JPH0199175A - 視覚システムの動作方法及び視覚システム - Google Patents

視覚システムの動作方法及び視覚システム

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JPH0199175A
JPH0199175A JP63235148A JP23514888A JPH0199175A JP H0199175 A JPH0199175 A JP H0199175A JP 63235148 A JP63235148 A JP 63235148A JP 23514888 A JP23514888 A JP 23514888A JP H0199175 A JPH0199175 A JP H0199175A
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JP
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signal
auxiliary
pixel
auxiliary pixel
teach
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JP63235148A
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English (en)
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George M Berkin
ジョージ、エム、バーキン
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Kulicke and Soffa Industries Inc
Original Assignee
Kulicke and Soffa Industries Inc
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Publication date
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    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06VIMAGE OR VIDEO RECOGNITION OR UNDERSTANDING
    • G06V10/00Arrangements for image or video recognition or understanding
    • G06V10/70Arrangements for image or video recognition or understanding using pattern recognition or machine learning
    • G06V10/74Image or video pattern matching; Proximity measures in feature spaces
    • G06V10/75Organisation of the matching processes, e.g. simultaneous or sequential comparisons of image or video features; Coarse-fine approaches, e.g. multi-scale approaches; using context analysis; Selection of dictionaries
    • G06V10/751Comparing pixel values or logical combinations thereof, or feature values having positional relevance, e.g. template matching
    • G06V10/7515Shifting the patterns to accommodate for positional errors

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  • Computing Systems (AREA)
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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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  • Image Processing (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Image Analysis (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、一般的には視覚システムとして周知の、以下
このように称するパターン認識装置に関する。さらに特
定すれば本発明に、米国特許第4゜441.205号明
細書(以下205特許と称する)によるパターン認識装
置及び方法、及びその変形による改善に関する。
従来の技術 205特許は、デジタル技術を使用して基準被写体に対
して相対的な目標被写体の変位(又は位置)を測定する
パターン認識装置及び方法に関する。
205特許の方法及び装置は、相対位置を計算するため
、基準被写体と目標被写体のデジタル像データから得ら
れる「信号」を使用する。「補助信号」と称する基準信
号と目標信号の差部分を連続的に比較する比較技術に、
場合によっては基準被写体と目標被写体の間のシフト量
を判定するため、従って目標被写体の相対位置の表示を
提供するため使われる。
信号乞発生するデジタル像は、「ビクセル」と称する画
素のマ) IJクスである。それぞれ整数の画素に、カ
メラにより観察した被写体の一部から反射した光の強さ
を表わす信号の大ぎさを知らせる。それ故に整数の画素
は、部分的に1つの強さ及び部分的に別のものを知らせ
ることはできない。
マ) IJクス中のそれぞれの画素は、被写体全体の像
に役立つが、信号強さレベルを表わす大きさを有する信
号として役立つだけである。
前記の画素特性は、205特許の方法及び装置により問
題を生じろ。すなわち目標被写体の相対位置は、整数の
画素についてしか表示できず、目標被写体が、基準被写
体に対して相対的に端数の画素分(「補助画素」)シか
ずれていない場合でさえ表示できない。その結果205
特許の装置により提供された位置データにしばしば誤り
を含み、この誤りは、位置データから失われた画素の端
数分である。
205特許の方法及び装置によれば、画素特性により生
じろさらに別の問題がある。基準被写体の信号と目標被
写体の信号との間の適合の程度のグラフであるグラフ4
2、第2図は、目標被写体が端数の画素ステップを通し
て動くものと考えられろ。グラフ42ハ、鋭い立上り及
び立下りエツジを有する大振幅ののこぎり波であること
に注意する。グラフ42における振幅の大きな変化は、
整数画素距離が比較されているので生じろ。従って目標
被写体が、基準被写体に対して相対的に、1.2.3、
又はいずれかの整数の画素だけ正確に変位した場合、グ
ラフ42の最小値(例えば最小値43)によって示され
たように、適合の程度は良好である。しかし目標被写体
が、基準被写体に対して相対的に、端数の画素だけ、例
えば7画素、1+画素等だけ変位した場合、グラフ42
の最大値(例えば最大値45)によって示されたように
、適合の程度は良好ではない。205特許の方法及び装
置において2つの信号の間の適合の程度は、現在の「視
点」(すなわち、カメラによって観察された被写体の場
面)′f!:許容するか又はしないかの判定の際のキー
バラメータなので、2つの信号の間の適合の程度のグラ
フは、理想的には水平な線に近付かなければならず、か
つ整数画素位置の間の振幅に大きな変化があってはいけ
ない。さらに正確な位置データ、すなわち端数の画素以
内に達するデータを提供できれば、この理想に近付けろ
ことができる。
発明の目的 それ故に端数画素における相対位置データを知らせる、
すなわち「補助画素」位置を知らせる改l L タパタ
ーン認識方法及び装置を提供することは望ましい。さら
に前記の目的ン達成するため205特許の方法及び装置
に必要なあらゆる変形を、安価かつ容易に行うことは望
ましい。本発明はこれらの目的l達成する。
発明の構成 有利な構成によれば、本発明は、マ) IJクス状に配
置された隣接する複数の画素を有する像を提供するため
カメラを使用するタイプの視覚システムに利用され、そ
れぞれの整数の画素は、カメラによって観察された被写
体の当該の位置の表面状Bを表わす大きさを有する出力
信号によって表わされる。システムは、出力信号ンデジ
タル化しかつ被写体の少なくとも一部のデジタル像を提
供する手段を有すると有利である。本発明によれば、シ
ステムを動作させる方法は、ティーチモード及びランモ
ードの動作を含んでいる。ティーチモードでに次のステ
ップが行われる。
カメラにより基準被写体を観察し、 基準被写体のデジタル像から基準信号(ここではティー
チ信号とも称する)を発生し、その際基準信号は一連の
和(ここでは信号「素子」とも称する)を有し、それぞ
れの和は、整数画素の列又は行に相当するデジタル像デ
ータを合計することによって得られ、 基準被写体の像の独自の部分に相当する基準信号の部分
を選択しくすなわち基準信号のどの部分にもほとんど似
ていない基準信号の部分を選択する)、かつ選ばれた部
分を基準補助信号(ここではティーチ被動信号とも称す
る)と定義し、かつ基準補助信号から複数の補助画素補
助信号ケ発生し、その際それぞれの補助画素補助信号は
、独自の補助画素位置に対応しており、かつ基準補助信
号の直線的傾斜によって得られろ。
ランモードでは次のステップが行われる。
カメラにより目標被写体を観察し、 目標被写体のデジタル像から目標信号7発生し、その際
目標像は一連の和な含み、それぞれの和は、整数画素の
列又は行に相当するデジタル像データを合計することに
よって得られ、 □ 整数画素位置の選ばれた範囲内にある基準信号と目
標信号を比較し、最も良好に適合した特定の整数画素位
置の位置検出を行い(この比較の結果、測定した相対変
位の整数部分が得られる)、その結果、目標補助信号!
