JPH02124266A - 位置同期制御装置を備えたcnc研削盤 - Google Patents

位置同期制御装置を備えたcnc研削盤

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JPH02124266A
JPH02124266A JP27517588A JP27517588A JPH02124266A JP H02124266 A JPH02124266 A JP H02124266A JP 27517588 A JP27517588 A JP 27517588A JP 27517588 A JP27517588 A JP 27517588A JP H02124266 A JPH02124266 A JP H02124266A
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JP
Japan
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slave
master
servo motor
control signal
drive circuit
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JP27517588A
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English (en)
Inventor
Minoru Enomoto
稔 榎本
Haruo Omura
大村 春男
Yuji Oba
大場 裕司
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyoda Koki KK
Original Assignee
Toyoda Koki KK
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Publication date
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  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】
本発明は、マスタ軸とスレーブ軸の2つの工作主軸に工
作物を固定して研削するCNC研削盤に関する。
【従来技術】
従来、クランクシャフトのクランクピン等の工作物を研
削するマスタ軸とスレーブ軸の2つの工作主軸を有する
CNC研削盤においては、それら工作主軸の駆動方法と
して、一方の工作主軸を駆動するサーボモータからギヤ
等の機械結合により他方の工作主軸を同期軸として駆動
制御して加工していた。 このギヤ等の機械結合による構成においては、マスタ軸
を駆動するサーボモータの駆動力に対するギヤ系の伝達
ロスがあり、両主軸の駆動力が同じように発生せず、又
、ギヤ系のバックラッシュにより完全な同期制御加工を
行うことはできなかった。更に、機械系の複雑さに起図
してメンテナンス等に多くの時間を必要としていた。
【発明が解決しようとする課題】 上述の工作主軸の駆動方法の改良として、マスタ軸とス
レーブ軸の2つの工作主軸にそれぞれサーボモータを結
合し、2つの工作主軸の機械結合を切り離し、サーボ同
期軸として機械系を簡略化することが考えられる。とこ
ろが、工作物を工作主軸にクランプ固定することにより
、両サーボモータが工作物を介してお互いに固定される
ことになり、両サーボモータ間で干渉(サーボ系による
補正動作のタイミングの微妙なズレにより、その動きに
僅かの差異が生じ、一方のサーボモータの駆動力が他方
のサーボモータに加わると、お互いに、その駆動力を相
殺しようとして、位置決め位買が不安定になる状態°°
゛ハンチング現象)を起こし、互いの主軸動作に影晋を
与えてしまう。 本発明は、上記の課題を解決するために成されたもので
あり、その目的とするところは、2つの工作主軸にそれ
ぞれサーボモータを結合し、機械結合を切り離すことに
より機械系を簡略化し、尚且つ、工作物をクランプする
ことによりマスタ軸とスレーブ軸の2つの工作主軸が一
体的に固定された場合には、両サーボモータ間で干渉を
起こすことがないように、スレーブ軸側をマスタ軸側か
らのフィードバック信号のみによるマスタ駆動回路の電
流制御信号に切り換えてスレーブサーボモータをトルク
モータとし、マスタサーボモータのみによる位置制御と
する位置同期制御装置を備えたCNC研削盤を提供する
ことである。
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための発明の構成は、工作物をその
両端面で軸支し、その工作物に回転力を付与するマスタ
軸とスレーブ軸の2つの工作主軸を有し、マスタ軸とス
レーブ軸の回転位置を同期制御するCNC研削盤であっ
て、前記マスタ軸を下動するマスタサーボモータと、前
記スレーブ軸を駆動するスレーブサーボモータと、前記
マスタサーボモータに制御信号に応じて電流を供給する
マスタ駆動回路と、前記スレーブサーボモータに制御信
号に応じて電流を供給するスレーブ駆動回路と、前記ス
レーブ駆動回路に具備され、前記スレーブ駆動回路が電
流を前記スレーブサーボモータに供給制御するための電
流制御信号を、前記スレーブサーボモータに接続された
位置検出器及び速度検出器のそれぞれのフィードバック
信号に基づいて決定されるスレーブサーボモータの速度
