JPH03130018U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03130018U JPH03130018U JP3632690U JP3632690U JPH03130018U JP H03130018 U JPH03130018 U JP H03130018U JP 3632690 U JP3632690 U JP 3632690U JP 3632690 U JP3632690 U JP 3632690U JP H03130018 U JPH03130018 U JP H03130018U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- focus
- exposure
- optical
- light source
- optical axis
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 20
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 6
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す構成図、第２
図ａは従来における光軸モニター用の検出素子の
様子を示す正面図、第２図ｂはフオーカスエラー
信号の検出及び光軸モニターが可能な検出素子の
様子を示す正面図、第３図は従来例を示す構成図
である。 １…露光用光源、２…フオーカス制御用光源、
８…対物レンズ、９…光デイスク原盤、１０…露
光用光軸制御手段、１２…フオーカスエラー信号
検出光学系、１６…フオーカス用信号光軸制御手
段、Ａ…露光光、Ｂ…フオーカス制御光。
図ａは従来における光軸モニター用の検出素子の
様子を示す正面図、第２図ｂはフオーカスエラー
信号の検出及び光軸モニターが可能な検出素子の
様子を示す正面図、第３図は従来例を示す構成図
である。 １…露光用光源、２…フオーカス制御用光源、
８…対物レンズ、９…光デイスク原盤、１０…露
光用光軸制御手段、１２…フオーカスエラー信号
検出光学系、１６…フオーカス用信号光軸制御手
段、Ａ…露光光、Ｂ…フオーカス制御光。
Claims (1)
- 露光用光源とフオーカス制御用光源とを有し、
前記露光用光源より出射された露光光と前記フオ
ーカス制御用光源より出射されたフオーカス制御
光とを合成し対物レンズにより集光して光デイス
ク原盤に露光を行うと共に、その光デイスク原盤
から反射された前記フオーカス制御光をフオーカ
スエラー信号検出光学系に導きフオーカスエラー
信号の検出を行う光デイスク原盤露光機において
、前記露光用光源から出射された露光光の一部を
検出しその光軸制御を行う露光用光軸制御手段を
設け、前記光デイスク原盤から反射された前記フ
オーカス制御光がフオーカスエラー信号検出光学
系に導かれた光路上に前記フオーカスエラー信号
を検出すると共に前記フオーカス制御光の光軸制
御を行うフオーカス用信号光軸制御手段を設けた
ことを特徴とする光デイスク原盤露光機の光軸制
御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3632690U JPH03130018U (ja) | 1990-04-04 | 1990-04-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3632690U JPH03130018U (ja) | 1990-04-04 | 1990-04-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03130018U true JPH03130018U (ja) | 1991-12-26 |
Family
ID=31542461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3632690U Pending JPH03130018U (ja) | 1990-04-04 | 1990-04-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03130018U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009145655A (ja) * | 2007-12-14 | 2009-07-02 | Seto:Kk | 表示具保持装置 |
-
1990
- 1990-04-04 JP JP3632690U patent/JPH03130018U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009145655A (ja) * | 2007-12-14 | 2009-07-02 | Seto:Kk | 表示具保持装置 |