定義し、 補助画素補助信号と目標補助信号を比較し、目標補助信
号に最も近い補助画素補助信号を判定しくこの比較の結
果、測定した相対変位の端数部分が得られる)、かつ 前の2つのステップの判定の結果に基づいて、基準被写
体に対して相対的な目標被写体の位置の表示を行う。
目標被写体を配置した作業テーブルは、目標被写体の位
置の提供された表示に依存した量により作業位置に対し
て相体的に自動的に動くと有利であるO 本発明の有利な構成において、4つの補助画素補助信号
が発生され、かつ整数画素境界に対して相対的に+20
%、+40%、−20%及び−40%の変位に相当する
。本発明のこの有利な構成において、基準被写体に対し
て相対的な目標被写体の位置は、画素の115以内で判
定できる。
複数の補助画素補助信号を得ろために基準補助信号を直
線的に傾斜させるティーチモードの際に行われるステッ
プは、基準補助信号を含んだ和に次のような式を適用す
ることを含んでいろと有利である。
(v    −v  )xF+vN (N+1)   N その際 N=マトリクスの列又は行の番号 ■=特定の列又は行番号に相当する基準補助信号におけ
る和の値 ?=補助画素補助信号を発生しようとする補助画素位置
の小数値を1から引いた結果本発明によるシステムは、
マトリクス状に配置した複数の隣接する画素ケ有する像
を提供するためカメラ手段を使用し、それぞれの整数画
素は、カメラ手段により観察した被写体の当該の部分の
表面状態を表わす大きさを有する出力信号によって表わ
される。さらに本システムは、画素から出゛力信号を受
取るためにカメラ手段に結合された処理手段を有する。
処理手段は、カメラ手段により基準被写体を観察した場
合、ティーチモードで動作でき、次のステップな行う。
ティーチ(基準)信号を定義する一連の和を提供するた
め所定の方法で整数画素の列又は行に相当する大きさ?
合計し、 ティーチ信号の他のどの部分にもほとんど似ていないテ
ィーチ信号の部分を選択し、選ばれた部分がティーチ補
助信号を定義し、かつ 複数の補助画素補助信号を提供するためティーチ補助信
号を直線的に傾斜させ、それぞれの補助画素補助信号が
補助画素位置に対応している。
さらに処理手段は、カメラ手段により目標被写体を観察
した場合、ランモードで動作でき、次のステップを行う
目標信号を定義する一連の和を提供するため所定の方法
で整数画素の列又は行に相当する大ぎさを合計し、 整数画素位置の選ばれた範囲にあるティーチ信号と目標
信号を比較し、最も良好に適合した特定の整数画素位置
を検出しくこの比較の結果、測定された相対変位の整数
部分が得られる)、その結果、目標補助信号が定義され
、 補助画素補助信号と目標補助信号を比較し、目標補助信
号に最も適合した補助画素補助信号を判定しくこの比較
の結果、測定された相対変位の端数部分が得られる)、
かつ 判定結果の表示を行う。
ティーチモードにおいて行われるティーチ補助信号を直
線的に傾斜させるステップは、ティーチ補助信号に前記
のような式をあてはめることによって行うと有利である
ここでは視覚装置に使用するように説明したが、本発明
はこれに限定されろもので&X r、Cい。従って本発
明は、「補助画素形成」の方法に広く適用される。最も
一般的な形において、本発明の補助画素形成の方法は次
のステップを含む。
一連の和を含む信号を提供し、この信号は、複数の整数
画素に対して相対的な被写体の位置を表わし、かつ 信号の少なくとも一部を直線的に傾斜させ、少なくとも
1つの補助画素補助信号を提供し、補助画素補助信号は
補助画素位置に対応している。信号の少なくとも一部を
直線的に傾斜させるステップは、信号に前記のような式
をあてはめることによって行うと有利である。
実施例 本発明の実施例を以下図面によって詳細に説明する。
同様な素子に同様な符号を付けた図面によれば、集積回
路チップ10にリード線16乞ボンデイングするワイヤ
ボンダに使用するパターン認識システム、又は視覚シス
テムのブロック図が第1図に示されている。(本発明は
、ここではワイヤボンディング装置に使用するように説
明されているが、本発明がこれに限定されるものではな
く、かつ物体の相対位置を正確に検出したい場合、どこ
でも使用されるものであることは明らかである。)ポン
ディングパッド12ヲ有するチップ10&工、全体的に
14で示す集積回路装置に取付けられている。装置14
は、複数のリード接続部16を有し、これらリード接続
部は、並んだピン等のような通常の集積回路端子に取付
けることができるように十分大きい。
装置14ハ、周知のようなワイヤボンディング機の作業
テーブル(図示せず)上に配置されたインデクスピン2
0に合うような手段18ヲ有するものとして示されてい
る。作業テープl&@、ホスト制御器22に制御され、
矢印21によって示されたように直交する方向に可動で
ある。ホスト制御器の動作は、ここに説明されており、
かつ205特許にはさらに詳細に説明されている。
本発明によれば、チップ10、従ってポンディングパッ
ド12の相対位置は、基準被写体に対して相対的に正確
に判定される。205特許に説明されたように、この位
置情報は、ポンディングパッド12にリード線16をボ
ンディングするため、作業位置(図示せず)に対して相
対的に作業テーブルを動かすために使われる。2位置情
報を判定しかつ提供する視覚システムの装置は、チップ
10を照明する光源24及びチップ10から反射した光
を受取るカメラ手段26を有する。カメラ手段26ハ、
マトリクス状に配置された隣接する複数の画素を含む像
を提供するため、ビジコン又はCOD配列のような周知
のタイプのカメラを有すると有利である。周知のように
それぞれの整数画素は、チップ100当該の部分から反
射された光の量を表わす大きさのアナログ出力信号によ
って表わされる。従って出力信号の大ぎさは、チップ1
0の当該の部分の表面状態を表わしている。アナログ出
力信号+X A / D変換器28によってデジタル化
され、デジタル化したデータ(工、ここで説明するよう