偏差に応じた電流制御信号と、前記マスタサーボモータ
に接続された位置検出器及び速度検出器のそれぞれのフ
ィードバック信号に基づいて決定されるマスタサーボモ
ータの速度偏差に応じて前記マスタ駆動回路から出力さ
れる電流制御信号との間で切り換える制御切換回路と、
前記マスタ軸と前記スレーブ軸の両軸に前記工作物をク
ランプすることにより検出信号を出力するクランプ検出
器と、前記マスタ駆動回路及び前記スレーブ駆動回路に
前記制御信号を出力し、前記クランプ検出器からの検出
信号に応じて、前記スレーブ駆動回路の制御切換回路を
動作させて電流制御信号を切り換える切換指令信号を出
力する制御装置とを有することを特徴とする。
【作用】
制御装置は、マスタ駆動回路及びスレーブ駆動回路に制
御信号を出力し、マスタ駆動回路及びスレーブ駆動回路
は、それぞれマスタ軸を駆動するマスタサーボモータ及
びスレーブ軸を駆動するスレーブサーボモータに電流を
供給する。又、制御装置は、マスタ軸とスレーブ軸の両
軸に工作物をクランプすることにより検出器が出力する
検出信号に応じて、スレーブ駆動回路の制御切換回路に
切換指令信号を出力し、スレーブサーボモータに接続さ
れた位置検出器及び速度検出器のそれぞれのフィードバ
ック信号に基づいて決定されるスレーブサーボモータの
速度偏差に応じたスレーブ駆動回路の電流制御信号から
マスタサーボモータに接続された位置検出器及び速度検
出器のそれぞれのフィードバック信号に基づいて決定さ
れるマスタサーボモータの速度偏差に応じたマスタ駆動
回路の電流制御信号に切り換える。切り倹え後は、マス
タ駆動回路によりマスタサーボモータは位置制御され、
スレーブサーボモータは電流制御されることにより、両
ザーボモータ同士の干渉は起こらI工い。
【実施例】
以下、本発明を具体的な実施例に基づいて説明する。 第1図は位置同期制御装置を備えたCNC研削盤の機械
的構成及び電気的構成を示した全体ta戊図である。 10はCNC研削盤のベツドで、このベツド10上には
送り螺子17を介してサーボモータ16により駆動され
るテーブル11が主軸軸線に平行なZ軸方向に摺動可能
に配設されている。テーブル11上にはマスタ軸13を
軸架した主軸台12及びスレーブ軸19を軸架した主軸
台15が配設され、そのマスタ軸13及びスレーブ軸1
9はそれぞれマスタサーボモータ14及びスレーブサー
ボモータ24により回転される。そして、マスタ軸13
とスレーブ軸19とのヂャック機構(図示略)によりク
ランクシャフトから成る工作物Wが固定されている。 ベツド10の後方には工作物W側に向かって進退可能な
工具台20が案内され、工具台20にはモータ21によ
って回転駆動される砥石車Gが支承されている。この工
具台20は、送り螺子22を介してサーボモータ23に
連結され、サーボモータ23の正逆転により前進後退さ
れる。 マスタ駆動回路及びスレーブ駆動回路を構成するドライ
ブユニット51.54、その他の軸のサーボモータを駆
動するドライブユニッ)52.53は、制御装置を構成
する数値制御装置30から制御信号である速度指令を入
力し、それぞれサーボモー・夕14,24,16.23
を駆動する回路である。そして、マスタサーボモータ1
4、スレーブサーボモータ24にはその回転位置を絶対
位置として検出するアブソリュートエンコーダ(A/E
)55.56が接続されており、それらの出力信号は数
値制御装置30のインタフェース38を介してドライブ
CPU36に入力している。又、マスタサーボモータ1
4、スレーブサーボモータ24にはその回転速度を検出
する速度検出器57゜58が接続されており、それらの
出カイ1号はそれぞれドライブユニッ)51.54に入
力している。 数値制御装置30は主とじで制御軸の回転を数値制御し
て、工作物Wの研削加工と砥石車Gの修正を制御する装
置である。数値制御装置3oは、CNC研削盤を制御す
るためのCPU31と制御プログラムを記憶したROM
33と人力データ等を記憶するRAM32とで主として
構成されている。RAM32にはNCデータを記憶する
加工用N Cデータ領域321が形成されている。 数値制御装置30には、その他サーボモータ14.16
,23.24の駆動系として、ドライブCPU36とR
AM35が設けられている。RAM35はCPU31か
ら砥石車G1デープル]1、マスタ軸13、スlノーブ
軸19の位置決めデータを入力する記憶装置である。ド
ライブCPU36は加工に関する制御軸の送りに関しス
ローアツプ、スローダウン、マスタ軸の角度とそれに対
するスレーブ軸の位置決めデータ等により演算された速
度指令を定周期で各ドライブユニット51.52゜53
.54に出力し、更に、ドライブユニット54内にある
制御切換回’!3544を作動状態、1:する切換指令
信号を出力する装置である。 又、CPU31にはインタフェース34を介してデータ
等を入力するテープリーダ41とデータの入力を行うキ
ーボード42とデータの表示を行うCRT表示器43と
が接続され、更に、CPU31にはインタフェース39
を介して工作物検出信号を出力する検出器18及び加工
開始指令等の信号を出力する操作盤45が接続されてい
る。 ここで、ドライブユニット51.54等の構成について
、第2図を参照し、更に詳しく入出力信号等を中心に説
明する。 マスタサーボモータ14、スレーブサーボモータ24に
接続されたアブソリュートエンコーダ(A/E)55.
