JPH02119281A - 固体レーザ装置 - Google Patents
固体レーザ装置Info
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- JPH02119281A JPH02119281A JP63273621A JP27362188A JPH02119281A JP H02119281 A JPH02119281 A JP H02119281A JP 63273621 A JP63273621 A JP 63273621A JP 27362188 A JP27362188 A JP 27362188A JP H02119281 A JPH02119281 A JP H02119281A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/091—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
- H01S3/0915—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light
- H01S3/092—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light of flash lamp
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
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- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、固体レーザ装置に関する。
固体レーザ装置、たとえばＮｄ：ＹＡＧレーザ装置は、
近年レーザ加工機として、半導体産業における微細加工
から、金属の溶接、溶断等の重工業分野へと広範に利用
されている。このレーザ加工機の光源として用いられる
Ｎｄ：ＹＡＧレーザは、励起法の違いから、連続励起に
よる連続レーザ発振、パルス励起によるパルスレーザ発
振の２つに大別される。
近年レーザ加工機として、半導体産業における微細加工
から、金属の溶接、溶断等の重工業分野へと広範に利用
されている。このレーザ加工機の光源として用いられる
Ｎｄ：ＹＡＧレーザは、励起法の違いから、連続励起に
よる連続レーザ発振、パルス励起によるパルスレーザ発
振の２つに大別される。
各々は、固有の発振形態を有しており、レーザ加工機と
して利用する場合、加工目的に適したレーザ発振器を選
択し利用するのが一般的である。
して利用する場合、加工目的に適したレーザ発振器を選
択し利用するのが一般的である。
その例として、連続レーザ発振では、シーム溶接、ハン
ダ付は等の加熱溶融メカニズムによるもの、パルスレー
ザ発振では、穴明け、溶断、マーキング等の気化加工メ
カニズムによるものとがある。このように１つのレーザ
発振器での使用目的は限定されるため、１つの加工プロ
セスに、双方の加工を行う事は不可能である。
ダ付は等の加熱溶融メカニズムによるもの、パルスレー
ザ発振では、穴明け、溶断、マーキング等の気化加工メ
カニズムによるものとがある。このように１つのレーザ
発振器での使用目的は限定されるため、１つの加工プロ
セスに、双方の加工を行う事は不可能である。
本発明は、１つの固体レーザ素子に、連続レーザ発振を
行う手段と、パルスレーザ発振を行う手段とを有し、双
方のレーザ発振を容易に得られるようにした事により、
多様な目的に使用できる固体レーザ装置を提供する事に
ある。
行う手段と、パルスレーザ発振を行う手段とを有し、双
方のレーザ発振を容易に得られるようにした事により、
多様な目的に使用できる固体レーザ装置を提供する事に
ある。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図は本発明の実施例を示すブロック図である。図に
おいて、レーザ発振器１０は、固体レーザ素子１をレー
ザ共振器を構成する反射鏡５，６内に配置し、アークラ
ンプ２とフラッシュランプ３とから放射された光を集光
器４により固体レーザ素子１に集めて励起する。アーク
ランプ２には連続励起電源７から電力を供給し、フラッ
シュランプ３にはパルス励起電源８から電力を供給する
。
おいて、レーザ発振器１０は、固体レーザ素子１をレー
ザ共振器を構成する反射鏡５，６内に配置し、アークラ
ンプ２とフラッシュランプ３とから放射された光を集光
器４により固体レーザ素子１に集めて励起する。アーク
ランプ２には連続励起電源７から電力を供給し、フラッ
シュランプ３にはパルス励起電源８から電力を供給する
。
各々の励起電源は、励起電源制御装置１１により、所要
のレーザ発振を得る。ための制御を行う事ができる。
のレーザ発振を得る。ための制御を行う事ができる。
次に、実施例について第１図および第２図（ａ）。
（ｂ）、 （ｃ）、 （ｄ）と第３図により説明する。
レーザ発振は、固定レーザ素子またとえばＮｄ：ＹＡＧ
ロッドに、光励起を行い共振器を構成する反射鏡４，５
によって光の増幅作用を行わせ内部パワーの１部を共振
器外へとり出す事により得られる。まず、連続レーザ発
振を行わせる手段として、連続励起電源７により、アー
クランプ２を点灯させる。この時、ランプ入力電力の変
化１０１（第２図（ａ））に対し、レーザ発振出力１０
２（第２図（ｂ））が得られる。現在１つのレーザ素子
によって得られるレーザ出力パワーは最大３００Ｗ程度
である。
ロッドに、光励起を行い共振器を構成する反射鏡４，５
によって光の増幅作用を行わせ内部パワーの１部を共振
器外へとり出す事により得られる。まず、連続レーザ発
振を行わせる手段として、連続励起電源７により、アー
クランプ２を点灯させる。この時、ランプ入力電力の変
化１０１（第２図（ａ））に対し、レーザ発振出力１０
２（第２図（ｂ））が得られる。現在１つのレーザ素子
によって得られるレーザ出力パワーは最大３００Ｗ程度
である。
次に、パルスレーザ発振を行わせる手段としてパルス励
起電源８により、フラッシュランプ３を点灯させる。フ
ラッシュランプの場合は、励起電源８の内部にあるコン
デンサーに充電した電気エネルギーを放電させる事によ
