JPS6354146U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6354146U JPS6354146U JP1986148153U JP14815386U JPS6354146U JP S6354146 U JPS6354146 U JP S6354146U JP 1986148153 U JP1986148153 U JP 1986148153U JP 14815386 U JP14815386 U JP 14815386U JP S6354146 U JPS6354146 U JP S6354146U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass substrate
- photomask
- thin metal
- thin
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 claims 1
Description
第1図は本考案による一実施例を示すホトマス
クの斜視図、第2図は第1図の要部拡大図、第3
図はホトマスクのケース収納状態を示す斜視図で
ある。 3:ガラス基板、4:主表面金属薄膜、5:パ
ターン部、6:側壁金属薄膜、7:記入情報。
クの斜視図、第2図は第1図の要部拡大図、第3
図はホトマスクのケース収納状態を示す斜視図で
ある。 3:ガラス基板、4:主表面金属薄膜、5:パ
ターン部、6:側壁金属薄膜、7:記入情報。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 ガラス基板の側面に、主表面の金属薄膜と一
体化した金属薄模を形成したことを特徴とするホ
トマスク。 2 前記ガラス基板側面の金属薄膜は、判別のた
めの情報が刻み込まれてなることを特徴とする請
求の範囲第1項記載のホトマスク。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986148153U JPS6354146U (ja) | 1986-09-26 | 1986-09-26 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986148153U JPS6354146U (ja) | 1986-09-26 | 1986-09-26 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6354146U true JPS6354146U (ja) | 1988-04-12 |
Family
ID=31062166
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1986148153U Pending JPS6354146U (ja) | 1986-09-26 | 1986-09-26 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6354146U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009058950A (ja) * | 2007-08-07 | 2009-03-19 | Hoya Corp | マスクブランク用基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、マスクの製造方法、及びマスクブランク用基板 |
-
1986
- 1986-09-26 JP JP1986148153U patent/JPS6354146U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009058950A (ja) * | 2007-08-07 | 2009-03-19 | Hoya Corp | マスクブランク用基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、マスクの製造方法、及びマスクブランク用基板 |