JPH02140633U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す構成図、第２
図はその変形例を示す構成図である。 １…フオーカス光学系アクチユエータ部、２…
フオーカス制御用光源、４…第一光路分離部材、
５…第二光路分離部材、６…露光光入射光軸位置
検出手段、９，１０…1/4波長板、１１…対物レ
ンズ、１２…第三光路分離部材、１３…露光光反
射光軸検出手段、１６…シリンドリカルレンズ、
１７…第四光路分離部材、１８…露光光観察手段
、２１…フオーカス光検出手段、２４…光デイス
ク原盤、２５…露光用光源。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 フオーカス制御用光源と、露光光及び前記フオ
   ーカス制御用光源から出射されたフオーカス光が
   ミラー部材を介して同一光路に導かれた光路上に
   設けられた第一光路分離部材と、この第一光路分
   離部材を透過した光の光路上に設けられた第二光
   路分離部材と、この第二光路分離部材により反射
   された光の光路上に設けられた露光光入射光軸位
   置検出手段と、前記露光光及び前記フオーカス光
   が前記第二光路分離部材を透過した光の光路上に
   設けられた露光用及びフオーカス用の２枚の1/4
   波長板と、これら1/4波長板を透過した光路上に
   設けられた対物レンズと、この対物レンズを介し
   て光デイスク原盤により反射された前記露光光及
   び前記フオーカス光が前記第二光路分離部材によ
   り反射されることにより形成された前記露光光入
   射光軸位置検出手段と反対側に位置する光路上に
   設けられた第三光路分離部材と、この第三光路分
   離部材により反射された光の光路上に設けられた
   露光光反射光軸位置検出手段と、前記第三光路分
   離部材を透過した光の光路上に設けられたシリン
   ドリカルレンズと、このシリンドリカルレンズを
   透過した光の光路上に配設された第四光路分離部
   材と、この第四光路分離部材により反射された光
   の光路上に設けられた露光光観察手段と、前記第
   四光路分離部材を透過した光の光路上に設けられ
   たフオーカス光検出手段とが一体化して構成され
   たフオーカス光学系アクチユエータ部と、 このフオーカス光学系アクチユエータ部に前記
   露光光を導く露光用光源と、前記対物レンズと対
   向して配設された前記光デイスク原盤とよりなる
   ことを特徴とする光デイスク原盤露光装置。