56からの位Uに関する出力信号S1]、、S41は、
第1図に示したように、数値制御装置30のインタフェ
ース38を介してドライブCPU36に位置フィードバ
ック信号として入力している。数値制御装置30の情誼
制御に関する演算結果としてドライブCP U 36か
ら制御信号S12、 S42である速度指令信号とマス
タサーボモータ14、スレーブサーボモータ24に接続
された速度検出器57.58からの回転速度に関する速
度フィードバック信号として出力信号S13.343と
が、ドライブユニツ)51.54の速度制御部511゜
541にそれぞれが入力している。そして、速度制御部
511,541に入力している制御信号S12、 S4
2と速度フィードバック信号S13. S43とから決
定される電流制御信号S14. S44がドライブユニ
ッ)−51,54のそれぞれ電流制御部512,542
に入力している。そして、それらの電流制御部512,
542からの出力信号S15. S45はドライブユニ
ッ)51.54のそれぞれ電流増幅部513.543に
出力され、それらの電流増幅部513.543から動力
としての制御電流SL6.346がそれぞれマスタサー
ボモータ14、スレーブサーボモータ24に入力してい
る。同時に電流増幅部513,543の制御電流S16
. S46は電流制御部512.542に電流フィード
バック信号S17゜S47としてフィードバックされて
いる。更に、ドライブユニット54内には、制御切換回
路544が速度制御部541と電流制御部542との間
に設けられている。そして、クランプ検出器18からの
工作物Wのクランプに関する出力信号S1は数値制御装
置30のインタフェース39を介してCPU31にクラ
ンプ検出信号として入力している。このクランプ検出信
号S1のON、OFF信号に従って、数値制御装置30
からドライブユニット54内の制御切換回路544に切
換指令信号S2のON、 OFF信号を出力することに
より、ドライブユニット54内の速度制御部541出力
側とドライブユニット54内の電流制御部542入力端
との接続、或いは、ドライブユニット51内の速度制御
部511出力側とドライブユニット54内の電流1;u
鍵部542入力端との接続を切り検える。 次に、その作用について説明する。 第3図は同実施例装置を構成する数値制御装置30のC
PU3]の処理手順を示したフローチャートである。第
4図のNCプログラムの一例に従い、第2図に示された
入出力信号及び数位制御装置30が切換指令信号をドラ
イブユニット540制御切換回路544に出力するタイ
ミングを説明した第5図のタイムチャートを参照しなが
ら、第3図のフローチャートを説明する。 先ず、ステップ100でRA M 32のNCデータ領
域321に記憶されており、第4図に示されたNCプロ
グラムにおけるN000のデータブロックの内容を解読
する。この内容は工作物Wの工作主軸への取り付は命令
であり、ステップ102に移行し、ステップ100て解
読されたデータブロックの内容がEND命令であるか否
かが判定される。END命令でないので、ステップ10
4に移行して、クランプ検出器18からのクランプ検出
信号S1を読み取る。この時点では、工作物Wは工作主
軸に取り付いておらず、尚且つクランプされていないの
でクランプ検出信号S1はOFFである。次にステップ
106に移行して、工作物Wのマスタ軸13及びスレー
ブ軸19におけるクランプ状態について判定される。ク
ランプ検出器18からの検出信号S1が叶Pであるので
、この判定はNOであり、ステップ108に移行し、ド
ライブユニット54の制御切換回路544に切換指令信
号S2としてOFF慣号登山力し制御切換回路544は
切り換えられないままである(第5図のタイムチャート
におけるf、 Ill )。次にステップ110に移行
して、NCデータによる処理として、例えばロボット等
によるハンドリングにて、工作物Wを工作主軸に取り付
ける。そして、再びステップ100に移行して、第4図
に示されたNCプログラムにおけるN001のデータブ
ロックの内容を解読する。この内容は工作物Wの工作主
軸におけるクランプ命令であるので、ステップ102〜
ステツプ108は上述の説明と同様に説明され、ステッ