に処理するためにマイクロプロセッサ30に供給される
。デジタル化したデータ&’f−RAM 32に記憶さ
れる。マイクロプロセッサ30は、205特許に詳細に
説明されたように、作業テーブルを動かしかつワイヤポ
ンディング作業7行うため、ホスト22と通信を行う。
本発明の有利な実施例において、16レベルの光強さt
提供する4ビツトワードがそれぞれの画素を表すために
使われ、画素は0.00025インチ(0,006酎)
平方であり、すなわち1ミル(0,025朋)あたり4
つの画素がある。
カメラ手段26のアナログ出力信号に、ビデオ発生器3
6を駆動するバッファ増幅器34にも供給される。一方
ビデオ発生器36はモニタ38を駆動する。
モニタ38は、205特許に詳細に示されたように、テ
ィーチ動作の間にチップ10の「視点」の位置を検出す
るように取扱い者を援助するため、取扱い者が観察する
視覚像夕提供するために使われろ。
マイクロプロセッサ30ハ、本発明による方法によって
発生される位置情報を記憶するため、フロッピーディス
ク40のような線記憶手段に位置情報乞供給することが
できる。
本発明&求、205特許の教示に従って発生されろ信号
及び補助信号を利用する。205特許に説明されたよう
に、チップ10のような像の信号は、整列した一連の強
さの和である。連続したそれぞれの和(要素)は、整数
画素の列(又に行)のデジタル強度値の算術和である。
(簡単化のため「列Jという用語は、以下垂直列及び水
平行の両方を含むものとして使われ、従って用語「列」
は、ここでかつ特許請求の範囲で使用した場合、垂直列
に限定されると考えるのではなく、同様に水平行ビ含む
ものと考える。)第3図について考える。第3図は、被
写体(「9」で示す)と背景(「1」で示す〕のデジタ
ル化した像46を概念的に示している。図示したように
像は、列52〜66を有するマ) IJクス状に配置さ
れた複数の隣接した整数画素48を有する。それぞれの
整数画素に、カメラ手段26により観察した被写体の相
応した部分に依存した大きさン有するデジタル強度値1
表わしている。第3図の例において数字は、カメラによ
り観察した範囲の相応した部分から反射した強度の大き
さ(明るさ)を表わしており、「1」は暗い様子を表わ
し、かつl−164&X最も明るい様子を表わす。被写
体の像5f)&″f、、「9」の強度レベルを有する中
位の明るさのものとして示されている。
従って第3図において大部分の整数画素48は、暗い背
景又は被写体が無いことを表わj「1」を示している。
しかし列56.58及び60のいくつかの整数画素48
は、被写体の像50を表わす[91を示している。像4
6全体から得られた信号68に、205%許に説明され
ているように、それぞれの列52〜66内のデジタル画
素値の合計によって得られる。このような信号に、取扱
い者によって選ばれた被写体の適当な部分(「視点」と
称する)から適当に発生された場合、205特許から明
らかなようK、像50によって表わされた被写体の相対
位置を1つの整数画素以内まで正確に表わしている。
信号68から最も良好にわかるように、信号の個々の和
は、一般に互いに異なっている。特に隣接する和は、整
数画素の隣接する列の合計した強度の急激な変化に一致
して異なっている。例えば信号68の第3の和32を第
4の和16と比較すれば明らかである。
それぞれの列52〜66は、それぞれ複数の仮想の微小
列の平均強度を表わす整数画素の粗い列と考えてもよい
。例えば例56は、複数の、特に5つの微小列を含む粗
い列と考えられる。さらに粗い列56内のそれぞれの整
数画素は、5つの微小列のそれぞれ1つに入る像5oの
一部を有するものと考えられる。粗い列内のそれぞれの
整数画素によって示される値は、5つの微小列のそれぞ
れに入る部分の平均強度であると考えてもよい。従って
像50ホ、正確な整数画素境界に当たる縁を有するので
、5つの仮想微小列それぞれにおいて整数画素49のこ
の部分により示される平均強度ハ登=1.8である。
従って2つの粗い列の間の線が、第3図に示すように鋭
い垂直特性縁に一致した場合、信号68による場合のよ
うに、1つの粗い和は、近くのものと全く相違する。し
かしこの線が正確に粗い列の間にない場合、粗い和の相
違はそれ程大きくない。このことは、微小列の1つのグ
ループのうちわずかなものが変化し、従って平均値に近
くのものの平均値に近くなるからである。このことは第
5図に示されている。
第5図は、被写体(ここでも「9」によって示j)と背
景(ここでも「1」によって示j)のデジタル化した像
46′を概念的に示している。像は、列52′〜66′
内に配置された複数の隣接する整数画素48′を有する
。被写体の像50′は、第3図の像50に対して相対的
に0.4画素だけ右へずれている。像の0.6だけしか
粗い列56′内になく、従って整数画素の0.6だけし
か9′ff:示さな〜・ので、前に9(第3図において
)を示した整数画素は、第5図においては5.8を示す
ことに注意する。同様にこの整数画素の0.4が1を示
す。従って列56′内で整数画素49′によって示され
る値昏工、数学的に次のように決めることができる。
0.6  X  9  =  5.4 0.4  X  1  =  0.4 計  =5.8 従って列56′内の整数画素49′ニ、それぞれ5.8
を示す。
同様に粗い列62′によれば、第3図において前に1を
示した画素は、今度は4.2を示す。なぜなら列62′
内のそれぞれの整数画素の0.4が9を示し、かつそれ
ぞれの整数画素の0.6が1を示すからである。従って
それぞれの画素51′によって示される値は、次のよう
に数学的に決めることができろ。
0.4  X  9  =  3.6 0.6  X  1  =  0.6 計  =4.2 その結果得られた信号68′に注意する。いくつかの和
の値が変化しており、従って第3図の像50に対して相
対的に像50′がずれていることを表わしている。しか
しながらさらに信号68と68′の和の合計は同じであ
る。
8 + 8 +32+16+24+ 8 + 8 + 
