JPH0210402Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0210402Y2 JPH0210402Y2 JP1983076849U JP7684983U JPH0210402Y2 JP H0210402 Y2 JPH0210402 Y2 JP H0210402Y2 JP 1983076849 U JP1983076849 U JP 1983076849U JP 7684983 U JP7684983 U JP 7684983U JP H0210402 Y2 JPH0210402 Y2 JP H0210402Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass plate
- measuring
- measured
- flatness
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 22
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はガラス板の平面度を測定する装置に関
する。この種装置には光線の干渉波を用いる光干
渉式や測定子を被測定面に摺動して凹凸を検知す
る触針式がある。
する。この種装置には光線の干渉波を用いる光干
渉式や測定子を被測定面に摺動して凹凸を検知す
る触針式がある。
光干渉式はガラス板が透明でなければならない
から研磨の仕上げが完了するまでの中間工程では
透明度が悪いと使用することができなく、また触
針式は装置が高価で取扱いも煩雑であるなどの欠
点がある。
から研磨の仕上げが完了するまでの中間工程では
透明度が悪いと使用することができなく、また触
針式は装置が高価で取扱いも煩雑であるなどの欠
点がある。
本考案はこのような欠点を改良するために提案
されたもので構成簡易で迅速容易な測定を特徴と
するものである。
されたもので構成簡易で迅速容易な測定を特徴と
するものである。
以下に本考案装置の実施例を添付の図面を参照
して説明する。被測定ガラス板Ｐを基盤１０面に
沿つた方向に変位しないよう位置決めするための
定点具１１，１２及び１３が、基盤１０の隣合う
二辺に設けてある。ガラス板Ｐを基盤１０面から
一定の高さに保持するために、支点２０をガラス
板Ｐの中央部に、支点２１及び２２をガラス板Ｐ
の定点具１１，１２側にそれぞれ位置付け、３個
の支点２０，２１及び２２が三角形を成して配置
してある。定点具１１，１２側に対向する基盤１
０の所定位置に３個の測定子３０，３３一直線上
に配置してあり、各測定子は各測定点においてガ
ラス板Ｐと基盤１０の距離を測るものである。３
１，３４及び３７は夫々測定子３０，３３及び３
６に対応する測定器である。測定器はダイヤルゲ
ージや差動トランスを用いることができるが、測
定値を電気信号に変換できることが望ましい。４
０は自在に昇降できピン４１を介してガラス板Ｐ
に重量を加える押え具である。
して説明する。被測定ガラス板Ｐを基盤１０面に
沿つた方向に変位しないよう位置決めするための
定点具１１，１２及び１３が、基盤１０の隣合う
二辺に設けてある。ガラス板Ｐを基盤１０面から
一定の高さに保持するために、支点２０をガラス
板Ｐの中央部に、支点２１及び２２をガラス板Ｐ
の定点具１１，１２側にそれぞれ位置付け、３個
の支点２０，２１及び２２が三角形を成して配置
してある。定点具１１，１２側に対向する基盤１
０の所定位置に３個の測定子３０，３３一直線上
に配置してあり、各測定子は各測定点においてガ
ラス板Ｐと基盤１０の距離を測るものである。３
１，３４及び３７は夫々測定子３０，３３及び３
６に対応する測定器である。測定器はダイヤルゲ
ージや差動トランスを用いることができるが、測
定値を電気信号に変換できることが望ましい。４
０は自在に昇降できピン４１を介してガラス板Ｐ
に重量を加える押え具である。
測定は次のような手順で行われる。測定に先だ
つてマスター板を用いて、測定器３１，３４及び
３７の零点を較正する。マスター板は測定される
ガラス板Ｐと同様の寸法を有し平面度が極めて良
好な平板が選ばれる。
つてマスター板を用いて、測定器３１，３４及び
３７の零点を較正する。マスター板は測定される
ガラス板Ｐと同様の寸法を有し平面度が極めて良
好な平板が選ばれる。
このマスター板を押え具４０のピン４１と３個
の支点２０，２１，２２との間に入れ基盤１０に
沿つて載せ次いで定点具１１，１２及び１３に当
てて位置決めする。この時、マスター板の被測定
面に３個の測定子３０，３３及び３６が接触して
上下に変位し対応する３個の測定器３１，３４及
び３７に数値を表示する。この数値がいずれも零
となるように各測定器に付属する調節具３２，３
５及び３８を回動し指針のそれぞれを零点にセツ
トする。零点を較正した後、マスター板を外して
準備を完了する。
の支点２０，２１，２２との間に入れ基盤１０に
沿つて載せ次いで定点具１１，１２及び１３に当
てて位置決めする。この時、マスター板の被測定
面に３個の測定子３０，３３及び３６が接触して
上下に変位し対応する３個の測定器３１，３４及
び３７に数値を表示する。この数値がいずれも零
となるように各測定器に付属する調節具３２，３
５及び３８を回動し指針のそれぞれを零点にセツ
トする。零点を較正した後、マスター板を外して
準備を完了する。
測定を開始するガラス板Ｐは同様の要領で基盤
１０上に載せられ、平面状態を表わす数値が３個
の測定器に示される。平面度はこの３個の測定値
を演算して求められ、さらにガラス板Ｐの全体の
平面度を４個所、合計12個の測定値によつて把握
することができる。
１０上に載せられ、平面状態を表わす数値が３個
の測定器に示される。平面度はこの３個の測定値
を演算して求められ、さらにガラス板Ｐの全体の
平面度を４個所、合計12個の測定値によつて把握
することができる。
すなわち、初め１個所の測定値３個を右側から
順次読み取つて記録する。次いでガラス板Ｐを左
回りに90゜ずつ回転しながら４回測定を続けて１
回転させ、合計12個の測定値を記録する。この測
定値の極性及び最大値と最小値とから例えば最大
値が＋25μm、最小値が−7μmの場合は、表面状
態はネジレ状であることが明らかとなる。この平
面度は最大値と最小値の差、すなわち（25）−（−
７）＝32μmで表わされる。
順次読み取つて記録する。次いでガラス板Ｐを左
