JPH02119155A - 半導体集積回路用試験装置 - Google Patents

半導体集積回路用試験装置

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JPH02119155A
JPH02119155A JP63272225A JP27222588A JPH02119155A JP H02119155 A JPH02119155 A JP H02119155A JP 63272225 A JP63272225 A JP 63272225A JP 27222588 A JP27222588 A JP 27222588A JP H02119155 A JPH02119155 A JP H02119155A
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JP
Japan
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needle
semiconductor integrated
integrated circuit
contact needle
contact
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JP63272225A
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English (en)
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Toshihiko Kikuchi
菊池　敏彦
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体集積回路用試験装置に関し、特に接触針
の構造に関する。
〔従来の技術〕
従来、この種の半導体集積回路用試験装置は、半導体基
板上のパッドに接触する複数の接触針を有しており、そ
の接触針の断面は２図に示す様に単円の形状を成してい
た。
〔発明が解決しようとする課題〕
上述した従来の半導体集積回路用試験装置の接触針は、
断面の形状が単円であった為、より多くの印加電流を流
そうとする場合は、表皮効果による表皮電流を増やすた
め、接触針を太くしなければならないという欠点があっ
た。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の半導体集積回路用試験装置は、その接触針がパ
イプ状に形成されているものである。
〔実施例〕
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例に用いられる接触針の断面図
である。
接触針１は中心部に同心円を描く様な空洞２を有するい
わゆるパイプ状に形成されている。
この様に空洞２を設ける事により、接触針１の表面積が
広くなるため、表皮電流がより多く流れる事になる。従
って太さを増すことなく多くの電流を長ずことのできる
接触針を有する半導体装置回路用試験装置が得られる。
尚、空洞は断面が円形でなく、楕円形であってもよい。
〔発明の効果〕
以上説明した様に本発明は、半導体集積回路用試験装置
の接触針をパイプ状に形成して表面積を増やす事により
、接触針の表面を流れる表皮電流を増やす事ができる為
、接触針の太さを変えることな〈従来の接触針よりも大
きな電流を流せるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例に用いられる接触針の断面図
、第２図は従来の半導体集積回路用試験装置の接触針の
断面図である。 １・・・接触針、２・・・空洞。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 半導体基板上のパッドに接触する複数の接触針を有する
    半導体集積回路用試験装置において、前記接触針はパイ
    プ状に形成されていることを特徴とする半導体集積回路
    用試験装置。
JP63272225A 1988-10-27 1988-10-27 半導体集積回路用試験装置 Pending JPH02119155A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100465348B1 (ko) * 2002-06-24 2005-01-13 주식회사 파이컴 마이크로 튜브를 이용한 전자소자 검사용 프로브 팁
KR100600230B1 (ko) * 1999-10-06 2006-07-13 동경 엘렉트론 주식회사 납땜 볼용 접촉기

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100600230B1 (ko) * 1999-10-06 2006-07-13 동경 엘렉트론 주식회사 납땜 볼용 접촉기
KR100465348B1 (ko) * 2002-06-24 2005-01-13 주식회사 파이컴 마이크로 튜브를 이용한 전자소자 검사용 프로브 팁

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