JPH0160763B2 - - Google Patents
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- JPH0160763B2 JPH0160763B2 JP15502681A JP15502681A JPH0160763B2 JP H0160763 B2 JPH0160763 B2 JP H0160763B2 JP 15502681 A JP15502681 A JP 15502681A JP 15502681 A JP15502681 A JP 15502681A JP H0160763 B2 JPH0160763 B2 JP H0160763B2
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- Japan
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- circuit
- data
- projection
- shift
- register
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 24
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 6
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 4
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims description 2
- 238000011895 specific detection Methods 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7088—Alignment mark detection, e.g. TTR, TTL, off-axis detection, array detector, video detection
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は撮像系を有する認識装置に係り、特に
トランジスタ、集積回路等のパターン位置を検出
するパターン位置検出装置に関する。
トランジスタ、集積回路等のパターン位置を検出
するパターン位置検出装置に関する。
従来、トランジスタ集積回路等のパターン位置
を検出する場合には、接点アドレスから演算によ
り必要とする位置情報を求めていた。
を検出する場合には、接点アドレスから演算によ
り必要とする位置情報を求めていた。
第１図は、トランジスタチツプパターンの２接
点アドレスを示す。撮像系より得られた画像情報
をたとえば上から横方向に順次走査１−１，〜，
１−３して最初にチツプ５に接した点３を第１の
接点アドレスとし、逆に下から順次走査２−１，
〜，２−４して最初にチツプ５に接した点４を第
２の接点アドレスとしてこの２つのアドレスとあ
らかじめ求めてある接点からの距離ａ，ｂを用い
て必要とする座標６，７を求めていた。
点アドレスを示す。撮像系より得られた画像情報
をたとえば上から横方向に順次走査１−１，〜，
１−３して最初にチツプ５に接した点３を第１の
接点アドレスとし、逆に下から順次走査２−１，
〜，２−４して最初にチツプ５に接した点４を第
２の接点アドレスとしてこの２つのアドレスとあ
らかじめ求めてある接点からの距離ａ，ｂを用い
て必要とする座標６，７を求めていた。
前記方法はｙ軸方向はテレビカメラの走査精度
まで求めることが可能であるが、ｘ軸方向はたと
えばパツドの曲率等によつても変化するため、高
い精度は望めなかつた。
まで求めることが可能であるが、ｘ軸方向はたと
えばパツドの曲率等によつても変化するため、高
い精度は望めなかつた。
第２図は前記ｘ軸方向の誤差を示す。
第１図と比較して明らかな様に、走査する位置
によつてｘ軸方向に対して接点３′，４′は大きく
変化している。
によつてｘ軸方向に対して接点３′，４′は大きく
変化している。
前記方法を改善する方法としてあらかじめ定め
られている２つの検出窓を用いて、撮像系より得
られた映像信号を切り出し、その結果を投影し投
影データの変化点をパターンの切片として２方向
から求める方法がある。
られている２つの検出窓を用いて、撮像系より得
られた映像信号を切り出し、その結果を投影し投
影データの変化点をパターンの切片として２方向
から求める方法がある。
前記方法は精度は向上するが雑音たとえばＰ−
Ｐ傷等によつて切片を誤検出することがある。
Ｐ傷等によつて切片を誤検出することがある。
本発明は前記問題点を解決するものであり、そ