8 = 112(信号68) 8+8+22.4+22.4+20.8+14.4+8
+8 = 112(信号68′) 前記のように本発明の有利な実施例において、それぞれ
の粗い列に対して5つの仮想の微小列が形成されている
。これらは、0.0(整数画素境界)、0.2.0.4
.0.6及び0.8の端数画素(補助画素)位置に相当
すると有利である。
第4図は、像5oがずれた場合、整数画素により示され
る値に及ぼされる作用を例として概略的に示している。
従って像のずれの結果生じる新しい信号は、前記のよう
にそれぞれの整数画素において独立に操作することによ
り予測できる。新しい信号を予測する能力は有用である
。なぜならそれにより後で説明するように画素の端数以
内にまで被写体の位置を正確に判定できるからである。
しかしそれぞれの整数画素において独立に操作する前記
の「積分」法に、煩わしく、かつ時間を要する。しかし
信号を「直線的に傾斜させる」ことにより、像のずれか
ら実際に生じる信号7正確に予測できることがわかった
。従ってここで説明する「直線的に傾斜させる」技術を
使用すれば、補助画素ステップを介して像!ずらし、か
つ前記の積分法によりそれぞれに信号を発生することは
不要である。
本発明によれば、補助画素位置に対応する信号(「補助
画素信号」又は「補助画素補助信号」と称する)は、既
知の信号に次のような式を適用することによって計算さ
れる。
(v    −v  )XF+V、 (N+1)   N その際 N=マ) IJクス中の列又は行の番号V=W定の列又
は行番号に対応する信号中の和の値 F=補助画素補助信号を発生しようとする補助画素位置
の小数値を1から引いた結果である。
従って補助画素シフトのないものに相当する、すなわち
像が整数画素境界に一致する縁を有する信号68につい
て考える。0.4補助画素位置に対する補助画素補助信
号に、本発明により次のように計算される。
0.4補助画素位置に対する直線的傾斜(It’ = 
1−0.4 = 0.6 )52    8−8 X 
O,6+ 8   854        32−  
8X0.6+  8   22.456    16−
32 X O,6+32 22.458       
 24 − 16  X  O,6+  1.6   
20.860         8 − 24X0.6
+24   14.462         8−  
8X0.6+   8    864        
 8−  8X0.6+  8   866    8
− 8X0.6+8 8合  計   112 前記のような直線的傾斜により0.4補助画素位置に対
して発生された補助画素補助信号は、積分法により得ら
れるものとちょうど同じである。前記の補助画素補助信
号を信号68′ と比較されたい。
信号の直線的傾斜による「補助画素化」のこの方法は、
被写体の相対位置を判定するために使用できる。第6A
図〜第6B図及び第7A図〜第7C図は、画素の端数以
内にまで被写体相対位置を判定するために補助画素化技
術を使用する方法のフローチャートZ示している。
第6図及び第7図に示した方法は、205特許に開示さ
れた方法を変形したものである。従って必要な場合には
、さらに詳細には205特許!参照する。第6図及び第
7図に示した方法を実行するよウニマイクロコンピュー
タ30をプログラミングすルタメ、周知のコンピュータ
コーディング技術を使用すると有利である。
ティーチモード 205符許に詳細に説明されたように、視覚システムに
、まず「ティーチモード」で動作すると有利であり、そ
の際ティーチ又は基準信号と補助信号を得るため、基準
被写体が観察される。本発明により変形されたこのティ
ーチモード動作は、第6A図及び第6B図に示されてい
る。ティーチモード動作において基準被写体は、205
 %許にさらに詳細に示されたように、基準信号及び基
準補助信号7発生するため、カメラ手段の下に配置され
る。この動作モードにおいてマイクロプロセッサ30ニ
、第6A図及び第6B図のブロック74〜116に示さ
れたステップを行うと有利である。従って動作はブロッ
ク74かも始まり、その際22の変数NとLに値が割当
てられる。205特許に説明されたまうにNとLはポイ
ンタであり、これらポインタは、信号のその他の部分と
最も相違した、従って像の独自の部分に相当する信号の
部分ン選択するために使用する。選ばれた部分は、「補
助信号」として知られている。図示したように値は、変
数QM工、及びQMAxにも割当てられる。205特許
において説明されたようにQ、N1、及びQMAX ”
、補助信号を選択するためにも使われる。N及びLに割
当てられた値は、画素配列の寸法におおいに依存してい
てもよいことは明らかであり、ブロック74において割
当てられた値は、160 X 160画素の配列の際の
動作に使用すると有利である。
ステップ74で変数に値が割当てられた後、ステップ7
6が行われる。まず基準被写体に関して前に発生された
基準信号は、メモリから取出され、かつ図示したように
操作される。基準信号の要素i=Nを含みかつ基準信号
の要素i = N + 64 ’&通して動作する試み
るべき第1の補助信号(S工G)は、補助信号RAMに
送られる。N番目の補助信号の1番目の要素は、SS 
 と称する。次にプロツり78に示されたステップが行
われる。この時S工GL+、(Lによって指示された位
置から始まり、現在選ばれた信号部分の1番目の要素で
ある。)及びSSN□(N+1番目の補助信号要素であ
る。)の間の差の64の絶対値の和を計算する。その結
果ハQNLと称する。ステップ80において”NLの値
が、QM工、の記憶した値と比較されろ。QNLがQM
工、より小さいと、現在選ばれている補助信号SSN&
工、前のすべての部分に適合するより良好に信号のL番
目の部分に適合し、かつ細工N&工、ステップ84に示
すようにQNLに等しく設定される。
QNL ” QM工、より大きいか又は等しい場合、ス
テップ82が行われ、ここでは現在のLの値が、N+4
0の現在の値と比較される。ステップ82を行う目的は
