JPH02113441A - 焦点検出方法 - Google Patents
焦点検出方法Info
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- JPH02113441A JPH02113441A JP26622788A JP26622788A JPH02113441A JP H02113441 A JPH02113441 A JP H02113441A JP 26622788 A JP26622788 A JP 26622788A JP 26622788 A JP26622788 A JP 26622788A JP H02113441 A JPH02113441 A JP H02113441A
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Landscapes
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は光学的記録媒体上に記録された情報トラックに
対物レンズを経て、読み取り光スポットを集束して情報
を読み取る装置において、その対物レンズの記録媒体に
対する焦点はずれを検出する焦点検出方法に関するもの
である。
対物レンズを経て、読み取り光スポットを集束して情報
を読み取る装置において、その対物レンズの記録媒体に
対する焦点はずれを検出する焦点検出方法に関するもの
である。
上述した情報読み取り装置は従来より既知であり、例え
ばCD(コンパクトディスク)、光ディスク、光磁気デ
ィスク、光カードなどがある。これらの記録媒体には、
符号化された音声やデータが、反射特性、位相特性、偏
光特性などの光学的情報として記録されている。記録媒
体に記録された情報は、レーザ光源から放射されるレー
ザ光を対物レンズを経て媒体上に集束させ、記録ピット
によって変調された反射光を検出して読み取っている。
ばCD(コンパクトディスク)、光ディスク、光磁気デ
ィスク、光カードなどがある。これらの記録媒体には、
符号化された音声やデータが、反射特性、位相特性、偏
光特性などの光学的情報として記録されている。記録媒
体に記録された情報は、レーザ光源から放射されるレー
ザ光を対物レンズを経て媒体上に集束させ、記録ピット
によって変調された反射光を検出して読み取っている。
このような記録媒体の特長の1つは、情報の記録密度が
非常に高いことであり、そのため元の情報を正確に読み
とるためには、対物レンズを媒体記録面に対して、常に
合焦状態となるようにして、媒体記録面上での光スポッ
トの径を小さくする必要がある。このためかかる光学的
読み取り装置においては対物レンズの媒体記録面に対す
る焦点はずれを検出し、この焦点はずれ信号に基づいて
対物レンズをその光軸方向に変位させるフォーカシング
制御が行なわれている。
非常に高いことであり、そのため元の情報を正確に読み
とるためには、対物レンズを媒体記録面に対して、常に
合焦状態となるようにして、媒体記録面上での光スポッ
トの径を小さくする必要がある。このためかかる光学的
読み取り装置においては対物レンズの媒体記録面に対す
る焦点はずれを検出し、この焦点はずれ信号に基づいて
対物レンズをその光軸方向に変位させるフォーカシング
制御が行なわれている。
従来の焦点検出方式の1つが特公昭62−27456号
公報に開示されている。以下第5図に基づいて従来方式
を説明する。レーザー光源1から放射された光(紙面内
に直線偏光している。)はコリメータレンズ2によって
平行光とされ、偏光膜を有する偏光プリズム3.174
波長板4および対物レンズ5を経て、記録媒体6上に集
束される。この光束は、媒体記録面上で反射され、対物
レンズ5および174波長板4を経て、偏光プリズム3
に入射する。偏光プリズム3に入射する反射光は174
波長板4の作用により紙面に対して垂直方向に偏光され
ているから、この光は偏光プリズム3で反射される。反
射された光束は三角プリズムより成る検出プリズム10
に入射し、その1つのプリズム面11(以後反射面と称
する)により反射される光束を検出器12で受光する。
公報に開示されている。以下第5図に基づいて従来方式
を説明する。レーザー光源1から放射された光(紙面内
に直線偏光している。)はコリメータレンズ2によって
平行光とされ、偏光膜を有する偏光プリズム3.174
波長板4および対物レンズ5を経て、記録媒体6上に集
束される。この光束は、媒体記録面上で反射され、対物
レンズ5および174波長板4を経て、偏光プリズム3
に入射する。偏光プリズム3に入射する反射光は174
