JPH02131945A - 液体噴射記録ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、液体噴射記録ヘッド、詳しくは、インク等の
記録用液体の小滴を発生させ、それを紙などの被記録材
に付着させて記録を行なう液体噴射記録方式に用いる記
録用液体の小滴発生用の記録ヘッドに関する。

〔従来の技術〕

インク等の記録用液体の小滴を発生させ、それを紙など
の被記録材に付着させて記録を行なう液体噴射記録方式
は、記録時の騒音の発生が無視できる程度に極めて小さ
く、かつ高速記録が可能であり、しかも普通紙に定着な
どの特別な処理を必要とせずに記録を行なうことのでき
る記録方式として注目され、最近種々のタイプのものが
活発に研究されている。

液体噴射記録方式に用いられる記録装置の記録ヘット部
は、一般に、記録用液体を吐出するためのオリフィス（
／＆体吐出口）と、該オリフィスに連通し、記録用液体
を吐出するためのエネルギーが記録用液体に作用する部
分を存する液体通路と、該液体通路に供給する記録用液
体を貯留するための液室とを有して構成ざれている。

記録の際に、記録用液体を吐出するためのエネルギーは
、液体通路の一部を構成する記録用液体に吐出エネルギ
ーを作用させる部分（エネルギー作用部）の所定の位置
に配設された発熱素子、圧電素子等の種々のタイプの吐
出エネルギー発生素子によって発生されるものが多い。

このような構成の液体噴射記録ヘッドを製造する方法と
しては、例えば、ガラス、金属等の平板に切削やエッチ
ング等によって、微細な溝を形成し、更にこの溝を形成
した平板に他の適当な板を接合して液体通路を形成する
工程を含む方法、あるいは例えば吐出エネルギー発生素
子の配置された基板一ヒに硬化した感光性樹脂の溝壁を
フォトリソグラフィー工程によって形成して、基板上に
液体通路となる溝を設け、このようにして形成された溝
付き板に、他の平板（Ｎい）を接合して液体通路を形成
する工程を含む方法が知られている（例えば特開昭５７
−４３８７６号）。

これらの液体噴射記録ヘッドの製造方法のなかでは、感
光性樹脂を使用した後者の方法は、前者の方法に対して
、液体通路をより精度良く、かつ歩留り良く微細加工で
き、しかも量産化が容易であるので、品質が良く、より
安価な液体噴射記録ヘッドを提供することができるとい
う利点を有している。

このような記録ヘッドの製造に用いる感光性樹脂として
は、印刷版、プリント配線等におけるパターン形成用と
して用いられてきたもの、あるいはガラス、金属、セラ
ミックス等に用いる光硬化型の塗料や接着剤として知ら
れているものが用いられており、また作業能率などの面
からドライフィルムタイプの樹脂が主に利用されてきた
。

（発明が解決しようとする課題） 感光性樹脂の硬化膜を構成の一部に利用する記録ヘッド
において、高度な記録特性、耐久性及び信頼性等の優れ
た特性を得るためには、用いる感光性樹脂に、 （＋）特に、硬化膜として基板等との接着性に優れてい
る、 （２）硬化した際の機械的強度及び耐久性等に優れてい
る、 （３）パターン露光を用いたパターンニングの際の感度
及び解像度に優れている などの特性を有していることが要求される。

ところが、これまでに知られている液体噴射記録ヘッド
の形成に用いられてきた感光性樹脂には、上記の要求特
性を全て満足したものは少ないのが現状である。

例えば、記録ヘッド用の感光性樹脂として、印刷版、プ
リント配線等におけるパターン形成用として用いうわて
いるものは、感度及び解像度においては優れているが、
基板として用いられるガラス、セラミックス、プラスチ
ックフィルムなどに対する接着性や密着性に劣り、しか
も硬化した際の機械的強度や耐久性が十分でない。その
ため、記録ヘッドの製造段階において、または使用にと
６なって、例えば液体通路内の記録用液体の流れを阻害
したり、あるいは／＆滴吐出方向を不安定にするなどし
て記録特性を低下させる等、記録ヘットの信頼性を著し
く損なう原因となる樹脂硬化膜の変形や基板からの剥離
、損傷などが起き易いという欠点を有している。

方、ガラス、金属、セラミックス等に用いる光硬化型の
塗料や接着剤として知られているものは、これらの材質
からなる基板に対する密着性や接着性に優れ、かつ硬化
した際に十分な機械的強度や耐欠性が得られるという利
点を有しているものの、感度及び解像度に劣るために、
より高強度の露光装置や長時間の露光操作が必要とされ
、また、その特性上、解像度良く精密な高密度パターン
を得ることができないために、特に微細な精密加工が要
求ざれる記録ヘッド用としては向いていないという問題
点を有している。

また、従来の種々の用途に利用されている感光性樹脂組
成物においては、例えば金属との錯体形成能を有する複
本環式化合物等の種々の添加助剤、あるいはカップリン
グ剤等を感光性樹脂組成物に添加し、金属等との密着性
を向上させていた（特公昭５１−５９３４、特公昭５８
−２４０３５など）。しかしこの方法には、長期間が経
過すると、上記添加助刑等がその組成物の酸化および腐
蝕等の現象を引き起こしてしまうという問題があった。

一方、そのような添加助剤等を添加しなくとも十分な密
着性を有する硬化組成物を得ることを目的として、枝釦
に極性基を有するグラフト共重合体より成る高分子物質
が特開昭６１−２８３６４５　，特開昭６１−２８３６
４６において開示されている。そこで開示された高分子
物質（グラフト共重合高分子）を含有する活性エネルギ
ー線硬化型樹脂組成物は、添加助剤等に頼ること無く、
密着性の向上、更には塗膜の耐久性の向上を実現するこ
とができるという利点を有している。

しかしながら、この組成物においては、その高分子物質
（グラフト共重合高分子）の分子設計に困難性が伴なう
という問題がまだ残されていた。

すなわち、一般に、枝鎖の分子量および含有率を一定に
しつつ、グラフト共重合体全体の重量平均分子量を広範
囲（５万〜３５万程度）に渡り適宜所望の値の分子量に
なるよう合成することは、技術的に困難を伴なう。

つまり、パターン形成時の現像特性、すなわち未ｉｉ合
部の溶解速度、重合部の膨潤性、そしてそれらの結果と
しての感度、パターンのシャープさ、解像度を良好なも
のとするには、高分子物質の・ト均分子■は小さ過ぎて
はならない。グラフト共ＩＲ合高分子において、比較的
大きな分子量の幹鎖に、有効な密着性が得られる程度に
十分な長さを持った枝鎖を多数結合させ、ト述した目的
に合致する平均分子量を得ることは、現在の合成技術に
おいては、立体的障害の点から困難を伴なうものである
。

言い替えねば、高分子物質の平均分子量が低すきると、
それを用いたパターン形成材料の現像特性、すなわち未
重合部の溶解速度、重合部の膨潤性、そしてそれらの結
果としての感度、パターンのシャープさ、解像度の調節
に一定の制限を受けるのである。

本発明は上記問題点に鑑み成されたものであり、その目
的は、添加助剤等を添加しなくとも十分な密着性を有し
、パターン形成時の現像特性に優れ、かつ液体噴射記録
ヘッドの構成部材として良好な特性を得られるようにそ
の特性を制御することが容易な活性エネルギー線硬化型
樹脂組成物を用い、安価で精密であり、信頼性が高く、
耐久性に優れた記録ヘッドを提供することにある。

本発明の他の目的は、液体通路が精度良くかつ歩留り良
く微細加工された構成を有した液体噴射記録ヘッドを提
供することにある。

本発明の他の目的は、マルチオリフィス化された場合に
も信頼性が高く、耐久性に優れた液体噴射記録ヘッドを
提供することにある。

〔Ｊ題を解決するための手段〕

上記の目的は以下の本発明によって達成することができ
る。

本発明は、活性エネルギー線硬化型樹脂組成物の硬化物
をその構成の一部とする液体噴射記録ヘッドであって、
前記組成物が、 （Ａ）分子中に、１個の（メタ）アクリロイル基及び一
般式（Ｉ） される５員環を表わし、Ｒ４およびＲ５は、水素原ｆま
たは炭素数１〜３のアルキル基を表す。）で表わされる
ジシクロペンテニル誘導体基を含有する千ノマー 下記一般式（ｒｌ） （ここでＲ６〜Ｒ′３は水素またはメチル基を表わす。