、考えられている現在の補助信号SS  が、最も独自
の補助信号を確実に見出すため信号のすべての部分と比
較したかどうかを判定することにある。現在のLの値が
N+40の現在の値より小さい場合、Lの値は、ステッ
プ86に示すように、1だけ増加され、それからステッ
プ88が実行される。ステップ88においては、Lの値
がNの近くにあるかどうか(さらに特定すれば、NのG
単位以内にあるかどうか、その際G +Xガートバンド
を定義する常数である。)を判定するためにチエツクが
行われる。LがNの近くにあると判定された場合、この
ことは、現在考えられている補助信号SS が信号S工
G−NないしS工G=N−)−64のN       
    1              1ここから取
出された部分と比較されていることを表わしている。ス
テップ88に示したように、この範囲はスキップされ、
誤ったN1、の表示は発生されない。明らかにQM工N
&工、信号のその他のあらゆる部分と最も似ていない補
助信号SS  Y選択するために使われる誤り表示器で
ある。
ステップ82で最後のLに達したことが判定されると、
すなわちN番目の補助信号SS が、SIGよ=Nない
しSIG、 = N + 64の合計信号のあらゆる補
助セットと比較された場合、QMINの値は、ステップ
90に示したように、QMAXの値より大ぎいかどうか
を見るために比較される。すなわちステップ90におい
ては、現在の補助信号SSNが今までテストした中で最
も独自なものであるかどうか?判定するためにテストヲ
行う。もしそうならば、QMAXの値は、ステップ94
に示すようにQM、INの値に更新され、かつN &!
、最も独自の補助信号SS を信号SIa内に位置決め
した所にポインタを位置決めして、ステップ96に示す
ように記憶されろ。それからステップ92が行われ、こ
こでは可能なすべての補助信号を信号に対してテストし
たかどうかが判定されろ。可能なすべての補助信号がテ
ストされていない場合、ステップ98が行われ、ここで
は図示したように、Nの値が1だけ増加され、従ってL
の値が変更される。この時必要に応じてステップ76〜
96がくり返されろ。
ステップ92において可能な最後の補助信号SSNをテ
ストしたことが判定されると、ステップ100が行われ
ろ。ステップ100においては、現在のNの値がラッチ
され、かつ補助信号ボイ/りとして記憶され、すなわち
N &X、信号のその他すべての部分と最も似ていない
信号SIGの64の要素部分を指示している。QMAX
の値、すなわち誤り関数は、この補助信号の有効性の表
示として記憶してもよい。すなわちQMAXの値が大ぎ
い程、選ばれた補助信号は有用である。
次に第6B図のステップ102〜116が行われる。
ステップ102では「ティーチ」(又は「基準」 )補
助信号TSS  が回収される。ティーチ補助信号は、
ポインタNが指示する64要素の補助信号である。従っ
てティーチ補助信号に、ポインタNのラッチした値によ
り割当てられた信号(SIG)の部分から始まり、かつ
その後j−1要素にまで達し、その際j &!、ブロッ
ク102に示した値を前提としていてもよい。その後ス
テップ104.106.108及び110に示すように
、4つの補助画素補助信号が発生される。本発明の実施
の際、−20%、−40%、+20%及び+40%の端
数画素(補助画素)位置に対応した補助画素補助信号?
使用すれば有利であるとわかった。慣習により、マイナ
スのパーセンテージは、整数画素境界に対して相対的に
端数量だけ左ヘシフトすることン表わし、一方プラスの
パーセンテージは、整数画素境界に対して相対的に右ヘ
ンフトすることを表わす。基準被写体の像に関する一2
0%の補助画素補助信号は、ステップ104において計
算されろ。基準被写体の像に関する一40%の補助画素
補助信号に、ステップ106において発生されろ。基準
被写体の像に関する+20%の補助画素補助信号は、ス
テップ108にお−・て発生される。かつ+40%の補
助画素補助信号はステップ110において発生される。
ステップ104〜110において使用した式は、前に説
明したものと同じタイプのものであり、かつ前に説明し
たようにティーチ補助信号に適用される。しかし+20
%と+40%位置に対する式は、減数にTSS(j+2
)の値を使用し、一方−20%と一40%位置に対する
式はT   の値を使用することに注意する。従5S(
j ) ってティーチ補助信号におけるそれぞれの要素は、所望
の端数(補助画素)位置、すなわち−20%、−40%
、+20%及び+40%に対応する補助画素補助信号を
得るために直線的に傾斜させられる。ステップ104〜
110においてjの値に、補助画素補助信号を得るティ
ーチ補助信号の個々の要素(和)7通してステップする
ためポインタとして使われることに注意する。
ステップ104において計算された補助画素補助信号は
、5PSS   (−20%補助画素位置に相当す1、
j る)として記憶される。ステップ106において計算さ
れた補助画素補助信号は、5pss2.j(−40%補
助画素位置に相当する)として記憶される。ステップ1
08において発生された補助画素補助信号は、5PSS
3.j(+20%画素位置に相当する)として記憶され
る。そしてステップ110において発生された補助画素
補助信号は、5PSS  、 (+40%の4+J 補助画素位置に相当する)として記憶されろ。
基準(又はティーチ)補助信号から4つの補助画素補助
信号乞発生した後に、必要ならば205特許にさらに詳
細に説明されているように、回転した軸及びその他の座
標に対するデータを得るためにステップ112を行うこ
とができる。その後ステップ114に図示したように、
ランモード(後に説明する)に入り、かつ基準被写体に
関してランモードで得られたデータをティーチモードで
得られたものと比較することによって、テスト7行って
もよい。テス)114’l完了した後、被写体(チップ
io ) &X、カメラ26に対して物理的に動かすこ
とができ、第2の基準又は[視点]にカメラ26の焦点