回りに90゜ずつ回転しながら４回測定を続けて１
回転させ、合計12個の測定値を記録する。この測
定値の極性及び最大値と最小値とから例えば最大
値が＋25μm、最小値が−7μmの場合は、表面状
態はネジレ状であることが明らかとなる。この平
面度は最大値と最小値の差、すなわち（25）−（−
７）＝32μmで表わされる。
もし測定値の最大値が＋20μm、最小値が＋
6μmであつてプラスの同極性の場合は、表面状態
は凹状である。そして、その平面度は最大値と最
小値の差、すなわち（＋20）−（＋６）＝14μmで表
わされる。
6μmであつてプラスの同極性の場合は、表面状態
は凹状である。そして、その平面度は最大値と最
小値の差、すなわち（＋20）−（＋６）＝14μmで表
わされる。
測定値の最大値が−20μm、最小値が−6μmの
場合は、マイナスの同極性であるので、表面状態
が凸状であることを示し、その平面度は最大値と
最小値の差（−20）−（−６）＝−14μm、即ち
14μmである。
場合は、マイナスの同極性であるので、表面状態
が凸状であることを示し、その平面度は最大値と
最小値の差（−20）−（−６）＝−14μm、即ち
14μmである。
このようにして一方の面（表面）を測定し、次
いでこれに対応する他方の面（背面）を測定する
場合は、他方の面を裏返しして今度は左側から読
み取り、同様に右回しで４回続け、１回転して12
個の測定値を記録し演算する。
いでこれに対応する他方の面（背面）を測定する
場合は、他方の面を裏返しして今度は左側から読
み取り、同様に右回しで４回続け、１回転して12
個の測定値を記録し演算する。
支点と測定子とをガラス板Ｐの対角線と一致す
る位置に配置しガラス板Ｐにも対角線を画いて位
置合せを行うと一方の面と他方の面とを正確に対
応させることができる。３個の測定子の中間の測
定子（図面の記号３３）は、両面のいずれにも対
応するように中央に設けてある。尚、３個の定点
具１１，１２及び１３にはガラス板Ｐの位置を前
後に移動する微調機構を設けるとよい。
る位置に配置しガラス板Ｐにも対角線を画いて位
置合せを行うと一方の面と他方の面とを正確に対
応させることができる。３個の測定子の中間の測
定子（図面の記号３３）は、両面のいずれにも対
応するように中央に設けてある。尚、３個の定点
具１１，１２及び１３にはガラス板Ｐの位置を前
後に移動する微調機構を設けるとよい。
本考案装置は透明なガラス板のみでなく、不透
明体であつてもよく、測定値は電算機に入力され
て処理できるから測定はガラス板をセツトして回
転するだけで迅速かつ正確な測定をなし得るもの
である。
明体であつてもよく、測定値は電算機に入力され
て処理できるから測定はガラス板をセツトして回
転するだけで迅速かつ正確な測定をなし得るもの
である。
図面は本考案装置の実施例を示す斜視図であ
る。 Ｐはガラス板、１０は基盤、１１，１２及び１
３は定点具、２０，２１及び２２は支点、３０，
３３及び３６は測定子である。
る。 Ｐはガラス板、１０は基盤、１１，１２及び１
３は定点具、２０，２１及び２２は支点、３０，
３３及び３６は測定子である。
Claims (1)
- ガラス板を基盤面に沿つた方向に変位しないよ
うに位置決めする定点具と、ガラス板を基盤面か
ら一定の高さに保持するように３角形を成して配
置された３個の支点と、基盤の所定位置に同一直
線上に配置され、かつ各々が各測定点においてガ
ラス板と基盤の距離を測る３個の測定子とからな
るガラス板の平面度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7684983U JPS59180611U (ja) | 1983-05-20 | 1983-05-20 | ガラス板の平面度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7684983U JPS59180611U (ja) | 1983-05-20 | 1983-05-20 | ガラス板の平面度測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59180611U JPS59180611U (ja) | 1984-12-03 |
| JPH0210402Y2 true JPH0210402Y2 (ja) | 1990-03-15 |
Family
ID=30206898
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7684983U Granted JPS59180611U (ja) | 1983-05-20 | 1983-05-20 | ガラス板の平面度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59180611U (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0744970Y2 (ja) * | 1987-03-12 | 1995-10-11 | 東海樹脂工業株式会社 | 車窓用ガラスの型当り検査ゲージ |
| KR101221110B1 (ko) | 2010-12-29 | 2013-01-11 | 이훈호 | 평판기판의 평탄도 측정장치 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5235306A (en) * | 1975-09-11 | 1977-03-17 | Carrier Corp | Compensating rings for rotary machines |
-
1983
- 1983-05-20 JP JP7684983U patent/JPS59180611U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5235306A (en) * | 1975-09-11 | 1977-03-17 | Carrier Corp | Compensating rings for rotary machines |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59180611U (ja) | 1984-12-03 |
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