原理を示す図、第２図は本発明の一実施例のふかん図で
ある。 符号の説明 Ｏ・・発光点、Ｆｌ・・第１焦点、Ｆ２・・・第２焦点
、■・・・集光点、Ｍ・・・楕円筒面ｆｉ、Ｍｌ・・・
第１ミラーＭ２・・・第２ミラー、Ｘ・・・Ｘ線の光路
。 ７目 一一一−ｂ 、 几→
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、Ｘ線発生源と、上記発生源からのＸ線を反射し、第
１の軸方向に収束せしめる第１の楕円筒面鏡と、上記第
１の楕円筒面鏡に対して直交配置され、第１の楕円筒面
鏡からのＸ線を反射し、上記第１の軸方向に直交する第
２の軸方向に収束せしめる第２の楕円筒面鏡を有してな
ることを特徴とするＸ線集光鏡。 ２、請求項第１項記載の上記楕円筒面鏡における楕円を
、放物線あるいは双曲線に置き換えたことを特徴とする
Ｘ線集光鏡。 ３、請求項第２項記載のＸ線集光鏡において、少なくと
も一方の反射鏡を、二枚以上の楕円、放物線、あるいは
双曲線を組みあわせた反射鏡に書き換え、それらの反射
面によって順次反射せしめことを特徴とするＸ線集光鏡
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63294525A JP2753282B2 (ja) | 1988-11-24 | 1988-11-24 | Ｘ線集光方法およびｘ線集光鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63294525A JP2753282B2 (ja) | 1988-11-24 | 1988-11-24 | Ｘ線集光方法およびｘ線集光鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02141700A true JPH02141700A (ja) | 1990-05-31 |
| JP2753282B2 JP2753282B2 (ja) | 1998-05-18 |
Family
ID=17808912
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63294525A Expired - Lifetime JP2753282B2 (ja) | 1988-11-24 | 1988-11-24 | Ｘ線集光方法およびｘ線集光鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2753282B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005265604A (ja) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Chikoji Gakuen | Ｘ線ビームの断面積の縮小方法及び装置並びにｘ線生成装置及び方法 |
-
1988
- 1988-11-24 JP JP63294525A patent/JP2753282B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005265604A (ja) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Chikoji Gakuen | Ｘ線ビームの断面積の縮小方法及び装置並びにｘ線生成装置及び方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2753282B2 (ja) | 1998-05-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6634759B1 (en) | Coupling of light from a light source to a target using dual ellipsoidal reflectors | |
| JP2009122686A (ja) | 光学装置 | |
| JP3190681B2 (ja) | 軸上式凹面鏡を用いる集光・収束用光学システム | |
| JP2004119364A (ja) | 光源の反射構造及び集光装置 | |
| JP3058251B2 (ja) | 照明光学装置 | |
| US6672740B1 (en) | Condensing and collecting optical system using parabolic reflectors or a corresponding ellipsoid/hyperboloid pair of reflectors | |
| US7631989B2 (en) | Dual paraboloid reflector and dual ellipsoid reflector systems with optimized magnification | |
| JPH02141700A (ja) | Ｘ線集光方法およびｘ線集光鏡 | |
| US4003639A (en) | Catoptric lens arrangement | |
| TW200416476A (en) | Light source of a projector | |
| US6022123A (en) | Light source device | |
| JPH0125046B2 (ja) | ||
| CN111964866A (zh) | 基于纹影法的多维成像系统及方法 | |
| JPH0511600B2 (ja) | ||
| EP2304739B1 (en) | High intensity x-ray beam system | |
| JP2652092B2 (ja) | 照明装置 | |
| JPS63192000A (ja) | Ｘ線光学系 | |
| CN116802527A (zh) | 反射镜的设计方法和具备该设计方法中的设计式成立的反射面的像散控制反射镜 | |
| KR930001644Y1 (ko) | 집속성이 개선된 평행광학장치 | |
| JP3415879B2 (ja) | 照射装置 | |
| CN114002860A (zh) | 宽波段紧凑型大视场平行光管光学系统 | |
| JPH11271657A (ja) | 光走査装置 | |
| JPH0527445A (ja) | Ｘ線露光装置 | |
| JPH06102439A (ja) | 集光照明装置 | |
| JPH08146199A (ja) | 平行ｘ線照射装置 |