の目的は誤差が少くまた雑音に強いパターン位置
検出装置を提供することにある。
の目的は誤差が少くまた雑音に強いパターン位置
検出装置を提供することにある。
本発明の特徴とするところは、撮像系を有する
認識装置において映像信号を２値あるいは３値化
するデジタル化回路と前記デジタル化回路の出力
信号を特定の検出窓によつて切り出す切り出し回
路と、前記切り出し回路によつて切り出された前
記検出窓内のデータを列単位に合計し、一行の数
値データに変換する投影回路と、前記投影回路に
よつて得られた投影結果とあらかじめ求められて
いる規準投影データとの差を求める比較回路と、
前記投影結果をドツト単位でシフトするシフト回
路と、前記投影結果を前記シフト回路でシフトす
る度に前記規準投影データとの差を求め前記比較
回路の結果が最小となる位置をパターン位置とし
て検出する検出回路から成り、少なくとも二つの
検出窓を用いて複数方向からのパターン位置を求
めることを特徴とするパターン位置検出装置にあ
る。
認識装置において映像信号を２値あるいは３値化
するデジタル化回路と前記デジタル化回路の出力
信号を特定の検出窓によつて切り出す切り出し回
路と、前記切り出し回路によつて切り出された前
記検出窓内のデータを列単位に合計し、一行の数
値データに変換する投影回路と、前記投影回路に
よつて得られた投影結果とあらかじめ求められて
いる規準投影データとの差を求める比較回路と、
前記投影結果をドツト単位でシフトするシフト回
路と、前記投影結果を前記シフト回路でシフトす
る度に前記規準投影データとの差を求め前記比較
回路の結果が最小となる位置をパターン位置とし
て検出する検出回路から成り、少なくとも二つの
検出窓を用いて複数方向からのパターン位置を求
めることを特徴とするパターン位置検出装置にあ
る。
以下、図面を用いて本発明の詳細な説明を行
う。
う。
第３図は本発明のパターン位置検出装置の動作
を示すフローチヤートである。
を示すフローチヤートである。
撮像系処理１０によつて得られた映像信号は３
値化回路１１によつて画素単位に、３値のデジタ
ルデータに変換され、フレームメモリ１２に格納
される。
値化回路１１によつて画素単位に、３値のデジタ
ルデータに変換され、フレームメモリ１２に格納
される。
前記格納されたデジタルデータを用いてチツプ
コーナ検出１３によつて半導体チツプのコーナが
検出され、さらにそのデータを用いてパターン検
出窓が決定される。
コーナ検出１３によつて半導体チツプのコーナが
検出され、さらにそのデータを用いてパターン検
出窓が決定される。
前記検出窓を用いて次に検出窓内投影値計数１
５が行われる。
５が行われる。
投影値計数１５では検出窓内のデータを列単位
に合計し一行の数値データすなわち投影データ
A0に変換する。
に合計し一行の数値データすなわち投影データ
A0に変換する。
前記投影データA0を用いて±ｎビツトの行方
向のシフト処理を行なう。
向のシフト処理を行なう。
＋１ビツトシフトの投影データA1はＭ−１ビ
ツトの対応ビツト数を有し、＋ｎビツトシフトで
はＭ−ｎの対応ビツト数を、−ｎビツトシフトで
はＭ−ｎの対応ビツト数を有する。
ツトの対応ビツト数を有し、＋ｎビツトシフトで
はＭ−ｎの対応ビツト数を、−ｎビツトシフトで
はＭ−ｎの対応ビツト数を有する。
対応ビツトとはビツトをシフトするために生じ
る有効範囲からのはずれを考慮した有効処理範囲
内の有効ビツトを意味し、ビツトは列単位に合計
した値を示す。
る有効範囲からのはずれを考慮した有効処理範囲
内の有効ビツトを意味し、ビツトは列単位に合計
した値を示す。
次にシフト処理によつて得られたデータA1〜
An、Ａ−１〜Ａ−ｎ並びに投影データA0を用い
てあらかじめ求められている基準投影値１７との
減算１６を行ない、さらにビツト差の総和平均演
算１８すなわち各ビツトに対応した減算結果の絶
対値を合計し、対応ビツト数で割る演算を行な
う。
An、Ａ−１〜Ａ−ｎ並びに投影データA0を用い
てあらかじめ求められている基準投影値１７との
減算１６を行ない、さらにビツト差の総和平均演
算１８すなわち各ビツトに対応した減算結果の絶
対値を合計し、対応ビツト数で割る演算を行な
う。
次に、前記演算データ１８の結果の最小値を検
出１９する。
出１９する。
その結果は最適マツチングアドレスしてパツド
中心アドレス演算２１に出力２０される。パツド
中心アドレス演算２１では前記結果を用いてパツ
ド中心アドレスの演算を行ない出力する。
中心アドレス演算２１に出力２０される。パツド
中心アドレス演算２１では前記結果を用いてパツ
ド中心アドレスの演算を行ない出力する。
すなわち、最小値検出１９によつて得られるデ