プ110に移行し、NCデータによる処理として、マス
タ軸13及びスレーブ軸1902つの工作主軸は工作物
Wをクランプする。 すると、クランプ検出器18からの検出信号S1はON
となる。そして、ステップ100に移行して、第4図に
示されたNCプログラムにおけるN0O2のデータブロ
ックの内容を解読する。この内容はテーブル11の移動
命令であるので、ステップ102〜ステツプ104は上
述の説明と同様に説明され、ステップ106の判定にお
いて、検出器18からの検出信号S1がONであるので
、この判定はYESとなり、ステップ112に移行し、
スレーブサーボモータ24を駆動するドライブユニット
54の制御切換回路544に切換指令信号S2としてO
N債号を出力し、ドライブユニット540制御切換回路
544を切り換える(第5図のタイムチャートにおける
ti。この時点から、ドライブユニット54は、数値制
御装置30の制御信号S42によるそれ自身の電流制御
信号S44でなく、ドライブユニット51の電流制御信
号314にて駆動されることになり、スレーブサーボモ
ータ24はサーボモータからドライブユニット51の電
流制御信号S14に従う完全なトルクモータに切り替わ
ることになる。この場合においても、ドライブユニット
54には数値制御装置30の制御信号S42が入力され
ており、それ自身の位置制御が継続して行われている。 つまり、スレーブサーボモータ24の位置制御について
、ドライブユニット54により演算が継続されることに
なる。次にステップ110に移行して、NCデータによ
る処理として、テーブル11の移動を実行し、工作物W
を研削加工指定位置に移動させる。そして、ステップ1
00に移行して、第4図に示されたNCプロゲラl、に
おける8003のデータブロックの内容を解読する。こ
の内容は主軸駆動開始命令であるので、ステップ102
〜ステツプ112は上述の説明と同様に説明され、ステ
ップ110に移行し、マスタ軸とスレーブ軸の2つの工
作主軸の駆動を開始する(第5図のタイムチャートにお
けるti。次にステップ]、OOに移行して、第4図に
示されたNCプログラムにおりるN004〜N0O7の
データブロックの内容を順次解読する。これらの内容に
おいてはステップ102〜ステツプ112は、上述の説
明と同様に説明され、ステップ110で、NCデータに
よる処理として、順次これらの内容を実行しステップ1
02〜ステツプ112〜ステツプ110を繰り返す。そ
して、ステップ110で、第4図に示されたNCプログ
ラムにおけるN0O7のデータブロックの内容を実行終
了すると、ステップ100に移行し、第4図に示された
NCプログラムにおけるN008のデータブロックの内
容を解読する。この内容は主軸駆動停止命令であるので
、ステップ102〜ステツプ112は上述の説明と同様
に説明され、ステップ110に移行し、マスタ軸とスレ
ーブ軸の2つの工作主軸の駆動を停止する(第5図のタ
イムチャートにおけるt3)。 次にステップ100に移行して、第4図に示されたNC
プログラムにおけるN0O9のデータブロックの内容を
解読する。この内容はテーブル戻り命令であるので、ス
テップ102〜ステツプ112は上述の説明と同様に説
明され、ステップ110でNCCブタよる処理として1
、テーブル11の戻しを実行する。そして、ステップ1
00に移行して、第4図に示されたNCプログラムにお
けるN O1,0のデータブロックの内容を解読する。 この内容は工作物Wの工作主軸におけるアンクランプ命
令であるので、ステップ102〜ステツプ112は上述
の説明と同様に説明され、ステップ110に移行し、N
Cデーへ夕による処理としで、マスタ軸13及びスレー
ブ軸19の2つの工作主軸は工作物Wをアンクランプす
る。すると、クランプ検出器18からの検出(ご号S1
はOFFとなり、ドライブユニット54の制御切換回路
544に切換指令信号S2としてOFF信号を出力する
(第5図のタイムチャートにおける14)。この時点に
おいて、ドライブユニット54は、数値制御装置30の
切換指令信号S2により数値制御装置30の制御信号S
12によるドライブユニット51の電流制御信号S ]
、 4でなく、それ自身の電流制御信号S44にて駆動