を合わせ、かつステップ116に示すように全ティーチ
処理をくり返し、第2組の補助信号を、すなわち第2の
基準点に対するそれぞれX及びY座標を発生する。
ランモード 205特許に詳細に説明されたように、視覚システムは
、ティーチモードの動作の後に「ランモード」で動作す
る。ランモードにおいて目標被写体は、目標信号と目標
補助信号ヶ得るため、及び基準被写体の位置に対して相
対的な目標被写体の位置を検出するため、カメラ26に
よって観察される。
本発明により変形されたこのランモード動作は、第7A
図〜第7C図に示されている。ランモード動作において
目標被写体がカメラの下に配置され、かつ適当な視点が
取扱い者によって位置決めされる。その後マイクロプロ
セッサ30ハ、作業テーブルを動かすためブロック11
8〜188に示したステップを実行し、必要ならば、ワ
イヤボンディング操作のため作業位置の範囲内にチップ
10の適当な部分を動か丁。
ワイヤボンディング技術において、チップ10の通常位
置からのチップ10の最大変位は、製造公差等の統計的
関数である。実際には許容可能な多数のチップが、通常
の位置からプラス・マイナス40の整数画素範囲内に入
る。従ってティーチモードにおいて前に発生された補助
信号は、この基準信号範囲からプラス・マイナス40の
整数画素だけ変位した目標信号の部分と比較するだけで
よい。この統計的な検出【工、処理時間夕最小にするも
のとして有用である。さらにこのようにして40より少
ない整数画素の傾度を有するあらゆる反復像でも、誤り
識別を生じない。
第7A図によりランモード動作について説明する。最初
にランモードに入った場合、ステップ118に示すよう
に、N1、の値&′f、Oにセットされる。
その後ステップ120において、目標被写体の像に対す
る補助信号SS  が、前に計算したポインタNN の値を回収することにより得られる。その後ステップ1
22において、ポインタPに値N−40が割当てられろ
。ポインタP &Z、補助信号SSNと比較すべき目標
信号の部分7表わす。ステップ124においては、考え
られている現在の目標補助信号のスナップショットが供
給され、このスナップショットの個々の要素レエ、S工
G−3工G  と称する。
P        P+63 ステップ126において、要素S工GP+□(ここで1
に、信号の個々の要素を通してステップするポインタで
ある。)と補助信号要素SS、、の間の差の絶対値が、
i=oから1=63まで計算される。
この加算の結果はQPと称する。QPの値は、補助信号
SS  と全目標信号のP番目の部分との間の対応の程
度に比例している。ステップ128においては、これが
今まで検出された最小のQPであるかどうかを判定する
ため(¥なわちQPがN1、の記憶された値よりも小さ
いかどうか夕判定するため)、テストが行われる。QP
の値がQM工、の記憶された値よりも小さい場合、ステ
ップ132で示すように、QM工、の値Its CIP
の値にされ、かつステップ134で示すように、ポイン
タPの値がPM工、として記憶される。P  の値はこ
れまでに見つけた最も良M工N 好な適合を表わしている。
ステップ130では、Pの値がN+40の値に対してテ
ストされろ。Pの値がN+40の値より小さい場合、ス
テップ136に示すように、Pの値は1だケ増加され、
かつステップ124〜130が必要に応じてくり返され
る。最終的にtXPM工、の値は、ステップ138に示
すように、最も良好な適合の位置を指示し、従ってP 
  −Nの値は、ティーチモードN −ドの間に観察した基準被写体の位置に対して相対的な
目標被写体の位置(整数画素における)を表わしている
ステップ140においては、目標チップの位置が基準被
写体に対して相対的にちょうどプラス・マイナス40の
整数画素だけずれているかどうかを判定するため、テス
トが行われろ。PM工、の値が+/−40である場合(
jなわち最も良好な適合が+/−40の整数画素のとこ
ろにある場合)、スナップ166に示すように、目標の
場面は拒絶され、かつ作業テーブル7動かすことがホス
トに指示される。その理由は次のとおりである。
「誤り関数」を含むどの系列の81の不適合値も、Q値
と称する最小値Z有する。グラフにより示した場合、8
1の値それぞれは、最小値に向いた不適合のほぼ単調な
減少、及び最小値から離れる不適合の同様な増加を生じ
るように、近所のものと関係あるように思われる。81
の値の連続する系列において所定の方向に動く最小点を
示した場合、目標視点が「追跡される」ことを当然判断
できる。Qの値の横向き位置を視点の横向き位置の表示
として受入れることは有利であるが、この位置が+40
のところにあると、前記の単調変化がテストした40を
越えて同様な小さな値へと連続しないことは保証できな
いので、この位置が+40より小さい場合にだけ受入れ
ることは有利であり、この場合、視点を+40のところ
に配置する誤った宣言Zすることになる。
ステップ140において、P  の値が正確にプM工N ラス又はマイナス40の整数画素ではないことが判定さ
れた場合、ステップ142〜148が実行される。
ステップ142〜148において、ステップ124で選
ばれた目標補助信号のそれぞれの要素(和)は、ティー
チモードにお〜・て発生されたそれぞれの補助画素補助
信号のそれぞれの要素(和)と比較される。従ってステ
ップ142において、目標補助信号と一20%補助画素
補助信号の個々の要素の減算が行われ、かつこれらの絶
対値がまとめて加算される。その結果にはラベルQP1
が割当てられろ。
同様にステップ144では、目標補助信号と一40%補
助画素補助信号の個々の要素の減算が行われ、かつこれ
らの絶対値が加算される。この加算の結果にはラベルQ
P2が割当てられる。ステップ146では、再び目標補
助信号と+20%補助画素補助信号の個々の要素の減算
が行われ、かつこれらの絶対値が加算される。この加算
の結果にはラベルQP3が割当てられる。最後にステッ
プ148においては、目標補助信号の個々の要素が、+