）で表わされるモノマー、アルキルメタアクリレート、
アクリロニトリルおよびスチレンからなる群より選ばれ
た一種以上のモノマーに由来する構造単位を主体とする
幹鎖に、下記一般式（Ｘ）で表わされる千ノマ一及び下
記一般式（ｙ）で表わされる千ノマーからなる群より選
択された少なくとも一種の千ノマー（以下モノマー成分
■という）に由来する構造単位を有する枝鎖が付加され
てなり、かつ数羽均分子墳が５千以−トであり、重量平
均分子量が５万以下であるグラフト共重合高分子と、 ＲＩ ＣＨ，＝Ｃ　　　　　　　　　　　　・・・（ｘ）０＝
Ｃ−ＮＨ−ＣＨ，−０−Ｒ２ ＲＩ Ｊ ＣＨ２＝Ｃ　　　　　　　　　　　・・・（ｙ）０＝Ｃ
−０−Ｒ３−ＯＨ ［ただし、Ｒ１は水素、もしくは炭素原子数が１〜３の
アルキル基またはヒドロキシアルキル基を表わし、Ｒ２
は水素、もしくは炭素原子数が１〜４のヒドロキシ基を
有していてもよいアルキル基またはアシル基を表わし、
Ｒ３は炭素原子数２〜６のアルキル基、あるいはハロゲ
ン置換されたアルキル基、 −｛−　Ｃ　Ｈ　２＋−Ｔ−ｏ．−＋　Ｃ　Ｈ　２　ｈ
一−（たたし、２≦ｍ＋ｎ≦６、ｎ≠０、ｍ≠０）で表
わされるアルキルエーデル基、 （たたし、２≦ｍ＋ｎ≦４、ｎ＝０あるいはｍ＝０の場
合も含む） で表わされるフェニルアルキル基である。］（Ｂ）メチ
ルメタアクリレート、エチルメタアクリレート、インブ
チルメタアクリレート、ｔ−プチルメタアクリレート、
ペンジルメタアクリレート、アクリロニトリル，イソボ
ルニルメタアクリレート、イソポルニルアクリレート、
トリシクロデカンアクリレー１・、トリシクロデカンメ
タアクリレート、トリシクロデカンオキシエチルメタア
クリレート、スチレン、ジメチルアミノエチルメタクリ
レート、シクロへキシルメタクリレートからなる群より
選ばれた一種以上の千ノマー（以下千ノマー成分■とい
う）に由来する構造単位を有し、かつ前記一般式（Ｘ）
で表わされるモノマー及び前記一般式（ｙ）で表わされ
るモノマーからなる群より選択された少なくとも一種の
千ノマー（以下モノマー成分■′という：ただし、モノ
マー成分■とモノマー成分■′は同一の組成を有するも
のであっても、異なる組成のものであっても良い）に由
来する構造単位を有し、かつ数平均分子量が５万以上で
あり、重量平均分子量が３５万以下であり、ガラス転移
温度が６０℃以上である線状高分子と、 （Ｃ）エチレン性不飽和結合を有ずる単量体と、 （Ｄ）活性エネルギー線の照射によって遊離ラジカルを
発生させる光重合開始剤と を含むことを特徴とする。

本発明の液体噴射記録ヘッドは所望に応じて種々の構成
を取ることができるが、少なくとも上記樹脂組成物の硬
化物かその構成の一部として用いらわる。

以下、図面に従フて木発明の液体噴射記録ヘツｌ・の一
例を詳細に説明する。

第１図は本発明の液体噴射記録ヘッドの一例であり、第
１図（ａ）はその主要部の斜視図、第１図（ｂ）は第１
図（ａ）のＣ−Ｃ線に添った切断断面図である。

この液体噴射記録ヘッドは、基本的に、基板１と、該基
板上に設けられ、所定の形状にパターンニングされた樹
脂硬化膜からなる液体通路壁３１１と、該液体通路壁−
トに積層された覆い７とを有してなり、これらの部材に
よって、記録用液体を吐出するだめのオリフィス９、該
オリフィスに連通し、記録用液体を吐出するためのエネ
ルギーが記録用液体に作用する部分を有する液体通路６
−２及び該液体通路に供給する記録用液体を貯留するた
めの液室６−１が形成されている。更に、覆いに設けら
れた貫通孔８には、記録ヘッド外部から液室６−１に記
録用液体を供給するための供給管１０が接合されている
。尚、第１図（ａ）には、供給管１０は省略してある。

記録の際に、記録用液体を吐出するためのエネルキーは
、液体通路６−２の一部を構成する記録用液体に吐出エ
ネルギーを作用させる部分の所定の位置に配設された発
熱素子、圧電素子等の種々のタイプの吐出エネルギー発
生素７′２に、これら素子に接続してある配線（不図示
）を介して吐出信号を所望に応じて印加することにより
発生される。

本発明の記録ヘッドを構成する基板１は，ガラス、セラ
ミックス、プラスチックあるいは金属等からなり、発生
素子２が所望の個数所定位置に配設される。なお、第１
図の例においては発生素子が２個設けられているが、発
熱素子の個数及び配置は記録ヘッドの所定の構成に応じ
て適宜決定される。

また、覆い７は、ガラス、セラミックス、プラスチック
または金属等の平板からなり、融着あるいは接着剤を用
いた接着方法により液体通路壁３■上に接合されており
、また所定の位置に供給管ｌＯを接続するための貫通孔
８が設けられている。

この記録ヘッドにおいて、液体通路６−２及び液室６−
１の壁３Ｈを構成する所定の形状にパターンニングされ
た樹脂硬化膜は、基板１上に、または覆い７十に設けた
１′Ｉ汀述した構成成分（Ａ）〜（Ｄ）を含む活性エネ
ルギー線硬化型樹脂組成物からなる層をフォトリングラ
フィー工程によってパターンニングして得られたもので
ある。

以ト、液体通路壁３１１の構成に該樹脂組成物の硬化膜
を用いた例を説明したが、該樹脂組成物の硬化１１ｔＡ
（硬化物）は、記録ヘッドのその他の部分に好適に利用
し得る。

例えば、液体通路に垂直な記録ヘッドの部分断而として
表した？ｇ７図（ａ）〜（ｈ）に示すように １．覆い７として（ａ） ２．？ｌ体通路壁３１１及び覆い７として（ｂ）（この
場合液体通路壁３■と覆い７は一体化されて形成されて
いても良いし、別途形成後接合されたものあっても良い
。） ３．各種樹脂等から形成した液体通路壁３Ｈと覆い７と
の接着層１４　（　ｃ　）、（ｅ）及び（ｇ）として ４．液体通路壁３Ｎ及び液体通路壁３１１と覆い７との
接着層１４として（ｄ）及び（ｆ） ５．ｔｉ体通路壁３Ｈ及び液体通路壁３Ｈと覆い７との
接着層ｌ４（２層構成）として（ｈ） の利用を挙げることができる。なお、上記構成のなかで
第７図（ａ）〜（６１）、（ｈ）の構成及び第７図（ｆ
）における液体通路壁３Ｈの形成には、ドライフィルム
タイプのものが好適に利用でき、また７ｆＪ７図（ｆ）
及び（Ｇ）の接着剤層１４には、液体状で用いて硬化さ
せるタイプが好適に用いられる。

更に、本発明の記録ヘッドは、第８図（ａ）及び（ｂ）
並びに第９図に示す液体通路（６−２）に対して垂直な
方向に液滴を吐出する構造を仔するものであっても良く
、その際には、例えば第ｌθ図（ａ）及び（ｂ）に示す
部分等上記第７図に示したのと同様の部分などに該樹脂
組成物の硬化膜が好適に利用できる。