されることになり、スレーブサーボモータ24はトルク
モータからサーボモータに切り替わることになる。上述
のように、ドライブユニット54は、数値制御装置30
の切換指令信号S2により制御切換回路544がドライ
ブユニット51の電流制御信号S14に切り換えられて
いる間においても、その位置制御が継続して行われてい
る。つまり、スレーブサーボモータ24の位置決め制御
位置について、ドライブユニット54により演算が継続
されており、サーボモータに切り替わると同時にその位
置決め制御が実行され、その位置決め制御位置はマスタ
サーボモータ14の位置決め制御位置と同期している。 そして、ステップ100に移行して、第4図に示された
NCプログラムにおけるN011のデータブロックの内
容を解読する。この内容は工作物Wの工作主軸からの取
り外し命令であるので、ステップ102〜ステツプ10
4は上述の説明と同様に説明され、ステップ106の判
定において、クランプ検′出倍18からの検出信号S1
がOFFであるので、この判定はNOであり、ステップ
108に移行し、ドライブユニット54の制御切換回路
544に切換指令信号S2としてOFF信号を出力し、
制御切換回路544はドライブユニット54の速度制御
部541と電流制御部542との接続を継続する。 次にステップ110に移行して、NCデータによる処理
として、例えばロボット等によるハンドリングにて、工
作物Wを工作主軸から取り外す。そして、ステップ10
0に移行して、第4図に示されたNCプログラムにおけ
るN012のデータブロックの内容を解読する。この内
容はプログラムEND命令であるので、ステップ102
の判定はYESとなり、本プログラムは終了する。 このように、マスタ軸13及びスレーブ軸19に工作物
Wが固定され、検出器18のクランプ検出信号S1がO
Nとなると、数値制御装置3oからドライブユニット5
4に切換指令信号S2のON信号を出力し、それ自身の
電流制御信号S44からドライブユニット51の電流制
御信号S14に切り換える。従って、マスタサーボモー
タ14の位置決め制御位置を主導とし、スレーブサーボ
モータ24はトルクモータとして追従制御されるので、
両サーボモータが干渉して不安定に成り易い停止状態に
おいても、マスタサーボモータ14で決定される位置決
め制御位置にて停止し、ハンチング現象等の不安定な状
態を回避することができる。 ここで、工作物Wをクランプし、両サーボモータ停止状
態である、′M5図のタイムチャートにおけるt+”t
*、t3〜t4間において、機械系の影響によりなお不
安定なようであれば、数値制御装置30からドライブユ
ニット54の電流制御部542に、第2図に二点鎖線に
て示した電流制限信号S3を出力し、スレーブサーボモ
ータ24への制御電流を制限し、スレーブサーボモータ
24の駆動力をマスタサーボモータ14の駆動力より小
さくして、駆動力においても、マスタサーボモータ14
を主導とすることが可能である。 又、上述のようにスレーブサーボモータ24のトルクモ
ータから位置制御モータへの復帰は工作物Wがマスタ軸
13及びスレーブ軸19に固定されたクランプ状態で行
うようにすれば、その復帰時にスレーブサーボモータ2
4の不安定な作動状態は発生しない。
【発明の効果】
本発明は、スレーブ駆動回路に具0ffiされ、スレー
ブ駆動回路が電流をスレーブサーボモータに供給制御す
るための電流制御信号を、スレーブサーボモータに接続
された位置検出器及び速度検出器のそれぞれのフィード
バック信号に基づいて決定されるスレーブサーボモータ
の速度偏差に応じた電流制御信号と、マスタサーボモー
タに接続された位置検出器及び速度検出器のそれぞれの
フィードバック信号に基づいて決定されるマスタサーボ
モータの速度偏差に応じてマスタ駆動回路から出カされ
る電流制御信号との間で切り換える制御切換回路と、マ
スタ駆動回路及びスレーブ駆動回路に制御信号を出力し
、クランプ検出器からの検出信号に応じて、スレーブ駆
動回路の制御切換回路を動作させて電流制御信号を切り
換える切換指令信号を出力する制御装置とを有しており
、マスタ軸とスレーブ軸の両軸に工作物をクランプする
ことによりクランプ検出器が出力する検出信号に応じて
、スレーブサーボモータへの制御電流を制御する電流制
