JPH0193438A - 窒化アルミニウム基材と共に使用する厚いフイルムペースト組成物 - Google Patents

窒化アルミニウム基材と共に使用する厚いフイルムペースト組成物

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JPH0193438A
JPH0193438A JP63207460A JP20746088A JPH0193438A JP H0193438 A JPH0193438 A JP H0193438A JP 63207460 A JP63207460 A JP 63207460A JP 20746088 A JP20746088 A JP 20746088A JP H0193438 A JPH0193438 A JP H0193438A
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ゴードン・ジエイ・ロバーツ
Edward Stadnicar Jr
エドワード・スタドニカー・ジユニア
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は厚いフィルムペースト組成物に関する。
更に詳細には本発明は窒化アルミニウムを含む基材に容
易に結合又は付着する厚いフィルムペースト組成物に関
する。
ハイブリッド型マイクロ電子部品に用いる抵抗器、誘電
体及び電導体を製造するために厚いフィルムペースト（
ｔｈｉｃｋ　ｆｉｌｍ　ｐａｓｔｅ）を用いることはエ
レクトロニクス技術において良く知られている。概述す
ると、そのようなペースト又はインキ組成物は、伝導性
、抵抗性又は誘電性成分；結合材料例えばガラス又は無
機酸化物；そして賦形剤、普通にはペーストの無機成分
に対する分散媒体又は賦形剤として役立つ有機化合物又
は重合体を含む。
使用に際して、そのようなペースト又はインキ組成物は
所望の形態又は図柄で適当な基材上へ適用される。これ
に関して、基材は多くの種類の材料から作られてきた。
例えばそのような基材材料はアルミナ、ベリリア、窒化
アルミニウム、及び炭化珪素を含む。
今日使用されている多くの基材材料のうち、特に有用な
ものは窒化アルミニウムである。しかしながら、その使
用と関連した１つの問題は、最も厚いフィルムペースト
又はインキ組成物の、窒化アルミニウム又は窒化アルミ
ニウム含有構造体への接着が限られていることである。
従って本発明の目的は厚いフィルムペースト又はインキ
組成物を窒化アルミニウムから作られるセラミツツク基
材に結合させる手段を提供することである。
１つの観点において、本発明は （ａ）　　厚いフィルムペーストの電気的性質を調節す
るのに十分な量で存在する電気的性質改変剤成分； （ｂ）　　窒化アルミニウム基材の表面に結合しうる無
鉛又は低鉛のガラス組成物１．但し該ガラス組成物は重
量％で二酸化珪素約２７．０〜約５６．５％、酸化バリ
ウム約０〜約４７．０％、酸化ホウ素約４．５〜約２５
．０％、酸化鉛約０〜約１８．０％、酸化亜鉛約０〜約
１５．０％、酸化アルミニウム約３．０〜約１４．０％
、酸化ジルコニウム′約０〜約３．０％、酸化マグネシ
ウム約０〜約８．０％、酸化カルシウム約０〜約１２．
０％、弗素約０〜約３．０％、酸化カリウム約０〜約３
゜０％、酸化ナトリウム約０〜約３．０％、酸化タング
ステン約０〜約４．０％、及び酸化リチウム約０〜約４
．０−％を含み、なお酸化バリウム＋酸化ナトリウムが
約１５．０％に少くとも等しい量で存在し、酸化亜鉛＋
酸化カルシウム＋酸化アルミニウムが約５．０％に少く
とも等しい量で存在し、酸化カルシウム＋酸化マグネシ
ウム＋酸化バリウムが約７．０％に少くとも等しい量で
存在し、酸化カルシウム＋酸化マグネシウム土酸化ジル
コニウムが約１．０％に少くとも等しい量で存在し、酸
化ジルコニウム＋酸化カルシウム＋酸化バリウムが約７
．０％に少くとも等しい量で存在し、そして酸化カリウ
ム＋酸化ナトリウム＋酸化鉛又は酸化バリウムが１０．
０％に少くとも等しい量で存在する；そして （ｃ）　　該電気的性質改変剤成分及び該ガラス組成物
に対する有機分散媒体、 を含んでなる窒化アルミニウム基材に結合させるのに適
した厚いフィルムペーストに関する。
本発明のペーストは、ペースト中に混入される電気的性
質改変剤成分を適切に選択することにより電導体、誘電
体又は抵抗体に作ることができる。
更に他の観点において、本発明は ａ）　窒化アルミニウム基材を準備し；ｂ）（ｉ）　　
厚いフィルムペーストの電気的性質を調節するのに十分
な量で存在する電気的性質改変剤成分； （ｉｉ）　　窒化アルミニウム基材の表面に結合しうる
無鉛又は低鉛のガラス組成物、但し該ガラス組成物は重
量％で二酸化珪素約２７．０〜約５６．５％、酸化バリ
ウム約０〜約４７．０％、酸化ホウ素約４．５〜約２５
．０％、酸化鉛約０〜約１８．０％、酸化亜鉛約０〜約
１５．０％、酸化アルミニウム約３．０〜約１４．０％
