JPH02119156A - ウェーハ試験方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はウェーハ試験方法に関し、特にウェーハ段階に
てペレットの試験を行うウェーハ試験方法に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種のウェーハ試験方法では、第２図に示すプ
ローバ本体１０．を用いプローブカード８を固定として
上面にウェーハ９を載置したウェーハステージ２を外部
から供給される駆動電力により回転するパルスモータ４
により、水平面に沿って横軸Ｘ方向と縦軸Ｙ方向に移動
することにより、ウェーハ９上の全ペレットをプローブ
カード８の探針と接触させて試験を行っていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のウェーハ試験方法では、プローブカード
が固定となっているので、ウェーハステージは最小限ウ
ェーハ外径分の動作範囲を必要とする。その為、ウェー
ハ外径が大きくなるにしたがってウェーハステージの動
作範囲を大きくする必要があり、その結果、装置寸法が
大きくなりクリーンルームへの設置スペースを広く取る
必要が生じるという欠点がある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のウェーハ試験方法は、ウェーハ段階でペレット
の試験を行うプローバのウェーハステージを水平面に沿
って縦軸及び横軸方向に移動し、前記ウェーハステージ
の移動に同期してプローブカードを前記縦軸及び横軸方
向のそれぞれ逆方向に移動するように構成される。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例に用いるプローバのブロック
図である。

第１図に示すように、プローバ本体１０は１０−ブカー
ド８を下面側に固定し水平面に沿って横軸Ｘ及び縦軸Ｙ
方向と上下方向に移動できるプローブカードステージ１
と、上面に試験されるウェーハ９を載置して水平面に沿
って横軸Ｘ及び縦軸Ｙ方向へ移動できるウェーハステー
ジ２と、プローブカードステージ１を移動させるパルス
モータ３と、ウェーハステージ２を移動させるパルスモ
ータ４とを備える。パルスモータ３及び４はそれぞれ図
示しないＣＰＵから供給される移動量情報に基づき、同
期制御部７で作成されるそれぞれの移動量情報を受けて
、駆動電力を出力する駆動回路ら及び６により同一タイ
ミングで独立して駆動される。

ＣＰＵからの移動量情報により同期制御部７はプローブ
カードステージ１とウェーハステージ２の横軸Ｘ及び縦
軸Ｙ方向の移動量について分配し、かつ、移動方向を指
定して各駆動回路５，６に信号を送る。パルスモータ３
，４はそれぞれプローブカードステージ１とウェーハス
テージ２に独立して存在し、同一のタイミングでそれぞ
れのステージを駆動する。

前述した第２図のプローバでの移動量（ウェーハステー
ジのみの移動量）をＸ＝Ａ、Ｙ＝Ｂとすると、ウェーハ
ステージ２がＸ＝Ａ／２゜Ｙ＝Ｂ／２でプローブカード
ステージ１がＸ＝−Ａ／２．Ｙ＝−Ｂ／２となり、半分
の移動量と互に反対方向への駆動により、従来方法の移
動量を満足することになり、ウェーハ外径が大きくなっ
てもプローバの外形を小型化できる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、プローブカードをウェー
ハステージと同期させて水平面に沿って横軸及び縦軸方
向に互に反対方向に移動させることにより、ウェーハ外
径の大型化に伴いプローバ本体が大型化することを防止
でき、従って、クリーンルーム内の設置スペースを小さ
くできる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に用いるプローバのブロック
図、第２図は従来のウェーハ試験方法の一例に用いる１
０−バのブロック図である。 １・・・プローブカードステージ、２・・・ウェーハス
テージ、３，４・・・パルスモータ、５．６・・・駆動
回路、７・・・同期制御部、８・・・スロープカード、
９・・・ウェーハ、１０．１０．・・・プローバ本体、
１１・・・制御部。 第７図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ウェーハ段階でペレットの試験を行うプローバのウェー
   ハステージを水平面に沿って縦軸及び横軸方向に移動し
   、前記ウェーハステージの移動に同期してプローブカー
   ドを前記縦軸及び横軸方向のそれぞれ逆方向に移動する
   ことを特徴とするウェーハ試験方法。