御信号をスレーブ駆動回路の電流制御信号からマスタ駆
動回路の電流制御信号に切り換えて入力することにより
、スレーブサーボモータはその時点からトルクモータと
なるので、両サーボモータ同士の干渉を生ずることはな
い。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の具体的な一実施例に係る位置同期制御
装置を備えたCNC研削盤の機械的構成及び電気的構成
を示したブロックダイヤグラム。 第2図は第1図における主要構成部分を詳しく鏡明する
ためのブロックダイヤグラム。第3図は同実施例に係る
数値rb!I御装置30のCPU31の処理手順を示し
たフローチャート。第4図はNCプログラムの一例を示
した説明図。第5図は同実施例に係る切換指令信号のタ
イミングを表したタイムチャートである。 0 ベツド 11 テーブル 13 マスタ軸9 スレ
ーブ軸 王4 マスタサーボモータ4 スレーブサーボ
モータ 0 数値制御装置 1.52,53.54  ドライブユニット砥石車 W
 工作物 特許出願人  豊田工機株式会社 代 理 人  弁理士 謬谷 修 第 図 第 図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 工作物をその両端面で軸支し、その工作物に回転力を付
    与するマスタ軸とスレーブ軸の2つの工作主軸を有し、
    マスタ軸とスレーブ軸の回転位置を同期制御するCNC
    研削盤であって、 前記マスタ軸を駆動するマスタサーボモータと、前記ス
    レーブ軸を駆動するスレーブサーボモータと、 前記マスタサーボモータに制御信号に応じて電流を供給
    するマスタ駆動回路と、 前記スレーブサーボモータに制御信号に応じて電流を供
    給するスレーブ駆動回路と、 前記スレーブ駆動回路に具備され、前記スレーブ駆動回
    路が電流を前記スレーブサーボモータに供給制御するた
    めの電流制御信号を、前記スレーブサーボモータに接続
    された位置検出器及び速度検出器のそれぞれのフィード
    バック信号に基づいて決定されるスレーブサーボモータ
    の速度偏差に応じた電流制御信号と、前記マスタサーボ
    モータに接続された位置検出器及び速度検出器のそれぞ
    れのフィードバック信号に基づいて決定されるマスタサ
    ーボモータの速度偏差に応じて前記マスタ駆動回路から
    出力される電流制御信号との間で切り換える制御切換回
    路と、 前記マスタ軸と前記スレーブ軸の両軸に前記工作物をク
    ランプすることにより検出信号を出力するクランプ検出
    器と、 前記マスタ駆動回路及び前記スレーブ駆動回路に前記制
    御信号を出力し、前記クランプ検出器からの検出信号に
    応じて、前記スレーブ駆動回路の制御切換回路を動作さ
    せて電流制御信号を切り換える切換指令信号を出力する
    制御装置と を有することを特徴とする位置同期制御装置を備えたC
    NC研削盤。
JP27517588A 1988-10-31 1988-10-31 位置同期制御装置を備えたcnc研削盤 Pending JPH02124266A (ja)

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JP27517588A JPH02124266A (ja) 1988-10-31 1988-10-31 位置同期制御装置を備えたcnc研削盤

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0537449U (ja) * 1991-10-25 1993-05-21 株式会社丸栄機械製作所 水晶板積層体研摩装置
JPH08132338A (ja) * 1994-11-08 1996-05-28 Masakazu Miyashita 段付き工作物外周加工機
KR100342347B1 (ko) * 1999-09-04 2002-07-04 윤장진 로타리형 아이들 스피드 액츄에이터

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