JPH02114936U - - Google Patents

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JPH02114936U
JPH02114936U JP2382789U JP2382789U JPH02114936U JP H02114936 U JPH02114936 U JP H02114936U JP 2382789 U JP2382789 U JP 2382789U JP 2382789 U JP2382789 U JP 2382789U JP H02114936 U JPH02114936 U JP H02114936U
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Japan
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inker
objective lens
movable
photo interrupter
mode
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JP2382789U
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  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は、試作機を金属顕微鏡に実装着した例
を示す外観略図、第2図は、試作機の可動インカ
ー本体〔第1図7〕の透視的概略図である。 第1図:1……金属顕微鏡、2……X−Yステ
ージ、3……対物レンズ、4……顕微鏡光源、5
……接眼レンズ、6……ステージ高さつまみ、7
……可動インカー本体、8……可動インカー本体
用X−Y−Zステージ、9……可動インカー本体
用角度調整つまみ、10……ストローク深度調整
つまみ、11……コントロール・ボツクス、12
……電源スイツチ、13……モード切り替えSW
、14……パイロツト・ランプ、15……マーキ
ング回数表示板、16……ボタン・ボツクス、1
7……アーム始動ボタン、18……インカー動作
専用ボタン、19……マーキング回数表示クリア
ボタン、20……長焦点距離検知センサ用フオト
インタラプタ、21……さえぎり板、22……X
−Yステージつまみ、第2図:1……パルス駆動
タイプのインカー、2……可動アーム、3……ア
ーム支持点、4……ステンレスのレール、5……
インカー駆動パルス導線、6……スクリユーシヤ
フト、7……ナツト、8……ギア、9……DCモ
ータ、10……始動及び停止用フオトインタラプ
タ、11……復路途中の減速用フオトインタラプ
タ、12……往路途中の減速用フオトインタラプ
タ、13……ストローク終点停止(及び復路開始
用)フオトインタラプタ、14……ステンレス製
滑り電極。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 1 第1図の如く顕微鏡に装着し一体化している
    自動可動インカーである点。 2 第1図20,21に示すようにフオトインタ
    ラプタによる低倍率レンズ検知センサをとりつけ
    、対物レンズにインカー先端がぶつからないよう
    長焦点距離の対物レンズでのみ始動するようにし
    ている点。 3 インク・マーキングした回数を自動でカウン
    トし、回数表示板[第1図15]にそれを表示す
    るようにしている点。 4 モード切り替えスイツチ[第1図13]で「
    オートモード」と「マニユアルモード」を選択で
    きる。 5 可動アーム[第2図2]に載つたインカーへ
    のインカー駆動パルスを、2本のレールを通して
    伝える方式を採用している点。
JP2382789U 1989-03-03 1989-03-03 Pending JPH02114936U (ja)

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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS49105483A (ja) * 1973-02-07 1974-10-05
JPS5025578A (ja) * 1973-07-06 1975-03-18
JPS5057379A (ja) * 1973-09-18 1975-05-19
JPS60101941A (ja) * 1983-11-07 1985-06-06 Nec Corp 半導体ペレツト外観検査装置
JPS61292931A (ja) * 1985-06-21 1986-12-23 Hitachi Ltd 欠陥検査方法及び装置

Patent Citations (5)

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