、酸化ジルコニウム約０〜約３．０％、酸化マグネシウ
ム約θ〜約８．０％、酸化カルシウム約０〜約１２．０
％、弗素約０〜約３．０％、酸化カリウム約θ〜約３゜
０％、酸化ナトリウム約０〜約３．０％、酸化タングス
テン約０〜約４．０％、及び酸化リチウム約０〜約４．
０％を含み、なお酸化バリウム＋酸化ナトリウムが約１
５．０％に少くとも等しい量で存在し、酸化亜鉛中酸化
カルシウム＋酸化アルミニウムが約５．０％に少くとも
等しい量で存在し、酸化カルシウム＋酸化マグネシウム
＋酸化バリウムが約７．０％に少くとも等しい量で存在
し、酸化カルシウム＋酸化マグネシウム土酸化ジルコニ
ウムが約１．０％に少くとも等しい量で存在し、酸化ジ
ルコニウム土酸化カルシウム＋酸化バリウムが約７．０
％に少くとも等しい量で存在し、そして酸化カリウム＋
酸化ナトリウム＋酸化鉛又は酸化バリウムが１０．０％
に少くとも等しい量で存在する：そして （ｉｉ）　　該電気的性質改変剤成分及び該ガラス組成
物に対する有機分散媒体、 を含む厚いフィルムペースト組成物を該窒化アルミニウ
ム基材に適用し；そして Ｃ）　このように適用したペースト組成物を、該ガラス
組成物が該窒化アルミニウム基材に結合するようになら
しめるのに十分な温度まで加熱する、 厚いフィルムペーストを窒化アルミニウム基材・に付着
させる方法に関する。
本発明は窒化アルミニウム基材に対して用いるのに適し
た新規な厚いフィルムペースト組成物に関する。概述す
ると本ペースト組成物は、（ａ）電気的性質改変剤成分
、（ｂ）窒化アルミニウム基材に結合しうる特別な無鉛
又は低鉛（即ち一般に２０％又はそれ以下の鉛を含有）
ガラス結合剤、及び（ｃ）ペーストの無機成分に対する
有機賦形剤又は分散媒体、を含む。
本明細書で用いる如き「窒化アルミニウム基材」とは窒
化アルミニウムを４０重量％以上で含有する基材を意味
するものとする。
本発明の重要な特徴の１つは、電気的性質改変剤成分を
適切に選択することにより、得られるペーストが電導体
、抵抗体又は誘電体として役立たせうろことである。本
発明のペーストを電導性、誘電性、又は抵抗性にするた
めに利用される特別な物質はそれ自体厳密でない。必要
とされるすべてのものは、それが最終製品に所望の電気
的性質を与えるものである。ペーストが電導性であるな
らば、適当に電導性の金属を電気的改変側成分として用
いるのが普通であり；ペーストが抵抗性であるならば、
二酸化ルテニウムが一般に用いられ；ペーストが誘電体
として機能するならば、組成物は単独で使用でき或いは
耐火物酸化物充填剤が使用しうる。これらの電気的性質
改変側材料の使用は技術的に良く知られているから、そ
れらは以下詳細に議論することはしない。
本発明との関連で使用されるガラス結合剤はそれが窒化
アルミニウムに結合しなければならないという点が厳密
である。この目的に特に有用であることがわかったガラ
スは、第１表に表示する成分をそこに規定した範囲内で
含有するものを含む。
第１表 Ｓｉｎｇ　　　　　　　２７．０−５６．５８ａＯ０−
４７，０ Ｂ２０３　　　　　　　４．５−２５．０ＰｂＯ０−１
８，０ ＺｎＯ０−１５，０ Ａ１ｚＯｓ　　　　　　　３．０−１４．０ＺｒＯ２０
−３，０ Ｍｇ０　　　　　　　　　Ｏ−８，０ ＣａＯ０−１２，０ Ｆ２０−３．０ に、　　　　　　　　　Ｏ−３，０ Ｎａ２０　　　　　　　０−３．０ ＷＯｓ　　　　　　　　　Ｏ−４，０ ＬｉＯ□　　　　　　　Ｏ−４，０ 但し、 （１）　　酸化バリウム＋酸化鉛は約１５．０％に少く
とも等しい量で存在する、 （２）　酸化亜鉛＋酸化カルシウム＋酸化アルミニウム
は約５．０％に少くとも等しい量で存在する、 （３）　酸化カルシウム＋酸化マグネシウム＋酸化バリ
ウムは約７．０％に少くとも等しい量で存在する、 （４）　酸化カルシウム＋酸化マグネシウム＋酸化ジル
コニウムは約１．０％に少くとも等しい量で存在する、 （５）　酸化ジルコニウム＋酸化カルシウム＋酸化バリ
ウムは約７．０％に少くとも等しい量で存在する、そし
て （６）　酸化カリウム＋酸化ナトリウム＋酸化鉛又は酸
化バリウムは１０．０％に少くとも等しい量で存在する
。
本発明の実施に適当である上記範囲内の組成を有する特
別なガラスを下の第２表に示す。
第２表 組成範囲（重量％） 成分　　　ガラスＡ　　ガラスＢ　　ガラスＣ５１Ｏ＝
　　　　　３７−５６．５　　３８−４５　　　２８−
４５ＢａＯ０−２４１０−２４２Ｏ−４０ Ｂ、０．　　　　４−１４　　　　７−１４　　　　７
−２０ＰｂＯ０−１８０−１７−−− ＺｎＯ０−１２，２５−１２，２−−−ＡｈＯｓ　　　
　　３−１０　　　　３−８　　　　２−１４ＺｒＯ□
　　　　Ｏ−３０−３０−３ Ｍｇ０　　　　　　Ｏ−６０−６０−８ＣａＯＯ−８０
−７ Ｆ、　　　　　　　　　　　　Ｏ二３　　　　　　　　
０−３に、ＯＯ−３−−−−− Ｎａ、ＯＯ−３−−− ＷＯｓ−０−４ Ｌｉｄ、　　　　　Ｏ−３０−３−−−但し、 （１）　　酸化バリウム＋酸化鉛は約１５．０％に少く