波長板4の作用により紙面に対して垂直方向に偏光され
ているから、この光は偏光プリズム3で反射される。反
射された光束は三角プリズムより成る検出プリズム10
に入射し、その1つのプリズム面11(以後反射面と称
する)により反射される光束を検出器12で受光する。
反射面11は、合焦状態での入射光線(平行光束)に対
して臨界角もしくはそれよりもやや小さめとなるように
設定する。
して臨界角もしくはそれよりもやや小さめとなるように
設定する。
もし、臨界角に丁度設定されれば、合焦状態では偏光プ
リズム3で反射された全光線は反射面11で全反射され
(実際には反射面の状態が完全では”ないので図示n方
向に幾分の光が透過する。)、記録媒体6が合焦状態か
らa方向にずれると偏光プリズム3で反射された光束は
反射面11に対して最大a、〜a1□で示す傾き成分を
持つ光線束となる。
リズム3で反射された全光線は反射面11で全反射され
(実際には反射面の状態が完全では”ないので図示n方
向に幾分の光が透過する。)、記録媒体6が合焦状態か
らa方向にずれると偏光プリズム3で反射された光束は
反射面11に対して最大a、〜a1□で示す傾き成分を
持つ光線束となる。
また記録媒体6が合焦状態からb方向にずれると、反射
面11への入射光線はbll ”b+zで示す傾き成分
を持つ光線束となる。すなわち記録媒体6が合焦状態か
らずれると、反射面11への入射光線は光軸上の中心光
線(−点鎖線)を除いて臨界角の前後で連続的に変化す
る。従って、記録媒体6がa及びb方向に変位して合焦
状態からずれると反射面11での反射強度が第6図に示
すようにしn界角近傍ではわずかな入射角の変化で急激
に変化するから、中心光線を含む紙面に垂直な面を境と
して、明暗の状態がそれぞれ逆になる。これに対し、合
焦状態では、−様に全反射されるからこのような明暗は
現れない。光検出器12はこのような反射面11からの
反射光の光量分布を検出するもので、第5図中に平面図
をも示すように、中心光線(光軸)を境に2分υjした
2つの受光領域12A、 12Bをもって構成する。第
6図は検出プリズム10の屈折率が1.50でP偏光お
よびS偏光におけるそれぞれの反射強度R2およびR3
を示したものである。
面11への入射光線はbll ”b+zで示す傾き成分
を持つ光線束となる。すなわち記録媒体6が合焦状態か
らずれると、反射面11への入射光線は光軸上の中心光
線(−点鎖線)を除いて臨界角の前後で連続的に変化す
る。従って、記録媒体6がa及びb方向に変位して合焦
状態からずれると反射面11での反射強度が第6図に示
すようにしn界角近傍ではわずかな入射角の変化で急激
に変化するから、中心光線を含む紙面に垂直な面を境と
して、明暗の状態がそれぞれ逆になる。これに対し、合
焦状態では、−様に全反射されるからこのような明暗は
現れない。光検出器12はこのような反射面11からの
反射光の光量分布を検出するもので、第5図中に平面図
をも示すように、中心光線(光軸)を境に2分υjした
2つの受光領域12A、 12Bをもって構成する。第
6図は検出プリズム10の屈折率が1.50でP偏光お
よびS偏光におけるそれぞれの反射強度R2およびR3
を示したものである。
以上の焦点検出方式において、焦点検出感度を向上させ
るために前記検出プリズム面での反射回数を複数回にし
たり、プリズム面に多層膜コーティングを施す方法(特
開昭57−122410号公報)が開示されている。
るために前記検出プリズム面での反射回数を複数回にし
たり、プリズム面に多層膜コーティングを施す方法(特
開昭57−122410号公報)が開示されている。
上述した従来の焦点検出方法では、記録媒体6からの偏
光状態が一定でない場合、焦点検出感度が変動するとい
う不具合を生じる。たとえば第5図において記録媒体6
の透明保護層6aがαラジアンのりタープ−ジョンをも
っている場合を考える。
光状態が一定でない場合、焦点検出感度が変動するとい
う不具合を生じる。たとえば第5図において記録媒体6
の透明保護層6aがαラジアンのりタープ−ジョンをも
っている場合を考える。
紙面内の直線偏光は、ジョーンズベクトルでEo・ける
。ただし透明保護層6aのリクーデーションの軸は簡単
のために光軸に対して垂直で、紙面内にあるとする。ま
た、偏光プリズム3は記録媒体6への入射光に対しては
、紙面内に軸のある直線偏光子、記録媒体6からの反射
光に対しては紙面に垂直な方向に軸をもつ直線偏光子と
考えてよいから記録媒体6への入射時のジョーンズ行列
はて、検出プリズム10への入射光の複素振幅Eは検出
