JPH02119028A

JPH02119028A - 放電灯

Info

Publication number: JPH02119028A
Application number: JP1232829A
Authority: JP
Inventors: Takashi Fujimura; 藤村　孝史; Kiyoshi Saruwatari; 猿渡　清志; Yoshifumi Tomita; 富田　好文
Original assignee: FUJI KOKEN KK; Hitachi Ltd
Current assignee: FUJI KOKEN KK; Hitachi Ltd
Priority date: 1989-09-11
Filing date: 1989-09-11
Publication date: 1990-05-07
Also published as: JPH0330252B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は露光装置の光源として用いられる放電灯に関す
るものである。

集積回路やカラー受像管の製造において、微細なパター
ン加工を光学的に行なうが、このとき使用される露光装
置の光源としては安定に発光する放電灯が用いられる。

第１図は露光装置に用いられる従来の発光装置の平面断
面図、第２図は第１図の■−■断面図である６図におい
て、１はランプハウス台で、ガイドビン２ａ、２ｂ、２
ｃによって位置決めされ、固定部３ａ、３ｂを締めつけ
ることにより基台上にセツティングされる。ランプハウ
ス台１には、上面から凹んで円孤状の管収容部１ａ、そ
の両端の電極収容部１ｂ、ｌｃおよび電極収容部１ｂ。

１ｃから斜め下方に貫通して入路１ｄ、出路１ｅがそれ
ぞれ形成され、さらに入路１ｄ、出路１ｅの各開口端に
は流入管４ａ、流出管４ｂがそれぞれ接合されている。

また、ランプハウス台１の下面からは先端が電極収容部
１ｂ、ｌｃ内に配置されるように電力供給端子５ａ、５
ｂがねじ込まれ、気密性を保持するためにエポキシレジ
ンで固定されている。放電部が円孤状に形成された放電
灯は、ガラス、セラミックの透明絶縁管（以下ガラス管
という）６とその両端に固定されたステム７ａ。

７ｂからなり、ステム７ａ、７ｂをロケータ９に固定さ
れた取付板８ａ、８ｂにはんだ付けして固定することに
よりロケータ９に取付けられる。ロケータ９は両端にピ
ン孔１０ａ、１０ｂを有し、ランプハウス台１の上面に
植設されたガイドピン１１ａ、ｌｌｂにピン孔１０ａ、
１０ｂをはめ込むことにより、ロケータ９はランプハウ
ス台１上に正しく位置決めして取付けられる。このとき
、ガラス管６、ステム７ａ、７ｂは管状容部１ａ。

電極収容部１ｂ、ｌｃ内にそれぞれ収容される。

また、１２ａ、１２ｂはリード線で、一端は取付板８ａ
、８ｂにはんだ付けされ、他端は止めねじ１３ａ、１３
ｂによって電力供給端子５ａ、５ｂにねじ止めされてい
る。

一方、ランプハウス台１の上面にはガラスからなるフェ
ースプレート１４、およびフェースプレート１４上に開
口１５ａを有する差１５が設けられ、蓋１５は０リング
１６ａ、１６ｂを介してランプハウス台１に圧接されて
いる。したがって、管状容部１ａ、電極収容部１ｂ、ｌ
ｃは気密に保持される。

このような構成で、流入管４ａから冷却水を流スさせる
と、矢印に示すように、水は入路１ｄ。

電極収容部１ｂ、管収容部１ａ、電極収容部１ｃ。

出路１ｅを経て流出管４ｂから流出される。この水によ
って放電灯は水冷される。そして、電力供給端子５ａ、
５ｂを電源に接続するとガラス管６の中心部は発光し、
この光はフェースプレート１４、開口１５ａを経て放射
される。

この場合、ステムは放電灯の電極に接続されているので
高電圧部分が水中に露出するという問題がある。

第３図は放電灯の電極部の断面図である。ガラス管６の
先端の電極部には水銀１８が収容され、さらにこの水銀
１８の面から管内に先端部が突き出した電極１９が封着
されている。電極１９の他方の端はガラス管６の外に引
出され、この部分に裸導線のリード線２０が溶接されて
いる。ガラス管６の外周面には電極１９とリード線２０
の溶接部分を覆うようにステム７ａ　（７ｂ）がかぶさ
れ、その間にはエポキシレジン２１が充填され互いに固
定されている。そして、ステム７ａ　（７ｂ）の端には
封止金属２２がはめ込まれ、さらに、ステム７ａ　（７
ｂ）とリード線２０の間がはんだ２３によって接続され
ている。