ータは基準投影値１７と最も近い値の投影データ
の位置を示しており、この位置データによつてパ
ターンがどの位置にあるかを検出できるのでパツ
ド中心アドレス演算ではあらかじめ求められてい
るパターンとパツト中心との関係とパターン位置
データを用いてパツトの中心を求める。
ータは基準投影値１７と最も近い値の投影データ
の位置を示しており、この位置データによつてパ
ターンがどの位置にあるかを検出できるのでパツ
ド中心アドレス演算ではあらかじめ求められてい
るパターンとパツト中心との関係とパターン位置
データを用いてパツトの中心を求める。
第４図は本発明の実施例を示す。
コンピユータ等のバス２２に基準投影値レジス
タ２３の入力２４、投影値データレジスタ２５の
入力２６、クロツク入力２７、シフト回数カウン
タ２８のクロツク入力２９、シフト位置レジスタ
３０の出力３１、マルチプレクサ４７の入力４８
が接続されている。
タ２３の入力２４、投影値データレジスタ２５の
入力２６、クロツク入力２７、シフト回数カウン
タ２８のクロツク入力２９、シフト位置レジスタ
３０の出力３１、マルチプレクサ４７の入力４８
が接続されている。
基準投影値レジスタ２３の出力３２は、データ
レジスタ３３の入力３４に入る。
レジスタ３３の入力３４に入る。
データレジスタ３３のパラレル出力３５は減算
回路３６の第一の入力３７に入る。
回路３６の第一の入力３７に入る。
投影値データレジスタ２５の出力３８は、デー
タレジスタ３９の入力４０に接続される。
タレジスタ３９の入力４０に接続される。
データシフトレジスタ３９の出力４１は減算回
路３６の第２の入力４２に入る。
路３６の第２の入力４２に入る。
減算回路３６の出力４３はマルチプレクサ４４
の第１の入力４５に、マルチプレクサ４７の出力
４９はシフトレジスタ５０の入力５１にそれぞれ
接続される。
の第１の入力４５に、マルチプレクサ４７の出力
４９はシフトレジスタ５０の入力５１にそれぞれ
接続される。
シフトレジスタ５０の出力５２はマルチプレク
サ４４の第２の入力５３に入る。
サ４４の第２の入力５３に入る。
マルチプレクサ４４の出力５４は演算回路５５
の入力５６に接続される。
の入力５６に接続される。
シフト回路カウンタ２８の出力４６は、コンパ
レータ５７の第一入力５８、減算器５９の第一入
力６０、シフトレジスタ３０の第一の入力６１に
入る。
レータ５７の第一入力５８、減算器５９の第一入
力６０、シフトレジスタ３０の第一の入力６１に
入る。
レジスタ数Ｎメモリー６２の第一の出力６３
は、コンパレータ５７の第二の入力６４、第二の
出力６５は減算器５９の第二の入力６６にそれぞ
れ接続される。
は、コンパレータ５７の第二の入力６４、第二の
出力６５は減算器５９の第二の入力６６にそれぞ
れ接続される。
コンパレータ５７の出力８４はマルチプレクサ
４７の第二の入力８５に入る。
４７の第二の入力８５に入る。
加算回路５５の出力６７は、割算器６８の第一
の入力６９に、減算器５９の出力７０は割算器６
８の第二の入力７１にそれぞれ入る。
の入力６９に、減算器５９の出力７０は割算器６
８の第二の入力７１にそれぞれ入る。
割算器６８の出力７２は割算値レジスタ７３の
入力７４に接続される。
入力７４に接続される。
割算値レジスタ７３の第一の出力７５は最小値
レジスタ７６の入力７７に、第二のの出力７８は
コンパレータ７９の第一の入力Ａにそれぞれ接続
される。
レジスタ７６の入力７７に、第二のの出力７８は
コンパレータ７９の第一の入力Ａにそれぞれ接続
される。
最小値レジスタ７６の出力８０はコンパレータ
７９の第二の入力Ｂに入る。
７９の第二の入力Ｂに入る。
コンパレータ７９の出力８１は、最小値レジス
タ７６のロード入力８２、シフト位置レジスタ３
０のロード入力８３に入る。
タ７６のロード入力８２、シフト位置レジスタ３
０のロード入力８３に入る。
２値あるいは３値化された映像信号すなわちデ
ジタルデータは投影値データレジスタ２５に格納
される。
ジタルデータは投影値データレジスタ２５に格納
される。
また基準投影値は基準投影値レジスタ２３を介
してデータレジスタ２５に格納される。
してデータレジスタ２５に格納される。
投影値データレジスタ２５に格納されたデジタ
ルデータは、バス２２より出力されるクロツクに
よつて順次データシフトレジスタ３９に格納され
る。また同時にシフト回数カウンタ２９にもクロ
ツク入力は入り、順次シフト回数カウンタプラス
１する。
ルデータは、バス２２より出力されるクロツクに
よつて順次データシフトレジスタ３９に格納され
る。また同時にシフト回数カウンタ２９にもクロ
ツク入力は入り、順次シフト回数カウンタプラス
１する。
コンパレータ５７では、あらかじめレジスタ数