感度が低下する。また、リターディションαが記録媒体
の場所によって異なる場合、焦点検出感度も変動すると
いう不具合を生じる。次に、このような検出プリズム1
0への入射光量の変動をおさえるために、第5図におい
て、偏光プリズム3を偏光に依存しないハーフプリズム
に置き換えた場合を考える。この場合、検出プリズムI
Oに入射となる。光強度lL12は El” =l E、l” +l cyl”・・−(2) と書ける。
。ただし透明保護層6aのリクーデーションの軸は簡単
のために光軸に対して垂直で、紙面内にあるとする。ま
た、偏光プリズム3は記録媒体6への入射光に対しては
、紙面内に軸のある直線偏光子、記録媒体6からの反射
光に対しては紙面に垂直な方向に軸をもつ直線偏光子と
考えてよいから記録媒体6への入射時のジョーンズ行列
はて、検出プリズム10への入射光の複素振幅Eは検出
感度が低下する。また、リターディションαが記録媒体
の場所によって異なる場合、焦点検出感度も変動すると
いう不具合を生じる。次に、このような検出プリズム1
0への入射光量の変動をおさえるために、第5図におい
て、偏光プリズム3を偏光に依存しないハーフプリズム
に置き換えた場合を考える。この場合、検出プリズムI
Oに入射となる。光強度lL12は El” =l E、l” +l cyl”・・−(2) と書ける。
この(2)式は、記録媒体6の透明保護層6aにたとえ
ば90°のリクーディション(ダブルパス)があるとす
ると、検出プリズム10への入射光量は、Jターデイジ
ョンのない場合と比較して乙になることを表わしている
。このように記録媒体6の透明保護層がリターディショ
ンを持つと検出プリズム10に入射する光量が減少する
ことになり、焦点に対する反射強度の変化は、P偏光の
方が急峻であるから、検出プリズム10への入射光にS
偏光が混ざることにより焦点検出感度は低下する。また
、リターディションαが変動すればS偏光とP偏光の光
量比が変動し、焦点検出感度が変動することになる。焦
点検出感度を向上させるために、検出プリズム面11に
多層膜コーティングを施した場合、入射角度に対する反
射強度は第7図のようになり、α=180°のとき、検
出プリズム10への入射光はS偏光だけとなって焦点検
出は、はとんど不可能となる。
ば90°のリクーディション(ダブルパス)があるとす
ると、検出プリズム10への入射光量は、Jターデイジ
ョンのない場合と比較して乙になることを表わしている
。このように記録媒体6の透明保護層がリターディショ
ンを持つと検出プリズム10に入射する光量が減少する
ことになり、焦点に対する反射強度の変化は、P偏光の
方が急峻であるから、検出プリズム10への入射光にS
偏光が混ざることにより焦点検出感度は低下する。また
、リターディションαが変動すればS偏光とP偏光の光
量比が変動し、焦点検出感度が変動することになる。焦
点検出感度を向上させるために、検出プリズム面11に
多層膜コーティングを施した場合、入射角度に対する反
射強度は第7図のようになり、α=180°のとき、検
出プリズム10への入射光はS偏光だけとなって焦点検
出は、はとんど不可能となる。
このように記録媒体6の透明保3i層6aにリターディ
ションαがあった場合、従来の焦点検出方法では焦点検
出感度が低下し、かつ焦点検出感度はαに依存するとい
う問題がある。本発明の目的は上述した欠点を除去し、
記録媒体保護層の複屈折に依存せず、常に正確に焦点ば
れを検出することができる方法を提供することである。
ションαがあった場合、従来の焦点検出方法では焦点検
出感度が低下し、かつ焦点検出感度はαに依存するとい
う問題がある。本発明の目的は上述した欠点を除去し、
記録媒体保護層の複屈折に依存せず、常に正確に焦点ば
れを検出することができる方法を提供することである。
〔課題を解決するための手段および作用〕本発明の焦点
検出方法は光源から射出された光を対物レンズにより被
照射物体に集束させ、その反射光の少なくとも一部を互
いに直交する2つの偏光成分に分離し、これら分離され
たそれぞれの偏光光束について、少なくとも1つの光線
に対してほぼ臨界角となるように設定した面を有するプ
リズムにそれぞれ入射させるとともに前記プリズム面へ
の入射光束の偏光方向が前記圧いに直交する2つの偏光
成分に対して等しくなるように前記プリズム面をそれぞ
れ設定し、前記プリズム面で反射された反射光の光量変
化をそれぞれ検出することにより前記対物レンズの前記
被照射物体に対する焦点誤差信号を得ることを特徴とす
るものである。
検出方法は光源から射出された光を対物レンズにより被