とも等しい量で存在する、 （２）　酸化亜鉛＋酸化カルシウム＋酸化アルミニウム
は約５．０％に少くとも等しい量で存在する、 （３）　酸化カルシウム＋酸化マグネシウム＋酸化バリ
ウムは約７．０％に少くとも等しい量で存在する、 （４）　酸化カルシウム＋酸化マグネシウム＋酸化ジル
コニウムは約１．０％に少くとも等しい量で存在する、 （５）　酸化ジルコニウム＋酸化カルシウム＋酸化バリ
ウムは約７．０％に少くとも等しい量で存在する、そし
て （６）　酸化カリウム＋酸化ナトリウム＋酸化鉛又は酸
化バリウムは１０．０％に少くとも等しい量で存在する
。
本発明の実施に適当な更なる特別なガラスは第３表に示
すものを含む。
第３表 組成範囲（重量％） ｐ　ガラスＤ　ガラスＥ　ガラスＦ　ガラスＧＳｉｎｇ
　　３６−４３　　４０−４８　　２８−３８　　５０
−５６．５ＢａＯ２０−２５８−１６３５−４００−５
Ｂ、０．　１０−１６　　　６−１１　　　７−２０　
　　３−８ｐｂｏ　　　−−−５−ｉｓ　　　　　　　
　１ｏ−１ｓＺｎＯ９−１４０−５−−− Ａｌ２Ｏ，３−８３−７８−１４７−１１Ｚｒ０．　　
０−３　　　０−３　　　０−２Ｍｇ０　　　Ｏ−６０
−６−−− ＣａＯ−−−２−８７−１２ Ｆｔ　　　　−−−０−３ に２０　　−−−　　　−−　　　　−−−　　　０−
３Ｎａ、Ｏ−−−−−−−− ｗｏ３−−−　　　　　　　　０−４　　　　−Ｌｉ０
２　　−−−　　　０−３ （ａ）　　　　（ｂ）　　　　（ｃ）　　　　（ｄ）（
ａ）　　ガラスＤにおいて、酸化ジルコニウム＋酸化マ
グネシウムは少くとも約１．０％の量で存在する、 （ｂ）　　ガラスＤにおいて、酸化亜鉛＋酸化カルシウ
ムは少くとも５．０％の量で存在し、酸化マグネシウム
＋酸化カルシウムは少くとも５．０％の量で存在し、酸
化亜鉛＋酸化カルシウムは少くとも３．０％の量で存在
し、弗素＋酸化鉛は少くとも９．０％の量で存在し、酸
化リチウム＋酸化鉛は少くとも１０．０％の量で存在す
る、（ｃ）　　ガラスＦにおいて、酸化ジルコニウム＋
酸化タングステンは少くとも１．０％の量で存在する、
そして （ｄ）　　ガラスＧにおいて、酸化バリウム＋酸化カル
シウムは少くとも９．０％の量で存在し、酸化カリウム
＋酸化カルシウムは凡そ少くとも８゜０％の量で存在す
る。
本発明の実施において、分散媒体としてはいずれか不活
性な液体が使用できる。増粘剤及び／又は安定剤及び／
又は他の通常の添加剤を含む又は含まない水或いは種々
の有機液体のいずれか１つが分散媒体として使用しうる
。使用できる有機液体の例は脂肪族アルコール；そのよ
うなアルコールのエステル例えば酢酸エステル及びプロ
ピオン酸エステル：テルペン類例えばパイン・オイル（
ｐｉｎｅ　ｏｉｌ）　、ターピネオールなど；樹脂溶液
例えばパイン・オイル、エチレングリコールモノアセテ
ートのモノブチルエーテル、及びカルピトールのような
溶媒中の低級アルコールのポリメタクリレート或いはエ
チルセルロースの溶液である。
分散媒体は基材に適用した後の迅速な固定を促進する揮
発性液体を含有する或いはそれからなっていてよい。
本発明は今や本発明の好適な実施例を参照にして更に詳
細に記述される。
実施例Ｉ （電導体組成物） 成　分　　　　　　　　　重量％ 電気的性質改変剤−Ａｕ　　　　８２．６ガラス結合剤
　　　　　　　　　２．６Ｌｉ、Ｇｏ、　　　　　　　
　　　　１．８有機媒体　　　　　　　　　　１３．０
＊ガラス結合剤の組成 成分　　　　　　　　　　重量％ ５ｉＯｚ　　　　　　　　　　　２８．４Ｂ、０．　　
　　　　　　　　１９．２ＢａＯ３９、２ Ａｔ！０ｍ　　　　　　　　　　　８．６ＺｒＯ，１，
６ ＷＯ３３，０ ガラス結合剤組成物は、通常の方法に従い、表示した成
分を、特定の組成物を有する混合物を生成させるのに十
分な量で含有する或いは該成分を与える物質を混合する
ことによって製造した。次いでこの混合物を白金ルツボ
中に入れ、そして約１５００℃に約１．５時間加熱した
。次いでガラス組成物を溶融した状態で冷スチールロー
ル上に注ぎ、ミル処理に適当なフレークとした。次いで
これらの７レークを適当な粒径（０，５〜２０ミクロン
）まで粉砕した。得られたガラス粒子を、３０−ルミル
上でロール処理し又は塗料混合機上で得られる混合物と
振とうし、続いて有機印刷賦形剤中に分散させた。この
有機賦形剤は普通ターピネオール又はブチルカルビノー
ルのような適当な溶媒に溶解したエチルセルロースであ
る。所望により公知の添加剤を用いて最終組成物のレオ
ロジー的性質を調節してもよい。粉末は塗料振とう機を
しん動させることによって賦形剤系中に分散させ又はそ
れで湿らすことができた。次いで得られる混合物を３０
−ル塗料ミル中を通して、いずれか凝集した粉末を砕き
、組成物を均質にした。
所望により昇圧下に数回通過させた。
このように製造した厚いフィルム組成物を、細かいメツ
シュのステンレス鋼製スクリーンヲ通して所望の図柄に
強制的に押出す改変された通常の絹スクリーン印刷法に