Ｎメモリ６２に格納されているデータと前記シフ
ト回数カウンタ−２８の内容とを比較し、シフト
回数カウンタ２８の内容がレジスタ数Ｎメモリの
内容より大きくなるまで１を出力し、マルチプレ
クサによつて１を表すクロツクがシフトレジスタ
５０に順次出力され格納される。
Ｎメモリ６２に格納されているデータと前記シフ
ト回数カウンタ−２８の内容とを比較し、シフト
回数カウンタ２８の内容がレジスタ数Ｎメモリの
内容より大きくなるまで１を出力し、マルチプレ
クサによつて１を表すクロツクがシフトレジスタ
５０に順次出力され格納される。
即ち、シフトレジスタ５０には有効を表す対応
ビツトが格納される。
ビツトが格納される。
減算回路３６では基準計測値を右あるいは左に
シフトされた投影値データとをたえず減算し、マ
ルチプレクサ４４に出力する。
シフトされた投影値データとをたえず減算し、マ
ルチプレクサ４４に出力する。
マルチプレクサ４４ではシフトレジスタ５０に
格納されている対応ビツトすなわち１に対応した
減算結果のみを加算回路に出力する。
格納されている対応ビツトすなわち１に対応した
減算結果のみを加算回路に出力する。
加算回路では、有効ビツトに対応した減算結果
のみを加算し、割算器６８に出力する。
のみを加算し、割算器６８に出力する。
減算器５９ではシフト回数カウンタの内容とレ
ジスタ−数Ｎメモリ６２の内容を用いてＮ−｜Ｎ
−ｎ｜即ち対応ビツト数の演算を行い、その結果
を割算器６８に出力する。尚、Ｎはレジスタ数Ｎ
メモリ６２の内容であり、ｎはシフト回数カウン
タの内容である。
ジスタ−数Ｎメモリ６２の内容を用いてＮ−｜Ｎ
−ｎ｜即ち対応ビツト数の演算を行い、その結果
を割算器６８に出力する。尚、Ｎはレジスタ数Ｎ
メモリ６２の内容であり、ｎはシフト回数カウン
タの内容である。
割算器６８は対応ビツト数で加算結果を割る演
算を行ない、割算値レジスタ７３に格納する。
算を行ない、割算値レジスタ７３に格納する。
前記格納された結果は最小値レジスタ７６の内
容とコンパレータ７９で比較され、割算値レジス
タ７３に格納されている内容が小さい場合には最
小値レジスタ７６にその内容を格納するとともに
シフト位置レジスタにシフトカウンタ２８の内容
を格納する。
容とコンパレータ７９で比較され、割算値レジス
タ７３に格納されている内容が小さい場合には最
小値レジスタ７６にその内容を格納するとともに
シフト位置レジスタにシフトカウンタ２８の内容
を格納する。
バス２２より出力されるクロツクに対して前記
動作は順次行なわれ、その結果すなわちパターン
の最適位置データはシフト位置レジスタに格納さ
れる。
動作は順次行なわれ、その結果すなわちパターン
の最適位置データはシフト位置レジスタに格納さ
れる。
第４図は、１つの検出窓について説明したが前
記動作と複数回にわたつて複数方向から求めるこ
とにより正確なパターン位置を検出することがで
きる。
記動作と複数回にわたつて複数方向から求めるこ
とにより正確なパターン位置を検出することがで
きる。
第５図ａ，ｂは本発明の実施例の動作を示す。
パツドパターン９０のデジタルデータを検出窓
９１，９２で切り出し、それぞれの方向に投影す
る。投影値データA0は検出窓９１の投影値を示
す。
９１，９２で切り出し、それぞれの方向に投影す
る。投影値データA0は検出窓９１の投影値を示
す。
基準投影値Akと前記投影値データA0の各ビツ
トの差の絶対値の合計At0を求める。さらに１ビ
ツト左へシフトA1した時のAkとA1の差At1を求
める。
トの差の絶対値の合計At0を求める。さらに１ビ
ツト左へシフトA1した時のAkとA1の差At1を求
める。
同様にして基準投影値Akと投影値データAnよ
りAtnを求める。
りAtnを求める。
絶対値の合計Atnはシフト量が多くなると対応
ビツト数が減少するので当然減少する。
ビツト数が減少するので当然減少する。
その為ビツト単位の差を求める。
即ち前記Atnを対応ビツト数で割ると、At0／n0＝
71／15、At1／n1＝111／14、At2／n2＝148／13、At−1
／ｎ−1＝45／14、 At−2／ｎ−2＝73／13となる。
／ｎ−1＝45／14、 At−2／ｎ−2＝73／13となる。
Ａ−1の時、そのデータ即ち（絶対値の合計
At1）÷（対応ビツト数Ａ−１）が最小となり、Ａ
−１の位置が一致と判断される。
At1）÷（対応ビツト数Ａ−１）が最小となり、Ａ
−１の位置が一致と判断される。
上述したように、本発明は、あらかじめ入力さ
れている複数の検出窓サイズとチツプコーナから
の距離から演算した複数の検出窓内のパターンデ
ータをあらかじめ記録しておいた基準投影値と比
較する際に相互の比較位置を複数ビツトずらした