照射物体に集束させ、その反射光の少なくとも一部を互
いに直交する2つの偏光成分に分離し、これら分離され
たそれぞれの偏光光束について、少なくとも1つの光線
に対してほぼ臨界角となるように設定した面を有するプ
リズムにそれぞれ入射させるとともに前記プリズム面へ
の入射光束の偏光方向が前記圧いに直交する2つの偏光
成分に対して等しくなるように前記プリズム面をそれぞ
れ設定し、前記プリズム面で反射された反射光の光量変
化をそれぞれ検出することにより前記対物レンズの前記
被照射物体に対する焦点誤差信号を得ることを特徴とす
るものである。
第1図は本発明による焦点検出方法を実施する光学的読
み取り装置の一例の要部の構成を示す図である。以下図
に沿って説明する。
み取り装置の一例の要部の構成を示す図である。以下図
に沿って説明する。
レーザ光a11から放射された光(紙面内に直線偏光し
ている。)はコリメートレンズ12によって平行光とさ
れ、偏光特性を有さないハーフプリズム13、対物レン
ズ14、記録媒体15の透明保護層15aを経て、記録
媒体の記録層15bの表面に集束される。この光束は、
記録媒体15の記録層15bの表面で反射され透明保護
層15a、対物レンズ14を経て、ハーフプリズム13
に入射する。ハーフプリズム13に入射した反射光はり
ターデイジョンαを持つ透明保護層15aの影響により
、一般に楕円偏光となる。紙面内に直線偏光している光
と紙面に垂直に直線偏光している光との強度比はsin
”−:α cos ”−となる。ハーフプリズム13は偏光特性を
持たないので反射率をrとするとr(sin”−+α cos”−)−rの光が反射することになり、反射光強
度は透明保護層15aによる偏光に依存しない。
ている。)はコリメートレンズ12によって平行光とさ
れ、偏光特性を有さないハーフプリズム13、対物レン
ズ14、記録媒体15の透明保護層15aを経て、記録
媒体の記録層15bの表面に集束される。この光束は、
記録媒体15の記録層15bの表面で反射され透明保護
層15a、対物レンズ14を経て、ハーフプリズム13
に入射する。ハーフプリズム13に入射した反射光はり
ターデイジョンαを持つ透明保護層15aの影響により
、一般に楕円偏光となる。紙面内に直線偏光している光
と紙面に垂直に直線偏光している光との強度比はsin
”−:α cos ”−となる。ハーフプリズム13は偏光特性を
持たないので反射率をrとするとr(sin”−+α cos”−)−rの光が反射することになり、反射光強
度は透明保護層15aによる偏光に依存しない。
ハーフプリズム13で反射された光は偏光膜を有する偏
光プリズム16に入射し、互いに直交する2つの偏光成
分に分離される。分離された偏光成分の一方、すなわち
偏光プリズムエ6を透過する成分は、本例では三角プリ
ズムより成る第1の検出プリズム17にS偏光として入
射し、その1″つのプリズム面17a(以後反射面と称
する。)により反射され、第1の検出器18で受光され
る。また、分離された偏光成分の他方すなわち偏光プリ
ズム17で反射された成分は、本例では三角プリズムよ
り成る第2の検出プリズム19に入射し、S偏光として
その1つのプリズム面19a(以後反射面と称する。)
により反射され、第2の検出器20で受光される。反射
面17aおよび19aは合焦状態での入射光線(平行光
束)に対して臨界角もしくは、それよりもやや小さめと
なるように設定する。検出プリズム17および19の効
果については第5図についで述べたのと同様の効果を持
ち、それぞれの検出プリズムで反射された光束をそれぞ
れ2分割した受光領域18A、 18Bおよび2OA、
20Bを有する検出器18および20の出力から焦点
誤差信号を得ることが可能である。すなわち、これら受
光領域の出力の差を差動増幅器21.22で求めて得ら
れるそれぞれの焦点誤差信号を加算器23で互いに加算
して、最終的な焦点誤差信号とし、この信号を用いて対
物レンズ14を合焦位置となるように制御することによ
り、どちから一方の焦点誤差信号を用いた場合の記録媒
体保護層15aの複屈折に起因する光量の変動による焦
点誤差検出感度の変動を回避することができる。
光プリズム16に入射し、互いに直交する2つの偏光成
分に分離される。分離された偏光成分の一方、すなわち
偏光プリズムエ6を透過する成分は、本例では三角プリ
ズムより成る第1の検出プリズム17にS偏光として入
射し、その1″つのプリズム面17a(以後反射面と称
する。)により反射され、第1の検出器18で受光され
る。また、分離された偏光成分の他方すなわち偏光プリ