このように従来の放電灯においては、ガラス管の電極封
着部近傍と接合部とがステム内の広い空間でレジンに取
り囲まれているため、強度低下の恐れがあるという問題
があった。

本発明はこのような従来の問題を解決するために考えら
れたもので、その目的とするところは。

電極の接合部及びガラス管の端部を絶縁チューブで囲繞
して補強するようにした放電灯を提供することにある。

本発明は、電極の接合部及びガラス管の端部の周囲に絶
縁チューブを設け、この絶縁チューブは一端がガラス管
の外周面にがん合し他端が接合部を囲繞する方向に延在
するように形成し、絶縁チューブ内に絶縁レジンを充填
したものである。

以下、本発明を実施例にもとずいて詳細に説明する。

第４図は本発明に係る放電灯の一実施例の断面図である
。図において、第３図と同一部分には同一符号を付しで
ある。２５は外部引出導体であり。

その一端側２５ａで電極１９の外方突出部１９ａと接合
部１９ｂで溶接されている。２６は所定の長さに形成さ
れたシリコンゴムからなる絶縁チューブで、電極１９と
外部引出導体２５との接合部１９ｂを覆い、一端はガラ
ス管６の外周面に強くがん合している。そして、絶縁チ
ューブ２６の内には、ガラス管６の先端部、電極１９の
外方突出部１９ａ、外部引出導体２５及び接合部１９ｂ
を埋めるようにエポキシレジン２７が充填され、また、
ステム７ａ　（７ｂ）と絶縁チューブ２６との間隙にも
同じくエポキシレジン２８が充填されている。なお、２
９はシール材である。

第５図は他の実施例の断面図である。図において、第４
図と同一部分には同一符号を付しである。

３１は電極１９と外部引出導体２５との接合部１９ｂの
外周面上およびガラス管６の先端部の外周面上にまたい
で弾力でがん合した補強用のコイルで、電極１９の接合
部１９ｂ及び前記先端部に外力が加わらないようにした
ものである。このコイル３１はその表面に半田層を形成
し、線相互を半田付けすることで一体の剛体として作用
する構成となっている６絶縁チユーブ２６はこのコイル
３１の外周を覆うように設けられている。そして、絶縁
チューブ２６の内にはエポキシレジン２７が充填されて
いる。また、ステム３２と絶縁チューブ２６およびガラ
ス管６との間にはエポキシレジン２８が充填され、かつ
、ステム３２とガラス管６との間はコイル３３によって
接合されている。

このコイル３３も半田層を形成し、一体の剛体として作
用する構成としてもよい。なお、３４はシール部材であ
る。この例はコイルが設けられただけで作用は前記実施
例と同様である。

このように、本発明に係る放電灯によると、電極の接合
部及びガラス管の先端部が絶縁チューブによって覆われ
ているため、これらの部分の機械的強度が保持できると
いう優れた効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は発光装置の平面断面図、第２図は第１図の１１
−　ＩＩ断面図、第３図は従来の放電灯の断面図、第４
図は本発明に係る放電灯の一実施例の断面図、第５図は
他の実施例の断面図である。６・・・ガラス管、７ａ、７ｂ・・・ステム。１８・・・水銀、１９・・・電極、２５・・・外部引出
導体、２６・・・絶縁チューブ、２７，２８・・・エポ
キシレジン、３１・・・コイル。

Claims

【特許請求の範囲】

１、透明絶縁管の内部に水銀を封入し、かつ両端にそれ
ぞれ電極を密封した放電管と、この放電管の端部に固着
されたステムと、前記電極の外方突出部に接合された外
部引出導体とを有する放電灯において、前記接合部及び
前記透明絶縁管の一部を囲繞し、かつその一端を前記透
明絶縁管に固定した絶縁チューブと、この絶縁チューブ
の内側及び外側に充填された絶縁材料からなるレジンと
を有することを特徴とする放電灯。