よって、窒化アルミニウム基材に適用した。（典型的に
はスクリーンの寸法は約２００から３２５メツシユまで
変化しうる）。
次いで組成物を約１００℃で約１０分間乾燥して残存溶
媒を除去した。次いで乾燥した図柄を約８５０℃のピー
ク温度で約１０分間焼成した。全加熱時間は典型的には
約２５〜６０分であった。
試験の結果、電導性ペースト層は基材に付着したことが
観察された。これは３．３ｍΩ／ｍΩ／平方定厚の抵抗
と２４００ｐｓ　ｔの付着力（標準的なエポキシド化ア
ルミニウムびょうの引張り試験による）を有し、そして
電線を結合しえた。
実施例■ （誘電体組成物） 成　分　　　　　　　　　　重量％ ガラス結合剤＊　　　　　　　　　４７．６電気的性質
改変剤 （Ａ）　　Ａｌ１（ｈ　　　　　　　　１３．６（Ｂ）
　　コーディエライト　　　６．８有機賦形剤　　　　
　　　　　　３２．０＊ガラス結合剤の組成 成分　　　　　　　　　　重量％ Ｓｉｎ、　　　　　　　　　　　３８．９ＢａＯ２３，
９ Ｂ、０３１３．４ ＺｎＯ１２，０ ＡＩ、０．　　　　　　　　　　５．０Ｚｒ０＝　　　
　　　　　　　　　　　　　　１．５Ｍｇ０　　　　　
　　　　　　　　　　　５．３上記成分からなる誘電性
の厚いフィルム組成−物を調製し、そして実施例１に記
述したのと同一の方法で窒化アルミニウム基質に適用し
た。
試験時に、ペーストは基剤に付着することが観察された
。ペーストの誘電性は次の如くであった：絶縁抵抗　　
　　　　　１．５〜７．０Ｘ１０”オーム誘電定数　　
　　　　　７．０〜７，５付着　　　　　　　　　７０
００〜８０００ｐｓ　ｉ破損（ｂｒｅａｋｄｏｗｎ）電
圧　４０００ボルト／ミル以上実施例■ （抵抗体組成物） 成　分　　　　　　　　　　　重量％ 電導性相を含む貴金属　　　　　３７．７ガラス結合剤
本　　　　　　　　　３０．４耐火物充填剤組成物　　
　　　　　７．４有機貯蔵剤　　　　　　　　　　２４
．５使用したガラス適合剤は実施例１に用いたものと同
一であり、実施例１と同一の方法で窒化アルミニウム基
材に適用した。
試験した時、ペーストは基材に付着することが観察され
た。このペーストの抵抗性の性質は次の如くであった： シート抵抗性　　　　　　−１０オーム／平方抵抗の温
度係数　　　　　−１００ｐｐｍ／　’０静電放放出度
（ΔＲ−２０００Ｖ％）−２％以下短期過負荷電位（Ｒ
−３，３Ｖ％）−１％以下上述したように、鉱物及び耐
火物酸化物を含む種々の材料を本発明の厚いペースト組
成物に添加して、ペーストを誘電性にもした。これらの
物質は技術的に良く知られているから、ここでは詳細に
記述しない。
本発明の実施に用いる典型的な有機分散媒体はエチルセ
ルロース５〜１５％、チクロトロピー剤０〜５％、及び
有機溶媒例えばターピネオール又はブチルカルピトール
を含む。しかしながら、これらの物質は本発明の一部を
構成しないから、ここで詳細に議論することはしない。
試験データに基づくと、本発明の厚いフィルム又はイン
キ組成物が第４表に示す成分を含む場合に良好な結果が
得られる。
第４表 改変剤（ＥＰＭ） ガラス　　　　　痕跡量−２５６０−１００１０−９８
の比 ここに開示するガラスはその窒化アルミニウムへの結合
能力において新規である。更にそれはその化学的適合性
、良好な湿潤性及び熱膨張係数が特色である。
現在本発明の好適な具体例であると考えられるものをこ
こに記述してきたけれど、種々の変化及び改変は本発明
から逸脱しないで行なえることが同業者にとって明白で
あり、従って特許請求の範囲はすべてのそのような変化
及び改変を本発明の真の精神と範囲内に含むものとして
網羅することが意図される。
本発明の特徴及び態様は以下の通りである：１、（ａ）
　　厚いフィルムペーストの電気的性質を調節するのに
十分な量で存在する電気的性質改変剤成分； （ｂ）　　窒化アルミニウム基材の表面に結合しうる無
鉛又は低鉛のガラス組成物、但し該ガラス組成物は重量
％で二酸化珪素約２７．０〜約５６．５％、酸化バリウ
ム約０〜約４７．０％、酸化ホウ素約４．５〜約２５．
０％、酸化鉛約０〜約１８．０％、酸化亜鉛約０〜約１
５．０％、酸化アルミニウム約３．０〜約１４．０％、
酸化ジルコニウム約０〜約３．０％、酸化マグネシウム
約０〜約８．０％、酸化カルシウム約０〜約１２．０％
、弗素約０〜約３．０％、酸化カリウム約０〜約３゜０
％、酸化ナトリウム約０〜約３．０％、酸化タングステ
ン約０〜約４．０％、及び酸化リチウム約０〜約４．０
％を含み、なお酸化バリウム＋酸化ナトリウムが約１５
．０％に少くとも等しい量で存在し、酸化亜鉛＋酸化カ
ルシウム＋酸化アルミニウムが約５．０％に少くとも等
しい量で存在し、酸化カルシウム＋酸化マグネシウム＋
酸化バリウムが約７．０％に少くとも等しい量で存在し
、酸化カルシウム＋酸化マグネシウム中酸化ジルコニウ
ムが約１．０％に少くとも等しい量で存在し、酸化ジル
コニウム＋酸化カルシウム＋酸化バリウムが約７．０％
に少くとも等しい量で存在し、そして酸化カリウム＋酸