ものと比較減算しさらに対応ビツト数で割つた値
の最小値をパターン位置として検知するパターン
位置検出装置を提供するものであり、本発明によ
ればＰ−Ｐ傷に影響されない精度のよいパターン
位置を検出可能にする。
れている複数の検出窓サイズとチツプコーナから
の距離から演算した複数の検出窓内のパターンデ
ータをあらかじめ記録しておいた基準投影値と比
較する際に相互の比較位置を複数ビツトずらした
ものと比較減算しさらに対応ビツト数で割つた値
の最小値をパターン位置として検知するパターン
位置検出装置を提供するものであり、本発明によ
ればＰ−Ｐ傷に影響されない精度のよいパターン
位置を検出可能にする。
第１，２図は従来のパターン位置検出方法を示
すパツドパターン図、第３図は本発明の処理プロ
セスを示すフローチヤート、第４図は本発明の実
施例を示す回路構成図、第５図ａ，ｂは本発明の
動作を詳しく示す動作原理図である。 ２８……シフト回数カウンタ、３３……データ
レジスタ、３０，３９，５０……シフトレジス
タ、３６……減算回路、４４……マルチプレク
サ、５５……加算回路、６８……割算回路。
すパツドパターン図、第３図は本発明の処理プロ
セスを示すフローチヤート、第４図は本発明の実
施例を示す回路構成図、第５図ａ，ｂは本発明の
動作を詳しく示す動作原理図である。 ２８……シフト回数カウンタ、３３……データ
レジスタ、３０，３９，５０……シフトレジス
タ、３６……減算回路、４４……マルチプレク
サ、５５……加算回路、６８……割算回路。
Claims (1)
- １ 撮像系を有する認識装置において映像信号を
２値あるいは３値化するデジタル化回路と前記デ
ジタル化回路の出力信号を特定の検出窓によつて
切り出す切り出し回路と、前記切り出し回路によ
つて切り出された前記検出窓内のデータを列単位
に合計し、一行の数値データに変換する投影回路
と、前記投影回路によつて得られた投影結果とあ
らかじめ求められている規準投影データとの差を
求める比較回路と、前記投影結果をドツト単位で
シフトするシフト回路と、前記投影結果を前記シ
フト回路でシフトする度に前記規準投影データと
の差を求め前記比較回路の結果が最小となる位置
をパターン位置として検出する検出回路から成
り、少なくとも二つの検出窓を用いて複数方向か
らのパターン位置を求めることを特徴とするパタ
ーン位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15502681A JPS5855806A (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | パタ−ン位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15502681A JPS5855806A (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | パタ−ン位置検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5855806A JPS5855806A (ja) | 1983-04-02 |
| JPH0160763B2 true JPH0160763B2 (ja) | 1989-12-25 |
Family
ID=15597039
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15502681A Granted JPS5855806A (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | パタ−ン位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5855806A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6134405A (ja) * | 1984-07-26 | 1986-02-18 | Fujitsu Ltd | 中心位置検出装置 |
| JPH069283Y2 (ja) * | 1987-02-24 | 1994-03-09 | 株式会社明電舎 | 表示素子のセグメント位置ずれ検出装置 |
-
1981
- 1981-09-30 JP JP15502681A patent/JPS5855806A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5855806A (ja) | 1983-04-02 |
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