40%補助画素補助信号の個々の要素から引かれ、かつ
これらの絶対値が加算される。この加算の結果にはラベ
ルclP4が割当てられる。
ステップ150において、最も小さい値を有する〜工N
”PI・ QP2・ QP3・ QP4のうち19力ゝ
判定され、かつラベル籟、工NY割当てられる。ステッ
プ156〜170において連続した比較が行われ、どの
補助画素補助信号が目標補助信号に最も近いかを判定し
、基準被写体に対して相対的な目標被写体の端数(補助
画素)位置の表示7行う。従ってステップ156でに、
QRMXNの値がQM工、の値と比較されろ。これらが
等し℃・とわかると、このことは、目標被写体の像が整
数画素境界上にあり、かつどのような端数画素量も基準
被写体の像に対して相対的にずれていないことを表わし
ている。
このことは、ステップ160に示されている。籟、工、
の値がQMT、Nの値と等しくない場合、ステップ15
8において籟ゆ、Nの値が”PIの値に等しm;かどう
かを調べろため、テストが行われる。等しい場合、この
ことは、目標被写体の像が基準被写体の像に対して相対
的に、−20%(整数画素境界の左側へ)の端数(補助
画素)量だけずれて見・ろこと夕表わしている。このこ
とは、ステップ162に示されている。それぞれステッ
プ168と170において、−40%及び+20%の端
数(補助画素)位置について同様なテストが行われる。
これら位置に対する端数(補助画素)シフトの量は、そ
れぞれステップ172.176に示されている。ステッ
プ156.158.168又は170において適合が見
つからなかった場合、ステップ174において、目標被
写体の像に、基準被写体の像に対して相対的に+40%
の端数(補助画素)位置へ(右へ)ずれているものとす
る。
いずれか1つのステップ160.162.172.17
4又ハ176において判定が行われた後に、ステップ1
78が実行される。ステップ178において、QRM工
、の値は、許容できるかどうか夕判定するためあらかじ
め選択した基準値に対してテストされろ。QRMIND
値が許容できないと判定された場合、拒絶信号のような
適当な表示が、ステップ180に示すようにホスト22
に供給され、それにより後続の処理暑行うことができろ
。他方において籟オニ、の値が許容できるとわかった場
合、整数画素位置(P   −N)と端数(補助画素)
位置(spx )のM工N 両方が、ステップ182に示すように、ホスト22に供
給され。ステップ182でホスト22に供給された位置
情報が相対位置情報であり、すなわちこのデータがティ
ーチモードの間に観察した基準被写体に対して相対的な
目標被写体の位置7表わすことに明らかである。ホスト
22ハ、ステップ182において提供された位置情報に
応答して、ボンディング動作を行ってもよいように、作
業場所に対して相対的に作業テーブルを動かすと有利で
ある。
ステップ184に示すように、ラン動作のステップ11
8〜182は、像の別の座標、例えばY座標に関して再
び実行できる。必要ならば、205特許にさらに詳細に
説明されたように、像はマイクロプロセッサ30により
回転してもよく、かつステップ118〜182に、限定
された信号により再び実行できる。
必要ならば、ステップ188に示したように、かつ20
5特許にさらに詳細に説明されたように、ステップ11
8〜182ハ、第2の視点を用いて再び実行してもよい
前記のように本発明の有利な実施例において、画素は0
.00025インチ平方(0,006ミリ平方)であり
、例えば1ミル(0,025ミIJ )あたり4つの画
素がある。それ故に本発明の実施例によれば、4つの補
助画素補助信号夕提供する場合、目標被写体の相対位置
は、画素の115以内に限定することができる。
第2図は、205特許の教示に従って(グラフ42)、
かつ本発明の教示に従って(グラフ44)、目標被写体
の像と基準被写体の像の間の得られた適合の程度の1例
タグラフによって示している。明らかにグラフ42ば、
整数画素を通して被写体をずらした場合、グラフ42ホ
急激に上昇かつ低下し、従って正確な整数画素位置にあ
る場合7除いて適合の程度が不十分であることを示して
いる。他方においてグラフ44ハ、端数の画素だけ被写
体がずれた場合でさえ、適合の程度がかなり改善されろ
ことを示している。適合の程度は、このような視覚シス
テムの動作における重要なパラメータなので、本発明は
、205特許に開示されたような従来技術のものより多
くの時性上の利点を提供する。さらに本発明によれば、
従来可能であったものよりもずっと正確に目標被写体の
相対位置が判定できることはさらに重要である。
本発明は、本発明の権利範囲及び基本的属性からにずれ
ることなく、その他の特定の形式で実施でき、従って本
発明の権利範囲7表わすものとしては、実施例の説明で
はなく、特許請求の範囲?参考にするべぎである。
【図面の簡単な説明】 第1図&工、本発明の実施例に関連して使用するのに適
したハードウェアシステムのブロック図、第2図は、2
05符許(グラフ42)と本発明(グラフ44)の両方
の場合における基準信号と目標信号の間の適合の程度を
示すグラフの図、第3図は、正確な整数画素位置に配置
された被写体の像を含む画素のマ) IJクスを概念的
に示す図、第4図は、被写体タシフトした場合に画素に
より示される値への作用をグラフ状に示す図、第5図は
、端数の画素(補助画素)位置に配置された被写体の像
を含む画素のマ) IJクス7概念的に示す図、第6A
図及び第6B図は、本発明による方法のティーチモード
における有利な実施例〉示すフローチャートの図、第7
A図、第7B図及び第7C図は、本発明による方法のラ
ンモードにおけろ有利な実施例7示すフローチャートの
図である。

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)像が隣接する複数の画素を有し、カメラ手段から
    見た被写体の少なくとも一部の像を提供する、カメラ手
    段を使用するタイプの視覚システムの動作方法において