化ナトリウム＋酸化鉛又は酸化バリウムが１０．０％に
少くとも等しい量で存在す４る；そして （ｃ）　　該電気的性質改変剤成分及び該ガラス組成物
に対する有機分散媒体、 を含んでなる窒化アルミニウム基材に結合させるのに適
した厚いフィルムペースト。
２、該ガラス組成物が 成分　　　　　　組成範囲（重量％） Ｓ１０２　　　　　　　　３７−５６−５Ｂａ０　　　
　　　　　　０−２４ Ｂ、０．　　　　　　　　４−１４ ＰｂＯ０−１８ ＺｎＯ０−１２，２ Ａ１２０３　　　　　　　　　　　　３−１ＯＺｒＯ１
０−３ Ｍｇ０　　　　　　　　　　　　　０−６ＣａＯ０−８ Ｆ２　　　　　　　　　　　　　　０−３に、ｏ　　　
　　　　　　　　　　　０−３Ｎａｎｏ　　　　　　　
　　　　　　０−３Ｌｉｄ、　　　　　　　　　　　　
　　０−３を含む上記ｌの厚いフィルム組成物。
３、該ガラス組成物が 成分　　　　　　組成範囲（重量％） ＳｉＯ□　　　　　　　　３８−４５ ＢａＯ１Ｏ−２４ Ｂ２０．　　　　　　　　７−１４ ｐｂ００−１７ ＺｎＯ５−１２，２ ＡＩ２０３　　　　　　　　３−８ Ｚｒ０２　　　　　　　　０−３ Ｍｇ０　　　　　　　　　０−６ ＣａＯ０−７ Ｆ２　　　　　　　　　　　　０−３ ＬｉＯｚ　　　　　　　　　　　　　Ｑ−３を含む上記
１の厚いフィルム組成物。
４、該ガラス組成物が 成分　　　　　　組成範囲（重量％） Ｓｉｎｓ　　　　　　　　　２８−４５ＢａＯ２Ｏ−４
０ Ｂ、０３７−２０ Ａｌｔｏｓ　　　　　　　　　２−１４ＺｒＯｚ　　　
　　　　　　０−３ Ｍｇ０　　　　　　　　　０−８ ＷＯ３０−４ を含む上記１の厚いフィルム組成物。
５、該電気的性質改変剤成分が該１ｉ成物を電導性にす
る物質である上記ｌの厚いフィルム組成物。
６、該ガラス組成物が 成分　　　　　　組成範囲（重量％） ＳｉＯ□　　　　　　　　２８．４ Ｂ２０．　　　　　　　　１９．２ ＢａＯ３９，２ ＡＩｔｏ３　　　　　　　　　　　　８．６Ｚｒ０２　
　　　　　　　　　　　　１．６ＷＯ３３，０ を含む上記５の厚いフィルム組成物。
７、該電気的性質改変剤成分は該組成を誘電性にする物
質である上記１の厚いフィルム組成物。
８、該ガラス組成物が 成分　　　　　　組成範囲（重量％） Ｓｔｏｗ　　　　　　　　　３８．９ ＢａＯ２３、９ Ｂ、０．　　　　　　　　１３．４ ＺｎＯ１２，Ｏ ＡＩ２０ｇ　　　　　　　　　５．０ Ｚｒ０２　　　　　　　　１．５ Ｍｇ０　　　　　　　　　５．３ を含む上記７の厚いフィルム組成物。
９、該電気的性質を調節する物質が該組成物を抵抗性に
する物質である上記ｌの厚いフィルム組成物。
ＩＯ１該ガツガラス組成 成分　　　　　　組成範囲（重量％） Ｓｉｎ、　　　　　　　　　２８．４ Ｂ、０．　　　　　　　　１９．２ ＢａＯ３９，２ ＡＩ、Ｏ，’　　　　　　　　８．６ ＺｒＯ□　　　　　　　　１．６ ＷＯｓ　　　　　　　　　　３．０ を含む上記９の厚いフィルム組成物。
１１、（ａ）　　厚いフィルムペーストの電気的性質を
調節するのに十分な量で存在する電気的性質改変剤成分
： （ｂ）　　窒化アルミニウム基材の表面に結合しうる無
鉛又は低鉛ガラス組成物、但し 該ガラス組成物が重量％で二酸化珪素約３６．０〜約４
２．０％、酸化バリウム約２０．０〜約２５゜０％、酸
化ホウ素約１Ｏ９０〜約１６．０％、酸化亜鉛約９．０
〜約１４．０％、酸化アルミニウム約３．０〜約８．０
％、酸化ジルコニウム約θ〜約３゜０％、そして酸化マ
グネシウム約０〜約６．０％を含み、なお酸化ジルコニ
ウム＋マグネシウムカ少くとも約１．０％の量で存在す
る；そして（ｃ）　　該電気的性質改変剤成分及び該ガ
ラス組成物に対する有機分散媒体、 を含んでなる窒化アルミニウム基材に結合させるのに適
した厚いフィルムペースト組成物。
１２、（ａ）　　厚いフィルムペーストの電気的性質を
調節するのに十分な量で存在する電気的性質改変剤成分
； （ｂ）　　窒化アルミニウム基材の表面に結合しうる無
鉛又は低鉛ガラス組成物、但し 該ガラス組成物が重量％で二酸化珪素約４０．０〜約４
８．０％、酸化バリウム約８．０〜約１６゜０％、酸化
ホウ素約６．０〜約１１．０％、酸化鉛的８．０〜約１
８．０％、酸化亜鉛約０〜約５，０％、酸化アルミニウ
ム約３．０〜約７．０％、酸化ジルコニウム約θ〜約３
．０％、酸化マグネシウム約０〜約６．０％、酸化カル
シウム約２．０〜約８．０％、弗素約０〜約３．０％、
及び酸化リチウム約θ〜約３．０％を含み、なお酸化亜
鉛＋酸化カルシウムが少くとも５．０％の量で存在し、
酸化マグネシウム＋酸化カルシウムが少くとも５゜０％
の量で存在し、酸化亜鉛＋酸化カルシウムが少くとも３
．０％の量で存在し、弗素＋酸化鉛示少くとも９．０％
の量で存在し、そして酸化リチウム＋酸化鉛が少くとも
１０．０％の量で存在する；そして （ｃ）　　該電気的性質改変剤成分及び該ガラス組成物
に対する有機分散媒体、 を含んでなる窒化アルミニウム基材に結合させるのに適