以下、本発明の記録ヘッドの構成の用いる航述した構成
成分（Ａ）〜（Ｄ）を含む活性エネルギー線硬化型樹脂
組成物について説明する。

該樹脂組成物は、特に硬化膜とした際にガラス、プラス
チック、セラミックス等からなる基板等の各種部材に対
して良好な接着性を有し、かつインク等の記録用液体に
対する耐性及び機械的強度にも優れ、しかも活性エネル
ギー線によるバターニングによって精密で高解像度のパ
ターンを形成することができるという液体噴射記録ヘッ
ドの構成部材として優れた特性を存するものである。

更に、この樹脂組成物は、ドライフィルムとして用いる
ことができ、その際にも上記の優れた特性が発揮される
。

該樹脂組成物に含まれる前記グラフト共重合高分子（Ａ
）の幹釦は、上述のように、 分子中に、１個の（メタ）アクリロイル基及び（但し、
上記式中の２は、＝』またはっで表わされる５員環を表
わし、Ｒ４およびＲ５は、水素原子または炭素数１〜３
のアルキル基を表す。）で表わされるジシクロベンテニ
ル誘導体基を含有するモノマー 下記一般式（■） よび耐久性を付与するものである。

この１透導体を、几体的に示せば、以下の構造の… （ここでＲ６〜Ｒ１３は水素またはメチル基を表わす。

）で表わされるモノマー、アルキルメタアクリレート、
アクリロニトリルおよびスチレンからなる群より選ばわ
た一種以上のモノマーに由来する構造単位を主体とする
。

なお、（メタ）アクリロイル基は、アクリロイル基およ
びメタアクリロイル基を包含する。

特に、上記ジシクロベンテニル（メタ）アクリレート誘
導体は、ガラス転移点が高く、且つ吸湿性か低い特徴を
有し、組成物により高い耐熱性おジシクロベンテニル（
メタ）アクリレート誘導体を用いる場合、その配合割合
は、１〜３０重量％の範囲が特に好ましい。

ト記一般式（＋１）で示される化合物も、上記一敗式（
Ｉ）で示される化合物と同様に、ガラス転移点か高く、
且つ吸湿性が低い特徴を有し、組成物により高い耐熱性
および耐久性を付与するものである。

般式（　ＩＩ　）で示される化合物を用いる場合も、そ
の配合割合は、１〜３０重費％が特に好ましい。

以−１二の構成を有する幹鎖に、１１述のモノマー成分
■に巾来する構造ｍ位を有する側鎖が付加されて該グラ
フト共重合高分子（Ａ）が構成される。

また、疎水性モノマーも、約２５モル％以下の範囲内で
共重合の成分として用いることができる。

このグラフト共重合高分子（Ａ）は、例えば「ボリマー
アロイ基礎と応用」　（高分子学会編集、東京化学同人
■発行、１９８１年）の１０〜３５頁に記載されている
ような、従来より公知の種々の方法で作成することかで
きるうそれらの方法としては、■連鎖移動法、■放射線
を用いる方法、■酸化市合法、■イオングラフト重合法
、■マクロモノマー法などかある。これらの方法を用い
、先に例示したモノマーを用いて、数平均分子量５千以
上、重量平均分子Ｑｔ５万以下のグラフト共重合高分子
が得らえるように適宜重合条件を選定して重合すること
によって、該グラフト共重合高分子（Ａ）を得ることが
できる。

なお、葭記方法■〜■のうち、■あるいは■の方法を用
いると、共重合高分子（Ａ）の鎖枝の長さが容易に揃う
ので好ましい。特に■のマクロモノマー法はより好まし
い方法である。

該樹脂組成物に含まれる線状高分子（Ｂ）は、＋）ｆ述
のモノマー成分■を生成分とし、かつモノマー成分■′
を用い、数平均分子量５万以上、重量平均分子１ｉｉ′
３５万以Ｆで、ガラス転移温度６０℃以上の屯合体にな
るように、適宜重合条件を選定しつつ、従来より公知の
方法を用いて重合することにより得ることができる。

なお、この場合、千ノマー成分■′は、以下の理由から
５モル％から３０モル％の範囲で加えることが好ましい
。すなわち、線状高分子中に該モノマー成分■′か３０
モル％を越えて含有されると、硬化塗膜中の極性基７Ａ
度が高くなり、基体との密着性向上の効果がそれ以上上
昇せず、これに加えて耐水性の低下が現われてくるので
好ましくない。また、該千ノマー成分■′が５モル％未
満であると、基体などとの密着性だけでなく塗膜の結合
剤としての効果が不十分になる。

該樹脂組成物に含まれる前記エチレン性不飽和結合を有
する単量体（Ｃ）とは、該樹脂組成物活性エネルギー線
による硬化性を発揮させるための成分であり、好ましく
は大気圧下で１００以トの沸点を有し、更に好ましくは
エチレン性不飽和結合を２個以上有するものであって、
活性エネルギー線の照射で硬化する公知の種種の単量体
を用いることができる。

そのような２個以上のエチレン性不飽和結合を有する単
量体を具体的に示せば、例えば■１分子中に２個以上の
エポキシ基を有する多官能エポキシ樹脂のアクリル酸エ
ステルまたはメタクリル酸エスデル、■多価アルコール
のアルキレンオキシトイ・ｊ加物のアクリル酸エステル
またはメタアクリル酸エステル、■二塩基酸と二価アル
コールから成る分子＋Ｈ　ｓ　ｏ　ｏ〜３０００のポリ
エステルの分ｆ一釦末端にアクリル酸エステル基を持つ
ポリエステルアクリレート、■多価インシアネートと水
酸基を＋ｆするアクリル酸モノマーとの反応物が挙げら
れる。上記■〜■の単量体は、分子内にウレタン結合を
有するウレタン変性物であってもよい。

■に属する単量体としては、ビスフェノールＡ型、ノボ
ラック型、脂環型に代表されるエボキシ樹脂、あるいは
、ビスフェノールＳ、ビスフェノールＦ、テトラヒド口
キシフエニルメタンテトラグリシジルエーテル、レゾル
シノールジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシ
ジルエーテル、ベンタエリスリトールトリグリシジルエ
ーテル、イソシアヌール酸トリグリシジルエーテルおよ
び下記一般式（ＩＩ１） （ただし、Ｒ４はアルキル基またはオキシアルキルル基
を表わす） で表わされるエボキシウレタン樹脂のアクリル酸または
メタクリル酸エステルなどが挙げられる。

■に属する単礒体としては、エチレングリコールジ（メ
タ）アクリレート、ジエチレングリコール（メタ）アク
リレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレ
ート、１．６−ヘキサンジオール（メタ）アクリレート
、ポリエチレンジ（メタ）アクリレート、ペンタエリト
リトールトリ（メタ）アクリレートなどが挙げられ、商
品名κＡＹ八ＲＡＤ　　　ＩＩＸ−２２０　　、　ＩＩ
Ｘ−６２０、　Ｄ−３１０　　．　　０−３２０　　，
　　Ｄ３３０　．　ＤＩ１１１Ａ、ト６０４、　ＤＰＣ
八−２０、ＤＰＣＡ−：！Ｏ　，　ＤＰＣＡ−６０　，
　ＤＰＣＡ−１２０　（以一ト、日本化薬■製）、商品
名ＮＫエステルＢＰＥ−２００　、ＢＰＥ−５００　．
　８ＰＥ−１３００、八一旧１［−４　（以上、新中村
化学＠製）等で知られるものを使用できる。

■に属するＱｌ量体としては、商品名アロニックスＭ−
６　１００、Ｍ−６２００、Ｍ−６２５０、Ｍ−６３０
０、Ｍ−６４００、Ｍ−７　１００、Ｍ−８０３０、Ｍ
−８０６０、Ｍ−８１００　（以−ト、東亜合成化学■
製）として知られているものが挙げられる。■に属し、
ポリエステルのウレタン結合を含有するものとしては、
商品名アロニックスＭ一１１００、アロニックスＭ−１
２００　（以上、東亜合成化学■製）等として知られる
ものが挙げられる。