ズム17で反射された成分は、本例では三角プリズムよ
り成る第2の検出プリズム19に入射し、S偏光として
その1つのプリズム面19a(以後反射面と称する。)
により反射され、第2の検出器20で受光される。反射
面17aおよび19aは合焦状態での入射光線(平行光
束)に対して臨界角もしくは、それよりもやや小さめと
なるように設定する。検出プリズム17および19の効
果については第5図についで述べたのと同様の効果を持
ち、それぞれの検出プリズムで反射された光束をそれぞ
れ2分割した受光領域18A、 18Bおよび2OA、
20Bを有する検出器18および20の出力から焦点
誤差信号を得ることが可能である。すなわち、これら受
光領域の出力の差を差動増幅器21.22で求めて得ら
れるそれぞれの焦点誤差信号を加算器23で互いに加算
して、最終的な焦点誤差信号とし、この信号を用いて対
物レンズ14を合焦位置となるように制御することによ
り、どちから一方の焦点誤差信号を用いた場合の記録媒
体保護層15aの複屈折に起因する光量の変動による焦
点誤差検出感度の変動を回避することができる。
上述したように、本発明においては反射面17aおよび
反射面19aは、入射光の偏光に対して、等しい偏光(
本例ではともにS偏光)となるように設定される。この
ように設定することにより、第6図に示されるような、
P偏光とS偏光による焦点検出感度の差に起因する焦点
検出感度の変動を抑えることができる。すなわち、検出
プリズムるから、αが変動すると検出プリズム17と1
9に入射する光量の比が変動することになる。このため
反射面17aおよび19aを入射光の偏光に対して等し
い偏光となるように設定すれば、αの変動による焦点検
出感度の変動を除去することができる。
反射面19aは、入射光の偏光に対して、等しい偏光(
本例ではともにS偏光)となるように設定される。この
ように設定することにより、第6図に示されるような、
P偏光とS偏光による焦点検出感度の差に起因する焦点
検出感度の変動を抑えることができる。すなわち、検出
プリズムるから、αが変動すると検出プリズム17と1
9に入射する光量の比が変動することになる。このため
反射面17aおよび19aを入射光の偏光に対して等し
い偏光となるように設定すれば、αの変動による焦点検
出感度の変動を除去することができる。
本発明は上述した例にのみ限定されるものではなく、幾
多の変形または変更が可能である。例えば第1図におい
ては検出プリズム17および19にS偏光を入射させる
ようにしたが、偏光プリズム16と検出プリズム17お
よび19との関係を第1図に示す状態からそれぞれ90
°回転して配置して第2図に示すように検出プリズム1
7および19への入射光束をP偏光とすることができる
。このようにすれば、第6図から明らかなようにし臨界
角近傍において反射強度の変化が2、峻となるから、検
出感度を高めることができる。さらに検出プリズム17
および19の反射面17aおよび19aに多層膜コーテ
ィングを施せば、第7図に示すごとく、臨界角近傍での
P偏光の反射強度の変化はさらに急峻となり、検出感度
をさらに高めることができる。
多の変形または変更が可能である。例えば第1図におい
ては検出プリズム17および19にS偏光を入射させる
ようにしたが、偏光プリズム16と検出プリズム17お
よび19との関係を第1図に示す状態からそれぞれ90
°回転して配置して第2図に示すように検出プリズム1
7および19への入射光束をP偏光とすることができる
。このようにすれば、第6図から明らかなようにし臨界
角近傍において反射強度の変化が2、峻となるから、検
出感度を高めることができる。さらに検出プリズム17
および19の反射面17aおよび19aに多層膜コーテ
ィングを施せば、第7図に示すごとく、臨界角近傍での
P偏光の反射強度の変化はさらに急峻となり、検出感度
をさらに高めることができる。
第1図では検出プリズム17および19は互いに90゜
回転して配置されているが、第3図に示すように偏光プ
リズム16と検出プリズム17の間に90°回転子24
を挿入することにより検出プリズム17および19を同
一平面に配置することができ、読取ヘットの設計上有利
となる。なお、第3図に示す例では反射面17a、 1
9aにはS偏光が入射されることになる。
回転して配置されているが、第3図に示すように偏光プ
リズム16と検出プリズム17の間に90°回転子24
を挿入することにより検出プリズム17および19を同
一平面に配置することができ、読取ヘットの設計上有利
となる。なお、第3図に示す例では反射面17a、 1