した厚いフィルムペースト組成物。
１３、（ａ）　　厚いフィルムペーストの電気的性質を
調節するのに十分な量で存在する電気的性質改変剤成分
； （ｂ）　　窒化アルミニウム基材の表面に結合しうる無
鉛又は低鉛ガラス組成物、・但し該ガラス組成物が重量
％で二酸化珪素約２８．０〜約３８．０％、酸化バリウ
ム約３５．０〜約４０゜０％、酸化ホウ素約７．０〜約
２０．０％、酸化アルミニウム約８．０〜約１４．０％
、酸化ジルコニウム０〜約２．０％、そして酸化タング
ステン約０〜約４．０％を含み、なお酸化ジルコニウム
＋酸化タングステンが少くとも１．０％の量で存在する
；そして （ｃ）　　該電気的性質改変剤成分及び該ガラス組成物
に対する有機分散媒体、 を含んでなる窒化アルミニウムに結合させるのに適した
厚いフィルムペースト組成物。
１４、（ａ）　　厚いフィルムペアストの電気的性質を
調節するのに十分な量で存在する電気的性質改変剤成分
； （ｂ）　　窒化アルミニウム基材の表面に結合しうる無
鉛又は低鉛のガラス組成物、但し該ガラス組成物が重量
％で二酸化珪素約５０．０〜約５６．５％、酸化バリウ
ム約０〜約５．０％、酸化ホウ素約３．０〜約５．０％
、酸化鉛約１Ｏ１０〜約１８．０％、酸化アルミニウム
７〜約１１゜０％、酸化カルシウム約７〜約１２．０％
、そして酸化カリウム約０〜約３．０％を含み、なお酸
化バリウム＋酸化カルシウムが少くとも９．０％の量で
存在し、酸化カリウム＋酸化カルシウムが少くとも８．
０％の量で存在する；そして（ｃ）　該電気的性質改変
剤成分及び該ガラス組成物に対する有機分散媒体、 を含んでなる窒化アルミニウム基材に結合させるのに適
した厚いフィルムペースト組成物。
１５−　ａ）　　窒化アルミニウム基材を準備し；ｂ）
（ｉ）　　厚いフィルムペーストの電気的性質を調節す
るのに十分な量で存在する電気的性質改変剤成分； （ｉ）　窒化アルミニウム基材の表面に結合しうる無鉛
又は低鉛のガラス組成物、但し該ガラス組成物は重量％
で二酸化珪素約２７．０〜約５６．５％、酸化バリウム
約０〜約４７．０％、酸化ホウ素約４．５〜約２５．０
％、酸化鉛約０〜約１８．０％、酸化亜鉛的０〜約１．
５．０％、酸化アルミニウム約３．０〜約１４．０％、
酸化ジルコニウム約０〜約３．０％、酸化マグネシウム
約０〜約８．０％、酸化カルシウム約０〜約１２．０％
、弗素約０〜約３．０％、酸化カリウム約０〜約３゜０
％、酸化ナトリウム約０〜約３．０％、酸化タングステ
ン約０〜約４．０％、及び酸化リチウム約０〜約４．０
％を含み、なお酸化バリウム＋酸化ナトリウムが約１５
．０％に少くとも等しい量で存在し、酸化亜鉛＋酸化カ
ルシウム＋酸化アルミニウムが約５．０％に少くとも等
しい量で存在し、酸化カルシウム＋酸化マグネシウム中
酸化バリウムが約７．０％に少くとも等しい量で存在し
、酸化カルシウム＋酸化マグネシウム＋酸化ジルコニウ
ムが約１．０％に少くとも等しい量で存在し、酸化ジル
コニウム＋酸化カルシウム＋酸化バリウムが約７．０％
に少くとも等しい量で存在し、そして酸化カリウム＋酸
化ナトリウム＋酸化船又は酸化バリウムが１０００％に
少くとも等しい量で存在する；キして （ｉｉｉ）　　該電気的性質改変剤成分及び該ガラス組
成物に対する有機分散媒体、 を含む厚いフィルムペースト組成物を該窒化アルミニウ
ム基材に適用し；そして Ｃ）　このように適用したペースト組成物を、該ガラス
組成物が該窒化アルミニウム基材に結合するようになら
しめるのに十分な温度まで加熱する、 厚いフィルムペーストを窒化アルミニウム基材に付着さ
せる方法。
１６、該電気的性質改変剤成分が該組成物を電導性にす
る物質である上記１５の方法。
１７、該電気的性質改変剤成分が該組成物を誘電性にす
る物質である上記１５の方法。
１８、該電気的性質を調節する物質が該組成物を抵抗性
にする物質である上記Ｉ５の方法。
１９、電導性、誘電性又は抵抗性のいずれかであり、但
し重量％で、二酸化珪素約２７，０〜約５６．５％、酸
化バリウム約０〜約４７．０％、酸化ホウ素約４．５〜
約２５．０％、酸化鉛約０〜約１８．０％、酸化亜鉛約
０〜約１５．０％、酸化アルミニウム約３．０〜約１４
．０％、酸化ジルコニウム約０〜約３．０％、酸化マグ
ネシウム約０〜約８．０％、酸化カルシウム約０〜約１
２．０％、弗素約０〜約３．０％、酸化カリウム約０〜
約３゜０％、酸化ナトリウム約０〜約３．０％、酸化タ
ングステン約０〜約４．０％、及び酸化リチウム約０〜
約４．０％を含み、なお酸化バリウム＋酸化ナトリウム
が約１５．０％に少くとも等しい量で存在し、酸化亜鉛
＋酸化カルシウム＋酸化アルミニウムが約５．０％に少
くとも等しい量で存在し、酸化カルシウム＋酸化マグネ
シウム中酸化バリウムが約７．０％に少くとも等しい量
で存在し、酸化カルシウム＋酸化マグネシウム＋酸化ジ
ルコニウムが約１．０％に少くとも等しい量で存在し、
酸化ジルコニウム＋酸化カルシウム＋酸化バリウムが約
７．０％に少くとも等しい量で存在し、そして酸化カリ