■に属する単量体としては、トリレンシイソシアナート
、イソホロンジイソシアナート、ヘキサメチレンジイソ
シアナート、リシンジイソシアナート、ジフエニルメタ
ンジイソシアナートなどのポリイソシアナートと水酸基
含仔アクリルモノマーとの反応物が挙げられ、商品名ス
ミシュールＭ（ヘキサメチレンジイソシアナートのビュ
レット誘導体）、スミジュールＬ（｝−リレンシイソシ
アナートのトリメチロールブロバン変性体）（以」二、
住友バイエルウレタン■製）等で知られるポリイソシア
ナート化合物に水酸基含有の（メタ）アクリル酸エステ
ルを付加した反応物などを使用できる。ここで言う水酸
基含有アクリルモノマーとしては（メタ）アクリル酸エ
ステルが代表的なもので、ヒトロキシエチルアクリレー
ト、ヒドロキシエチルメタアクリレート、ヒドロキシプ
口ピルアクリレートか好ましい。また、先に挙げたグラ
フト共重合高分子の枝頑に用いられる水酸基含有の他の
アクリルモノマー、特に一般式（Ｘ）で表わされる千ノ
マーも使用することができる。

七記したような２個以上のエチレン性不飽和結合を打す
る単量体の他、これ等と共に例えば以下に列挙するよう
なエチレン性不飽和結合を１個だけ存する単量体もとも
に用いることができる。そのような１個のエチレン性不
飽和結合を有する単丑体を例示すれば、例えばアクリル
酸、メタアクリル酸などのカルボキシル基含有不飽和モ
ノマーグリシジルアクリレート、グリシジルメタアクリ
レートなどのグリシジル基含有不飽和モノマー；ヒトロ
キシエチルアクリレート、ヒドロキシエチルメタアクリ
レート、ヒドロキシプ口ビルアクリレート、ヒドロキシ
ブ口ピルメタアクリレート等のアクリル酸またはメタク
リル酸の０２〜Ｃ８ヒドロキシアルキルエステル：ポリ
エチレングリコールモノアクリレート、ポリエチレング
リコールモノメタアクリレート、ポリプロピレングリコ
ール千ノアクリレート、ボリブロピレングリコールモノ
メタアクリレート等のアクリル酸またはメタクリル酸と
ポリエチレングリコールまたはポリプロピレングリコー
ルとのモノエステル：アクリル酸メチル、アクリル酸エ
チル、アクリル酸プロビル、アクリル酸イソブロビル、
アクリル酸ブチル、アクリル酸ヘキシル、アクリル酸オ
クチル、アクリル酸ラウリル、アクリル酸シクロヘキシ
ル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタク
リル酸プロビル、メタクリル酸イソプロビル、メタクリ
ル酸ブチル、メタクリル酸ヘキシル、メタクリル酸才ク
チル、メタクリル酸ラウリル、メタクリル酸シクロヘキ
シル等のアクリル酸またはメタクリル酸のＣＩ〜Ｃ，２
アルキルまたはシクロアルキルエステル；その他のモノ
マーとして、例えば酢酸ビニル、塩化ビニル、ビニルイ
ソブチルエーテル、アクリロニトリル、アクリルアミド
、メタクリルアミド、アルキルグリシジルエーテルのア
クリル酸またはメタクリル酸付加物、ビニルピロリドン
、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレー
ト、ε一カブロラクトン変性ヒドロキシル（メタ）アク
リレート、テトラヒドロフルフリルアクリレート、フェ
ノキシエチルアクリレートなど：が挙げられる。

何わにしても、上記エチレン性不飽和結合を有するζｔ
ｌ　ｌｉｉ体を使用することにより、該樹脂組成物に活
性エネルギー線に対する高感度で十分な硬化性か付与さ
れる。

以上の組成分を含む活性エネルギー線硬化型樹脂組成物
は、後述のような活性エネルギー線によって硬化される
が、光ｉｉ合開始剤を該樹脂組成物中に添加しておくこ
とが望ましい。

この光重合開始剤（Ｄ）としては、活性エネルギー線に
よって賦活化し、有機遊離ラジカルを生成して、ラジカ
ル屯合を開始させる性質を有する公知の物質を特に限定
することなく使用できる。

そのような光重合開始剤を具体的に示せば、ベンジル；
ベンゾインイソブチルエーテル、ペンゾインイソブ口ビ
ルエーテル、ペンゾインーロープチルエーテル、ベンゾ
インエチルエーテル、ベンゾインメチルエーテルなどの
ヘンゾインアルキルエーテル類：ベンゾフェノン、４．
４′　−ビス（Ｎ，Ｎ−シエチルアミノ）ペンゾフェノ
ン、ベンゾフエノンメチルエーテルなどのペンゾフェノ
ン類；２−エチルアントラキノン、２　−　ｔｅｒｊ−
プチルアントラキノンなどのアントラキノン類：２，４
−ジメチルチオキサントン、２．４−ジイソプロピルチ
オキサントンなどのキサントン類；２，２−ジメトキシ
ー２−フェニルアセトフェノン、α，α−シクロロー４
−フェノキシアセトフェノン、ｐ−ｊｃｒｊ−プチルト
リク口ロアセトフエノン、ρ−ｔｅｒｔ−プチルジク口
ロアセトフェノン、２．２−ジェトキシアセトフェノン
、Ｐ−ジメチルアミノアセトフェノンなどのアセトフエ
ノン類；あるいはヒドロキシシク口へキシルフェニルケ
トン（イルガキュア　１８４　　チバ・ガイギー■製）
；１−（４−イソブロビルフェニル）−２−とドロ千シ
ー２−メチルプロベン−１−オン（ダロキュア！１１６
　　メルク（ＭＥＲＣＫ）■製）；２ーヒドロキシ−２
−メチル−１−フェニルーブロバンー１−オン（ダロキ
ュアＩＩ７３　　メルク■製）等が好適に用いられるも
のとして挙げられる。これらのラジカル電合開始剤に加
えて、光重合促進剤としてアミノ化合物を添加してもよ
い。

九重合促進剤に用いられるアミノ化合物としては、エタ
ノールアミン、エチル−４−ジメチルアミノベンゾエー
ト、２−（ジメチルアミノ）エチルベンゾエート、ρ−
ジメチルアミノ安息香酸ｎーアミルエステル、Ｐ−ジメ
チルアミノ安息香酸イソアミルエステル等が挙げられる
。

次に、以上の各組成分の配合比は、これら組成分を含む
活性エネルギー線硬化型樹脂組成物の本発明の液体噴射
記録ヘッドにおける使用部位あるいは使用目的に応じて
適宜選択される。

例えば、クラフト共市合高分子（Ａ）と線状高分子（Ｉ
ｌ）との重ｊ辻比率は　（Ａ）：（［１）＝　８０：２
０〜５０：５０の範囲か望ましく、この範囲であるとグ
ラフト共重合高分子に基つく良好な密着性と、線状高分
子に基づく良好なパターニング性が得られる。

高分子物質の合計ｆｆｉ　（Ａ）÷（８）に対して、エ
チレン性不飽和単丑体（Ｃ）との重量比率は、｛（Ａ）
＋（Ｂ））：（ｃ）　＝　　１００：５０〜＋００：２
００の範囲が望ましい。光市合開始剤（Ｄ）は、前記樹
脂の合計量（＾）＋（Ｂ）÷（Ｃ）に対して｛（Ａ）＋
（ロ）＋（（：））：（Ｄ）　＝ｌ００：１〜１００：
１０の範囲で用いるのか望ましい。

また、−Ｆ記光重合開始剤及び／または光重合促進剤と
してのアミノ化合物を用いる場合のこれらの合計ｆｌ（
Ｅ）は、光開始剤（Ｄ）に対して、（Ｄ）：（Ｅ）＝１
　：０．０５〜１二１の範囲で用いるのか好ましい。