りフラッシュランプ３を発光させる。従って、レーザ発
振出力は、放電電流の波形、放電時間等により変化する
。フラッシュランプ３の発光波形１０３（第２図（Ｃ）
）に対しパルスレーザ発振１０５（第２図（ｄ））カ得
られ、またフラッシュランプ波形１０４（第２図（Ｃ）
）に対しレーザ発振１０６（第２図（ｄ））が得られる
。この場合１発あたりの出力エネルギーは、最大１００
Ｊ程度である。
起電源８により、フラッシュランプ３を点灯させる。フ
ラッシュランプの場合は、励起電源８の内部にあるコン
デンサーに充電した電気エネルギーを放電させる事によ
りフラッシュランプ３を発光させる。従って、レーザ発
振出力は、放電電流の波形、放電時間等により変化する
。フラッシュランプ３の発光波形１０３（第２図（Ｃ）
）に対しパルスレーザ発振１０５（第２図（ｄ））カ得
られ、またフラッシュランプ波形１０４（第２図（Ｃ）
）に対しレーザ発振１０６（第２図（ｄ））が得られる
。この場合１発あたりの出力エネルギーは、最大１００
Ｊ程度である。
次に、連続、パルス双方の発振形態を、励起電源制御装
置によって、切替えて片側のみ出力させたり、交互に出
力させたり、あるいは合成して出力させるよう制御する
事により、第３図に示すように、連続レーザ発振１０２
．パルスレーザ発振１０５．１０６．及び合成発振出力
１０８，１０９のような従来出来得なかったレーザ発振
出力が容易に得られる。
置によって、切替えて片側のみ出力させたり、交互に出
力させたり、あるいは合成して出力させるよう制御する
事により、第３図に示すように、連続レーザ発振１０２
．パルスレーザ発振１０５．１０６．及び合成発振出力
１０８，１０９のような従来出来得なかったレーザ発振
出力が容易に得られる。
このように、従来別々のレーザ加工機により行っていた
ものを、１プロセス上で達成する事が可能となり、従来
の加工分野を更に広げ、種々の効果が期待できる。
ものを、１プロセス上で達成する事が可能となり、従来
の加工分野を更に広げ、種々の効果が期待できる。
力と出力パワーを示し、（ｃ）、 （ｄ）はパルスレー
ザ発振の場合の入力電力と出力パワーを示す図、第３図
は連続、パルス及び合成発振出力を示す図である。
ザ発振の場合の入力電力と出力パワーを示す図、第３図
は連続、パルス及び合成発振出力を示す図である。
１・・・・・・固体レーザ素子、２・・・・・・アーク
ランプ、３・・・・・・フラッシュランプ、４・・・・
・・集光器、５゜６・・・・・・反射鏡、７・・・・・
・連続励起電源、８・・・・・・パルス励起電源、９・
・・・・・出力レーザビーム、１０・・・・・・レーザ
発振器、１１・・・・・・励起電源制御装置。
ランプ、３・・・・・・フラッシュランプ、４・・・・
・・集光器、５゜６・・・・・・反射鏡、７・・・・・
・連続励起電源、８・・・・・・パルス励起電源、９・
・・・・・出力レーザビーム、１０・・・・・・レーザ
発振器、１１・・・・・・励起電源制御装置。
代理人 弁理士 内 原 晋
第１図は本発明の実施例を示すブロック図、第２図（ａ
）、 （ｂ）は連続レーザ発振の場合の入力電第１凹 ｌ 圓林し１ガ第１ｊ 土競、励μ−電ユ厘 ４、集、７ｔ５ ６ Ｌ討オ克 Ｚ 反剤４克 １．１／−ヂ発擁戎（ 〃 盾ガＡ５乙１Ｙシ５化鎮りｅＰＪうａヒ第３図
）、 （ｂ）は連続レーザ発振の場合の入力電第１凹 ｌ 圓林し１ガ第１ｊ 土競、励μ−電ユ厘 ４、集、７ｔ５ ６ Ｌ討オ克 Ｚ 反剤４克 １．１／−ヂ発擁戎（ 〃 盾ガＡ５乙１Ｙシ５化鎮りｅＰＪうａヒ第３図
Claims (1)
- 光励起によりレーザ発振出力を得る固体レーザ装置にお
いて、連続的なレーザ発振光を生じさせる励起手段と、
パルス的にレーザ発振光を生じさせる励起手段とを有し
、各々を単独にあるいは交互に駆動することにより、１
つの固体レーザ素子から複数の異なるレーザ発振光が得
られることを特徴とする固体レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63273621A JPH02119281A (ja) | 1988-10-28 | 1988-10-28 | 固体レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63273621A JPH02119281A (ja) | 1988-10-28 | 1988-10-28 | 固体レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02119281A true JPH02119281A (ja) | 1990-05-07 |
Family
ID=17530273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63273621A Pending JPH02119281A (ja) | 1988-10-28 | 1988-10-28 | 固体レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02119281A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8131165B2 (en) | 2008-09-29 | 2012-03-06 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Image forming apparatus and waste powder transporting method |
-
1988
- 1988-10-28 JP JP63273621A patent/JPH02119281A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8131165B2 (en) | 2008-09-29 | 2012-03-06 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Image forming apparatus and waste powder transporting method |
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