ウム＋酸化ナトリウム＋酸化船又は酸化バリウムが１０
００％に少くとも等しい量で存在する、ガラス組成物を
、表面の少くとも一部分に結合させた窒化アルミニウム
基材。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、（ａ）厚いフィルムペーストの電気的性質を調節す
    るのに十分な量で存在する電気的性質改変剤成分； （ｂ）窒化アルミニウム基材の表面に結合しうる無鉛又
    は低鉛のガラス組成物、ここで 該ガラス組成物は、重量％で、二酸化珪素約２７．０〜
    約５６．５％、酸化バリウム約０〜約４７．０％、酸化
    ホウ素約４．５〜約２５．０％、酸化鉛約０〜約１８．
    ０％、酸化亜鉛約０〜約１５．０％、酸化アルミニウム
    約３．０〜約１４．０％、酸化ジルコニウム約０〜約３
    ．０％、酸化マグネシウム約０〜約８．０％、酸化カル
    シウム約０〜約１２．０％、弗素約０〜約３．０％、酸
    化カリウム約０〜約３．０％、酸化ナトリウム約０〜約
    ３．０％、酸化タングステン約０〜約４．０％、及び酸
    化リチウム約０〜約４．０％を含み、そして酸化バリウ
    ム＋酸化鉛が約１５．０％に少くとも等しい量で存在し
    、酸化亜鉛＋酸化カルシウム＋酸化アルミニウムが約５
    ．０％に少くとも等しい量で存在し、酸化カルシウム＋
    酸化マグネシウム＋酸化バリウムが約７．０％に少くと
    も等しい量で存在し、酸化カルシウム＋酸化マグネシウ
    ム＋酸化ジルコニウムが約１．０％に少くとも等しい量
    で存在し、酸化ジルコニウム＋酸化カルシウム＋酸化バ
    リウムが約７．０％に少くとも等しい量で存在し、そし
    て酸化カリウム＋酸化ナトリウム＋酸化鉛又は酸化バリ
    ウムが１０．０％に少くとも等しい量で存在する；そし
    て （ｃ）該電気的性質改変剤成分及び該ガラス組成物に対
    する有機分散媒体、 を含んでなる窒化アルミニウム基材に結合させるのに適
    した厚いフィルムペースト。 ２、（ａ）厚いフィルムペーストの電気的性質を調節す
    るのに十分な量で存在する電気的性質改変剤成分； （ｂ）窒化アルミニウム基材の表面に結合しうる無鉛又
    は低鉛ガラス組成物、ここで 該ガラス組成物は重量％で二酸化珪素約３６．０〜約４
    ２．０％、酸化バリウム約２０．０〜約２５．０％、酸
    化ホウ素約１０．０〜約１６．０％、酸化亜鉛約９．０
    〜約１４．０％、酸化アルミニウム約３．０〜約８．０
    ％、酸化ジルコニウム約０〜約３．０％、そして酸化マ
    グネシウム約０〜約６．０％を含み、そして酸化ジルコ
    ニウム＋マグネシウムが少くとも約１．０％の量で存在
    する； そして （ｃ）該電気的性質改変剤成分及び該ガラス組成物に対
    する有機分散媒体、 を含んでなる窒化アルミニウム基材に結合させるのに適
    した厚いフィルムペースト組成物。 ３、（ａ）厚いフィルムペーストの電気的性質を調節す
    るのに十分な量で存在する電気的性質改変剤成分； （ｂ）窒化アルミニウム基材の表面に結合しうる無鉛又
    は低鉛ガラス組成物、ここで 該ガラス組成物は重量％で、二酸化珪素約４０．０〜約
    ４８．０％、酸化バリウム約８．０〜約１６．０％、酸
    化ホウ素約６．０〜約１１．０％、酸化鉛約８．０〜約
    １８．０％、酸化亜鉛約０〜約５．０％、酸化アルミニ
    ウム約３．０〜約７．０％、酸化ジルコニウム約０〜約
    ３．０％、酸化マグネシウム約０〜約６．０％、酸化カ
    ルシウム約２．０〜約８．０％、弗素約０〜約３．０％
    、及び酸化リチウム約０〜約３．０％を含み、そして酸
    化亜鉛＋酸化カルシウムが少くとも５．０％の量で存在
    し、酸化マグネシウム＋酸化カルシウムが少くとも５．
    ０％の量で存在し、酸化亜鉛＋酸化カルシウムが少くと
    も３．０％の量で存在し、弗素＋酸化鉛が少くとも９．
    ０％の量で存在し、そして酸化リチウム＋酸化鉛が少く
    とも１０．０％の量で存在する；そして （ｃ）該電気的性質改変剤成分及び該ガラス組成物に対
    する有機分散媒体、 を含んでなる窒化アルミニウム基材に結合させるのに適
    した厚いフィルムペースト組成物。 ４、（ａ）厚いフィルムペーストの電気的性質を調節す
    るのに十分な量で存在する電気的性質改変剤成分； （ｂ）窒化アルミニウム基材の表面に結合しうる無鉛又
    は低鉛ガラス組成物、ここで 該ガラス組成物は、重量％で、二酸化珪素約２８．０〜
    約３８．０％、酸化バリウム約３５．０〜約４０．０％
    、酸化ホウ素約７．０〜約２０．０％、酸化アルミニウ
    ム約８．０〜約１４．０％、酸化ジルコニウム０〜約２
    ．０％、そして酸化タングステン約０〜約４．０％を含
