JPH02125966U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02125966U JPH02125966U JP3434189U JP3434189U JPH02125966U JP H02125966 U JPH02125966 U JP H02125966U JP 3434189 U JP3434189 U JP 3434189U JP 3434189 U JP3434189 U JP 3434189U JP H02125966 U JPH02125966 U JP H02125966U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mask
- vapor deposition
- body portion
- flat plate
- opening edge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図ａ，ｂは二段構造を有する本考案マスク
の一例を用いた蒸着方法を示す断面図である。第
２図ａ，ｂは従来のマスクを用いた蒸着方法を示
す断面図である。第３図ａ〜ｄは、従来のマスク
によるマスク合せ時に発生する電気的リーク不良
を説明する断面図である。第４図ａ〜ｆは本考案
マスクの実施例を示す図であり、同図ａはパター
ンに対応する開口を持つ蒸着用マスクの一例を示
す平面図、同図ｂ〜ｃはその一部を拡大した平面
図及び断面図である。また同図ｄ〜ｆは同図ｂに
示した各Ａ−Ａ′，Ｂ−Ｂ′及びＣ−Ｃ′断面に
おける二段構造マスクの断面形状を拡大して示し
た断面図である。 符号の説明、１……基板、２……下部電極、３
……非晶質半導体層、４……上部電極、５……蒸
着用マスク本体、６……蒸着用補助マスク、７…
…マスクによる傷、８……電気的リーク発生箇所
、９……電極パターン。
の一例を用いた蒸着方法を示す断面図である。第
２図ａ，ｂは従来のマスクを用いた蒸着方法を示
す断面図である。第３図ａ〜ｄは、従来のマスク
によるマスク合せ時に発生する電気的リーク不良
を説明する断面図である。第４図ａ〜ｆは本考案
マスクの実施例を示す図であり、同図ａはパター
ンに対応する開口を持つ蒸着用マスクの一例を示
す平面図、同図ｂ〜ｃはその一部を拡大した平面
図及び断面図である。また同図ｄ〜ｆは同図ｂに
示した各Ａ−Ａ′，Ｂ−Ｂ′及びＣ−Ｃ′断面に
おける二段構造マスクの断面形状を拡大して示し
た断面図である。 符号の説明、１……基板、２……下部電極、３
……非晶質半導体層、４……上部電極、５……蒸
着用マスク本体、６……蒸着用補助マスク、７…
…マスクによる傷、８……電気的リーク発生箇所
、９……電極パターン。
Claims (1)
- 所定のパターンに対応する開口を持つ遮へい用
平板からなり、該平板の各開口はパターンに対応
する大きさの開口縁を持つ上面のマスク本体部と
、該マスク本体部よりも大きい開口縁を持つ下面
の補助マスク部とから構成されていることを特徴
とする蒸着用マスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3434189U JPH02125966U (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3434189U JPH02125966U (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02125966U true JPH02125966U (ja) | 1990-10-17 |
Family
ID=31538727
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3434189U Pending JPH02125966U (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02125966U (ja) |
-
1989
- 1989-03-28 JP JP3434189U patent/JPH02125966U/ja active Pending