更に、該樹脂組成物には、必要に応じて、縮合架橋触媒
、熱重合禁止剤、充填剤、染料や顔料等の着色剤、ヒド
ロキノンやパラメトキシフェノール等の熱安定剤、密着
促進剤、可塑剤、シリカやタルク等の体質顔料、塗工適
性を与えるレベリング剤などを添加しても良い。

例えば、縮合架橋触媒としては、パラトルエンスルホン
酸に代表されるスルホン酸、ギ酸などのカルボン酸等が
挙げられる。熱重合禁止剤としては，ハイドロキノンお
よびその誘導体、パラメトキシフェノール、フェノチア
ジン等が挙げられる。着色剤としては、油溶性染料及び
顔料が活性エネルギー線の透過を実質的に防げない範囲
で添加ざわ得る。充填剤は、塗膜の硬度上昇、着色、密
着性、機械的強度ト昇のために、塗料一般で使用ざれる
体質顔料、プラスチック微粒子等が用いられる。密着促
進剤としては、無機質表面改質剤としてのシランカップ
リング剤、低合子界面活性刑等がある。

本発明の液体噴射記録ヘットの作製に、以ト説明した組
成の活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を溶液状で用い
る際、あるいはドライフィルムとする際に、該樹脂組成
物をフィルム基材であるプラスチックフィルムなどの上
に塗布する場合などに用いる溶剤としては、アルコール
類、グリコールエーテル類、グリコールエステル類等の
親水性溶剤などが挙げられる。もちろん、これら親水性
溶剤を主体とし、それらに必要に応じてメチルエチルケ
トン、メチルイソブチルケトン等のケトン類、酢酸エチ
ル、酢酸イソブチル等のエステル類、トルエン、キシレ
ン等の芳香族炭化水素及びそのハロゲン置換体、塩化メ
チレン、１，１．１−トリクロルエタン等の塩素含有の
脂肪族溶剤等を適宜混合したものを用いることもできる
。尚、これら溶剤は、該樹脂組成物の現像液として用い
ることもてきる。

本発明の液体噴射記録ヘットの作製に際して、該樹脂組
成物は、通常の方法によって基板等の上に硬化層を形成
できる。

例えば、 （Ｉｉ，ｔｉ板等の上に硬化した塗ＶｉＴ膜からなる層
を形成する場合： 液体状の上記活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を基板
等の上に液状塗布膜を形成するため付与し、引き続いて
蒸発乾燥させる。そして得られた乾燥塗布膜に、活性エ
ネルギー線を照射することでこれを硬化させて、硬化塗
布膜からなる層とする。

（２）基板等のＦに所望パターンの形状の硬化した塗布
膜からなる層を形成する場合（その１）：液体状の上記
活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を液状塗ｓＩＩｉを
形成するため基板等のｔに付与し、引き続いて蒸発乾燥
させる。そして乾燥した塗布膜からなる層に所望のパタ
ーンにレーザービームを走査し、未露光部を１．１．１
−トリクロ口エタン等の適当な溶剤で除去することで基
板等の上に所望のパターン形状の硬化塗布膜層を形成す
る。

（３）基板等の上に所望のパターン形状の硬化塗布膜か
らなる層を形成する場合（その２）：基板等の上に、液
体状の上記活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を液状塗
布膜を形成するために付与し、続いて蒸発乾燥する。得
られた乾燥塗ｔｉ　Ｉｔｓ！からなる層トに、活性エネ
ルギー線が透過しない所望の形状をもったパターンを存
するフォトマスクを重ね合わせ、フォトマスク上から活
性エネルギー線で露光する。そして、未露光部を１．１
，■−トリクロ口エタン等の適当な溶剤によって除去し
、基板等の上に所望のパターン形状の硬化した塗布膜か
らなる層を形成する。

（４）感光性ドライフィルムを形成し、基板等のヒに前
記ドライフィルムを積層する場合：液体状の−ト記活性
エネルギー線硬化型樹脂を液状膜を形成するためポリエ
チレンテレフタレートフィルム上に付与し、続いて蒸発
乾燥して前記ポリエチレンテレフタレートフイルム上に
感光性ドライフィルムを得る。そのドライフイルムを積
層体を得るため通常の積層方法によって基板等の上に積
層する。そして、基板等の上に積層した感光性ドライフ
イルムを上記した方法（＋）と同様の方法で活性エネル
ギー線で照射することで硬化する。

硬化した感光性フィルムを所望のパターンに形成したい
場合は支持体上に積層した上記ドライフィルムをト記し
た方法（２）又は（３）と同様の方法で処理する。

活性エネルギー線硬化型樹脂組成物が餅記一般式（Ｘ）
によって表わされる千ノマーを含むものである場合、上
記（１）〜（４）の方法で得た硬化膜を史に８０℃〜２
００℃の温度で加熱処理して縮合硬化させることは望ま
しい。

本発明の液体噴射記録ヘツ１・の作製過程において、ト
記活性エネルギー線硬化型樹脂組成物の硬化、あるいは
該樹脂組成物へのパターン露光等に用いる活性エネルギ
ー線としては、既に広く実用化されている紫外線あるい
は電子線などが挙げらわる。紫外線光源としては、波長
２５０ｎｍ〜４５０ｎｍの光を多く含む高圧水銀灯、超
高圧水銀灯、メタルハライドランプ等が挙げられ、実用
的に許容さわるランブー被照射物間の距甥において：［
５ｎＩＩｌの近傍の光の強度か１　ｍＷ／ｃｍ２〜！０
０ｍＷ／ｃｍ２程度のものが好ましい。電ｆ−線照射装
置としては、特に限定はないが、０．５〜２０Ｍ　Ｒａ
ｄの範囲の線量を有する装置か実用的に通している。

以下、液体通路壁３Ｉ１をドライフィルムタイプのヒ記
樹脂組成物から得られる硬化膜を用いて形成する場合を
一例として、図面を用いて本発明の液体噴射記録ヘッド
の製造方法を説明する。

第２図〜第６図は、本発明の液体噴射記録ヘッドの製作
手順を説明するための模式図である。

本発明の液体噴射記録ヘッドを形成するには、まず、第
２図に示すように、ガラス、セラミック、プラスチック
あるいは金属等の基板１−ヒに発熱素子やピエゾ素子等
の吐出エネルギー発生素子２が所望の個数配置される。

尚、必要に応じて記録用液体に対する耐性、電気絶縁性
等を基板１表面に付与する目的で、該表面にＳｉ０２，
　Ｔａ２０ｓ　．ガラス等の保護層を被覆してもよい。

また、吐出エネルキ一発生素子２には、図示されていな
いが，記録信号人力用電極が接続してある。

次に、第２図の工程を経て得られた基板１の表面を清浄
化すると共に例えば８０〜１５０℃で乾燥させた後、第
３図（ａ）及び第３図（ｂ）に示したようにドライフィ
ルムタイブ（膜厚、約２０鱗〜２００μ）の前述した活
性エネルギー線硬化型樹脂組成物３を、４０〜１３０℃
程度に加温して、例えば０．５〜０．４　ｆ　／ｍｉｎ
．の速度、１　〜３　Ｋｇ／　ｃｍ２の加圧条件下で基
板面ＩＡ［にラミネートする。

続いて、７ｊＩＪ４図に示すように、基板面ＩＡ上に設
けたトライフィルム層３上に、活性エネルギー線を透過
しない所定の形状のパターン４Ｐを有するフォトマスク
４を重ね合わせた後、このフォトマスク４の上部から露
光を行なう。

なお、フォトマスク４と基板１との位置合わせは、露光
、現像処理等の工程を経て、最終的に形成される液体通
路領域中に上記素子２が位置するように行なわれ、例え
ば、位置合せマークを、基板１とマスク４のそれぞれに
予め描いておき、そのマークに従って位置合わせする方
法等によって実施できる。

このように露光を行うと、而記パターンに覆われた領域
以外、すなわちドライフィルム層３の露光された部分か
重合硬化し、露光されなかった部分か、溶剤可溶性のま
まであるのに対して溶剤不溶性となる。