9aにはS偏光が入射されることになる。
更に第1図と第3図に示す実施例のハーフプリズム13
と偏光プリズム16を一体として構成することができる
。第4図は第1図の構成において、ハーフプリズム13
と偏光プリズム16を一体としてハーフミラ−15aお
よび偏光ビームスプリッタ面25bを有する複合プリズ
ム25で置き換えた場合の一例を示す。このように構成
することにより、光学系の小型化を図ることができる。
と偏光プリズム16を一体として構成することができる
。第4図は第1図の構成において、ハーフプリズム13
と偏光プリズム16を一体としてハーフミラ−15aお
よび偏光ビームスプリッタ面25bを有する複合プリズ
ム25で置き換えた場合の一例を示す。このように構成
することにより、光学系の小型化を図ることができる。
本発明によれば記録媒体保護層に複屈折があっても、焦
点検出感度が低下することがなく、さらに記録媒体保護
層の複屈折の大きさが変動しても、焦点検出感度はこれ
に影響されることなく、安定な焦点検出が可能となる。
点検出感度が低下することがなく、さらに記録媒体保護
層の複屈折の大きさが変動しても、焦点検出感度はこれ
に影響されることなく、安定な焦点検出が可能となる。
第1図は本発明による焦点検出方法を実施する装置の一
実施例の構成を示す線図、 第2図は同じく他の実施例の構成を示す線図、第3図お
よび第4図はさらに他の実施例の構成を示す線図、 第5図は従来の焦点検出方法を実施する装置の構成を示
す線図、 第6図および第7図は検出プリズムの反射面への入射角
度と反射強度との関係を示すグラフである。 11・・・レーザ光線 12・・・コリメータレ
ンズ13・・・ハーフプリズム 14・・・対物レン
ズ15・・・記録媒体 15a・・・保護層1
6・・・偏光プリズム 18、20・・・検出器 23・・・加算器
実施例の構成を示す線図、 第2図は同じく他の実施例の構成を示す線図、第3図お
よび第4図はさらに他の実施例の構成を示す線図、 第5図は従来の焦点検出方法を実施する装置の構成を示
す線図、 第6図および第7図は検出プリズムの反射面への入射角
度と反射強度との関係を示すグラフである。 11・・・レーザ光線 12・・・コリメータレ
ンズ13・・・ハーフプリズム 14・・・対物レン
ズ15・・・記録媒体 15a・・・保護層1
6・・・偏光プリズム 18、20・・・検出器 23・・・加算器
Claims (1)
- 1、光源から射出された光を対物レンズにより被照射物
体上に集束させ、その反射光の少く共一部を互いに直交
する2つの偏光成分に分離し、これら分離されたそれぞ
れの偏光光束について、少なくとも1つの光線に対して
ほぼ臨界角となるように設定した面を有するプリズムに
それぞれ入射させるとともに、前記プリズムへの入射光
束の偏光方向が前記プリズム面に対し等しくなるように
前記プリズム面をそれぞれ設定し、前記プリズム面で反
射された反射光の光量変化をそれぞれ検出することによ
り前記対物レンズの前記被照射物体に対する焦点誤差信
号を得ることを特徴とする焦点検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26622788A JPH02113441A (ja) | 1988-10-24 | 1988-10-24 | 焦点検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26622788A JPH02113441A (ja) | 1988-10-24 | 1988-10-24 | 焦点検出方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02113441A true JPH02113441A (ja) | 1990-04-25 |
Family
ID=17428035
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26622788A Pending JPH02113441A (ja) | 1988-10-24 | 1988-10-24 | 焦点検出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02113441A (ja) |
-
1988
- 1988-10-24 JP JP26622788A patent/JPH02113441A/ja active Pending
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