JPH02114936U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02114936U JPH02114936U JP2382789U JP2382789U JPH02114936U JP H02114936 U JPH02114936 U JP H02114936U JP 2382789 U JP2382789 U JP 2382789U JP 2382789 U JP2382789 U JP 2382789U JP H02114936 U JPH02114936 U JP H02114936U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inker
- objective lens
- movable
- photo interrupter
- mode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Ink Jet (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第1図は、試作機を金属顕微鏡に実装着した例
を示す外観略図、第2図は、試作機の可動インカ
ー本体〔第1図7〕の透視的概略図である。 第1図:1……金属顕微鏡、2……X−Yステ
ージ、3……対物レンズ、4……顕微鏡光源、5
……接眼レンズ、6……ステージ高さつまみ、7
……可動インカー本体、8……可動インカー本体
用X−Y−Zステージ、9……可動インカー本体
用角度調整つまみ、10……ストローク深度調整
つまみ、11……コントロール・ボツクス、12
……電源スイツチ、13……モード切り替えSW
、14……パイロツト・ランプ、15……マーキ
ング回数表示板、16……ボタン・ボツクス、1
7……アーム始動ボタン、18……インカー動作
専用ボタン、19……マーキング回数表示クリア
ボタン、20……長焦点距離検知センサ用フオト
インタラプタ、21……さえぎり板、22……X
−Yステージつまみ、第2図:1……パルス駆動
タイプのインカー、2……可動アーム、3……ア
ーム支持点、4……ステンレスのレール、5……
インカー駆動パルス導線、6……スクリユーシヤ
フト、7……ナツト、8……ギア、9……DCモ
ータ、10……始動及び停止用フオトインタラプ
タ、11……復路途中の減速用フオトインタラプ
タ、12……往路途中の減速用フオトインタラプ
タ、13……ストローク終点停止(及び復路開始
用)フオトインタラプタ、14……ステンレス製
滑り電極。
を示す外観略図、第2図は、試作機の可動インカ
ー本体〔第1図7〕の透視的概略図である。 第1図:1……金属顕微鏡、2……X−Yステ
ージ、3……対物レンズ、4……顕微鏡光源、5
……接眼レンズ、6……ステージ高さつまみ、7
……可動インカー本体、8……可動インカー本体
用X−Y−Zステージ、9……可動インカー本体
用角度調整つまみ、10……ストローク深度調整
つまみ、11……コントロール・ボツクス、12
……電源スイツチ、13……モード切り替えSW
、14……パイロツト・ランプ、15……マーキ
ング回数表示板、16……ボタン・ボツクス、1
7……アーム始動ボタン、18……インカー動作
専用ボタン、19……マーキング回数表示クリア
ボタン、20……長焦点距離検知センサ用フオト
インタラプタ、21……さえぎり板、22……X
−Yステージつまみ、第2図:1……パルス駆動
タイプのインカー、2……可動アーム、3……ア
ーム支持点、4……ステンレスのレール、5……
インカー駆動パルス導線、6……スクリユーシヤ
フト、7……ナツト、8……ギア、9……DCモ
ータ、10……始動及び停止用フオトインタラプ
タ、11……復路途中の減速用フオトインタラプ
タ、12……往路途中の減速用フオトインタラプ
タ、13……ストローク終点停止(及び復路開始
用)フオトインタラプタ、14……ステンレス製
滑り電極。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 第1図の如く顕微鏡に装着し一体化している
自動可動インカーである点。 2 第1図20,21に示すようにフオトインタ
ラプタによる低倍率レンズ検知センサをとりつけ
、対物レンズにインカー先端がぶつからないよう
長焦点距離の対物レンズでのみ始動するようにし
ている点。 3 インク・マーキングした回数を自動でカウン
トし、回数表示板[第1図15]にそれを表示す
るようにしている点。 4 モード切り替えスイツチ[第1図13]で「
オートモード」と「マニユアルモード」を選択で
きる。 5 可動アーム[第2図2]に載つたインカーへ
のインカー駆動パルスを、2本のレールを通して
伝える方式を採用している点。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2382789U JPH02114936U (ja) | 1989-03-03 | 1989-03-03 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2382789U JPH02114936U (ja) | 1989-03-03 | 1989-03-03 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02114936U true JPH02114936U (ja) | 1990-09-14 |
Family
ID=31243147
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2382789U Pending JPH02114936U (ja) | 1989-03-03 | 1989-03-03 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02114936U (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS49105483A (ja) * | 1973-02-07 | 1974-10-05 | ||
JPS5025578A (ja) * | 1973-07-06 | 1975-03-18 | ||
JPS5057379A (ja) * | 1973-09-18 | 1975-05-19 | ||
JPS60101941A (ja) * | 1983-11-07 | 1985-06-06 | Nec Corp | 半導体ペレツト外観検査装置 |
JPS61292931A (ja) * | 1985-06-21 | 1986-12-23 | Hitachi Ltd | 欠陥検査方法及び装置 |
-
1989
- 1989-03-03 JP JP2382789U patent/JPH02114936U/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS49105483A (ja) * | 1973-02-07 | 1974-10-05 | ||
JPS5025578A (ja) * | 1973-07-06 | 1975-03-18 | ||
JPS5057379A (ja) * | 1973-09-18 | 1975-05-19 | ||
JPS60101941A (ja) * | 1983-11-07 | 1985-06-06 | Nec Corp | 半導体ペレツト外観検査装置 |
JPS61292931A (ja) * | 1985-06-21 | 1986-12-23 | Hitachi Ltd | 欠陥検査方法及び装置 |
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