このパターン露光に用いる活性エネルギー線としては、
上述した活性エネルギー線硬化型組成物の成分の種類等
に応じて、従来より公知の活性エネルギー線のうち好適
なものを適宜選定して用いればよく、具体的には、例え
ば高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、
カーボンアーク灯、電子ビームなどを挙げることができ
る。

例えば、紫外線光源としては、波長２５０ｒ＋ｍ〜４５
０ｎｍの光を多く含む高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタ
ルハライドランプ等が挙げられ、実用的に許容されるラ
ンブー被照射物間の距離において：］８５ｎｍの近傍の
光の強度が１　ｍＷ／ｃｍ２〜１００１１１１／ＣＩ！
１２程度のものが好ましい。電子線照射装置としては、
特に限定はないが、０．５〜２０　Ｍ　Ｒａｄの範囲の
線量を有する装置が実用的に通している。

ドライフィルム層３のパターン露光を終了したら、次に
、露光済みのドライフィルム３を、例えば１，１．１−
トリクロルエタン等の揮発性有機溶剤中に浸漬するなど
して現像処理し、溶剤可溶性であるドライフィルム層３
の未重合（未硬化）部分を基板ｌトから溶解除去し、第
５図（ａ）および第５図（ｂ）に示すように基板１上に
残存した樹脂硬化Ｉ＋！２３＋１によって最終的に液体
通路６−２及び液室６−１となる溝を形成する。

次に、基板１上の硬化樹脂膜３１１を、少なくとも８０
℃以トの温度で、１０分〜３時間程度加熱し熱１［合さ
せる。なお、熱嫂化性のグラフト共重合高分子か樹脂組
成物３に用いられている場合には、この加熱処理温度を
、少なくとも１００℃で５〜６０分程度とする。

なお、木例の記録ヘットにおいては、液体通路６−２及
び液室６−１となる溝の形成に、１〜ライフィルムタイ
ブの樹脂組成物、つまり固体状のものを使用した例につ
いて説明しているが、本発明の記録ヘットの形成に際し
て使用できる活性エネルギー線硬化型樹脂組成物として
は、固体状のもののみに限られるものではなく、液状の
ものももちろん使用可能である。

基板七に液状の樹脂組成物を用いて該組成物からなる層
を形成する方法としては、例えばレリーフ画像の作製時
に用いられるスキージによる方法、すなわち所望の樹脂
組成物の塗膜の厚さに相当した高さの壁を基板の周囲に
設け、スキージによって余分な樹脂組成物を除去する方
法等を挙げることかできる。この場合、樹脂組成物の粘
度は、Ｉ００ｃｐ〜３０００ｃｐが適当である。また、
基板の周囲に置く壁の高さは、感光性樹脂組成物の含有
する溶剤分の蒸発による減量分を見込んで決定する必要
かある。

また、固体状の樹脂組成物を用いる場合には、前記のよ
うにドライフィルムを基板七に加熱圧着して貼着する方
法等が好適である。

しかしながら、本発明の記録ヘッドを形成するに際して
は、取扱いＬで、あるいは厚さの制御か容功かつ正確に
できる点に於いて、固体状のフィルムタイプのものが便
利である。

このようにして、樹脂硬化膜３Ｈによって最終的に液体
通路６−２及び液室６−１を構成する溝を形成した後、
第６図（ａ）及び第６図（ｂ）に示すように、溝の覆い
となる平板７を樹脂硬化膜３１１Ｆに接着剤に接合し、
接合体を形成する。

第６図（ａ）及び第６図（ｂ）に示した工程に於いて、
覆い７を付設するＪＪ一体的な方法としては、例えばガ
ラス、セラミック、金属、プラスチック等の平二板７に
エボキシ樹脂系接着剤を厚さ３〜４ｕ＋にスピンコート
した後、−ｒ備加熱して接着剤層を、いわゆるＢステー
ジ化させ、これを硬化したドライフィルム３１｛−ヒに
貼り合わせた？Ｇ　Ｏｆ記接着剤層を、本硬化させる等
の方法があるが、アクリル系樹脂、八ＢＳ樹脂、ポリエ
チレン等の熱ＩｉＴ塑性樹脂のヅ板７を樹脂硬化膜３１
１上に、直接、熱融着させる等の接着剤を使用しない方
法でも良い。

また、覆い７の液体通路と接合する側に、木発明におけ
る樹脂硬化膜形成用の樹脂組成物からなる樹脂層を設け
、これを液体通路を形成レた樹脂硬化膜３ｌ１と熱融着
させ、しかる後に活性エネルキ一線を照射して加熱する
という方法、すなわち木発明における樹脂硬化１１Ｑ形
成用の樹脂組成物を接着剤として用いる方法も好ましい
。

尚、第６図に於いて、　６−１は液室、　６−２は液体
通路、８は液室６−１に不図示の記録ヘッド外部から内
部へ記録用液体を供給するための供給管（不図示）を連
結するための貫通孔を示す。

このようにして、基板１上に設けられた樹脂硬化膜３１
１と東板７との接合が完了した後、この接合体を第６図
（ａ）及び第６図（ｂ）に示した液体通路６−２の下流
側にあたるＣ−Ｃに添って切削して、切削面に於ける液
体通路の開口部である、記録用液体を吐出するためのオ
リフィスを形成する。

この工程は，吐出エネルギー発生素子２とオリフィス９
との間隔を適正化するために行なうものであり、ここで
切削する領域は適宜選択される。

この切削に際しては、半導体工業で通常採用されている
ダイシング法等を採用することができる。

なお、本発明でいう液体通路下流部とは、記録ヘッドを
用いて記録を行なっている際の記録用液体の流れ方向に
於ける下流領域、具体的には、吐Ｂエネルギー発生素子
２の設置位置より下流の液体通路の部分を言う。

切削が終了したところで、切削面を研磨して平滑化し、
Ｊ通孔８に供給管１０を取付けて第１図に示したような
液体噴射記録ヘッドを完成する。

なお、以上説明した例では、基板１上に樹脂硬化膜３Ｈ
を形成した後、これに覆い７が接合されたか、１ＹＩい
７側に樹脂硬化膜３］１を形成した後これをＪ，Ｌ板１
に接合しても良い。また、液体通路６−２と液室６−１
　とは別々に形成されたものであっても良い。

〔実施例〕

以下、合成例および実施例により本発明を更に詳細に説
明する。

な成例１ 本発明の液体噴射記録ヘッドの作製に用いる活性エネル
ギー線硬化型樹脂組成物を構成する成分として、以下に
示す（Ａ）〜（Ｄ）材料を用意した。

グラフト共ｉ食一仏欠ゴ」刀一 ２−ヒトロキシエチルメタクリレート５０重量部、Ｎ−
メチロールアクリルアミド５０重量部を用い、チオクリ
コール酸を連鎖移動剤、アゾビスイソブチロニトリルを
市合開始剤として用い、ラジカル連鎖移動重合を行ない
、分子鎖末端にカルボキシ基を持つオリゴマーを得た。

このオリゴマーに、グリシジルメタアクリレートを反応
させることにより、分子鎖の片末端にメタアクリロイル
基を持つマクロ千ノマーを得た。

既知のＧＰＣ法による測定の結果、Ｌ記の走査で得られ
たマクロ千ノマーの数平均分子星は、約３千の値を示し
た。このマクロ千ノマー２０重量部とメチルメタクリレ
ートＩＩＯｆＩｊ７．１部とを、メチルセロソルブ溶媒
中で溶液重合し、それによって重■モ均分子：Ｉ１′か
約４万、数平均分子項が約１万のグラフト共ＩＲ合高分
子をｊ′．ｉた。

線状高分子（１３） メチルメタクリレートと、トリシクロデカンオキシエチ
ルメタクリレートと、Ｎメチロールアクリルアミドとを
、８０二１０：　１０のモル比で重合することで線状ア
クリル共重合体が得られた。この線状アクリル共重合体
は、約１０万の数平均分了量と約２７万の重量平均分子
量を有するものであった。