    み、そして酸化ジルコニウム＋酸化タングステンが少く
    とも１．０％の量で存在する；そして （ｃ）該電気的性質改変剤成分及び該ガラス組成物に対
    する有機分散媒体、 を含んでなる窒化アルミニウムに結合させるのに適した
    厚いフィルムペースト組成物。 ５、（ａ）厚いフィルムペーストの電気的性質を調節す
    るのに十分な量で存在する電気的性質改変剤成分； （ｂ）窒化アルミニウム基材の表面に結合しうる無鉛又
    は低鉛のガラス組成物、ここで 該ガラス組成物は、重量％で、二酸化珪素約５０．０〜
    約５６．５％、酸化バリウム約０〜約５．０％、酸化ホ
    ウ素約３．０〜約５．０％、酸化鉛約１０．０〜約１８
    ．０％、酸化アルミニウム７〜約１１．０％、酸化カル
    シウム約７〜約１２．０％、そして酸化カリウム約０〜
    約３．０％を含み、そして酸化バリウム＋酸化カルシウ
    ムが少くとも９．０％の量で存在し、酸化カリウム＋酸
    化カルシウムが少くとも８．０％の量で存在する； そして（ｃ）該電気的性質改変剤成分及び該ガラス組成
    物に対する有機分散媒体、 を含んでなる窒化アルミニウム基材に結合させるのに適
    した厚いフィルムペースト組成物。 ６、ａ）窒化アルミニウム基材を準備し； ｂ）（ｉ）厚いフィルムペーストの電気的性質を調節す
    るのに十分な量で存在する電気的性質改変剤成分； （ｉｉ）窒化アルミニウム基材の表面に結合しうる無鉛
    又は低鉛のガラス組成物、ここで該ガラス組成物は、重
    量％で、二酸化珪素約２７．０〜約５６．５％、酸化バ
    リウム約０〜約４７．０％、酸化ホウ素約４．５〜約２
    ５．０％、酸化鉛約０〜約１８．０％、酸化亜鉛約０〜
    約１５．０％、酸化アルミニウム約３．０〜約１４．０
    ％、酸化ジルコニウム約０〜約３．０％、酸化マグネシ
    ウム約０〜約８．０％、酸化カルシウム約０〜約１２．
    ０％、弗素約０〜約３．０％、酸化カリウム約０〜約３
    ．０％、酸化ナトリウム約０〜約３．０％、酸化タング
    ステン約０〜約４．０％、及び酸化リチウム約０〜約４
    ．０％を含み、そして酸化バリウム＋酸化鉛が約１５．
    ０％に少くとも等しい量で存在し、酸化亜鉛＋酸化カル
    シウム＋酸化アルミニウムが約５．０％に少くとも等し
    い量で存在し、酸化カルシウム＋酸化マグネシウム＋酸
    化バリウムが約７．０％に少くとも等しい量で存在し、
    酸化カルシウム＋酸化マグネシウム＋酸化ジルコニウム
    が約１．０％に少くとも等しい量で存在し、酸化ジルコ
    ニウム＋酸化カルシウム＋酸化バリウムが約７．０％に
    少くとも等しい量で存在し、そして酸化カリウム＋酸化
    ナトリウム＋酸化鉛又は酸化バリウムが１０．０％に少
    くとも等しい量で存在する；そして （ｉｉｉ）該電気的性質改変剤成分及び該ガラス組成物
    に対する有機分散媒体、 を含む厚いフィルムペースト組成物を該窒化アルミニウ
    ム基材に適用し；そして ｃ）このように適用したペースト組成物を、該ガラス組
    成物が該窒化アルミニウム基材に結合するようにならし
    めるのに十分な温度まで加熱する、 厚いフィルムペーストを窒化アルミニウム基材に付着さ
    せる方法。 ７、電導性、誘電性又は抵抗性のいずれかであり、そし
    て重量％で、二酸化珪素約２７．０〜約５６．５％、酸
    化バリウム約０〜約４７．０％、酸化ホウ素約４．５〜
    約２５．０％、酸化鉛約０〜約１８．０％、酸化亜鉛約
    ０〜約１５．０％、酸化アルミニウム約３．０〜約１４
    ．０％、酸化ジルコニウム約０〜約３．０％、酸化マグ
    ネシウム約０〜約８．０％、酸化カルシウム約０〜約１
    ２．０％、弗素約０〜約３．０％、酸化カリウム約０〜
    約３．０％、酸化ナトリウム約０〜約３．０％、酸化タ
    ングステン約０〜約４．０％、及び酸化リチウム約０〜
    約４．０％を含み、そして酸化バリウム＋酸化鉛が約１
    ５．０％に少くとも等しい量で存在し、酸化亜鉛＋酸化
    カルシウム＋酸化アルミニウムが約５．０％に少くとも
    等しい量で存在し、酸化カルシウム＋酸化マグネシウム
    ＋酸化バリウムが約７．０％に少くとも等しい量で存在
    し、酸化カルシウム＋酸化マグネシウム＋酸化ジルコニ
    ウムが約１．０％に少くとも等しい量で存在し、酸化ジ
    ルコニウム＋酸化カルシウム＋酸化バリウムが約７．０
    ％に少くとも等しい量で存在し、そして酸化カリウム＋
    酸化ナトリウム＋酸化鉛又は酸化バリウムが１０．０％
    に少くとも等しい量で存在する、ガラス組成物を、表面
    の少なくとも一部分に結合させた窒化アルミニウム基材
    。
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