    、 (a)カメラ手段により被写体の少なくとも一部を観察
    し、かつ像から走査信号を発生し、 (b)複数の補助画素基準信号と少なくとも一部の走査
    信号を比較し、それぞれの補助画素基準信号が、画素位
    置間の独自の補助画素位置に対応しており、 (c)比較の結果に基づいて、どの補助画素基準信号が
    走査信号に最も近いかを判定し、かつ (d)走査信号に最も近いと判定された補助画素基準信
    号に基づいて、被写体の位置の表示を行う ことを特徴とする視覚システムの動作方法。
  2. (2)視覚システムがテイーチモードで動作している際
    、補助画素信号を発生する、請求項1記載の方法。
  3. (3)視覚システムがランモードで動作している際、走
    査信号を発生する、請求項1記載の方法。
  4. (4)補助画素信号と比較する信号が補助信号であり、
    この補助信号が、カメラ手段により目標被写体を観察し
    た際に得られる大きな信号の選ばれた一部である、請求
    項1記載の方法。
  5. (5)補助信号と比較する補助画素信号が補助画素補助
    信号であり、それぞれの補助画素補助信号が、カメラ手
    段により基準被写体を観察した際に得られる基準信号の
    選ばれた一部を直線的に傾斜させることにより得られる
    、請求項4記載の方法。
  6. (6)4つの補助画素信号が発生され、かつ整数画素境
    界に対して相対的な+20%、+40%、−20%、及
    び−40%の変位に相当する、請求項1記載の方法。
  7. (7)カメラ像が、マトリクス状に配置された複数の隣
    接する画素を含み、それぞれの画素が、カメラによつて
    観察された被写体の対応する部分の表面状態を表わす大
    きさを有する出力信号によつて表わされ、かつ被写体の
    少なくとも一部のデジタル像を提供するために出力信号
    を受取る手段が設けられており、かつ (a)信号の特定の位置を選択し、かつ選ばれた部分を
    補助信号として定義し、かつ (b)どの補助画素基準信号が選ばれた補助信号に最も
    近いかを判定する、 請求項1記載の方法。
  8. (8)補助画素補助信号が、基準補助信号を含む和に次
    のような式を適用することによつて発生され、〔V_(
    _N_+_1_)−V_N〕×F+V_Nその際 N=マトリクスの列の番号 V=特定の列番号に対応する基準補助信号中の和の値 F=補助画素信号を発生しようとする補助画素位置の小
    数値を1から引いた結果 である、請求項7記載の方法。
  9. (9)(a)被写体の像を提供するため、カメラ手段に
    より位置検出すべき被写体の少なくとも一部を観察する
    手段が設けられており、その際像は隣接する複数の画素
    を含み、 (b)被写体の像から走査信号を発生する手段が設けら
    れており、 (c)記憶した複数の基準補助画素信号と走査信号の連
    続した一部を比較する手段が設けられており、その際そ
    れぞれの基準補助画素信号は独自の補助画素位置に対応
    しており、 (d)比較の結果に基づいてどの補助画素信号が走査信
    号に最も近いかを判定する手段が設けられており、かつ (e)走査信号の連続する部分の1つに最も近いと判定
    された補助画素信号に基づいて、被写体の位置の表示を
    提供する手段が設けられている ことを特徴とする視覚システム。
  10. (10)位置の表示を提供する手段に応答して、被写体
    を配置した作業テーブルの位置を変える手段が設けられ
    ている、請求項9記載のシステム。
  11. (11)カメラ手段が、マトリクス状に配置された隣接
    する複数の画素を含む像を提供し、それぞれの画素が、
    カメラ手段により観察された被写体の相応した部分の表
    面状態を表わす大きさを有する出力信号によつて表わさ
    れ、 (a)カメラ手段に結合された処理手段が、画素から出
    力信号を受取り、カメラ手段により基準被写体を観察し
    た場合、処理手段が、テイーチモードで動作でき、 (i)テイーチ信号を定義する一連の和を提供するため
    所定のように画素の列に対応する大きさを合計し、 (ii)テイーチ信号の他のどの部分にも全く似ていな
    いテイーチ信号の部分を選択し、選ばれた部分がテイー
    チ補助信号を定義し、 (iii)複数の補助画素補助信号を提供するためテイ
    ーチ補助信号を直線的に傾斜させ、それぞれの補助画素
    補助信号が補助画素位置に対応しており、 カメラ手段によつて目標被写体を観察した 場合、さらに処理手段が、ランモードで動作でき、 (iv)目標信号を定義する一連の和を提供するため所
    定のように画素の列に相当する大きさを合計し、 (v)整数画素位置の選ばれた範囲内にあるティーチ信
    号と目標信号を比較し、最良の適合を提供する特定の整
    数画素位置を検出し、結果が、目標補助信号を定義し、
    かつ基準被写体に対して相対的な目標被写体の、整数画
    素における変位の量を表示し、 (vi)補助画素補助信号と目標補助信号と比較し、目
    標補助信号に最も近い補助画素補助信号を判定し、結果
    が、基準目標に対して相対的な目標被写体の、画素の端
    数における変位の量を表示し、かつ (vii)ステップ(v)及び(vi)の判定の結果を
    表示する、 請求項9記載のシステム。
  12. (12)補助画素基準信号が補助画素形成により提供さ
    れ、 (a)一連の和を含む信号を提供し、この信号が、複数
    の画素に対して相対的な被写体の位置を表わし、かつ (b)この信号の少なくとも一部を直線的に傾斜させ、
    少なくとも1つの補助画素信号を提供し、この補助画素
    信号が補助画素位置に対応している、 請求項1記載の方法。
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