エチレン不飽和　６を　する千ノマー　Ｃ）Ｉ）．トリ
メチロールブロバントリアクリレート２）．エボキシエ
ステル３００２Ｍ（共栄社油脂化学工業株式会社製） 瓜１血ｌ仇剋」） ｌ）．ヘンゾフェノン ２）．ミヒラーのケトン 次に、以−Ｆの材料を通常の混合技術を用いて以下に示
すような重量比でよく混合することによって、液体状の
活性エネルギー線樹脂組成物を得た。

材料　　　　　　　　重量部 （＾）５０ （［＋）　　　　　　　　　　　　　　　５０（Ｃ）−
１　　　　　　　　　　　　　　２０（Ｃ）　−２　　
　　　　　　　　　　　　８０（Ｃｌ）−１　　　　　
　　　　　　　　　ｔｏ（Ｄ）−２　　　　　　　　　
　　　　　３メチレンブルー　　　　０．３ メチルエチルケトン　　１００ エチルセロソ ルブアセテート　　　　２００ 次に、このようにして得られた液体状の樹脂組成物の一
部を、リバースコータにて２５μのポリエチレンテレフ
タレートフィルム（ルミラーＴタイブ）に塗布し、得ら
れた塗布膜を乾燥させて、膜厚が５０−の乾燥塗布膜層
（ドライフイルム）を得た。

史に、該乾燥塗布膜層上に４０μｓの延伸ポリエチレン
フィルムをカバーフィルムとして積層し、ドライフィル
ムとしての活性エネルギー線硬化型樹脂組成物層（厚さ
；５０μｓ）が、２枚のフイルムの間にサンドインチさ
れた構成の積層体を得た。

更に、リバースコータでの塗布を、得られるド？イフィ
ルムの層厚が３５鱗となるように行なう以外はＦ記と同
様にして、積層体を得た。

実施例１ 合成例１で製造したドライフィルムを用い、先に明細書
中で説明した第１図〜第６図の工程に従フて、吐出エネ
ルギー発生素子として１０個の発熱素子［ハフニウムポ
ライト（ｌＩｆ８■）］及び該発熱素子に対応して設け
らわたオリフィス（オリフィス寸法；７０μ×５０μ、
ピッチ０．１２０　ｍｍ）を有する第７図（１１）に示
すようなオンデマンド型液体噴射記録ヘッドの作成を以
丁のようにして実施した。尚、記録ヘッドは、同形状の
ものを各３０個宛試作した。

まず、シリコンからなる基板トに発熱素子の複数を所定
の位置に配設し、これらに記録信号印加用電極を接続し
た。

次に、９．熱素子か配設された基板面上に保護膜として
のＳｉＯ■層（厚さ１．０．）を設け、保護層の表面を
清浄化すると共に乾燥させた後、保護層に１『ねて、１
２０℃に加７品さわた合成例１で得た膜厚５０間のトラ
イフィルムを，ロール温度１２０℃、周速１．Ｏｎ＋／
ｌＩｌｉｎ．の条件下でゴムロールを用いて、ポリエチ
レンフィルムを剥離しながらラミネートした。

続いて、基板面上に設けたトライフィルム上に、液体通
路及び液室の形状に対応したパターンを仔するフォトマ
スクを重ね合わせ、最終的に形成される液体通路中に上
記素子か設けられるように位置合せを行なって真空密着
した後、このフォトマスクの北部から３６５ｒ＋ｍ付近
での紫外線強度が７　＋ｎＷ／ｃｍ２であってコリメー
シジン｛偏角が３゜の平行度の高い超高圧水銀灯を用い
て３５秒間ドライフィルムを露光した。

次に、露光終了後、基板上のドライフィルムからポリエ
チレンテレフタレートフィルムを剥離した後、該トライ
フィルムを１．１，ｉ−トリクロルエタン（商品名エタ
ーナＮｕ）で２０℃、５０秒間のスプレー現像処理１ノ
、トライフィルムの未重合（未硬化）部分を基板七から
溶解除去して、基板上に残行した硬化トライフィルム膜
によって最終的に液体通路及び液室となる溝を形成した
。

現像処理を終ｒした後、基板上の硬化トライフィルム膜
に、先にパターン露光に用いたのと同様の条件で５分間
の超高圧水銀灯による後照射（ＵＶボストキュア）を行
ない、更に１５０℃で１５分間の加熱処理を行ない後硬
化処理を施した。

このようにして、硬化ドライフィルム膜からなる壁によ
って液体通路及び液室となる溝を基板Ｌに形成した。

方、次にようにして、上記基板上に形成された硬化ドラ
イフィルム膜からなる壁を覆う天板を形成した。

１２０℃に加温された合成例１で得た膜厚３５騨のドラ
イフィルムを、ロール温度１００℃、周速１．０＋ｎ／
ｒｎｉｎ．の条件下でゴムロールを用いて、天板となる
ガラス板上に、ポリエチレンフイルムを剥踵しながらラ
ミネートした。

続いて、ガラス板の上に設けたドライフィルム上に、液
室の形状に対応したパターンを有するフォトマスクを重
ね合わせ位置合せを行なって真空密着した後、このフォ
トマスクの上部から：ｌ６５ｒ＋ａ＋付近での紫外線強
度が７　ｍＷ／Ｃｍ２であってコリメーシ１ン偏角が３
゛の平行度の高い超高圧水銀灯を用いて３５秒間トライ
フィルムを露光した。

露光後、ガラス板上のドライフィルム上に残存している
ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離してから、
前記基板に対する液体通路及び液室形成工程と同様な条
件で現像処理、水銀灯照射処理、加熱処理を施し、液室
付き天板を形成した。

その後、このように形成した天板のドライフィルム面側
に、合成例１で得た液体状の活性エネルギー線樹脂組成
物をロールコータにて塗布した後、８０℃、５分間熱風
乾燥して３ｐ厚の接着用の樹脂層を形成し、該樹脂層を
介して該天板を前記基板上の硬化ドライフィルム膜の上
面側に貼り合わせた。更に、この基板と平板とを加圧接
合し、天板側から更に紫外線を，　５０　ｍＷ／　ｃｍ
２で６０秒間照射して、接着用の樹脂層を本硬化させて
基板と天板とを接着同定し、接合体を形成した。

続いて、接合体の液体通路の下流側、すなわち吐出エネ
ルギー発生素子の設置位置から下流側へ０．ｌ５０．ｍ
ｍのところを液体通路に対して垂直に、市販のダイシン
グ・ソー（商品名．　ＤＡＤ　２１｛／８型、ＤＩＳＧ
Ｏ社製）を用いて切削し、記録用液体を吐出するための
オリフィスを形成した。

最後に、切削面を洗浄したのち乾燥させ、更に、切削面
を研磨して平滑化し、Ｊ通孔に記録用液体の供給管を取
付けて液体噴射記録ヘッドを完成した。得られた記録ヘ
ッドは、何れもマスクパターンを忠実に再現した液体通
路及び液室を存する十法精度に優れたものであった。ち
なみに、オリフィス寸法は、縦５０±　５ｕ＋、横７０
±　５μｌオリフィスピッチは、１２０±５μの範囲に
あった。

このようにして試作した記録ヘッドの品質及び長期使用
に際しての耐久性を以下のようにして試験した。

まず、得られた記録ヘッドについて、次の各組成からな
る記録用液体中に、６０℃で１００Ｑ時間浸漬？理（記
録ヘットの長期使用時に匹敵する環境条件）する耐久試
験を実施した。

記録用液体成分 １）１１■０／ジエチレングリコール／１，３−ジメチ
ル−２イミダゾリジノン／　（：．Ｉ．ダイレクトブル
ー（−５７／３０／１０／：１重量部）　ｐｌ１−８．
０２）Ｉ＋２０　／’ジエチレングリコール／Ｎ−メチ
ル−２−ピロリドン／（：．Ｉ．ダイレクトブラック＋
５４　ｓ２（＝５５／：３０／１０／５重量部）　ｐＨ
−９．０３）１１■０／ジエチレングリコール／ポリエ
チレングリコール＠４００　／Ｎ−メチル−２−ビロリ
ドン／Ｃ．Ｉ．ダイレクトイエロー８６１３ （−６５／１０／１０／１０／５市量部）　ｐＨ−７．
０４）ｌ！２０　／エチレングリコール／トリエチレン
グリコール／トリエチレングリコールモノメチルエーテ
ル／Ｃ．Ｉ．フードブラック　２７４（’６７／１０／
１５／５／３重１１１部）　ｐＨ−１０．０尚、注）　
ｓ１−“４は、水溶性染料であり、ｐｉの調整には、カ
セイソータを用いた。

耐久試験後、該試験を実施した各ヘッドにつき基板及び
覆いと硬化ドライフィルム膜の接合状態を観察した結果
、すべての記録ヘッドにおいて剥離や損傷は全く認めら
れず、良好な密着性を示していた。

次いでこれとは別に、得られた記録ヘッドのｌＯ個につ
いて、各ヘッドを記録装置に取付け、航記の記録用液体
を用いて１０８パルスの記録信号を１４時間連続的に記
録ヘッドに印加して印字を行なう印字試験を実施した。

何れの記録ヘッドに関しても、印字開始直後と１４時間
経過後において、記録用液体の吐出性能及び印字状態共
に性能の低下が殆ど認められず、耐久性に優れた記録ヘ
ットであった。

〔発明の効果〕

以Ｌ説明したように、本発明の液体噴射記録ヘッドの構
成に用いられる活性エネルギー線硬化型樹脂組成物は、
グラフト共重合高分子（Ａ）を構成成分とするので、添
加助剤等を添加しなくとも、種々の部材に対して十分な
密着性を有し、かつ線状高分子（Ｂ）を構成成分として
含むので、パターン形成時の現像特性に優れる。また、
同時にその硬化膜は十分な耐薬品性、耐久性等を有する
。

更には、該組成物は、その構成成分である高分ｆ物質と
して、グラフト共市合高分子と線状高分子とを併用して
用いるので、そのグラフト共重合高分子のみを高分子物
質として用いた場合に比べて、少ない活性エネルギー線
照射で、現像液に対する耐溶剤の塗膜になる。その結果
、高感度、解像度のアップ、部材の種類あるいは状態に
左右さ打ずにパターン形成ができる等のバターニングプ
ロセスの性質が向上し、作業条件巾が拡大する。

従ワて、該組成物の硬化物をその構成の一部とすること
によって本発明の記録ヘッドは、安価で精密であり、信
頼性が高く、耐久性に優れたものとなる。また、液体通
路壁を該組成物の硬化膜で形成すれば、蹟度良〈かつ歩
留り良く微細加工された液体通路を有する記録ヘッドが
得られる。

更に、本発明の記録ヘッドは上記の構成を有することに
より、マルチオリフィス化された場合にも信頼性が高く
、耐久性に優れたものとなる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第６図は本発明の液体噴射記録ヘッドならびに
その製造方法を説明するための模式図、第７図及び第１
０図は樹脂硬化膜の使用部分を示す記録ヘッドの液体通
路に垂直な而での横断面部分図、第８図（ａ）及び（ｂ
）笹びに第９図は記録ヘッドの他の構成を示す図である
。 １゜基板 ２：吐出エネルギー発生素子 ３：樹脂層 ３１１・樹脂硬化膜（液体通路壁） ４゜フ才トマスク ４Ｉ】：マスクパターン ６−１：／＆室 ６−２＝液体通路 ７：｝ｖい ８　貫通孔 ９：オリフィス ｌＯ：供給管 １１：’＋“江棒 １２：ト部保護層 １３：発熱抵抗層 目：接ｎ層

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）活性エネルギー線硬化型樹脂組成物の硬化物をその
   構成の一部とする液体噴射記録ヘッドであって、前記組
   成物が、 （Ａ）分子中に、１個の（メタ）アクリロイル基及び一
   般式（ I ） ▲数式、化学式、表等があります▼ （但し、上記式中のＺは、▲数式、化学式、表等があり
   ます▼または▲数式、化学式、表等があります▼で表わ
   される５員環を表わし、Ｒ＾４およびＲ＾５は、水素原
   子または炭素数１〜３のアルキル基を表す。）で表わさ
   れるジシクロペンテニル誘導体基を含有するモノマー、 下記一般式（II） ▲数式、化学式、表等があります▼（II） （ここでＲ＾６〜Ｒ＾１＾３は水素またはメチル基を表
   わす。）で表わされるモノマー、アルキルメタアクリレ
   ート、アクリロニトリルおよびスチレンからなる群より
   選ばれた一種以上のモノマーに由来する構造単位を主体
   とする幹鎖に、下記一般式（ｘ）で表わされるモノマー
   及び下記一般式（ｙ）で表わされるモノマーからなる群
   より選択された少なくとも一種のモノマーに由来する構
   造単位を有する枝鎖が付加されてなり、かつ数平均分子
   量が５千以上であり、重量平均分子量が５万以下である
   グラフト共重合高分子と、 ▲数式、化学式、表等があります▼・・・（ｘ） ▲数式、化学式、表等があります▼・・・（ｙ） ［ただし、Ｒ＾１は水素、もしくは炭素原子数が１〜３
   のアルキル基またはヒドロキシアルキル基を表わし、Ｒ
   ＾２は水素、もしくは炭素原子数が１〜４のヒドロキシ
   基を有していてもよいアルキル基またはアシル基を表わ
   し、Ｒ＾３は炭素原子数２〜６のアルキル基、あるいは
   ハロゲン置換されたアルキル基、 ▲数式、化学式、表等があります▼ （ただし、２≦ｍ＋ｎ≦６、ｎ≠０、ｍ≠０）で表わさ
   れるアルキルエーテル基、 ▲数式、化学式、表等があります▼ （ただし、２≦ｍ＋ｎ≦４、ｎ＝０あるいはｍ＝０の場
   合も含む） で表わされるフェニルアルキル基である。］（Ｂ）メチ
   ルメタアクリレート、エチルメタアクリレート、イソブ
   チルメタアクリレート、ｔ−ブト、アクリロニトリル、
   イソボルニルメタアクリレート、イソボルニルアクリレ
   ート、トリシクロデカンアクリレート、トリシクロデカ
   ンメタアクリレート、トリシクロデカンオキシエチルメ
   タアクリレート、スチレン、ジメチルアミノエチルメタ
   クリレート、シクロヘキシルメタクリレートからなる群
   より選ばれた一種以上のモノマーに由来する構造単位を
   有し、かつ前記一般式（ｘ）で表わされるモノマー及び
   前記一般式（ｙ）で表わされるモノマーからなる群より
   選択された少なくとも一種のモノマーに由来する構造単
   位を有し、かつ数平均分子量が５万以上であり、重量平
   均分子量が３５万以下であり、ガラス転移温度が６０℃
   以上である線状高分子と、 （Ｃ）エチレン性不飽和結合を有する単量体と、 （Ｄ）活性エネルギー線の照射によって遊離ラジカルを
   発生させる光重合開始剤と を含むことを特徴とする液体噴射記録ヘッド。 ２）前記グラフト共重合高分子（Ａ）と前記線状高分子
   （Ｂ）との重量比が（Ａ）：（Ｂ）＝８０：２０〜５０
   ：５０である請求項１記載の液体噴射記録ヘッド。 ３）前記グラフト共重合高分子（Ａ）および前記線状高
   分子（Ｂ）の合計重量（Ａ）＋（Ｂ）と前記単量体（Ｃ
   ）の重量比が｛（Ａ）＋（Ｂ）｝：（Ｃ）＝１００：５
   ０〜１００：２００である請求項１または２に記載の液
   体噴射記録ヘッド。 ４）前記グラフト共重合高分子（Ａ）、前記線状高分子
   （Ｂ）および前記単量体（Ｃ）の合計重量（Ａ）＋（Ｂ
   ）＋（Ｃ）と前記光重合開始剤（Ｄ）の重量比が｛（Ａ
   ）＋（Ｂ）＋（Ｃ）｝：（Ｄ）＝１００：１〜１００：
   １０である請求項１〜３のいずれかに記載の液体噴射記
   録ヘッド。